本申請(qǐng)案主張來(lái)自2014年5月28日提出申請(qǐng)的第62/004,117號(hào)美國(guó)臨時(shí)申請(qǐng)案的優(yōu)先權(quán)權(quán)益，所述臨時(shí)申請(qǐng)案(包含附件)以全文引用的方式并入本文中。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明一般來(lái)說(shuō)涉及流體泵。更特定來(lái)說(shuō)，本文中揭示的實(shí)施例涉及單級(jí)泵及多級(jí)泵，包含用于半導(dǎo)體制造的泵。甚至更特定來(lái)說(shuō)，本發(fā)明的實(shí)施例涉及操作泵，及/或確認(rèn)泵的各種操作或動(dòng)作，包含過(guò)濾確認(rèn)、施配確認(rèn)、空氣檢測(cè)及泵中的過(guò)濾器的減壓注給。

背景技術(shù)：

存在針對(duì)其對(duì)泵送設(shè)備施配流體的量及/或速率的精確控制是必要的許多應(yīng)用。舉例來(lái)說(shuō)，在半導(dǎo)體處理中，控制將例如光致抗蝕劑化學(xué)品等光化學(xué)品施加到半導(dǎo)體晶片的量及速率是重要的。在處理期間施加到半導(dǎo)體晶片的各涂層通常需要以埃為單位測(cè)量的跨越晶片的表面的均勻一致平坦度。必須仔細(xì)地校準(zhǔn)且精確地控制將處理化學(xué)品施加到晶片的速率，以確保準(zhǔn)確且均勻地施加處理液體(即，含有所述化學(xué)品的半導(dǎo)體制造工藝流體)。

用于半導(dǎo)體工業(yè)中的許多光化學(xué)品目前是非常昂貴的，通常花費(fèi)高達(dá)一公升1,000美元。因此，確保使用最小但充足量的化學(xué)品并確保泵送設(shè)備不破壞含有化學(xué)品的工藝液體或流體是優(yōu)選的。然而，在泵送設(shè)備的操作期間的各種狀況可造成壓力尖峰或壓力降，此可破壞工藝流體(即，可不利地改變工藝流體的物理性質(zhì))，導(dǎo)致施配太多或太少工藝流體，或?qū)⒉焕麆?dòng)力引入到工藝流體的施配操作中。泵送設(shè)備內(nèi)發(fā)生的其它狀況還可阻止工藝流體的恰當(dāng)施配。這些狀況可由工藝本身的時(shí)序改變引起。當(dāng)這些狀況發(fā)生時(shí)，結(jié)果可為工藝流體到晶片上的不恰當(dāng)施配，此致使晶片不適合使用且最終導(dǎo)致晶片變成廢品被丟棄。

使此問(wèn)題惡化的是以下事實(shí)：在許多情形中，在已進(jìn)一步處理報(bào)廢晶片之后僅使用某一形式的質(zhì)量控制程序檢測(cè)所述晶片。同時(shí)，造成不恰當(dāng)施配且因此造成報(bào)廢晶片的狀況持續(xù)存在。因此，在首次不恰當(dāng)施配與報(bào)廢晶片的檢測(cè)之間的中間時(shí)期中，許多額外不恰當(dāng)沉積可在其它晶片上發(fā)生。不幸地，這些晶片繼而也必須作為廢品被丟棄。

那么，如可見(jiàn)，檢測(cè)或確認(rèn)已發(fā)生恰當(dāng)施配是合意的。在過(guò)去已經(jīng)使用各種技術(shù)實(shí)現(xiàn)此施配確認(rèn)。作為實(shí)例，先前施配確認(rèn)方法涉及在泵的施配噴嘴處利用相機(jī)系統(tǒng)來(lái)確認(rèn)施配已經(jīng)發(fā)生。然而，此解決方案并非優(yōu)選的，因?yàn)檫@些相機(jī)系統(tǒng)通常獨(dú)立于泵送系統(tǒng)且因此必須單獨(dú)地安裝及校準(zhǔn)以與泵送系統(tǒng)一起工作。此外，在絕大多數(shù)情形中，這些相機(jī)系統(tǒng)往往過(guò)分昂貴。

另一方法涉及在泵送系統(tǒng)中的工藝流體的流體流動(dòng)路徑中使用流量計(jì)來(lái)確認(rèn)施配已經(jīng)發(fā)生。此方法也可能有問(wèn)題。舉例來(lái)說(shuō)，將流量計(jì)作為額外組件插入到流體流動(dòng)路徑中不僅提高泵送系統(tǒng)的成本，而且還在工藝流體流動(dòng)穿過(guò)經(jīng)插入流量計(jì)時(shí)增加污染工藝流體的風(fēng)險(xiǎn)。

鑒于前述內(nèi)容，需要用于確認(rèn)泵的操作及動(dòng)作的方法及系統(tǒng)，所述方法及系統(tǒng)可迅速且準(zhǔn)確地檢測(cè)這些操作及動(dòng)作的恰當(dāng)完成且可提供較早警告及/或在需要時(shí)采取適當(dāng)動(dòng)作以確保高效操作及質(zhì)量結(jié)果。本文中揭示的實(shí)施例可解決此需要及更多需要。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

在一些實(shí)施例中，泵送系統(tǒng)可包含：流體源；多級(jí)泵，其經(jīng)由入口閥與所述流體源流體連通；及泵控制器，其一或多個(gè)網(wǎng)絡(luò)通信鏈路以通信方式連接到所述多級(jí)泵。所述泵控制器還可以通信方式連接到控制裝置，例如泵軌、管理站等等。

在一些實(shí)施例中，所述多級(jí)泵可包含：入口閥，其用于調(diào)節(jié)工藝流體的進(jìn)入；進(jìn)給級(jí)部分，其在所述入口閥的下游；過(guò)濾器，其在所述進(jìn)給級(jí)部分的下游；施配級(jí)部分，其在所述過(guò)濾器的下游；及出口閥，其用于調(diào)節(jié)所述工藝流體的流出。在一些實(shí)施例中，所述進(jìn)給級(jí)部分可包含進(jìn)給級(jí)泵及安裝于其上的壓力傳感器。在一些實(shí)施例中，所述進(jìn)給級(jí)部分可包含瓶或貯存罐及安裝于其上的壓力傳感器。所述壓力傳感器可安裝于所述進(jìn)給室、瓶或貯存罐的側(cè)壁上以檢測(cè)其中的流體壓力。在一個(gè)實(shí)施例中，所述壓力傳感器可齊平地安裝到所述側(cè)壁。在一些實(shí)施例中，所述壓力傳感器可以一角度安裝于所述側(cè)壁上。在一些實(shí)施例中，所述壓力傳感器安裝于所述側(cè)壁上所處的所述角度可為約5度到10度，約45度，或相對(duì)于所述側(cè)壁盡可能陡峭以避免截留空氣。在一個(gè)實(shí)施例中，所述壓力傳感器安裝于所述側(cè)壁上，使得所述壓力傳感器的感測(cè)部分指向上。在一些實(shí)施例中，所述壓力傳感器可安裝于所述進(jìn)給室、瓶或貯存罐的半高處或附近。在一些實(shí)施例中，所述壓力傳感器可安裝于所述進(jìn)給室、瓶或貯存罐的底部處或附近。

所述進(jìn)給級(jí)泵可包含：進(jìn)給室；進(jìn)給級(jí)隔膜，其在所述進(jìn)給室內(nèi)移動(dòng)且使所述工藝流體在所述進(jìn)給室中位移；活塞，其使所述進(jìn)給級(jí)隔膜移動(dòng)；導(dǎo)螺桿或滾珠螺桿，其耦合到所述活塞以致使所述活塞致動(dòng)；及進(jìn)給電動(dòng)機(jī)，其驅(qū)動(dòng)所述導(dǎo)螺桿或所述滾珠螺桿。

在一些實(shí)施例中，由填充側(cè)上的所述壓力傳感器檢測(cè)的流體壓力可具有許多有益用途，包含過(guò)濾確認(rèn)、空氣檢測(cè)及過(guò)濾器注給例程。在一些實(shí)施例中，所述過(guò)濾確認(rèn)可包含：至少部分地基于由所述壓力傳感器檢測(cè)的所述流體壓力確定操作填充壓力分布曲線；將所述操作填充壓力分布曲線與參考填充壓力分布曲線進(jìn)行比較；及確定是否產(chǎn)生警報(bào)。在一些實(shí)施例中，所述空氣檢測(cè)測(cè)試可包含：隔離所述多級(jí)泵的一部分；控制所述進(jìn)給電動(dòng)機(jī)以使所述經(jīng)隔離部分達(dá)到第一壓力；將所述進(jìn)給電動(dòng)機(jī)移動(dòng)固定距離；使用所述壓力傳感器檢測(cè)第二壓力；及確定指示所述第一壓力與所述第二壓力之間的改變的壓差，所述壓差與所述經(jīng)隔離部分中的空氣量相關(guān)。在一些實(shí)施例中，所述過(guò)濾器注給例程可包含：確定所述多級(jí)泵的經(jīng)隔離部分是否達(dá)到負(fù)壓或減壓；及在所述負(fù)壓或減壓下將所述過(guò)濾器浸泡于所述工藝流體中達(dá)一段時(shí)間，以在所述多級(jí)泵的所述經(jīng)隔離部分中從所述工藝流體脫氣或去除氣體或氣泡。

在一些實(shí)施例中，所述泵送系統(tǒng)可進(jìn)一步包含：圖形用戶接口，其用于顯示由所述泵控制器監(jiān)測(cè)的多個(gè)泵操作參數(shù)的操作分布曲線。所述圖形用戶接口可顯示所述操作分布曲線的多個(gè)用戶可選擇警報(bào)類型，包含信息警報(bào)、警告警報(bào)、錯(cuò)誤警報(bào)及臨界警報(bào)。

在一些實(shí)施例中，所述操作分布曲線可包含在包含就緒、施配、過(guò)濾、排除、清除、空氣檢測(cè)及填充分段的施配循環(huán)期間收集的信息。特定來(lái)說(shuō)，在一些實(shí)施例中，所述操作分布曲線可包含所述進(jìn)給室中的所述流體壓力的壓力分布曲線。

眾多其它實(shí)施例還可為可能的。

當(dāng)結(jié)合以下描述及所附圖式考慮時(shí)，將更佳地了解及理解本發(fā)明的這些及其它方面。雖然以下描述指示本發(fā)明的各種實(shí)施例及其眾多特定細(xì)節(jié)，但所述描述是通過(guò)圖解說(shuō)明而非限制方式給出?？稍诒景l(fā)明的范圍內(nèi)做出許多替代、修改、添加或重新布置，且本發(fā)明包含所有這些替代、修改、添加或重新布置。

附圖說(shuō)明

包含附在本說(shuō)明書(shū)后并形成本說(shuō)明書(shū)的部分的圖式以描繪本發(fā)明的某些方面。對(duì)本發(fā)明及與本發(fā)明一起提供的系統(tǒng)的組件及操作的較清楚印象將通過(guò)參考圖式中圖解說(shuō)明的示范性且因此非限制性實(shí)施例而變得更加明了，在圖式中相同參考編號(hào)指定相同組件。應(yīng)注意圖式中圖解說(shuō)明的特征不必按比例繪制。

圖1描繪示范性泵送系統(tǒng)的圖解性表示。

圖2A描繪根據(jù)一個(gè)實(shí)施例的示范性多級(jí)泵(multiple stage pump，“多級(jí)泵(multi-stage pump)”)的圖解性表示。

圖2B描繪根據(jù)一個(gè)實(shí)施例的另一示范性多級(jí)泵的圖解性表示。

圖3A及3B描繪示范性多級(jí)泵的閥及電動(dòng)機(jī)時(shí)序圖。

圖4描繪圖解說(shuō)明各種泵操作參數(shù)的操作分布曲線的接口的一個(gè)實(shí)施例的圖解性表示。

圖5A及5B描繪圖解說(shuō)明一組實(shí)例性所監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)的接口的一個(gè)實(shí)施例的圖解性表示。

圖6描繪圖解說(shuō)明配置注給循環(huán)的一個(gè)實(shí)施例的圖形用戶接口的一個(gè)實(shí)施例的圖解性表示。

具體實(shí)施方式

參考在所附圖式中圖解說(shuō)明并在以下描述中詳述的非限制性實(shí)施例，更完整地解釋系統(tǒng)及方法以及其有利細(xì)節(jié)。為了不會(huì)不必要地在細(xì)節(jié)上使本發(fā)明模糊，省略了對(duì)眾所周知的起始材料、處理技術(shù)、組件及設(shè)備的描述。然而，應(yīng)理解，盡管指示本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，但詳細(xì)描述及特定實(shí)例僅以圖解說(shuō)明方式而非以限制方式給出。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員根據(jù)本發(fā)明將明了本發(fā)明的精神及/或范圍內(nèi)的各種替代、修改、添加及/或重新布置。

在描述實(shí)施例之前，描述可與各種實(shí)施例一起利用的示范性泵或泵送系統(tǒng)可為有用的。圖1描繪泵送系統(tǒng)10的圖解性表示。泵送系統(tǒng)10可包含流體源15、泵控制器20及多級(jí)泵100，其等一起工作以將流體施配到晶片25上。流體源15可為多級(jí)泵100從其獲得工藝流體(例如，半導(dǎo)體制造工藝流體)的任一適當(dāng)源，例如罐、瓶、流體處理系統(tǒng)或流體載送網(wǎng)絡(luò)。半導(dǎo)體制造工藝為所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員所已知的且因此在本文中不加以描述。

多級(jí)泵100的操作可由泵控制器20控制，泵控制器20可機(jī)載于多級(jí)泵100上或經(jīng)由用于傳達(dá)控制信號(hào)、數(shù)據(jù)或其它信息的一或多個(gè)通信鏈路連接到多級(jí)泵100。泵控制器20可包含此項(xiàng)技術(shù)中已知的各種計(jì)算機(jī)組件，包含處理器、存儲(chǔ)器、接口、顯示裝置、外圍裝置或其它計(jì)算機(jī)組件。舉例來(lái)說(shuō)，泵控制器20可包含實(shí)施中央處理單元(CPU)、專用集成電路(ASIC)、數(shù)字信號(hào)處理(DSP)、精簡(jiǎn)指令集計(jì)算(RISC)的處理器35或其它處理器。適合處理器的一個(gè)實(shí)例是德州儀器公司(Texas Instruments)TMS320F28335PGFA 16位DSP(德州儀器公司是位于美國(guó)德克薩斯州達(dá)拉斯市的一家公司)。另外，泵控制器20可包含至少一個(gè)計(jì)算機(jī)可讀媒體27(例如，隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(RAM)、只讀存儲(chǔ)器(ROM)、快閃存儲(chǔ)器、光盤(pán)、磁驅(qū)動(dòng)器或其它計(jì)算機(jī)可讀媒體)。

在圖1的實(shí)例中，泵控制器20經(jīng)由通信鏈路40及45與多級(jí)泵100通信。通信鏈路40及45可為網(wǎng)絡(luò)(例如，以太網(wǎng)、EtherCAT、無(wú)線網(wǎng)絡(luò)、全域網(wǎng)、DeviceNet網(wǎng)絡(luò)或者此項(xiàng)技術(shù)中已知或開(kāi)發(fā)的其它網(wǎng)絡(luò))、總線(例如，小型計(jì)算機(jī)系統(tǒng)接口(SCSI)總線)或其它通信鏈路。這些通信組件是所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員已知的。

泵控制器20可實(shí)施為板上印刷電路板(PCB)、遠(yuǎn)程控制器或以其它適合方式實(shí)施。泵控制器20可包含適當(dāng)接口(例如，EtherCAT、網(wǎng)絡(luò)接口、輸入/輸出(I/O)接口、模/數(shù)轉(zhuǎn)換器及其它組件)，以允許泵控制器20與多級(jí)泵100、泵軌、管理站等通信。

泵軌是指具有必要硬件及軟件以對(duì)晶片表面執(zhí)行操作(例如，化學(xué)沉積或流體涂覆工藝)的工具或系統(tǒng)。如此，精確體積的流體需要施加到晶片25的表面。泵控制器20可控制多級(jí)泵100中的各種閥及電動(dòng)機(jī)，以致使多級(jí)泵100準(zhǔn)確地施配各種類型的流體，包含低粘度流體(即，小于5厘泊)。用于控制多級(jí)泵100的操作的控制邏輯可體現(xiàn)于泵控制器20、管理站及/或其它計(jì)算裝置上。在泵控制器20中，控制指令30可體現(xiàn)于非暫時(shí)性計(jì)算機(jī)可讀媒體27上?？刂品桨傅膶?shí)例可在以下各項(xiàng)中發(fā)現(xiàn)：標(biāo)題為“用于泵中的壓力補(bǔ)償?shù)南到y(tǒng)及方法(SYSTEM AND METHOD FOR PRESSURE COMPENSATION IN A PUMP)”的第8,029,247號(hào)美國(guó)專利；標(biāo)題為“用于浸沒(méi)光刻系統(tǒng)中的流體流動(dòng)控制的系統(tǒng)及方法(SYSTEMS AND METHODS FOR FLUID FLOW CONTROL IN AN IMMERSION LITHOGRAPHY SYSTEM)”的第7,443,483號(hào)美國(guó)專利；標(biāo)題為“用于使用電動(dòng)機(jī)校正壓力變化的系統(tǒng)及方法(SYSTEM AND METHOD FOR CORRECTING FOR PRESSURE VARIATIONS USING A MOTOR)”的第8,172,546號(hào)美國(guó)專利；標(biāo)題為“用于控制流體壓力的系統(tǒng)及方法(SYSTEM AND METHOD FOR CONTROL OF FLUID PRESSURE)”的第7,850,431號(hào)美國(guó)專利；標(biāo)題為“用于監(jiān)測(cè)泵的操作的系統(tǒng)及方法(SYSTEM AND METHOD FOR MONITORING OPERATION OF A PUMP)”的第7,878,765號(hào)美國(guó)專利；以及標(biāo)題為“用于與泵控制器介接的I/O系統(tǒng)、方法及裝置(I/O SYSTEMS,METHODS AND DEVICES FOR INTERFACING A PUMP CONTROLLER)”的第7,940,664號(hào)美國(guó)專利，所述美國(guó)專利中的每一者以全文引用的方式并入本文中。

圖2A描繪多級(jí)泵100的圖解性表示。在此實(shí)例中，多級(jí)泵100包含進(jìn)給級(jí)部分105及單獨(dú)施配級(jí)部分110。從流體流動(dòng)角度，過(guò)濾器120位于進(jìn)給級(jí)部分105與施配級(jí)部分110之間以濾除或以其它方式去除工藝流體中的雜質(zhì)。

進(jìn)給級(jí)部分105及施配級(jí)部分110可包含用于引導(dǎo)工藝流體從流體源(例如，圖1中展示的流體源15)流動(dòng)到進(jìn)給級(jí)105到過(guò)濾器120到施配級(jí)110到施配或使用點(diǎn)的泵150、180。為控制流體流動(dòng)，多級(jí)泵100包含若干個(gè)閥，其包含(舉例來(lái)說(shuō))入口閥125、隔離閥130、阻隔閥135、清除閥140、排除閥145及出口閥147。這些閥打開(kāi)或關(guān)閉以允許或限制流體流動(dòng)到多級(jí)泵100的各個(gè)部分。舉例來(lái)說(shuō)，這些閥可為取決于斷言壓力還是真空而打開(kāi)或關(guān)閉的氣動(dòng)致動(dòng)(即，氣體驅(qū)動(dòng))隔膜閥。然而，可使用任一適合閥。

在圖2A的實(shí)例中，進(jìn)給級(jí)泵150(“進(jìn)給泵150”)包含收集流體的進(jìn)給室155、在進(jìn)給室155內(nèi)移動(dòng)并使流體位移的進(jìn)給級(jí)隔膜160、使進(jìn)給級(jí)隔膜160移動(dòng)的活塞165、連接到活塞165的導(dǎo)螺桿或滾珠螺桿170及驅(qū)動(dòng)導(dǎo)螺桿或滾珠螺桿170且因此驅(qū)動(dòng)活塞165的進(jìn)給電動(dòng)機(jī)175(例如，步進(jìn)電動(dòng)機(jī))。作為實(shí)例，導(dǎo)螺桿或滾珠螺桿170可通過(guò)螺母、齒輪或用于將來(lái)自電動(dòng)機(jī)175的能量賦予導(dǎo)螺桿或滾珠螺桿170的其它機(jī)構(gòu)而耦合到電動(dòng)機(jī)175。具體來(lái)說(shuō)，電動(dòng)機(jī)175可操作以旋轉(zhuǎn)螺母，所述螺母又將線性運(yùn)動(dòng)賦予導(dǎo)螺桿或滾珠螺桿170，從而致使活塞165致動(dòng)。

類似地，在圖2A的實(shí)例中，施配級(jí)泵180(“施配泵180”)包含施配室185、施配級(jí)隔膜190、活塞192、導(dǎo)螺桿195及施配電動(dòng)機(jī)200。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員可了解各種泵可用于進(jìn)給級(jí)105及施配級(jí)110中，且進(jìn)給泵150及施配泵180不必限于滾動(dòng)隔膜泵。

同樣地，進(jìn)給電動(dòng)機(jī)175及施配電動(dòng)機(jī)200可為任一適合電動(dòng)機(jī)。作為實(shí)例，施配電動(dòng)機(jī)200可為永磁式同步電動(dòng)機(jī)(“PMSM”)。PMSM可受在施配電動(dòng)機(jī)200處利用磁場(chǎng)定向控制(“FOC”)或其它類型的速度/位置控制的數(shù)字信號(hào)處理器(“DSP”)、多級(jí)泵100機(jī)載的控制器或單獨(dú)泵控制器(例如，圖1中展示的泵控制器20)控制。實(shí)施PMSM的施配電動(dòng)機(jī)200可進(jìn)一步包含用于實(shí)時(shí)反饋電動(dòng)機(jī)位置的編碼器(例如，細(xì)線旋轉(zhuǎn)位置編碼器)。使用位置傳感器使得能夠準(zhǔn)確且可重復(fù)地控制電動(dòng)機(jī)位置且因此控制活塞192的位置，此導(dǎo)致對(duì)施配室185中的流體移動(dòng)的準(zhǔn)確且可重復(fù)控制。舉例來(lái)說(shuō)，使用為DSP給出電動(dòng)機(jī)每轉(zhuǎn)8000計(jì)數(shù)的2000線編碼器，可能準(zhǔn)確地測(cè)量電動(dòng)機(jī)的旋轉(zhuǎn)且將所述旋轉(zhuǎn)控制在.045度。另外，PMSM可極少或無(wú)振動(dòng)地低速運(yùn)行，此在施配操作中可為合意的。進(jìn)給電動(dòng)機(jī)175還可為PMSM或步進(jìn)電動(dòng)機(jī)。

所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將了解圖2A中展示的多級(jí)泵100是多級(jí)泵的非限制性實(shí)例，且在不背離本文中揭示的本發(fā)明的范圍及精神的情況下，其它類型的多級(jí)泵可實(shí)施本文中揭示的實(shí)施例。作為實(shí)例，圖2B描繪根據(jù)一個(gè)實(shí)施例的另一示范性多級(jí)泵的圖解性表示。

在圖2B中，多級(jí)泵100可包括多個(gè)組件，包含各種閥125、130、135、140、145及147、過(guò)濾器120、壓力傳感器112及114以及施配級(jí)110，類似于上文參考圖2A所展示及描述。在此實(shí)例中，進(jìn)給級(jí)105包括與流體源15(在圖1中展示)及過(guò)濾器120流體連通的加壓瓶或貯存罐118。具體來(lái)說(shuō)，貯存罐118位于流體源15的下游及過(guò)濾器120的上游。可通過(guò)控制入口閥125及/或隔離閥130而將工藝流體從貯存罐118引導(dǎo)到過(guò)濾器120。貯存罐118中的壓力可由壓力傳感器114測(cè)量。此允許多級(jí)泵100的控制邏輯(例如，圖1中展示的泵控制器20)實(shí)時(shí)了解填充側(cè)(例如，進(jìn)給級(jí)105)處的工藝流體的壓力，如下文所解釋。

應(yīng)注意在圖2B中，壓力傳感器114耦合到或安裝于貯存罐118的側(cè)壁上，以用于檢測(cè)貯存罐118中的流體壓力。此側(cè)壁位置可避免或最小化壓力傳感器114截留空氣的可能性，且因此避免或最小化對(duì)容納于貯存罐118中的工藝流體的干擾。優(yōu)選地，壓力傳感器114以允許氣泡更容易地露出表面且從貯存罐118逸散(例如，在排除閥143打開(kāi)時(shí))的方式安裝于貯存罐118的側(cè)壁上。在一些實(shí)施例中，壓力傳感器114可與貯存罐118的側(cè)壁齊平或成角度地安裝于所述側(cè)壁上。所述角度可相對(duì)于所述側(cè)壁盡可能陡峭(例如與貯存罐118的側(cè)壁成約5度到10度及高達(dá)約45度)以避免截留空氣。如在圖2B中展示，在一些實(shí)施例中，壓力傳感器114可安裝于貯存罐118的半高度處或附近。在一些實(shí)施例中，壓力傳感器114可安裝于貯存罐118的底部處或附近。在一些實(shí)施例中，壓力傳感器114可以任一增加的角度安裝于所述側(cè)壁上，使得壓力傳感器114的感測(cè)部分指向上。

在操作中，多級(jí)泵100可包含若干個(gè)分段，其包含但不限于就緒分段、施配分段、填充分段、預(yù)過(guò)濾分段、過(guò)濾分段、排除分段、清除分段及靜態(tài)清除分段。分段及相關(guān)聯(lián)閥以及電動(dòng)機(jī)時(shí)序的實(shí)例可在以下各項(xiàng)中發(fā)現(xiàn)：標(biāo)題為“用于泵的操作的系統(tǒng)及方法(SYSTEM AND METHOD FOR OPERATION OF A PUMP)”的WO 2008/066589 A2；標(biāo)題為“用于泵中的閥排序的系統(tǒng)及方法(SYSTEM AND METHOD FOR VALVE SEQUENCING IN A PUMP)”的第8,025,486號(hào)美國(guó)專利；標(biāo)題為“用于檢測(cè)流體中的空氣的系統(tǒng)及方法(SYSTEM AND METHOD FOR DETECTING AIR IN A FLUID)”的WO 2013/028542 A2；以及標(biāo)題為“用于泵注給的方法及系統(tǒng)(METHOD AND SYSTEM FOR PUMP PRIMING)”的WO 2012/054706 A2，所述案中的每一者以全文引用的方式并入本文中。

通過(guò)實(shí)例方式，參考圖2A，在填充分段(其還可稱為進(jìn)給分段)期間，打開(kāi)入口閥125，且進(jìn)給級(jí)泵150移動(dòng)(例如，拉動(dòng))進(jìn)給級(jí)隔膜160以將流體抽到進(jìn)給室155中。一旦充足量的流體已經(jīng)進(jìn)入進(jìn)給室155，便關(guān)閉入口閥125。在過(guò)濾分段期間，進(jìn)給級(jí)泵150使進(jìn)給級(jí)隔膜160移動(dòng)以使流體從進(jìn)給室155位移。打開(kāi)隔離閥130及阻隔閥135以允許流體穿過(guò)過(guò)濾器120流動(dòng)到施配室185?？墒紫却蜷_(kāi)隔離閥130(例如，在“預(yù)過(guò)濾分段”中)以允許壓力在過(guò)濾器120中積累，且然后打開(kāi)阻隔閥135以允許流體流動(dòng)到施配室185中。在過(guò)濾分段期間，可將施配泵180帶到其原位置，所述原位置在一些情形中可為可變?cè)恢谩?/p>

可變?cè)恢檬┡湎到y(tǒng)的實(shí)例可在標(biāo)題為“用于可變?cè)恢檬┡湎到y(tǒng)的系統(tǒng)及方法(SYSTEM AND METHOD FOR A VARIABLE HOME POSITION DISPENSE SYSTEM)”的第8,292,598號(hào)美國(guó)專利及標(biāo)題為“用于可變?cè)恢檬┡湎到y(tǒng)的系統(tǒng)及方法(SYSTEM AND METHOD FOR VARIABLE HOME POSITION DISPENSE SYSTEM)”的WO 2006/057957 A2中發(fā)現(xiàn)，所述案中的每一者以全文引用的方式并入本文中。作為實(shí)例，可基于施配循環(huán)的各種參數(shù)選擇施配級(jí)隔膜190的原位置，使得施配泵180處的施配室185含有充足量的流體(其可小于施配室185的最大容量)，以在最小化施配泵180中的滯留容積的同時(shí)執(zhí)行施配循環(huán)的各種步驟?？深愃频貙⑦M(jìn)給泵150帶到界定用于量小于其最大容量的流體的容積的原位置。

在流體流動(dòng)到泵中的室中時(shí)，流體的壓力增加。在圖2A的實(shí)例中，進(jìn)給泵150包含耦合到進(jìn)給室155以用于測(cè)量進(jìn)給級(jí)105處的流體壓力的壓力傳感器114。同樣地，在圖2B的實(shí)例中，進(jìn)給級(jí)105包含耦合到貯存罐118以用于測(cè)量進(jìn)給級(jí)105處的流體壓力的壓力傳感器114。另外，如在圖2A及2B中所展示，施配泵180包含耦合到施配室185以用于測(cè)量施配級(jí)110處的流體壓力的壓力傳感器112。所述壓力傳感器可與上文描述的控制邏輯(例如，泵控制器20)通信。由壓力傳感器112及壓力傳感器114測(cè)量的壓力可由所述控制邏輯用來(lái)控制各種泵的速度且確定施配是否為良好施配。這些壓力傳感器經(jīng)配置以在壓力下及真空中工作，且可涂覆有惰性聚合物，例如基于聚四氟乙烯(PTFE)的材料(舉例來(lái)說(shuō)，來(lái)自杜邦(DuPont)公司的鐵氟龍(Teflon))。適合壓力傳感器(其還可稱為壓力換能器)的實(shí)例可包含但不限于壓阻(壓電)及電容式壓力傳感器，包含由德國(guó)奈默巴赫(Nellmersbach)的Metallux AG公司制造的陶瓷及聚合物壓力傳感器。取決于應(yīng)用，在填充側(cè)及/或施配側(cè)處還可使用其它類型的傳感器。舉例來(lái)說(shuō)，除壓力傳感器外或替代壓力傳感器，還可使用流量傳感器(例如超聲波流量計(jì))。

實(shí)施例可至少部分地基于從傳感器112及114接收的測(cè)量而調(diào)節(jié)/控制進(jìn)給級(jí)105及施配級(jí)110兩者處的流體壓力。舉例來(lái)說(shuō)，當(dāng)施配室185中的流體壓力在過(guò)濾分段期間達(dá)到預(yù)定義壓力設(shè)定點(diǎn)(例如，由壓力傳感器112測(cè)量)時(shí)，施配泵180可開(kāi)始收回施配級(jí)隔膜190。換句話說(shuō)，控制施配泵180以增加施配室185的可用容積以允許流體流動(dòng)到施配室185中。此可(舉例來(lái)說(shuō))通過(guò)以預(yù)定義速率倒轉(zhuǎn)施配電動(dòng)機(jī)200而完成，從而致使施配室185中的壓力減小。

當(dāng)施配室185中的流體壓力跌到低于設(shè)定點(diǎn)(在系統(tǒng)的容限內(nèi))時(shí)，可增加進(jìn)給電動(dòng)機(jī)175的電動(dòng)機(jī)速率，以致使施配室185中的壓力升高且達(dá)到設(shè)定點(diǎn)。當(dāng)施配室185中的流體壓力超過(guò)設(shè)定點(diǎn)(在系統(tǒng)的容限內(nèi))時(shí)，可減小進(jìn)給電動(dòng)機(jī)175的電動(dòng)機(jī)速率，從而導(dǎo)致下游施配室185中的壓力變小。可重復(fù)增加及減小進(jìn)給電動(dòng)機(jī)175的速度的工藝，直到施配泵180到達(dá)原位置，在此點(diǎn)可停止兩個(gè)電動(dòng)機(jī)。

在上文提及的標(biāo)題為“用于泵的操作的系統(tǒng)及方法(SYSTEM AND METHOD FOR OPERATION OF A PUMP)”的WO 2008/066589 A2中，壓力測(cè)量由施配側(cè)處的壓力傳感器進(jìn)行(“施配壓力”)。本文中揭示的實(shí)施例進(jìn)一步包含用于感測(cè)進(jìn)給(填充)側(cè)處的流體壓力(“填充壓力”)的壓力傳感器。檢測(cè)填充側(cè)處的填充壓力及填充壓力改變的能力可為有益的。舉例來(lái)說(shuō)，其可允許系統(tǒng)在施配級(jí)之前檢測(cè)到問(wèn)題或爭(zhēng)議(例如，填充管線中或過(guò)濾器處的空氣)并提供較早警告及/或采取適當(dāng)動(dòng)作以解決或解除眼前的問(wèn)題或爭(zhēng)議。

作為實(shí)例，參考展示圖2的多級(jí)泵100的操作的各種分段的閥及施配電動(dòng)機(jī)時(shí)序的圖3A，在排除分段的開(kāi)始處，打開(kāi)隔離閥130且打開(kāi)排除閥145?？刂七M(jìn)給泵150以將壓力施加到流體，以通過(guò)打開(kāi)的排除閥145從過(guò)濾器120去除氣泡。如在圖3A中所展示，阻隔閥135可在排除分段期間保持打開(kāi)且在排除分段結(jié)束時(shí)關(guān)閉。如果如此，那么可檢測(cè)到(例如，通過(guò)例如上文描述的泵控制器20的控制器)過(guò)濾器120中的壓力，因?yàn)榭捎蓧毫鞲衅?12測(cè)量的施配室185中的壓力可受過(guò)濾器120中的壓力影響。當(dāng)阻隔閥135關(guān)閉時(shí)，仍可檢測(cè)到過(guò)濾器120中的壓力，因?yàn)榭捎蓧毫鞲衅?14測(cè)量的進(jìn)給室155中的壓力可受過(guò)濾器120中的壓力影響。

盡管圖3A中展示數(shù)個(gè)閥在分段改變期間同時(shí)關(guān)閉，但可稍微分開(kāi)地定時(shí)(例如，100毫秒)閥的關(guān)閉以減少壓力尖峰。舉例來(lái)說(shuō)，在排除分段與清除分段之間，可在排除閥145打開(kāi)之前短時(shí)間內(nèi)關(guān)閉隔離閥130。然而，應(yīng)注意可在各種實(shí)施例中利用其它閥時(shí)序。另外，可一起執(zhí)行所述分段中的數(shù)個(gè)分段(例如，可同時(shí)執(zhí)行填充/施配級(jí)，在此情形中，在施配/填充分段中入口閥及出口閥兩者可為打開(kāi)的)。應(yīng)進(jìn)一步注意，不必每個(gè)循環(huán)均重復(fù)特定分段。舉例來(lái)說(shuō)，可不在每次循環(huán)中均執(zhí)行清除分段及靜態(tài)清除分段。類似地，可不在每次循環(huán)中均執(zhí)行排除分段，如在圖3B中所示范。此外，可使用任一適合閥及電動(dòng)機(jī)時(shí)序。

可控制進(jìn)給泵150以致使排除以預(yù)定義速率發(fā)生，從而允許較長(zhǎng)排除時(shí)間及較低排除速率，借此允許準(zhǔn)確控制排除廢物的量。如果進(jìn)給泵150是氣動(dòng)型泵，那么可將流體流動(dòng)限制置于排除流體路徑中，且可增加或減小施加到進(jìn)給泵150(且由壓力傳感器114測(cè)量)的氣動(dòng)壓力，以便維持“排除”設(shè)定點(diǎn)壓力，從而提供對(duì)以其它方式不受控制的方法的某種程度控制。

如在圖3A及3B中所圖解說(shuō)明，可在分段期間(例如，在清除分段的開(kāi)始處，如下文所解釋)執(zhí)行空氣檢測(cè)測(cè)試。舉例來(lái)說(shuō)，為在施配側(cè)上執(zhí)行空氣檢測(cè)測(cè)試，可關(guān)閉阻隔閥135、清除閥140及出口閥147以隔離施配室185。控制施配電動(dòng)機(jī)200以使施配室185達(dá)到所要壓力(例如，5磅/平方英寸(psi))。然后將施配電動(dòng)機(jī)200移動(dòng)固定距離，且確定施配室185中的壓力(P)的改變(Δ)。通過(guò)確定針對(duì)經(jīng)隔離施配室185(或泵送系統(tǒng)的其它經(jīng)隔離部分)的容積的固定改變的壓力改變(ΔP)，可確定施配室185(或泵送系統(tǒng)的所述經(jīng)隔離部分，包含直到輸出閥147的管道或噴嘴之前的其它閥)中的空氣量，如在上文所提及的標(biāo)題為“用于檢測(cè)流體中的空氣的系統(tǒng)及方法(SYSTEM AND METHOD FOR DETECTING AIR IN A FLUID)”的WO 2013/028542 A2中所論述。

利用填充側(cè)上的壓力傳感器114，還可在填充側(cè)上執(zhí)行空氣檢測(cè)測(cè)試。在一些實(shí)施例中，可關(guān)閉入口閥125及隔離閥130以隔離進(jìn)給室155(其可稱為“經(jīng)隔離部分”)。在一些實(shí)施例中，可關(guān)閉入口閥125、排除閥145及阻隔閥135以隔離進(jìn)給室155及過(guò)濾器120(其還可共同稱為隔離部分)?？刂铺畛潆妱?dòng)機(jī)175以使經(jīng)隔離部分達(dá)到所要壓力(例如，5psi)。然后將填充電動(dòng)機(jī)175移動(dòng)固定距離，且確定經(jīng)隔離部分中的壓力(P)的改變(Δ)。通過(guò)確定針對(duì)所述經(jīng)隔離部分(或泵送系統(tǒng)的其它經(jīng)隔離部分)的容積的固定改變的壓力改變(ΔP)，可確定進(jìn)給室155中(或進(jìn)給室155及過(guò)濾器120中)的空氣量。

在一些實(shí)施例中，可控制施配電動(dòng)機(jī)200以維持預(yù)定義壓力改變(例如，由用戶經(jīng)由到泵送系統(tǒng)的接口所定義)。為實(shí)現(xiàn)預(yù)定義壓力改變，控制器可確定施配室185中的可用容積的適當(dāng)改變且相應(yīng)地控制施配電動(dòng)機(jī)200以使活塞192移動(dòng)。再次，此措施可用以確定施配室185或泵送系統(tǒng)的經(jīng)隔離部分(包含直到輸出閥147的管道或噴嘴之前的其它閥)中的空氣量，如在上文所提及的標(biāo)題為“用于檢測(cè)流體中的空氣的系統(tǒng)及方法(SYSTEM AND METHOD FOR DETECTING AIR IN A FLUID)”的WO 2013/028542 A2中所論述。在一些情形中，如果所檢測(cè)空氣的測(cè)量值小于閾值量，那么可跳過(guò)清除及/或靜態(tài)清除分段，從而縮短循環(huán)時(shí)間。如果所檢測(cè)空氣的量大于閾值，那么可采取警告或校正動(dòng)作。

在一些情形中，在清除分段期間，關(guān)閉隔離閥130，關(guān)閉阻隔閥135，關(guān)閉排除閥145，打開(kāi)清除閥140，且關(guān)閉出口閥147。如圖3A及3B中所圖解說(shuō)明，在打開(kāi)清除閥140之前可存在延遲，在此期間隔離施配室185。施配泵180可將壓力施加到施配室185中的流體，使得可執(zhí)行空氣檢測(cè)測(cè)試。

在清除分段期間，當(dāng)清除閥140打開(kāi)時(shí)，施配泵180將壓力施加到施配室185中的流體以通過(guò)清除閥140排除氣泡。在靜態(tài)清除分段期間，停止施配泵180，但清除閥140保持打開(kāi)以繼續(xù)排除空氣。在清除或靜態(tài)清除分段期間去除的任何多余流體可流出多級(jí)泵100(例如，返回到流體源15、貯存罐118，或被丟棄)或再循環(huán)到進(jìn)給級(jí)105。

在一些情形中，如在圖3A及3B中所示范，可在就緒分段期間關(guān)閉所有閥。在一些情形中，可打開(kāi)隔離閥130及阻隔閥135且關(guān)閉清除閥140，使得進(jìn)給泵150可達(dá)到流體源(例如，源瓶或貯存罐)的環(huán)境壓力。

在施配分段期間，出口閥147打開(kāi)且施配泵180將壓力施加到施配室185中的流體。由于出口閥147可比施配泵180慢地對(duì)控制做出反應(yīng)，因此可首先打開(kāi)出口閥147，且在某一預(yù)定時(shí)間段之后起動(dòng)施配電動(dòng)機(jī)200。此防止施配泵180推動(dòng)流體穿過(guò)部分打開(kāi)的出口閥147。此外，此防止因閥打開(kāi)導(dǎo)致流體沿施配噴嘴向上移動(dòng)，后續(xù)接著因電動(dòng)機(jī)動(dòng)作導(dǎo)致的向前流體運(yùn)動(dòng)。在一些情形中，可打開(kāi)出口閥147且同時(shí)施配泵180可開(kāi)始施配。

還可執(zhí)行其它分段。舉例來(lái)說(shuō)，可執(zhí)行回吸分段以去除施配噴嘴中的多余流體。在回吸分段期間，出口閥147可關(guān)閉且可使用次級(jí)電動(dòng)機(jī)或真空來(lái)從出口噴嘴吸走多余流體。或者，出口閥147可保持打開(kāi)，且可倒轉(zhuǎn)施配電動(dòng)機(jī)200以將流體抽回到施配室185中?；匚侄慰蓭椭乐苟嘤嗔黧w滴到晶片25上。

各種閥的打開(kāi)及關(guān)閉可導(dǎo)致流體的壓力尖峰。舉例來(lái)說(shuō)，在靜態(tài)清除分段結(jié)束時(shí)關(guān)閉清除閥140可導(dǎo)致施配室185中的壓力增加。此可發(fā)生的原因是每一閥在其關(guān)閉時(shí)可使小體積的流體位移。例如，清除閥140可在其關(guān)閉時(shí)將小體積的流體位移到施配室185中。由于在清除閥140的關(guān)閉引起發(fā)生壓力增加時(shí)，出口閥147關(guān)閉，因此如果不減壓，那么在后續(xù)施配分段期間可發(fā)生流體“吐”到晶片上。為在靜態(tài)清除分段或額外分段期間釋放此壓力，可倒轉(zhuǎn)施配電動(dòng)機(jī)200以將活塞192退出預(yù)定距離以補(bǔ)償由關(guān)閉阻隔閥135及/或清除閥140導(dǎo)致的任何壓力增加。

應(yīng)注意在就緒分段期間，施配室185中的壓力可基于隔膜的性質(zhì)、溫度或其它因素而改變?？煽刂剖┡潆妱?dòng)機(jī)200以補(bǔ)償此壓力漂移。

通過(guò)基于來(lái)自施配泵及進(jìn)給泵處的壓力傳感器的實(shí)時(shí)反饋而控制施配側(cè)以及填充側(cè)處的泵操作，本文中揭示的多級(jí)泵的實(shí)施例可提供緩和流體處置特性且避免潛在破壞性壓力尖峰。如上文所論述，各種泵控制機(jī)構(gòu)及閥時(shí)序可進(jìn)一步幫助減壓對(duì)工藝流體的有害影響。舉例來(lái)說(shuō)，可選擇閥及電動(dòng)機(jī)時(shí)序以減少在被截留空間上關(guān)閉閥。

圖4是顯示在包含就緒、施配、過(guò)濾、排除、清除、空氣檢測(cè)及填充分段的施配循環(huán)期間收集的一組所監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)(例如，由例如上文參考圖1所描述的泵送系統(tǒng)10的泵送系統(tǒng)的控制邏輯所監(jiān)測(cè))的圖形用戶接口(GUI)400的圖解性表示?？稍谑┡溲h(huán)完成之前、期間及/或之后實(shí)時(shí)顯示所監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)。GUI 400可由泵控制器(例如，上文參考圖1所描述的泵控制器20)或另一計(jì)算裝置基于從泵控制器接收的數(shù)據(jù)而提供。在所圖解說(shuō)明的實(shí)施例中，所監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)包含施配壓力410(例如，從圖2A或2B的壓力傳感器112所確定)、填充壓力420(例如，由圖2A或2B的壓力傳感器114所確定)、施配電動(dòng)機(jī)位置430(其在圖4中稱為施配位置且以毫升為單位的位移容積表達(dá))以及進(jìn)給電動(dòng)機(jī)位置440(其在圖4中稱為填充位置且以毫升為單位的位移容積表達(dá))?？蓪?shù)據(jù)集中的一或多者與基線(參考循環(huán))進(jìn)行比較以控制泵的操作，確定錯(cuò)誤，確定施配是否為“良好”施配等。

更具體來(lái)說(shuō)，可確立一或多個(gè)參數(shù)的基線分布曲線。作為實(shí)例，參考圖1，在泵100的操作期間，可測(cè)量這些參數(shù)以形成每一參數(shù)的操作分布曲線。然后可將每一參數(shù)的基線分布曲線與一或多個(gè)參數(shù)的一或多個(gè)對(duì)應(yīng)點(diǎn)或部分處的操作分布曲線進(jìn)行比較。如果操作分布曲線不同于基線分布曲線超過(guò)特定容限，那么可存在警報(bào)狀況。否則，泵100可繼續(xù)操作。

為確立關(guān)于特定參數(shù)的基線分布曲線，可在基線(參考)或“金”運(yùn)行期間測(cè)量參數(shù)。在一個(gè)實(shí)施例中，泵100的操作者或用戶可按照其使用液體規(guī)范、條件及設(shè)備設(shè)置泵100，所述條件及設(shè)備與在泵100的正常使用或操作期間將與泵100一起利用的條件及設(shè)備基本上類似或相同。然后可在一施配循環(huán)內(nèi)操作泵100以根據(jù)用戶的配方施配流體。在此施配循環(huán)期間，可基本上持續(xù)地或在一組點(diǎn)處測(cè)量參數(shù)，以形成所述參數(shù)的操作分布曲線。在一個(gè)特定實(shí)施例中，對(duì)參數(shù)的取樣可在大約一毫秒與十毫秒間隔之間發(fā)生。

用戶可在此施配循環(huán)期間經(jīng)由GUI 400觀察泵100的操作參數(shù)。在此施配循環(huán)期間由泵100產(chǎn)生的施配應(yīng)在容限或規(guī)范內(nèi)，使得可產(chǎn)生無(wú)缺陷晶片或產(chǎn)品。如果用戶對(duì)泵操作及施配質(zhì)量?jī)烧呔械綕M意，那么用戶可經(jīng)由泵控制器20指示期望應(yīng)存儲(chǔ)操作分布曲線(例如，在施配循環(huán)期間取得的參數(shù)的測(cè)量)并將其用作泵100的后續(xù)施配操作的參數(shù)的基線分布曲線。以此方式，可確立泵100的一或多個(gè)泵操作參數(shù)的基線分布曲線。

為檢測(cè)可在泵100的操作期間發(fā)生的各種問(wèn)題，然后可將在泵100的操作期間形成的參數(shù)的操作分布曲線與對(duì)應(yīng)于相同參數(shù)的基線分布曲線進(jìn)行比較。這些比較可由泵控制器20、管理站或者與泵控制器20或其它計(jì)算裝置通信的其它計(jì)算裝置做出且可采用各種形式。舉例來(lái)說(shuō)，可將基線分布曲線的一或多個(gè)點(diǎn)處的參數(shù)值與操作分布曲線中的基本上等效點(diǎn)處的參數(shù)值進(jìn)行比較；可將基線分布曲線的平均值與操作分布曲線的平均值進(jìn)行比較；可將在基線分布曲線的一部分期間的參數(shù)的平均值與在操作分布曲線的基本上相同部分期間的參數(shù)的平均值進(jìn)行比較等。

將理解所描述的比較類型僅是示范性的，且可利用基線分布曲線與操作分布曲線之間的任一適合比較。實(shí)際上，在許多情形中，可利用一個(gè)以上比較或比較類型來(lái)確定是否已經(jīng)發(fā)生特定問(wèn)題或狀況。還將理解所利用的比較類型至少部分地可取決于所嘗試檢測(cè)的狀況。類似地，所比較的操作分布曲線與基線分布曲線的點(diǎn)或部分還可取決于所嘗試檢測(cè)的狀況以及其它因素。另外，將認(rèn)識(shí)到可在特定施配循環(huán)期間或在特定施配循環(huán)完成之后的泵的操作期間基本上實(shí)時(shí)地做出所利用的比較。

如果所述比較產(chǎn)生落在特定容限之外的差，那么可將警報(bào)寄存于泵控制器20處。此警報(bào)可由泵控制器20指示，或所述警報(bào)可發(fā)送到與泵控制器20介接的工具控制器(例如，泵軌)。關(guān)于上文所論述的比較類型，與給定比較一起利用的特定容限可取決于多種因素，舉例來(lái)說(shuō)，采取所述比較所處的分布曲線的點(diǎn)或部分、用戶將使用泵100所借助的工藝或配方、泵100所施配的流體的類型、所利用的參數(shù)、期望檢測(cè)的狀況或問(wèn)題、用戶的期望或用戶對(duì)容限的微調(diào)等。舉例來(lái)說(shuō)，容限可為基線分布曲線的比較點(diǎn)處的參數(shù)值的百分?jǐn)?shù)或設(shè)定數(shù)，所述容限可在取決于比較點(diǎn)(或部分)而將基線分布曲線與操作分布曲線進(jìn)行比較時(shí)是不同的，在比較點(diǎn)處的操作分布曲線的值低于基線分布曲線在所述比較點(diǎn)處的參數(shù)值的情況下與在其高于所述值的情況下，可存在不同容限等。

基線分布曲線的數(shù)據(jù)可包含在泵的運(yùn)行期間取樣的用以確立基線分布曲線的數(shù)據(jù)的全部或一部分。舉例來(lái)說(shuō)，如果泵每毫秒對(duì)壓力進(jìn)行取樣，那么基線分布曲線可包含每20毫秒取樣的測(cè)量以減少存儲(chǔ)需要。在泵100的操作期間，可測(cè)量參數(shù)以形成參數(shù)的操作分布曲線。再次，操作分布曲線的數(shù)據(jù)可表示操作的所述參數(shù)的全部經(jīng)取樣數(shù)據(jù)或其某一子集(例如，每5毫秒或其它時(shí)間周期收集的數(shù)據(jù))。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，然后可使用基線分布曲線確定操作分布曲線在施配循環(huán)、特定分段、分段組合或者循環(huán)或分段的部分內(nèi)的擬合優(yōu)度測(cè)量。舉例來(lái)說(shuō)，可使用對(duì)應(yīng)基線分布曲線數(shù)據(jù)確定每5毫秒收集的操作分布曲線數(shù)據(jù)的R平方測(cè)量(即，確定系數(shù)，其是指示操作分布曲線數(shù)據(jù)與基線分布曲線數(shù)據(jù)的擬合程度的數(shù))。如果擬合優(yōu)度測(cè)量落于可接受范圍之外，那么可存在警報(bào)狀況。

在以上的實(shí)例中，在泵可以較高速率(例如，每毫秒)對(duì)參數(shù)進(jìn)行取樣時(shí)，使用每5毫秒存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)來(lái)測(cè)試擬合優(yōu)度?？墒褂靡圆煌俾?如每毫秒或每30毫秒)存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)，但在所存儲(chǔ)樣本之間的時(shí)間減少時(shí)，存儲(chǔ)器利用率提高，且在所述時(shí)間增加時(shí)，擬合優(yōu)度測(cè)量的準(zhǔn)確度可減小。因此，可選擇存儲(chǔ)用于擬合優(yōu)度測(cè)量的數(shù)據(jù)的頻率，以平衡數(shù)據(jù)存儲(chǔ)能力與擬合優(yōu)度測(cè)量的準(zhǔn)確度。此外，盡管在以上的實(shí)例中，將R平方測(cè)量用作擬合優(yōu)度測(cè)量，但可使用擬合的其它測(cè)量。

圖5A及5B描繪顯示一組實(shí)例性所監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)的圖形用戶接口500的一個(gè)實(shí)施例的圖解性表示。如在圖5A及5B中所圖解說(shuō)明，在欄510中顯示泵(例如，上文參考圖2A所描述的多級(jí)泵100)的操作循環(huán)的數(shù)據(jù)，且在欄520中顯示參考(基線)循環(huán)的數(shù)據(jù)。在欄530中提供測(cè)試值(即，針對(duì)警告或錯(cuò)誤極限值測(cè)試的值)。另外，在欄540及550中顯示用戶規(guī)定的警告及錯(cuò)誤極限值。在欄545中顯示所應(yīng)用的測(cè)試(大于、小于等)。在欄560中，在測(cè)試值未通過(guò)錯(cuò)誤測(cè)試時(shí)，用戶可選擇警報(bào)類型。在一些實(shí)施例中，可存在四種警報(bào)類型：信息警報(bào)、警告警報(bào)、錯(cuò)誤警報(bào)(其中系統(tǒng)將盡可能最好地完成當(dāng)前循環(huán)，但其將不允許開(kāi)始另一循環(huán))及臨界警報(bào)(其中系統(tǒng)將關(guān)閉當(dāng)前循環(huán)且停止泵)。

在一個(gè)實(shí)例中，警告可意謂采取警告動(dòng)作，而錯(cuò)誤可意謂采取錯(cuò)誤動(dòng)作。在一些實(shí)施例中，警告及錯(cuò)誤動(dòng)作可為用戶可配置的。通過(guò)實(shí)例而非限制方式，警告動(dòng)作可包含在不停止操作的情況下將已發(fā)生警告狀況的通知發(fā)送給用戶，而錯(cuò)誤動(dòng)作可包含發(fā)送通知且阻止進(jìn)一步操作(或阻止泵的下一個(gè)循環(huán))。以此方式，泵送系統(tǒng)可以適當(dāng)頻率且盡早向泵軌傳達(dá)其操作狀況，使得泵軌不必發(fā)送另一晶片進(jìn)行處理。

通過(guò)實(shí)例而非限制方式，在GUI 500中圖解說(shuō)明以下比較：

就緒-就緒壓力(磅/平方英寸(PSI))：系統(tǒng)設(shè)定，以在施配分段或空氣檢測(cè)測(cè)試開(kāi)始時(shí)對(duì)室(例如，施配室)加壓。此泵操作參數(shù)可設(shè)定于約3psi或更低(例如，約1psi)下。在一些情形中，將就緒壓力設(shè)定于約3psi下可防止在施配室處發(fā)生反沖。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將了解在一些應(yīng)用中，將就緒壓力設(shè)定于0psi或負(fù)壓下還可為有利的。

施配-壓力分布曲線比較(％)：所關(guān)注循環(huán)(例如，循環(huán)989)的施配分段的施配壓力分布曲線與基線施配壓力分布曲線(例如，循環(huán)985)比較的擬合優(yōu)度，此還稱為“施配確認(rèn)”。如上文所描述，在一個(gè)實(shí)施例中，此可使用R平方測(cè)量完成，所述R平方測(cè)量可通過(guò)將每5毫秒收集的操作分布曲線數(shù)據(jù)與對(duì)應(yīng)基線分布曲線數(shù)據(jù)進(jìn)行比較而確定。擬合優(yōu)度值充當(dāng)測(cè)試值且與擬合優(yōu)度警告或錯(cuò)誤閾值來(lái)進(jìn)行比較。在此實(shí)例中，如果所關(guān)注循環(huán)的擬合優(yōu)度小于85，那么可產(chǎn)生警告，如果擬合優(yōu)度小于80，那么可產(chǎn)生錯(cuò)誤。然而，由于選擇了警報(bào)類型的“警告”，因此即使在擬合優(yōu)度值低于錯(cuò)誤閾值的情況下仍產(chǎn)生警告。還可評(píng)估填充壓力、電動(dòng)機(jī)位置或其它參數(shù)的擬合優(yōu)度?？稍u(píng)估在整個(gè)循環(huán)、其它分段、分段組合或循環(huán)的其它部分內(nèi)參數(shù)的擬合優(yōu)度。警告或錯(cuò)誤可指示施配室中的空氣、出口閥時(shí)序的改變、泵的機(jī)械問(wèn)題或其它爭(zhēng)議。

施配–最大壓力(PSI)：施配室在施配分段期間經(jīng)歷的最大壓力。測(cè)試值可為所關(guān)注循環(huán)與參考循環(huán)的最大施配壓力之間的差或比較?？舍槍?duì)任一其它分段或分段組合中的最大、最小、平均等施配壓力或者任一分段或分段組合中的最大、最小、平均等填充(上游)壓力執(zhí)行類似測(cè)試。錯(cuò)誤或警告可指示出口閥時(shí)序的改變、出口管線中的堵塞、施配室中的空氣、出口閥的打開(kāi)故障、泵的機(jī)械問(wèn)題或其它爭(zhēng)議。

施配-平均壓力(PSI)：在施配循環(huán)期間的平均壓力。測(cè)試值可為所關(guān)注循環(huán)與參考循環(huán)的平均施配壓力之間的差或比較?？舍槍?duì)任一其它分段或分段組合中的最大、最小、平均等施配壓力或者任一分段或分段組合中的最大、最小、平均等填充壓力執(zhí)行類似測(cè)試。錯(cuò)誤或警告可指示工藝流體粘度的改變、出口閥的打開(kāi)故障或其它爭(zhēng)議。

施配-截止壓力(PSI)：當(dāng)流體流在噴嘴處截止時(shí)在施配室中測(cè)量的壓力。作為實(shí)例，施配結(jié)束之后250微秒(ms)，截止壓力是在接下來(lái)的100ms內(nèi)在施配室中測(cè)量的平均壓力。一般來(lái)說(shuō)，當(dāng)出口閥關(guān)閉時(shí)，截止壓力由于施配壓力以小量趨于平緩而是顯著的(例如，參見(jiàn)圖4)。截止壓力將取決于閥時(shí)序及電動(dòng)機(jī)時(shí)序而輕微變化。測(cè)試值可為所關(guān)注循環(huán)與參考循環(huán)的截止壓力之間的差。錯(cuò)誤或警告可指示出口閥關(guān)閉時(shí)序的改變、泵的機(jī)械問(wèn)題或其它爭(zhēng)議。

施配-平均電動(dòng)機(jī)速率(毫升/秒(mL/Sec))：施配電動(dòng)機(jī)在施配分段期間的平均電動(dòng)機(jī)速率。測(cè)試值可為所關(guān)注循環(huán)與參考循環(huán)在施配分段期間的平均電動(dòng)機(jī)速率之間的差或比較?？舍槍?duì)任一其它分段或分段組合中的平均、最大、最小或其它測(cè)量施配電動(dòng)機(jī)速率或者任一分段或分段組合中的進(jìn)給電動(dòng)機(jī)速率的平均、最大、最小或其它測(cè)量執(zhí)行類似測(cè)試。錯(cuò)誤或警告可指示配方改變或其它爭(zhēng)議。

施配-總電動(dòng)機(jī)容積(毫升(mL))：在施配分段期間移動(dòng)施配電動(dòng)機(jī)的量。測(cè)試值可為所關(guān)注循環(huán)與參考循環(huán)在施配分段期間移動(dòng)施配電動(dòng)機(jī)的量之間的差或比較?？舍槍?duì)任一其它分段或分段組合中的施配電動(dòng)機(jī)移動(dòng)或者任一分段或分段組合中的進(jìn)給電動(dòng)機(jī)的移動(dòng)執(zhí)行類似測(cè)試。錯(cuò)誤或警告可指示配方改變或其它爭(zhēng)議。

施配-空氣檢測(cè)容積(mL)：確定致使室(例如，施配側(cè)處的施配室)中的壓力的預(yù)定改變的電動(dòng)機(jī)的移動(dòng)量。如在上文提及的標(biāo)題為“用于檢測(cè)流體中的空氣的系統(tǒng)及方法(SYSTEM AND METHOD FOR DETECTING AIR IN A FLUID)”的WO 2013/028542 A2中所論述，此測(cè)試可用于確定在施配室或引向施配噴嘴的管線中是否存在空氣。測(cè)試值可為所關(guān)注循環(huán)與參考循環(huán)在空氣檢測(cè)測(cè)試期間所檢測(cè)的空氣量之間的差或比較。由于輸出閥可經(jīng)由管道位于距泵的某一距離處，因此空氣檢測(cè)測(cè)試可幫助識(shí)別施配管線中的氣泡或空氣、漏泄或其它爭(zhēng)議。如此，空氣檢測(cè)可為重要的，因?yàn)槠淇蓹z測(cè)施配確認(rèn)無(wú)法檢測(cè)的問(wèn)題(例如，空氣檢測(cè)可檢測(cè)空氣及/或R平方測(cè)量或擬合優(yōu)度測(cè)量無(wú)法檢測(cè)的問(wèn)題)。在一個(gè)實(shí)施例中，可借助安裝于活塞上的抗反沖機(jī)構(gòu)(其消除或減小施配開(kāi)始時(shí)的反沖)而進(jìn)一步提高此空氣檢測(cè)測(cè)試的質(zhì)量。適合抗反沖機(jī)構(gòu)可在上文提及的2014年5月28日提出申請(qǐng)的第62/004,117號(hào)美國(guó)臨時(shí)申請(qǐng)案以及標(biāo)題為“用于精確系統(tǒng)及應(yīng)用中的電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)組件的抗反沖機(jī)構(gòu)(ANTI-BACKLASH MECHANISM FOR MOTOR-DRIVEN COMPONENTS IN PRECISION SYSTEMS AND APPLICATIONS)”的2015年5月28日提出申請(qǐng)的第PCT/US2015/2XXXX號(hào)國(guó)際申請(qǐng)案中發(fā)現(xiàn)，所述兩個(gè)申請(qǐng)案均以全文引用的方式并入本文中。由于空氣檢測(cè)是由活塞移動(dòng)驅(qū)動(dòng)，因此由活塞移動(dòng)導(dǎo)致的反沖的消除/減小意味測(cè)試值將更準(zhǔn)確地反映所檢測(cè)的空氣量，而非可能受某一反沖影響。

填充-最小填充壓力(PSI)：進(jìn)給室在填充分段期間經(jīng)歷的最小壓力。測(cè)試值可為所關(guān)注循環(huán)與參考循環(huán)的填充分段的最小填充壓力之間的差或比較。所關(guān)注循環(huán)與參考循環(huán)之間的最小填充壓力的差值或差可指示管線的阻塞或其它問(wèn)題，其可(舉例來(lái)說(shuō))通過(guò)泵斷言抽取流體的更大真空(負(fù)壓)而被克服。差值或差還可指示泵的機(jī)械問(wèn)題、粘度改變或其它爭(zhēng)議?？舍槍?duì)任一其它分段或分段組合中的最大、最小、平均等填充壓力或者任一分段或分段組合中的最大、最小、平均等施配壓力執(zhí)行類似測(cè)試。

過(guò)濾-壓力分布曲線比較(％)：所關(guān)注循環(huán)(例如，循環(huán)989)的過(guò)濾分段的填充壓力分布曲線與基線填充壓力分布曲線(例如，循環(huán)985)比較的擬合優(yōu)度，其還稱為“過(guò)濾確認(rèn)”。擬合優(yōu)度值(例如，R平方測(cè)量)充當(dāng)測(cè)試值且與擬合優(yōu)度警告或錯(cuò)誤閾值來(lái)進(jìn)行比較。在此實(shí)例中，如果所關(guān)注循環(huán)的擬合優(yōu)度測(cè)量小于85％(或某一其它測(cè)量)，那么可產(chǎn)生警告，且如果擬合優(yōu)度測(cè)量小于80％，那么可產(chǎn)生錯(cuò)誤。然而，由于選擇了警報(bào)類型的“警告”，因此即使在擬合優(yōu)度值低于錯(cuò)誤閾值的情況下仍產(chǎn)生警告?？深愃频卦u(píng)估其它分段、分段組合或整個(gè)循環(huán)的填充壓力分布曲線。再次，此是可能的，原因是當(dāng)前可(例如，經(jīng)由上文參考圖2A及2B描述的壓力傳感器114)檢測(cè)進(jìn)給級(jí)處的流體壓力。錯(cuò)誤或警告可指示填充室中的空氣、施配室中的空氣、入口管線的堵塞、粘度改變、泵的機(jī)械爭(zhēng)議或其它爭(zhēng)議。

過(guò)濾-平均Δ壓力(PSI)：下游(施配)側(cè)與上游(填充)側(cè)之間的壓力差。如所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將了解，在于流體流動(dòng)穿過(guò)管時(shí)由對(duì)流動(dòng)的阻力導(dǎo)致的摩擦力作用于所述流體上的情況下，可發(fā)生壓力降(即，流體載送網(wǎng)絡(luò)的兩個(gè)點(diǎn)之間的壓力差)。因此，如果由填充側(cè)處的壓力傳感器(例如，上文參考圖2A及2B描述的壓力傳感器114)測(cè)量的壓力升高或降低到可接收范圍或極限值(例如，1psi)之外，那么其可指示存在錯(cuò)誤，例如空氣急流、鎖定在過(guò)濾器膜片內(nèi)側(cè)不被排除的空氣、由隨時(shí)間累積的顆粒引起的過(guò)濾器阻塞，或其可指示過(guò)濾器本身存在錯(cuò)誤或已發(fā)生一些其它事件(例如，改變過(guò)濾器、由于撕扯式打開(kāi)或逐漸降級(jí)引起的過(guò)濾器膜片出現(xiàn)裂縫等)。

過(guò)濾-最大上游壓力(PSI)：進(jìn)給室在過(guò)濾分段期間經(jīng)歷的最大壓力。測(cè)試值可為所關(guān)注循環(huán)與參考循環(huán)的過(guò)濾分段的最大填充壓力之間的差或比較?？舍槍?duì)任一其它分段或分段組合中的最大、最小、平均等上游壓力或者任一分段或分段組合中的最大、最小、平均等施配壓力執(zhí)行類似測(cè)試。錯(cuò)誤或警告可指示過(guò)濾器阻塞、粘度改變、泵的機(jī)械問(wèn)題或其它爭(zhēng)議。

填充-平均電動(dòng)機(jī)速率(毫升/秒(mL/sec))：用于填充控制的用戶可配置參數(shù)。舉例來(lái)說(shuō)，用戶可規(guī)定填充壓力(例如，由上文參考圖2A及2B描述的壓力傳感器114所測(cè)量)不應(yīng)降到低于極限值或閾值(即，最小填充壓力)。作為實(shí)例，如果最小填充壓力被設(shè)定為-4psi且填充壓力達(dá)到-4psi(例如，由經(jīng)受處理的工藝流體粘度的改變引起)，那么泵送系統(tǒng)可改變平均電動(dòng)機(jī)速率以將填充壓力維持于最小填充壓力處或高于最小填充壓力。此參數(shù)允許用戶規(guī)定泵送系統(tǒng)可改變電動(dòng)機(jī)速率的極限值。舉例來(lái)說(shuō)，假設(shè)泵送系統(tǒng)以1mL/sec起動(dòng)電動(dòng)機(jī)，填充壓力被設(shè)定為-2psi，且填充速率被設(shè)定為1mL/sec。為在填充分段期間將填充壓力維持在-2psi處或高于-2psi，泵送系統(tǒng)檢查平均電動(dòng)機(jī)速率極限值并將電動(dòng)機(jī)速率改變?yōu)?5mL/sec而不關(guān)閉操作。如此實(shí)例圖解說(shuō)明，允許泵送系統(tǒng)改變電動(dòng)機(jī)速率(受平均電動(dòng)機(jī)速率極限值約束)，且在仍運(yùn)行循環(huán)的同時(shí)發(fā)送出關(guān)于所述改變的警報(bào)。此允許泵送系統(tǒng)較早檢測(cè)任何填充爭(zhēng)議，相應(yīng)地控制填充壓力(例如，通過(guò)降低電動(dòng)機(jī)速率)，以及發(fā)送出適當(dāng)警報(bào)。響應(yīng)于此警報(bào)，操作者可確定停止運(yùn)行任何額外晶片或接受當(dāng)前操作分布曲線并以此運(yùn)行。如所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將了解，當(dāng)維持壓力時(shí)，粘度改變可由電動(dòng)機(jī)速率準(zhǔn)確地反映。因此，操作者可決定將當(dāng)前填充壓力分布曲線(例如，-2psi填充壓力)保存為新參考分布曲線且允許泵送系統(tǒng)維持.5mL/sec電動(dòng)機(jī)速率。

填充-總時(shí)間(sec)：填充分段的總時(shí)間。此與平均電動(dòng)機(jī)速率反向相關(guān)。如果電動(dòng)機(jī)速率減慢，那么需要完成填充分段的總時(shí)間將增加。類似于上文描述的平均電動(dòng)機(jī)速率參數(shù)，此參數(shù)可用于監(jiān)測(cè)填充壓力。在一些情形中，只要維持/控制填充壓力，泵送系統(tǒng)便可繼續(xù)操作。然而，泵送系統(tǒng)可將警報(bào)發(fā)送到泵軌，且可在總時(shí)間超過(guò)預(yù)定義閾值時(shí)停用操作。

循環(huán)-總時(shí)間(sec)：施配循環(huán)的總時(shí)間。填充及過(guò)濾分段的時(shí)間可變化，且因此總循環(huán)的時(shí)間可改變。此參數(shù)可幫助檢測(cè)爭(zhēng)議，否則將漏掉所述爭(zhēng)議。舉例來(lái)說(shuō)，循環(huán)中的每一個(gè)別分段可在可接受容限內(nèi)操作。如此，不產(chǎn)生警報(bào)。然而，總循環(huán)時(shí)間超過(guò)晶片處理時(shí)間。此指示一或多個(gè)分段可需要調(diào)整，使得可接受容限的裕量將更小。

還可執(zhí)行其它測(cè)試。通過(guò)實(shí)例而非限制方式，測(cè)試可包含來(lái)自下游流量傳感器的作為用于施配確認(rèn)的變量或數(shù)據(jù)輸入的輸出。各種測(cè)試可幫助在不良施配發(fā)生之前向客戶警示問(wèn)題(例如，在填充期間的阻塞、過(guò)濾器在過(guò)濾期間的阻塞、施配管線中的空氣)且在不良施配發(fā)生時(shí)防止額外不良施配。

部分570可顯示施配循環(huán)的總體結(jié)果，包含通過(guò)的測(cè)試次數(shù)以及指示循環(huán)是否被視為良好施配循環(huán)的顏色編碼或其它視覺(jué)指示符。在一些情形中，視覺(jué)指示符可與基于通過(guò)的測(cè)試次數(shù)、測(cè)試失敗數(shù)或其它準(zhǔn)則，施配循環(huán)是良好施配循環(huán)的確定度水平相關(guān)。舉例來(lái)說(shuō)，可在存在施配循環(huán)是良好的高確定度的情況下使用綠色，可在存在較低確定度的情況下使用黃色，且可在施配循環(huán)不良的情況下使用紅色。

本文中揭示的泵送系統(tǒng)進(jìn)行各種測(cè)試、執(zhí)行統(tǒng)計(jì)分析以及經(jīng)由用戶接口將實(shí)時(shí)結(jié)果(所監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù))提供給泵軌及/或操作者的能力是由本文中揭示的實(shí)施例提供的許多益處中的一者。特定來(lái)說(shuō)，定位于進(jìn)給級(jí)處的壓力傳感器可為泵送系統(tǒng)提供在先前泵送系統(tǒng)中不可得的額外壓力信息。填充側(cè)處的壓力信息可用于許多應(yīng)用中，包含上文描述的過(guò)濾確認(rèn)。填充側(cè)處的壓力信息的另一有益使用可為在負(fù)壓或減壓下注給過(guò)濾器。

如在標(biāo)題為“用于處理流體以減少微氣泡的方法及設(shè)備(METHOD AND APPARATUS FOR TREATING FLUIDS TO REDUCE MICROBUBBLES)”的以全文引用的方式并入本文中的WO 2006/116385 A1中所描述，過(guò)濾器可具有例如在過(guò)濾器膜片中的截留或集結(jié)微氣泡的孔隙及縫隙的表面特征。這些微氣泡(如工藝流體中的顆粒)可導(dǎo)致半導(dǎo)體晶片表面上的缺陷。因此，過(guò)濾器可首先經(jīng)歷減壓以從過(guò)濾器的集結(jié)性表面特征去除氣體(呈微氣泡形式)且然后與液體接觸。此是注給泵過(guò)濾器的一個(gè)實(shí)例。如在上文提及的標(biāo)題為“用于泵注給的方法及系統(tǒng)(METHOD AND SYSTEM FOR PUMP PRIMING)”的WO 2012/054706 A2中所論述，可根據(jù)各種方法注給泵過(guò)濾器。

根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，過(guò)濾器注給例程可包含負(fù)壓或減壓注給分段。在減壓注給分段中，可在過(guò)濾器上從上游側(cè)(例如，進(jìn)給級(jí))斷言負(fù)壓。不需每個(gè)循環(huán)均執(zhí)行此過(guò)濾器注給例程(雖然可以如此)。其可在過(guò)濾器首次安裝于泵系統(tǒng)中時(shí)執(zhí)行。

通過(guò)實(shí)例而非限制方式，參考圖2A，可將流體從進(jìn)給級(jí)105引入到過(guò)濾器120?？申P(guān)閉排除閥145、阻隔閥135及入口閥125。可打開(kāi)隔離閥130，使得進(jìn)給室155及過(guò)濾器120流體連通以形成包含過(guò)濾器120及進(jìn)給室155的被截留空間。可控制進(jìn)給級(jí)電動(dòng)機(jī)175以縮回活塞165的進(jìn)給隔膜160，直到達(dá)到(舉例來(lái)說(shuō))由壓力傳感器114檢測(cè)的所要負(fù)壓為止。

更具體來(lái)說(shuō)，可在一或多個(gè)時(shí)間段內(nèi)施加一或多個(gè)水平的上游負(fù)壓以用流體在減壓(還稱為“浸泡壓力”)下浸泡過(guò)濾器，此用于在過(guò)濾器中從流體脫氣或去除氣體或氣泡。在一些實(shí)施例中，減壓浸泡分段的時(shí)序(還稱為“浸泡時(shí)間”)及壓力可為用戶可選擇的。設(shè)定浸泡壓力及浸泡時(shí)間的能力是新的。在其它情形中，可施加一或多個(gè)水平的正壓以給浸泡過(guò)濾器加壓(例如，用相同注給例程或不同注給例程)。

在不具有填充側(cè)上的壓力傳感器的泵送系統(tǒng)中，在施配側(cè)上執(zhí)行加壓。然而，在施配側(cè)上施加加壓并非總是可行或合意的，特定來(lái)說(shuō)在施加負(fù)壓時(shí)，例如在-10psi下。一個(gè)原因在于施配管線可非常長(zhǎng)，且將巨大真空引進(jìn)此管線中可使流體受微氣泡污染。

本文中揭示的實(shí)施例包含填充側(cè)處的壓力傳感器。可關(guān)閉阻隔閥135，使得施配側(cè)上的流體不暴露于浸泡壓力?？蓪⒔輭毫?例如，-5psi)施加于過(guò)濾器上，此用于在過(guò)濾器中使流體脫氣而不污染流體。低壓的益處在于其允許微氣泡形成較易上浮的較大氣泡。當(dāng)壓力在下一分段中恢復(fù)變高時(shí)，這些較大氣泡往往重回到流體中，且因此可較容易排除出。

如上文所論述，施配質(zhì)量可影響施加于晶片表面上的膜的厚度及均勻度。本文中揭示的泵送系統(tǒng)的精確控制及緩和處置特性可有助于確保良好施配。在從填充側(cè)施加的減壓下注給過(guò)濾器可通過(guò)減小或消除可能即使對(duì)于良好施配仍難以檢測(cè)的缺陷來(lái)進(jìn)一步提高所得的產(chǎn)品的質(zhì)量。在先前系統(tǒng)中可難以檢測(cè)缺陷，因?yàn)閺倪^(guò)濾分段引入的顆?？稍谝欢螘r(shí)間內(nèi)不被注意且最終在晶片缺陷率下展現(xiàn)出來(lái)。在本文中揭示的實(shí)施例中，來(lái)自填充側(cè)上的壓力傳感器的信息可用以推斷或以其它方式確定過(guò)濾是否為“良好過(guò)濾”。此信息允許對(duì)任一問(wèn)題(例如，填充電動(dòng)機(jī)已失速)的較早檢測(cè)，最小化在第一級(jí)的過(guò)濾循環(huán)中形成缺陷的幾率(且因此更佳過(guò)濾)，以及增加第二級(jí)中的施配質(zhì)量(且因此更佳施配)。

此外，通過(guò)控制電動(dòng)機(jī)以在浸泡及注給過(guò)濾器中提供減壓或負(fù)壓，實(shí)施例可有利地消除對(duì)外部真空源、伴隨的流動(dòng)路徑及相關(guān)聯(lián)閥的需要。如上文所描述，可由耦合到與過(guò)濾器流體連通的進(jìn)給室的壓力傳感器檢測(cè)所述負(fù)壓或減壓。所檢測(cè)壓力信息可提供給與泵送系統(tǒng)及/泵軌相關(guān)聯(lián)的控制邏輯，所述控制邏輯又可解譯壓力信息并使用壓力信息實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)減壓注給分段。

可注意到真空浸泡分段可為具有一或多個(gè)其它分段的較大注給路線的一部分。舉例來(lái)說(shuō)，“浸泡”循環(huán)可具有減壓浸泡分段及排除分段、清除到排除、過(guò)濾、清除到入口、清除、向前壓力、向前沖洗、向后壓力、向后沖洗或其它分段中的一或多者。浸泡循環(huán)的一個(gè)實(shí)施例包含其中隔離閥130及排除閥145打開(kāi)的排除分段，后續(xù)接著其中排除閥145關(guān)閉且進(jìn)給泵斷言負(fù)壓的減壓浸泡分段。浸泡循環(huán)可與其它循環(huán)組合以形成注給例程。盡管主要地在注給過(guò)濾器的上下文中論述，但減壓浸泡分段還可實(shí)施為施配循環(huán)的部分。

圖6是圖解說(shuō)明用戶配置浸泡循環(huán)的一個(gè)實(shí)施例以包含其中在負(fù)壓或減壓(例如，-10psi)下浸泡過(guò)濾器的浸泡分段的圖形用戶接口600。在一些情形中，可規(guī)定正壓，使得浸泡分段是壓力浸泡分段。

如將了解，本文中描述的一些例程、方法、步驟、操作或其部分可經(jīng)由控制邏輯(包含存儲(chǔ)于計(jì)算機(jī)可讀媒體、硬件、固件或其組合上的計(jì)算機(jī)可執(zhí)行指令)實(shí)施。控制邏輯可適于引導(dǎo)信息處理裝置執(zhí)行在各種實(shí)施例中揭示的一組步驟。一些實(shí)施例可通過(guò)一些實(shí)施例可通過(guò)使用軟件編程或者一或多個(gè)數(shù)字計(jì)算機(jī)中的代碼，通過(guò)使用專用集成電路、可編程邏輯裝置、現(xiàn)場(chǎng)可編程門陣列、光學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、量子或納米工程系統(tǒng)、組件及機(jī)構(gòu)而實(shí)施?；诒疚闹兴峁┑慕沂緝?nèi)容及教示，所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將了解用以實(shí)施本發(fā)明的其它方式及/或方法。

任一特定步驟、操作、方法、例程、操作或其部分可在單個(gè)計(jì)算機(jī)處理裝置或多個(gè)計(jì)算機(jī)處理裝置、單個(gè)計(jì)算機(jī)處理器或多個(gè)計(jì)算機(jī)處理器上執(zhí)行。數(shù)據(jù)可存儲(chǔ)于單個(gè)存儲(chǔ)媒體中或分布于多個(gè)存儲(chǔ)媒體中，且可駐存于單個(gè)數(shù)據(jù)庫(kù)或多個(gè)數(shù)據(jù)庫(kù)(或其它數(shù)據(jù)存儲(chǔ)裝置)中。本文中描述的操作序列可被打斷、暫?；蛞云渌绞绞芰硪还に?例如，操作系統(tǒng)、核心等)控制。例程可在操作系統(tǒng)環(huán)境中操作或作為獨(dú)立例程。

例程、方法、步驟、操作或其部分的實(shí)施例可在可以通信方式耦合到網(wǎng)絡(luò)(舉例來(lái)說(shuō)，因特網(wǎng)、內(nèi)聯(lián)網(wǎng)、因特網(wǎng)、WAN、LAN、SAN等)的一或多個(gè)計(jì)算機(jī)、另一計(jì)算機(jī)或獨(dú)立計(jì)算機(jī)中實(shí)施。如所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員已知，計(jì)算機(jī)可包含CPU或處理器、存儲(chǔ)器(例如，初級(jí)或次級(jí)存儲(chǔ)器，例如RAM、ROM、HD或用于永久或暫時(shí)存儲(chǔ)指令及數(shù)據(jù)的其它計(jì)算機(jī)可讀媒體)以及一或多個(gè)I/O裝置。I/O裝置可包含鍵盤(pán)、監(jiān)視器、打印機(jī)、電子指向裝置(舉例來(lái)說(shuō)，鼠標(biāo)、軌跡球、觸控筆等)、觸摸屏等等。在實(shí)施例中，計(jì)算機(jī)已在相同硬件上或經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)存取至少一個(gè)數(shù)據(jù)庫(kù)。

如本文中所使用，術(shù)語(yǔ)“包括(comprises、comprising)”、“包含(includes、including)”、“具有(has、having)”或其任一其它變化形式均打算涵蓋非排他性包含。舉例來(lái)說(shuō)，包括元件列表的工藝、物件或設(shè)備不必僅限于那些元件，而是可包含其它未明確列出或此工藝、物件或設(shè)備所固有的其它元件。

此外，除非明確陳述為對(duì)立，否則“或”是指包含性或，而非排他性或。即，除非另有說(shuō)明，否則如本文中所使用的術(shù)語(yǔ)“或”通常打算意指“及/或”。舉例來(lái)說(shuō)，條件A或B可通過(guò)以下各項(xiàng)中的任一者來(lái)滿足：A是真(或存在)且B是假(或不存在)、A是假(或不存在)且B是真(或存在)，以及A與B兩者均是真(或存在)。

除非上下文中另有清楚說(shuō)明，否則如本文中所使用，術(shù)語(yǔ)前面冠以“一(a或an)”(以及在前置基礎(chǔ)是“一(a或an)”的情況下的“所述(the)”)包含此術(shù)語(yǔ)的單數(shù)及復(fù)數(shù)兩者。此外，除非上下文中另有清楚說(shuō)明，否則如在本文的描述中所使用，“在…中”的意義包含“在…中”及“在…上”。

另外，本文中所給出的任何實(shí)例或圖解說(shuō)明無(wú)論如何不應(yīng)被視為對(duì)其借此得以利用的任何或若干術(shù)語(yǔ)的局限、限制或明確定義。替代地，這些實(shí)例或圖解說(shuō)明應(yīng)被視為關(guān)于一個(gè)特定實(shí)施例進(jìn)行描述且僅視為說(shuō)明性的。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將了解，借助其這些實(shí)例或圖解說(shuō)明得以利用的任何術(shù)語(yǔ)或若干術(shù)語(yǔ)將囊括可或不可隨其或在說(shuō)明書(shū)中其它地方給出的其它實(shí)施例，且所有此些實(shí)施例打算包含于那一術(shù)語(yǔ)或那些術(shù)語(yǔ)的范圍內(nèi)。指定此些非限制性實(shí)例及圖解說(shuō)明的語(yǔ)言包含但不限制于：“舉例來(lái)說(shuō)(for example)”、“例如(for instance)”、“例如(e.g.)”、“在一個(gè)實(shí)施例中”。

在整個(gè)說(shuō)明書(shū)中參考“一個(gè)實(shí)施例”、“一實(shí)施例”或“特定實(shí)施例”或類似術(shù)語(yǔ)意指結(jié)合實(shí)施例描述的特定特征、結(jié)構(gòu)或特性包含于至少一個(gè)實(shí)施例中且可不必在所有實(shí)施例中均存在。因此，短語(yǔ)“在一個(gè)實(shí)施例中”、“在一實(shí)施例中”或“在特定實(shí)施例中”或類似術(shù)語(yǔ)在整個(gè)說(shuō)明書(shū)中的各種地方的相應(yīng)出現(xiàn)不必是指相同實(shí)施例。此外，任一特定實(shí)施例的特定特征、結(jié)構(gòu)或特性可以任一適合方式與一或多個(gè)其它實(shí)施例組合。應(yīng)理解根據(jù)本文中的教示的本文中描述及圖解說(shuō)明的實(shí)施例的其它變化形式及修改是可能的且應(yīng)被視為本發(fā)明的精神及范圍的部分。

雖然已關(guān)于其特定實(shí)施例描述本發(fā)明，但這些實(shí)施例僅是對(duì)本發(fā)明的說(shuō)明而非限制。本文中對(duì)本發(fā)明的所圖解說(shuō)明實(shí)施例的描述不打算是窮盡性的或?qū)⒈景l(fā)明限制到本文中揭示的精確形式(且特定來(lái)說(shuō)，包含任一特定實(shí)施例、特征或功能不打算將本發(fā)明的范圍限制到此實(shí)施例、特征或功能)。而是，所述描述打算描述說(shuō)明性實(shí)施例、特征及功能，以便為所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員提供理解本發(fā)明的上下文而非將本發(fā)明限制到任一特定描述的實(shí)施例、特征或功能。如相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)及了解，盡管本文僅出于說(shuō)明性目的描述本發(fā)明的特定實(shí)施例及實(shí)例，但落在本發(fā)明的精神及范圍內(nèi)的各種等效修改是可能的。如所指示，可根據(jù)前文對(duì)本發(fā)明的所圖解說(shuō)明實(shí)施例的描述做出對(duì)本發(fā)明的這些修改，且這些修改包含于本發(fā)明的精神及范圍內(nèi)。因此，盡管本文中已參考其特定實(shí)施例描述了本發(fā)明，但在前述揭示內(nèi)容中預(yù)期修改范圍、各種改變及替代，且將了解在一些實(shí)例中，在不背離所述的本發(fā)明的精神及范圍的情況下將采用本發(fā)明的實(shí)施例的一些特征而無(wú)需其它特征的對(duì)應(yīng)使用。因此，可做出許多修改以使特定情況或材料適應(yīng)本發(fā)明的基本范圍及精神。

在本文的描述中，提供眾多特定細(xì)節(jié)，例如組件及/或方法的實(shí)例，以提供對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例的透徹理解。然而，相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)到，實(shí)施例可能夠在無(wú)特定細(xì)節(jié)中的一或多者的情況下或借助其它設(shè)備、系統(tǒng)、組合件、方法、組件、材料、部件等等而實(shí)踐。在其它實(shí)例中，不具體展示或詳細(xì)描述熟知結(jié)構(gòu)、組件、系統(tǒng)、材料或操作，以避免使本發(fā)明的實(shí)施例的方面模糊。盡管可通過(guò)使用特定實(shí)施例來(lái)圖解說(shuō)明本發(fā)明，但此不且不會(huì)將本發(fā)明限制到任一特定實(shí)施例，且所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)到，額外實(shí)施例是易于理解的且是本發(fā)明的一部分。

雖然可以特定次序提供步驟、操作或計(jì)算，但可在不同實(shí)施例中改變此次序。在一些實(shí)施例中，對(duì)于在此說(shuō)明書(shū)中展示為順序的多個(gè)步驟，此些步驟的某一組合在替代實(shí)施例中可同時(shí)執(zhí)行。本文中描述的操作的順序可被打斷、暫?；蛞云渌绞绞芰硪还に嚳刂啤?/p>

還將了解，圖式/各圖中所描繪的元件中的一或多者還可以較分離或整合方式實(shí)施，或如根據(jù)特定應(yīng)用有用的所述元件在一些情形下甚至被去除或呈現(xiàn)為不可操作的。另外，圖式/各圖中的任何信號(hào)箭頭應(yīng)被視為示范性而非限制性，除非另外具體指出。本發(fā)明的范圍應(yīng)由所附權(quán)利要求書(shū)及其法律等效內(nèi)容來(lái)確定。