本發(fā)明屬于流體機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種無(wú)閥壓電泵，具體的說(shuō)，涉及一種具有過(guò)濾功能的無(wú)閥壓電泵。

背景技術(shù)：

在化學(xué)分析與檢測(cè)、生物工程、集成電路芯片的散熱與冷卻、微型零部件以及微型化生產(chǎn)系統(tǒng)(微型工廠)等領(lǐng)域，急需高性能、高可靠性的微小流量的液體輸送裝置，這使微小流量流體泵的開(kāi)發(fā)研究工作具有重要的實(shí)際意義。

壓電泵作為微型泵領(lǐng)域的一種新型流體驅(qū)動(dòng)器，是壓電驅(qū)動(dòng)技術(shù)和流體泵技術(shù)相結(jié)合的產(chǎn)物。壓電驅(qū)動(dòng)技術(shù)是一門(mén)利用逆壓電效應(yīng)來(lái)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)或流體運(yùn)動(dòng)的技術(shù)。

近年來(lái)隨著微機(jī)械加工技術(shù)、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的飛速發(fā)展，微流量系統(tǒng)也得到了長(zhǎng)足發(fā)展。壓電泵作為微機(jī)械流體系統(tǒng)的一個(gè)重要分支，因其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、重量輕、耗能低、無(wú)噪聲、無(wú)電磁干擾等特點(diǎn)，作為微小型流體輸送裝置已越來(lái)越多受到眾多的研究者的青睞，在精密儀器、生物化學(xué)、醫(yī)療器械、航空航天、生物基因工程、化學(xué)燃料供給、電子器件水冷技術(shù)方案及微機(jī)電系統(tǒng)等領(lǐng)域里得到成功的應(yīng)用。

目前，有閥壓電泵和無(wú)閥壓電泵是備受研究者們關(guān)注的兩種壓電泵。

有閥壓電泵泵腔內(nèi)有運(yùn)動(dòng)著的閥體，因而會(huì)引起泵閥跟隨性差、閥片磨損、污染等問(wèn)題。無(wú)閥壓電泵同有閥壓電泵的最大區(qū)別就是泵腔內(nèi)沒(méi)有運(yùn)動(dòng)的實(shí)體閥，泵內(nèi)流體的吸入及排出則是利用了管道或者泵腔等的非對(duì)稱結(jié)構(gòu)形成的“無(wú)移動(dòng)部件閥”，迫使流體沿同一流道流入、流出泵腔時(shí)所受的流動(dòng)阻力不等，在壓電振子的一個(gè)振動(dòng)周期中，通過(guò)同一個(gè)流道流入和流出的流體體積必然不相等，這就形成了宏觀上泵的單向流動(dòng)，達(dá)到泵送流體的功能。

無(wú)閥壓電泵由于其無(wú)閥的特性，使得泵體內(nèi)除壓電驅(qū)動(dòng)器外再無(wú)任何的運(yùn)動(dòng)部件，這樣就可使泵的結(jié)構(gòu)尺寸在理論上做得很??；無(wú)閥壓電泵在工作時(shí)不產(chǎn)生電磁場(chǎng)及自身污染(無(wú)潤(rùn)滑、無(wú)磨損)；無(wú)閥壓電泵因其控制方便，更易于集成及微小型化，因而具有廣闊的應(yīng)用前景。

根據(jù)驅(qū)動(dòng)方式的不同，無(wú)閥壓電泵可分為管道閥類(lèi)泵(錐形流管、Y形流管、V形流管、橢圓形組合管等)，腔底閥類(lèi)(如波紋腔底、錐形腔底等)，阻流體閥類(lèi)(阻流體無(wú)閥壓電泵復(fù)合阻流體無(wú)閥壓電泵)等，都能很好地實(shí)現(xiàn)泵送流體的功能。

但對(duì)某些工況不僅僅是需要輸送流體，而且要求輸送流體的同時(shí)完成對(duì)流體的過(guò)濾作用，如：活體組織輸送中大分子顆粒的過(guò)濾、生物流體過(guò)濾，化學(xué)試劑的過(guò)濾，醫(yī)用噴霧藥液過(guò)濾，農(nóng)藥噴霧及滴灌施肥系統(tǒng)中雜質(zhì)、微粒的過(guò)濾等方面。而當(dāng)前的無(wú)閥壓電泵大都只是用來(lái)單一地泵送流體而沒(méi)有過(guò)濾流體的作用。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種在泵送流體的過(guò)程中，可完成對(duì)流體過(guò)濾的具有過(guò)濾功能的無(wú)閥壓電泵。

本發(fā)明的技術(shù)方案為：具有過(guò)濾功能的無(wú)閥壓電泵，包括泵體、泵蓋及壓電振子；所述泵體為槽狀，所述泵蓋形狀與槽狀泵體的頂部開(kāi)口形狀匹配，安裝于泵體頂部開(kāi)口處，與泵體形成一泵腔結(jié)構(gòu)，槽狀泵體側(cè)壁上設(shè)置有流體入口和流體出口；流體入口和流體出口之間的泵腔內(nèi)，設(shè)置有過(guò)濾環(huán)，包括過(guò)濾環(huán)本體；泵腔內(nèi)設(shè)置有搭接臺(tái)，過(guò)濾環(huán)本體置于搭接臺(tái)上，且與泵體內(nèi)壁圍成一過(guò)濾腔；過(guò)濾環(huán)本體上設(shè)置有過(guò)濾孔；過(guò)濾環(huán)本體與搭接臺(tái)間為可拆卸的結(jié)構(gòu)；

過(guò)濾環(huán)包括一段環(huán)狀側(cè)壁，側(cè)壁的上端面和下端面向過(guò)濾環(huán)外側(cè)延伸；過(guò)濾環(huán)與流體出口的相接處包括一段由側(cè)壁到流體出口的實(shí)體延伸部；流體入口位于其上端面和下端面之間，過(guò)濾環(huán)與泵體內(nèi)壁環(huán)繞形成過(guò)濾腔；過(guò)濾環(huán)上設(shè)置有與流體出口相通的流出通孔。

優(yōu)選的是：過(guò)濾孔為錐形孔，且其窄口一端朝向泵腔，其寬口一端朝向過(guò)濾腔。即流體流入泵腔時(shí)，經(jīng)濾孔的寬口端、窄口端后，流入泵腔；過(guò)濾物由過(guò)濾孔的窄口端向?qū)捒诙酥饾u堆積。

優(yōu)選的是：過(guò)濾孔設(shè)置在過(guò)濾環(huán)的下端面，過(guò)濾環(huán)側(cè)壁及上端面均為實(shí)體。這種結(jié)構(gòu)，只有過(guò)濾環(huán)下端面可形成過(guò)濾環(huán)與泵腔之間的通道，流體只能經(jīng)過(guò)濾環(huán)下端面流出，在一個(gè)壓電振子工作周期，流體回流過(guò)程中，避免過(guò)多流體經(jīng)過(guò)濾環(huán)側(cè)壁回流至過(guò)濾腔。

優(yōu)選的是：流出通孔包括與過(guò)濾環(huán)底部泵腔相通的通孔I及流體出口相通的通孔II，通孔I與通孔II連通。過(guò)濾后的流體會(huì)先進(jìn)入過(guò)濾環(huán)與泵體底面的泵腔內(nèi)，通孔I與通孔II為過(guò)濾后的流體流出泵腔，以及流體回流泵腔提供了流出通道。

優(yōu)選的是：過(guò)濾環(huán)與流體出口的相接處包括一段由側(cè)壁到流體出口的實(shí)體延伸部，流出通孔位于實(shí)體延伸部處。這種結(jié)構(gòu)將流體通孔的位置與過(guò)濾環(huán)本體所形成的過(guò)濾腔隔離開(kāi)，避免過(guò)濾流出的流體與流入泵腔未過(guò)濾的流體混合。

優(yōu)選的是：通孔II還直接與泵腔相通。通孔I與通孔II連通可實(shí)現(xiàn)通孔II與泵腔的間接連通，而通孔II直接與泵腔連通，為流體的流出及回流提供了另一條通道。具體的說(shuō)，通孔II經(jīng)通孔I與過(guò)濾環(huán)底部的泵腔相通，通孔II直接與過(guò)濾環(huán)上部的泵腔相通。泵腔內(nèi)流體可經(jīng)通孔I與通孔II的通道流出泵腔，也可經(jīng)通孔II的通道直接流出泵腔，增加了流體流出的通道，保證泵送流體的穩(wěn)定性。

優(yōu)選的是：壓電振子安裝于過(guò)濾環(huán)本體的上端面上，與過(guò)濾環(huán)間為非固定安裝結(jié)構(gòu)，且壓電振子與泵蓋之間安裝有密封圈。

優(yōu)選的是：所述流體入口和流體出口均為錐形口，且沿流體流入泵腔的方向，流體入口呈擴(kuò)張的錐形；沿流體流出泵腔的方向，流體出口也呈擴(kuò)張的錐形；且錐形口的錐角小于23°。無(wú)閥壓電泵為錐形管無(wú)閥壓電泵。

優(yōu)選的是：泵體底面上設(shè)置有阻流體，阻流體包括朝向流體入口的引流面和朝向流體出口的阻流面。無(wú)閥壓電泵為阻流體無(wú)閥壓電泵。

優(yōu)選的是：所述泵體底面設(shè)置有泵體通孔，泵體通孔處安裝有可拆卸的塞堵。拆下塞堵后，可通過(guò)泵體通孔向泵腔內(nèi)通入氣體或液體，清洗過(guò)濾環(huán)。

本發(fā)明的有益效果為：

(1)本發(fā)明提供了一種可在泵送流體過(guò)程中完成對(duì)流體過(guò)濾的具有過(guò)濾功能的無(wú)閥壓電泵，使無(wú)閥壓電泵可用于生物流體過(guò)濾、化學(xué)試劑過(guò)濾等多領(lǐng)域，擴(kuò)大了無(wú)閥壓電泵的應(yīng)用領(lǐng)域。

(2)過(guò)濾環(huán)的應(yīng)用不但增加了壓電泵的過(guò)濾作用，同時(shí)，由于其為非連通環(huán)，與流體入口側(cè)為非連通結(jié)構(gòu)，與流體出口側(cè)為連通結(jié)構(gòu)，壓電振子向上隆起中使吸入流體過(guò)程中，從出口端回流的流體流入泵腔而不是流入過(guò)濾腔，輔助提高流體泵送及過(guò)濾效果。

(3)過(guò)濾孔為激光加工而成微孔，加工工藝簡(jiǎn)單，加工難度低，成本低。

(4)過(guò)濾環(huán)與泵體之間為非固定連接結(jié)構(gòu)，可拆卸清洗或拆卸更換過(guò)濾環(huán)，保證過(guò)濾效果；同時(shí)經(jīng)泵體通孔通入高壓水或高壓氣體，用于輔助清理過(guò)濾環(huán)；錐形過(guò)濾孔結(jié)構(gòu)，相比直孔，在進(jìn)行反向沖洗時(shí)，雜質(zhì)堆積物更利于從過(guò)濾孔中清理出。

(5)流出通孔可設(shè)計(jì)為單流出孔或雙流出孔，采用雙流出孔結(jié)構(gòu)可使單位時(shí)間內(nèi)流體的排出量顯著增加，提高了傳統(tǒng)無(wú)閥壓電泵的泵送效果。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本發(fā)明俯視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為過(guò)濾環(huán)結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為過(guò)濾環(huán)俯視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5為過(guò)濾環(huán)結(jié)構(gòu)示意圖。

圖6為過(guò)濾孔結(jié)構(gòu)示意圖(圖3中I部放大圖)。

圖7為錐形流管無(wú)閥壓電泵泵體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖8為阻流體無(wú)閥壓電泵泵體結(jié)構(gòu)示意圖。

其中：1-泵體，101-流體入口，102-流體出口，104-搭接臺(tái)，2-泵蓋，3-壓電振子，4-過(guò)濾環(huán)，401-側(cè)壁，402-上端面，403-下端面，404-實(shí)體延伸部，5-密封圈，6-流出通孔，601-通孔I，602-通孔II，7-泵體通孔，8-膠塞，9-阻流體

具體實(shí)施方式

以下將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式進(jìn)行進(jìn)一步的描述。

具有過(guò)濾功能的無(wú)閥壓電泵，包括泵體1、泵蓋2及壓電振子3。

如圖1和圖2所示，泵體1為槽狀，本實(shí)施例中泵體1截面為圓形，包括一段圓柱體狀的槽體，泵體1上方具有圓形頂部開(kāi)口。泵蓋2形狀與槽狀泵體1的頂部開(kāi)口形狀匹配，安裝于泵體1頂部開(kāi)口處，泵蓋2覆蓋住泵體1槽口，并與泵體1形成一泵腔結(jié)構(gòu)。槽狀泵體1側(cè)壁上設(shè)置有流體入口101和流體出口102；無(wú)閥壓電泵工作時(shí)，流體經(jīng)流體入口101流入并經(jīng)流體出口102流出，為達(dá)到更好的泵送流體的效果，流體入口101和流體出口102的位置進(jìn)一步位于同一軸線上。

為了在泵送流體的過(guò)程中實(shí)現(xiàn)過(guò)濾的作用，在流體入口101和流體出口102之間的泵腔內(nèi)，設(shè)置有過(guò)濾環(huán)4，包括過(guò)濾環(huán)本體；環(huán)繞泵腔內(nèi)周設(shè)置有搭接臺(tái)104，過(guò)濾環(huán)本體置于搭接臺(tái)104上，與泵體1之間為非固定連接結(jié)構(gòu)，可拆卸更換；過(guò)濾環(huán)本體上設(shè)置有過(guò)濾孔。流體流經(jīng)過(guò)濾孔時(shí)，雜質(zhì)被過(guò)濾。

作為一種實(shí)施方式，過(guò)濾環(huán)4的形狀可采用一種可覆蓋住搭接臺(tái)104一周端面的結(jié)構(gòu)，過(guò)濾環(huán)4位于流體入口101之下，流體出口102之上，則壓電振子3收張過(guò)程中，流體經(jīng)流體入口流入后，經(jīng)過(guò)濾環(huán)4過(guò)濾后再經(jīng)流體出口102流出。

但作為另一種更優(yōu)的實(shí)施方式，本發(fā)明設(shè)計(jì)了一種新型過(guò)濾環(huán)4結(jié)構(gòu)。

如圖3至圖5所示，過(guò)濾環(huán)4包括一段環(huán)狀側(cè)壁401，側(cè)壁401的上端面402和下端面403向過(guò)濾環(huán)4外側(cè)延伸；流體入口101和流體出口102位于過(guò)濾環(huán)4上端面401和下端面402之間，過(guò)濾環(huán)4上設(shè)置有與流體出口102相通的流出通孔6。過(guò)濾環(huán)4的這種結(jié)構(gòu)使其本體與泵體1內(nèi)壁配合形成一過(guò)濾腔，流體流入后，首先進(jìn)入的為該過(guò)濾腔。過(guò)濾孔至少設(shè)置在過(guò)濾環(huán)本體的下端面。

作為兩種不同的實(shí)施方式，一種為：可以在過(guò)濾環(huán)4的上端面402、側(cè)壁401及下端面403均設(shè)置過(guò)濾孔，這種結(jié)構(gòu)的優(yōu)勢(shì)在于，當(dāng)流入過(guò)濾腔的流體過(guò)多時(shí)，可增加過(guò)濾效率；但也會(huì)帶來(lái)問(wèn)題，當(dāng)流體回流至泵腔時(shí)，過(guò)多過(guò)濾后的流體會(huì)經(jīng)過(guò)濾孔重新流入過(guò)濾腔。而另一種實(shí)施方式為：只在過(guò)濾環(huán)4的下端面403設(shè)置過(guò)濾孔，在完成過(guò)濾的同時(shí)，

流出通孔包括位于過(guò)濾環(huán)本體底面的與泵腔相通的通孔I601及位于過(guò)濾環(huán)本體側(cè)壁與流體出口相通的通孔II602，通孔I601與通孔II602連通。

更進(jìn)一步的，通孔II602還與泵腔相通。

壓電振子3安裝于過(guò)濾環(huán)4本體的上端面上，與過(guò)濾環(huán)4間為非固定、可拆卸的安裝結(jié)構(gòu)，為增強(qiáng)無(wú)閥壓電泵的密封性，在壓電振子3與泵蓋之間安裝有密封圈5。

過(guò)濾環(huán)4不僅有過(guò)濾的作用，在壓電振子3收縮過(guò)程中，流體經(jīng)流體出口102回流過(guò)程中，流體直接流流入泵腔內(nèi)，少部分流體經(jīng)過(guò)濾孔回流，回流流體不直接沖擊流體入口101流入的流體，增強(qiáng)壓電泵過(guò)濾效率。

如圖6所示，過(guò)濾孔為錐形孔，且其窄口一端朝向泵腔。具體如圖6所示，過(guò)濾孔具有縱向剖面所呈現(xiàn)的錐角為θ。這種結(jié)構(gòu)保證流體經(jīng)流體入口101流入泵腔時(shí)，首先經(jīng)過(guò)的為過(guò)濾孔的寬口端。

前文已述，根據(jù)驅(qū)動(dòng)方式的不同，無(wú)閥壓電泵可分為管道閥類(lèi)泵(錐形流管、Y形流管、V形流管、橢圓形組合管等)，腔底閥類(lèi)(如波紋腔底、錐形腔底等)，阻流體閥類(lèi)等，都能很好地實(shí)現(xiàn)泵送流體的功能。具有過(guò)濾功能的無(wú)閥壓電泵適用于以上各種形式的無(wú)閥壓電泵，只需要對(duì)泵腔內(nèi)結(jié)構(gòu)做相應(yīng)改變即可。

因此，為實(shí)現(xiàn)更佳的無(wú)閥壓電泵的功能，還需對(duì)泵體結(jié)構(gòu)進(jìn)行進(jìn)一步的設(shè)計(jì)。

如圖7所示，作為一種實(shí)施方式，設(shè)計(jì)了一種錐形管無(wú)閥壓電泵。流體入口101和流體出口102均為錐形口，且沿流體流入泵腔的方向，流體入口101呈擴(kuò)張的錐形；沿流體流出泵腔的方向，流體出口102也呈擴(kuò)張的錐形；且錐形口的錐角小于23°

根據(jù)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，錐形口無(wú)閥壓電泵的流體入口101和流體出口102的確定與錐形口的錐角范圍有關(guān)。其中錐形口可分為錐形擴(kuò)張口或錐形收縮口，錐形擴(kuò)張口和錐形收縮口的定義是按錐形口錐角的不同來(lái)定義的，錐角不同，流體流入和流出的流向也不同，當(dāng)錐角在30°～120°之間的范圍時(shí)，流體沿收縮的錐形口流入量大于沿?cái)U(kuò)張的錐形口的流入量，即宏觀上，流體沿收縮的錐形口流入，錐形口定義為錐形收縮口；當(dāng)錐角小于30°時(shí)，流體沿?cái)U(kuò)張的錐形口的流入量大于沿收縮的錐形口的流入量，即宏觀上，流體沿?cái)U(kuò)張的錐形口流入，錐形口定義為錐形擴(kuò)張口。相對(duì)于本申請(qǐng)，采用錐形擴(kuò)張口，當(dāng)錐角范圍為均小于23°時(shí)，為由流體入口101流向流體出口102，且可獲得更好的泵送流體效果。

無(wú)閥壓電泵工作時(shí)，為壓電振子5通電，其將會(huì)做向上隆起和向下凹陷的往復(fù)變形運(yùn)動(dòng)。當(dāng)壓電振子5向上隆起時(shí)，泵腔容積增大，腔內(nèi)壓強(qiáng)減小，產(chǎn)生負(fù)壓，在外界大氣壓作用下流體經(jīng)流體入口101和流體出口102共同流入泵腔內(nèi)，由于流體入口101對(duì)流體的流動(dòng)阻力小于流體出口102對(duì)流體的流動(dòng)阻力，因此，從流體入口101流入的流體多于從流體出口102流入的流體；當(dāng)壓電振子5向下凹陷時(shí)，泵腔容積減小，腔內(nèi)壓強(qiáng)增大，流體經(jīng)流體入口101和流體出口102共同流出泵腔內(nèi)，由于流體入口101對(duì)流體的流動(dòng)阻力大于流體出口102對(duì)流體的流動(dòng)阻力，因此，從流體入口101流出的流體少于從流體出口102流出的流體。

流體進(jìn)入泵腔后，在過(guò)濾環(huán)4形成的過(guò)濾腔內(nèi)流動(dòng)，經(jīng)過(guò)濾環(huán)4過(guò)濾后，流入過(guò)濾環(huán)4與泵體底面形成的腔體內(nèi)。隨流入流體增多，流體的液面逐漸增高。當(dāng)流體液面超過(guò)通孔I601的高度時(shí)，越過(guò)通孔I601，經(jīng)通孔II602、流體出口102流出泵腔外。

考慮到壓電振子5向上隆起的過(guò)程中會(huì)有一部分流體經(jīng)流體出口102回流，且要保證流出泵腔的流體不與未過(guò)濾的流體混合，進(jìn)一步在過(guò)濾環(huán)4與流體出口102的相接處包括一段由側(cè)壁到流體出口的實(shí)體延伸部404，流出通孔6位于實(shí)體延伸部404處，即通孔I601經(jīng)實(shí)體延伸部404向下與過(guò)濾環(huán)4和泵體底面之間的泵腔相通，通孔II602經(jīng)實(shí)體延伸部404向流體出口102延伸，與流體出口相通；且通孔I601與通孔II602連通。

如圖8所示，作為另一種實(shí)施方式，設(shè)計(jì)了一種阻流體無(wú)閥壓電泵。泵體地面上設(shè)置有阻流體，阻流體包括朝向流體入口的引流面和朝向流體出口的阻流面。

阻流體無(wú)閥壓電泵與錐形管無(wú)閥壓電泵不同之處在于，錐形管無(wú)閥壓電泵的流阻效果是考流體入口101和流體出口102配合作用實(shí)現(xiàn)，而阻流體無(wú)閥壓電泵的流阻效果是靠置于泵體底座上阻流體的引流和阻流作用而實(shí)現(xiàn)的。阻流體可采用如球缺、球殼、棱柱、錐臺(tái)等具有非對(duì)稱結(jié)構(gòu)的二維、三維阻結(jié)構(gòu)。對(duì)流體阻力較小的一面作為引流面，對(duì)流體阻力較大的一面作為阻流面。

無(wú)閥壓電泵工作時(shí)，為壓電振子5通電，其將會(huì)做向上隆起和向下凹陷的往復(fù)變形運(yùn)動(dòng)。當(dāng)壓電振子5向上隆起時(shí)，泵腔容積增大，腔內(nèi)壓強(qiáng)減小，產(chǎn)生負(fù)壓，在外界大氣壓作用下流體經(jīng)流體入口101和流體出口102共同流入泵腔內(nèi)。由于阻流體引流面對(duì)流體的阻力相對(duì)較小，因此，從流體入口101流入的流體多于從流體出口102流入的流體；當(dāng)壓電振子5向下凹陷時(shí)，泵腔容積減小，腔內(nèi)壓強(qiáng)增大，由于阻流體阻流面對(duì)流體的阻力相對(duì)較大，因此，從流體入口101流出的流體少于從流體出口102流出的流體。一個(gè)工作循環(huán)內(nèi)，實(shí)現(xiàn)流體從流體入口101向流體出口102的相對(duì)運(yùn)動(dòng)。

同理，流體進(jìn)入泵腔后，在過(guò)濾環(huán)4形成的過(guò)濾腔內(nèi)流動(dòng)，經(jīng)過(guò)濾環(huán)4過(guò)濾后，流入過(guò)濾環(huán)4與泵體底面之間的泵腔內(nèi)。隨流入流體增多，流體的液面逐漸增高。當(dāng)流體液面超過(guò)通孔II602與泵腔之間聯(lián)通出的高度時(shí)，流體可直接經(jīng)通孔II602、流體出口102流出泵腔外。

更進(jìn)一步的，過(guò)濾環(huán)4長(zhǎng)期使用，過(guò)濾物將堵塞過(guò)濾孔，可拆下泵蓋2，卸下壓電振子5，并將過(guò)濾環(huán)4取出，清洗或更換。

為更便于清洗過(guò)濾環(huán)，避免每次清洗時(shí)拆卸的麻煩，進(jìn)一步在泵體1底面設(shè)置一泵體通孔7，泵體通孔7處安裝有可拆卸的塞堵，本實(shí)施例中塞堵采用膠塞8。無(wú)閥壓電泵使用時(shí)，膠塞堵住泵體通孔7，清潔過(guò)濾環(huán)4時(shí)，取出泵體通孔7處膠塞8，經(jīng)泵體通孔7向泵腔內(nèi)部通入氣體或高壓水。氣體或高壓水的流向與流體流經(jīng)過(guò)濾孔的流向相反，對(duì)過(guò)濾孔起到反向沖擊的作用，將卡在過(guò)濾孔內(nèi)的顆粒、雜質(zhì)等介質(zhì)反向沖洗出，并順著水流或氣流經(jīng)流體入口101或流體出口102排出。與采用圓柱狀過(guò)濾孔相比，采用錐形過(guò)濾更利于沖洗。