本發(fā)明涉及真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種能夠應(yīng)用于旋片泵、螺桿泵等機(jī)械泵中，涉及大面積平板玻璃鍍膜真空泵組的機(jī)械泵防反油閥裝置。

背景技術(shù)：

已知高真空的獲得需要多種不同真空泵組合在一起。單一泵無(wú)法獲得l×l0-7mbar或更高的真空。在大面積平板玻璃鍍膜的應(yīng)用中，靶材的輝光放電需要在通Ar氣的環(huán)境下達(dá)到3×l0-3mbar，而鍍膜腔體在不通任何氣體的情況下本體真空更是需要達(dá)到5×l0-6mbar或者更低，這種情況下必須引進(jìn)多級(jí)真空泵組才能夠獲得高真空。

已知高真空泵組在運(yùn)行時(shí)高真空泵與低真空泵之間必然會(huì)產(chǎn)生壓力差，低真空泵進(jìn)口壓力小于出口壓力導(dǎo)致泵腔內(nèi)的油從進(jìn)口反抽到腔體內(nèi)。

已知大面積平板玻璃鍍膜需要基片的絕對(duì)潔凈才能使膜層與玻璃基片牢牢結(jié)合在一起。而油污是絕對(duì)要避免的，基片上的油污在鍍膜后會(huì)明顯的反映在鍍膜玻璃上，導(dǎo)致玻璃脫膜，產(chǎn)生廢品。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是，提供一種機(jī)械泵防反油閥裝置，使低真空機(jī)械泵應(yīng)用于高真空泵組中避免因壓力差導(dǎo)致的機(jī)械泵反油。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明是按如下方式實(shí)現(xiàn)的：

一種機(jī)械泵防反油閥裝置，包括機(jī)械泵、進(jìn)口腔、支撐機(jī)構(gòu)、防反油閥、彈簧和進(jìn)口管道；所述機(jī)械泵與所述進(jìn)口管道之間通過(guò)所述進(jìn)口腔連接，所述進(jìn)口管道設(shè)置在所述進(jìn)口腔的上方；所述支撐機(jī)構(gòu)固定在所述進(jìn)口腔內(nèi)；所述防反油閥通過(guò)所述彈簧與所述支撐機(jī)構(gòu)連接，所述防反油閥通過(guò)所述進(jìn)口腔內(nèi)壓力差，在所述彈簧的作用下，在所述支撐機(jī)構(gòu)上做往復(fù)運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)隔離泵腔與進(jìn)口管道。

本發(fā)明的積極效果是：在類似活塞的防反油閥作用下，實(shí)現(xiàn)機(jī)械泵腔與進(jìn)口管道的聯(lián)通與隔離，解決機(jī)械泵應(yīng)用于高真空泵組時(shí)容易出現(xiàn)的進(jìn)口壓力小于泵腔壓力所導(dǎo)致的機(jī)械泵倒抽反油的現(xiàn)象。應(yīng)用于真空鍍膜領(lǐng)域可解決因油污污染基片導(dǎo)致的脫膜廢品出現(xiàn)，提高產(chǎn)品成品率。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖；

圖2是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中機(jī)械真空泵停止時(shí)防反油閥位置圖。

圖中：l、機(jī)械泵，2、進(jìn)口腔，3、支撐機(jī)構(gòu)，4、防反油閥，5、彈簧，6、進(jìn)口管道。

具體實(shí)施方式

如圖l所示，本發(fā)明所述的一種機(jī)械泵防反油閥裝置，包括機(jī)械泵l、進(jìn)口腔2、支撐機(jī)構(gòu)3、防反油閥4、彈簧5和進(jìn)口管道6。

機(jī)械泵l與進(jìn)口管道6之間通過(guò)進(jìn)口腔2連接，是機(jī)械泵防反油閥裝置實(shí)現(xiàn)功能連接口，進(jìn)口管道6設(shè)置在進(jìn)口腔2的上方。支撐機(jī)構(gòu)3固定在進(jìn)口腔2內(nèi)，是支撐活塞往復(fù)運(yùn)動(dòng)的裝置。防反油閥4通過(guò)彈簧5與支撐機(jī)構(gòu)3連接，是整個(gè)裝置的核心部分，防反油閥4通過(guò)進(jìn)口腔內(nèi)壓力差，在彈簧5的作用下，在支撐機(jī)構(gòu)3上做往復(fù)運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)隔離泵腔與進(jìn)口管道6的作用。

工作原理：機(jī)械泵在停止的時(shí)候如圖l所示，防反油閥在彈簧的作用力下停止在進(jìn)口管道上，這有效的防止了泵在不工作時(shí)雜物進(jìn)入泵腔內(nèi)；當(dāng)機(jī)械泵正常工作時(shí)如圖2所示，機(jī)械泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)泵內(nèi)壓強(qiáng)低于進(jìn)口管道處壓強(qiáng)，防反油閥在壓力的作用下向下移動(dòng)，此時(shí)泵腔與進(jìn)口管道相通，實(shí)現(xiàn)正常工作抽氣的目的；當(dāng)機(jī)械泵處于高真空泵組中，并且高真空泵起動(dòng)后，進(jìn)口管道內(nèi)的壓強(qiáng)低于泵腔內(nèi)壓強(qiáng)，防反油閥受力向上頂起使泵腔與進(jìn)口管道隔離，達(dá)到防止泵內(nèi)油被反抽至管道內(nèi)。

本發(fā)明的積極效果：在多級(jí)泵組組成的真空系統(tǒng)中，能有效的防止因前后級(jí)真空所特有的壓力差導(dǎo)致機(jī)械真空泵反油的現(xiàn)象，特別是當(dāng)真空泵組應(yīng)用于大面積平板鍍膜玻璃設(shè)備這種對(duì)前級(jí)真空腔體與基片潔凈度要求非常嚴(yán)格時(shí)候，有效的防止了工藝腔體因進(jìn)油污染玻璃基片的情況，從而提高產(chǎn)品的成品率。

為了舉例說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)現(xiàn)，描述了上述的具體實(shí)施方式。但是本發(fā)明的其他變化和修改，對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員是顯而易見(jiàn)的，在本發(fā)明所公開的實(shí)質(zhì)和基本原則范圍內(nèi)的任何修改/變化或者仿效變換都屬于本發(fā)明的權(quán)利要求保護(hù)范圍。