本發(fā)明涉及真空泵及被用于其中的轉(zhuǎn)子及定子，特別涉及在從低真空遍及至超高真空的壓力范圍中能夠利用的真空泵及被用于其中的轉(zhuǎn)子及定子。

背景技術(shù)：

在制造存儲(chǔ)器或集成電路等半導(dǎo)體時(shí)，為了避免空氣中的灰塵等的影響而需要在高真空狀態(tài)的腔室內(nèi)在高純度的半導(dǎo)體基板（晶片）上進(jìn)行摻雜（ドーピング）或蝕刻，在腔室內(nèi)的排氣上，例如，使用將渦輪分子泵和螺旋槽泵組合的復(fù)合泵等真空泵。

作為這樣的真空泵，例如，已知有如下真空泵，前述真空泵具備轉(zhuǎn)子和定子，前述轉(zhuǎn)子形成有在轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)軸方向上設(shè)置多級(jí)的轉(zhuǎn)子翼，前述定子形成有在多級(jí)的轉(zhuǎn)子翼間分別配設(shè)的多個(gè)定子翼。在這樣的真空泵中，使轉(zhuǎn)子翼相對(duì)于定子翼相對(duì)地高速旋轉(zhuǎn)，由此將從吸氣口吸入的氣體真空排氣。

但是，定子若由于自重而向真空排氣的下游側(cè)沉入而發(fā)生撓曲，則有可能定子與轉(zhuǎn)子接觸而斷裂。

因此，為了避免定子和轉(zhuǎn)子的接觸，在專利文獻(xiàn)1中公開了具備轉(zhuǎn)子翼的真空泵，前述轉(zhuǎn)子翼具備被與轉(zhuǎn)子連續(xù)設(shè)置并且在上表面上形成有環(huán)狀槽的圓環(huán)部和從圓環(huán)部向徑向外方延展的翼部。在這樣的真空泵中，僅凹設(shè)有圓環(huán)部的部分變得定子的內(nèi)周側(cè)邊緣和轉(zhuǎn)子翼難以接觸。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2015－135074號(hào)公報(bào)。

但是，在如上所述得真空泵中，在泵運(yùn)轉(zhuǎn)中，在轉(zhuǎn)子翼的環(huán)狀槽上發(fā)生應(yīng)力集中，有可能以此為原因，翼部在環(huán)狀槽處斷裂，飛散至泵內(nèi)，使真空泵故障。此外，若定子翼由于自重而向真空排氣下游側(cè)較大地發(fā)生撓曲，或由于真空泵向空氣敞開而向真空排氣上流側(cè)較大地發(fā)生撓曲，則定子翼和轉(zhuǎn)子翼互相間斷（不連續(xù)）地接觸，有過(guò)度的沖擊被傳遞至定子翼及轉(zhuǎn)子翼而容易破損的可能。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

因此，為了抑制轉(zhuǎn)子及定子的破損而產(chǎn)生需要解決的技術(shù)問題，本發(fā)明的目的是解決該問題。

本發(fā)明是為了實(shí)現(xiàn)上述目的而提出的，技術(shù)方案1記載的發(fā)明提供一種真空泵，前述真空泵具備轉(zhuǎn)子和定子，前述轉(zhuǎn)子具備轉(zhuǎn)子軸和轉(zhuǎn)子翼，前述轉(zhuǎn)子翼至少經(jīng)由圓環(huán)部與該轉(zhuǎn)子軸連接，并且在轉(zhuǎn)子軸向上形成多級(jí)，前述定子形成有被配設(shè)于前述轉(zhuǎn)子翼間的定子翼，通過(guò)使前述轉(zhuǎn)子翼相對(duì)于前述定子翼相對(duì)旋轉(zhuǎn)來(lái)將氣體排出，其特征在于，前述定子在由于前述轉(zhuǎn)子軸向的撓曲變形而與前述轉(zhuǎn)子接觸時(shí)，與前述圓環(huán)部接觸。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，定子在轉(zhuǎn)子軸向上撓曲變形時(shí)與圓環(huán)部接觸，由此能夠抑制由于轉(zhuǎn)子翼和定子翼的接觸引起的轉(zhuǎn)子及定子的破損。

技術(shù)方案2記載的發(fā)明提供一種真空泵，在技術(shù)方案1所述的真空泵的結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，前述定子具備承接部，前述承接部被設(shè)置于前述定子翼的內(nèi)周側(cè)，在由于前述轉(zhuǎn)子軸向的撓曲變形而與前述轉(zhuǎn)子接觸時(shí)，與前述圓環(huán)部接觸。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，定子經(jīng)由承接部與圓環(huán)部接觸，由此轉(zhuǎn)子翼和定子翼的接觸被抑制，所以能夠進(jìn)一步抑制轉(zhuǎn)子及定子的破損。

技術(shù)方案3記載的發(fā)明提供一種真空泵，在技術(shù)方案2所述的真空泵的結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，前述承接部是前述定子的內(nèi)周側(cè)邊緣部。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，定子的內(nèi)周側(cè)邊緣部與圓環(huán)部接觸，由此定子翼與轉(zhuǎn)子翼的接觸被抑制，所以能夠進(jìn)一步抑制定子的破損。

技術(shù)方案4記載的發(fā)明提供一種真空泵，在技術(shù)方案3所述的真空泵的結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，前述內(nèi)周側(cè)邊緣部形成為向前述轉(zhuǎn)子軸向的上級(jí)側(cè)傾斜。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，定子翼與轉(zhuǎn)子翼的接觸被抑制，并且定子的剛性增大，能夠抑制定子的彎曲。

技術(shù)方案5記載的發(fā)明提供一種真空泵，在技術(shù)方案2所述的真空泵的結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，前述承接部是從前述定子的內(nèi)周緣向前述轉(zhuǎn)子軸向的上級(jí)側(cè)突出地設(shè)置的突出部。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，突出部被向轉(zhuǎn)子軸向的上級(jí)側(cè)突出地設(shè)置，由此定子翼與轉(zhuǎn)子軸向的上級(jí)側(cè)的轉(zhuǎn)子翼的接觸被抑制，所以能夠進(jìn)一步抑制定子的破損。

技術(shù)方案6記載的發(fā)明提供一種真空泵，在技術(shù)方案2所述的真空泵的結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，前述承接部是從前述定子的內(nèi)周緣向前述轉(zhuǎn)子軸向的下級(jí)側(cè)突出地設(shè)置的突出部。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，突出部被向轉(zhuǎn)子軸向下級(jí)側(cè)突出地設(shè)置，由此定子翼與轉(zhuǎn)子軸向下級(jí)側(cè)的轉(zhuǎn)子翼的接觸被抑制，所以能夠進(jìn)一步抑制定子的破損。

技術(shù)方案7記載的發(fā)明提供一種真空泵，在技術(shù)方案1所述的真空泵的結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，前述定子翼在由于前述轉(zhuǎn)子軸向的撓曲變形而與前述轉(zhuǎn)子接觸時(shí)，與前述圓環(huán)部接觸。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，避免定子翼與轉(zhuǎn)子翼的接觸，所以能夠抑制由于轉(zhuǎn)子翼和定子翼的接觸引起的轉(zhuǎn)子及定子的破損。

技術(shù)方案8記載的發(fā)明提供一種真空泵，在技術(shù)方案1至7的任一項(xiàng)所述的真空泵的結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，前述定子通過(guò)加壓成型來(lái)制作。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⒍ㄗ釉谳^短期間簡(jiǎn)便地制作。

技術(shù)方案9記載的發(fā)明提供一種真空泵，在技術(shù)方案1至8的任一項(xiàng)所述的真空泵的結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，前述圓環(huán)部及前述定子至少被設(shè)置于各個(gè)最下級(jí)。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠抑制由于加壓成型而強(qiáng)度容易下降的定子的破損。

技術(shù)方案10記載的發(fā)明提供一種被用于技術(shù)方案1至9中任一項(xiàng)所述的真空泵的轉(zhuǎn)子。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，定子與圓環(huán)部接觸，由此能夠抑制由于轉(zhuǎn)子翼與定子翼的接觸而導(dǎo)致的轉(zhuǎn)子及定子的破損。

技術(shù)方案11記載的發(fā)明提供一種被用于技術(shù)方案1至10中任一項(xiàng)所述的真空泵的定子。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，定子與圓環(huán)部接觸，由此能夠抑制由于轉(zhuǎn)子翼與定子翼的接觸而導(dǎo)致的轉(zhuǎn)子及定子的破損。

涉及本發(fā)明的真空泵為，定子在轉(zhuǎn)子軸向上撓曲變形時(shí)與圓環(huán)部接觸，由此能夠抑制由轉(zhuǎn)子翼和定子翼的接觸導(dǎo)致的轉(zhuǎn)子及定子的破損。

附圖說(shuō)明

圖1是表示涉及本發(fā)明的第1實(shí)施例的真空泵的剖視圖。

圖2是表示定子的俯視圖。

圖3是表示圖2的定子的立體圖。

圖4是表示圖1的定子和轉(zhuǎn)子的主要部放大圖。

圖5是表示圖4的定子向真空排氣下游側(cè)發(fā)生撓曲的情況的示意圖。

圖6是表示圖4的定子向真空排氣上流側(cè)發(fā)生撓曲的情況的示意圖。

圖7是表示被用于涉及本發(fā)明的第2實(shí)施例的真空泵的定子的立體圖。

圖8是表示圖7的定子向真空排氣下游側(cè)發(fā)生撓曲的情況的示意圖。

圖9是表示圖7的定子向真空排氣上流側(cè)發(fā)生撓曲的情況的示意圖。

圖10是表示圖7的定子的變形例得示意圖。

圖11是表示被用于涉及本發(fā)明的第3實(shí)施例的真空泵的定子的立體圖。

圖12是表示圖11的定子和轉(zhuǎn)子的主要部放大圖。

圖13是表示定子翼的變形例的俯視圖及側(cè)視圖。

具體實(shí)施方式

本發(fā)明是為了實(shí)現(xiàn)確保轉(zhuǎn)子翼的強(qiáng)度且抑制轉(zhuǎn)子及定子的破損這一目的而作出的，借助如下真空泵來(lái)實(shí)現(xiàn)，所述真空泵具備轉(zhuǎn)子和定子，前述轉(zhuǎn)子具備轉(zhuǎn)子軸與轉(zhuǎn)子翼，前述轉(zhuǎn)子翼至少經(jīng)由圓環(huán)部與該轉(zhuǎn)子軸連接，并且在轉(zhuǎn)子軸向上形成多級(jí)，前述定子形成有被配設(shè)于轉(zhuǎn)子翼間的定子翼，使轉(zhuǎn)子翼相對(duì)于定子翼相對(duì)旋轉(zhuǎn)，由此將氣體排出，其特征在于，定子由于轉(zhuǎn)子軸向的撓曲變形而與前述轉(zhuǎn)子接觸時(shí)與圓環(huán)部接觸。

【實(shí)施例】

以下，基于附圖對(duì)涉及本發(fā)明的第1實(shí)施例的真空泵1進(jìn)行說(shuō)明。另外，在以下的實(shí)施例中，在提及構(gòu)成要素的個(gè)數(shù)、數(shù)值、量、范圍等的情況下，除了特別地明示的情況及從原理上明確地限定為特定的數(shù)的情況下，不限定于該特定的數(shù)，可以是特定的數(shù)以上或以下。

此外，在提及構(gòu)成要素等的形狀、位置關(guān)系時(shí)，除了特別地明示的情況及從原理上明顯地知道不是這樣的情況，包括實(shí)質(zhì)上與該形狀等近似或類似的情況等。

此外，附圖有為了使特征容易理解而將特征部分放大等夸張的情況，不限于構(gòu)成要素的尺寸比例等與實(shí)際相同。另外，以下“上”、“下”等詞語(yǔ)為，轉(zhuǎn)子軸向的吸氣口側(cè)、排氣口側(cè)分別對(duì)應(yīng)于上方、下方。

圖1是表示真空泵1的縱剖視圖。真空泵1是由配置于大致上半部分的渦輪分子泵機(jī)構(gòu)pa和配置于大致下半部分的螺旋槽泵機(jī)構(gòu)pb構(gòu)成的復(fù)合泵。

真空泵1具備殼10、轉(zhuǎn)子20、驅(qū)動(dòng)馬達(dá)30、定子柱40，前述轉(zhuǎn)子20具有能夠旋轉(zhuǎn)地被支承在殼10內(nèi)的轉(zhuǎn)子軸21，前述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)30使轉(zhuǎn)子軸21旋轉(zhuǎn)，前述定子柱40收納轉(zhuǎn)子軸21的一部分及驅(qū)動(dòng)馬達(dá)30。

殼10形成為圓筒狀。在殼10的上端，形成有氣體吸入口11。殼10經(jīng)由上方凸緣12被安裝在圖中未示出半導(dǎo)體制造裝置的腔室等真空容器上。殼10在被載置在基部50上的狀態(tài)下被固定于基部50。

轉(zhuǎn)子20具備轉(zhuǎn)子軸21、在經(jīng)由后述的轉(zhuǎn)子凸緣27及圓環(huán)部22與轉(zhuǎn)子軸21相連的狀態(tài)下設(shè)置的轉(zhuǎn)子翼23。轉(zhuǎn)子翼23相對(duì)于轉(zhuǎn)子軸21的軸心以同心圓狀排列地設(shè)置。在本實(shí)施例中，設(shè)置有5級(jí)的轉(zhuǎn)子翼23。以下，將轉(zhuǎn)子軸21的軸線方向稱作“轉(zhuǎn)子軸向a”，將轉(zhuǎn)子軸21的徑向稱作“轉(zhuǎn)子徑向r”。

轉(zhuǎn)子翼23由以既定角度傾斜的片構(gòu)成，在轉(zhuǎn)子軸21的上部外周面經(jīng)由轉(zhuǎn)子凸緣27及圓環(huán)部22形成為一體。此外，轉(zhuǎn)子翼23繞轉(zhuǎn)子軸21的軸線放射狀地設(shè)置多個(gè)。轉(zhuǎn)子翼23的長(zhǎng)度設(shè)定成，從轉(zhuǎn)子軸向a的上級(jí)側(cè)至下級(jí)側(cè)、即從轉(zhuǎn)子軸向a的上方向下方逐漸變短。

轉(zhuǎn)子軸21的上部及下部被插通于觸底軸承24內(nèi)。在不能控制轉(zhuǎn)子軸21的情況下，高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子軸21接觸于觸底軸承24來(lái)防止真空泵1的損傷。

轉(zhuǎn)子20以在凸臺(tái)孔25上使轉(zhuǎn)子軸21的上部插通的狀態(tài)，將螺栓26插通于轉(zhuǎn)子凸緣27，并且在軸凸緣28上擰入來(lái)安裝，由此與轉(zhuǎn)子軸21一體地安裝。此外，轉(zhuǎn)子20具備沿轉(zhuǎn)子軸向a延伸的轉(zhuǎn)子圓筒部29。

驅(qū)動(dòng)馬達(dá)30由馬達(dá)轉(zhuǎn)子31和馬達(dá)定子32構(gòu)成，前述馬達(dá)轉(zhuǎn)子31被安裝于轉(zhuǎn)子軸21的外周，前述馬達(dá)定子32以將馬達(dá)轉(zhuǎn)子31包圍的方式配置。馬達(dá)定子32與上述圖中未示出的控制單元連接，借助控制單元控制轉(zhuǎn)子20的旋轉(zhuǎn)。

定子柱40在被載置于基部50上的狀態(tài)下，經(jīng)由螺栓41被固定于基部50。

在基部50的下部側(cè)方，形成有氣體排出口51。氣體排出口51以與圖中未示出的輔助泵連通的方式連接。在殼10和基部50之間夾裝有o型環(huán)52。在基部50上，載置有在內(nèi)周面上刻設(shè)有螺旋槽部53的螺旋定子54。

轉(zhuǎn)子軸21借助磁軸承60被非接觸地支承。磁軸承60具備徑向電磁鐵61和軸向電磁鐵62。徑向電磁鐵61及軸向電磁鐵62被連接于圖中未示出的控制單元。

控制單元基于圖中未示出的徑向位移傳感器及軸向位移傳感器62a的檢測(cè)值，控制徑向電磁鐵61及軸向電磁鐵62的勵(lì)磁電流，由此轉(zhuǎn)子軸21在浮起于既定的位置的狀態(tài)下被支承。

在殼10的內(nèi)周，在轉(zhuǎn)子軸向a上設(shè)置有5級(jí)的定子70。定子70與支承件71交替地堆疊。定子70具備被配置于轉(zhuǎn)子翼23、23間的定子翼72。定子翼72的長(zhǎng)度設(shè)定成，從轉(zhuǎn)子軸向a的上方向下方逐漸變短。

渦輪分子泵機(jī)構(gòu)pa借助轉(zhuǎn)子翼23的旋轉(zhuǎn)，將穿過(guò)氣體吸入口11被吸入至殼10內(nèi)的氣體從轉(zhuǎn)子軸向a的上方向下方移送，移送至螺旋槽泵機(jī)構(gòu)pb。

螺旋槽泵機(jī)構(gòu)pb將被從氣體吸入口11向轉(zhuǎn)子軸向a的下方移送的氣體借助由轉(zhuǎn)子圓筒部29的高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的牽引效果來(lái)壓縮，向氣體排出口51移送。具體地，氣體被移送至轉(zhuǎn)子圓筒部29和螺旋定子54的間隙后，在螺旋槽部53內(nèi)被壓縮，被向氣體排出口51移送。

接著，關(guān)于定子70的構(gòu)造，基于圖2～4進(jìn)行說(shuō)明。圖2是表示定子70的俯視圖。圖3是表示定子70的立體圖。圖4是表示轉(zhuǎn)子20和定子70的主要部放大圖。

定子70形成為扇狀，將兩個(gè)定子70圓環(huán)狀地排列，配置于殼10內(nèi)。定子翼72在定子70的周向c上等間隔地配置。定子70具備配置于定子翼72的兩端的內(nèi)周側(cè)邊緣部73和外周側(cè)邊緣部74。在涉及本實(shí)施例的定子70中，內(nèi)周側(cè)邊緣部73作為承接部發(fā)揮作用。外周側(cè)邊緣部74在轉(zhuǎn)子軸向a上被夾于支承件71處，由此定子70在既定的位置上被定位。

定子翼72繞定子70的中心放射狀地設(shè)置多個(gè)。定子翼72由向與轉(zhuǎn)子翼23相反的方向傾斜的片構(gòu)成。對(duì)應(yīng)于定子70的配置位置，調(diào)整定子翼72的仰角。一般地，隨著從轉(zhuǎn)子軸向a的上方向下方，定子翼72的仰角變小。

一般地，定子70由切削加工或加壓成型來(lái)制作。在轉(zhuǎn)子軸向a的上方配置的定子70與在轉(zhuǎn)子軸向a的下方配置的定子70相比厚度是必須的，所以通過(guò)從母材進(jìn)行切削加工來(lái)制作的較多。另一方面，配置于轉(zhuǎn)子軸向a的下方的定子70與前述定子70相比厚度不是必須的，所以從成本的角度考慮由加壓成型來(lái)制作的較多。

圓環(huán)部22形成為遍及轉(zhuǎn)子徑向r為大致等厚。另外，圓環(huán)部22不由于應(yīng)力集中而斷裂即可，不必須是相同的厚度，例如，也可以從轉(zhuǎn)子徑向r的內(nèi)側(cè)向外側(cè)形成為錐狀。定子翼72的內(nèi)周優(yōu)選地配置成比圓環(huán)部22的外周靠轉(zhuǎn)子徑向r的內(nèi)側(cè)。即，圓環(huán)部22的外周端22a和定子翼72的內(nèi)周端72a優(yōu)選地配置成從轉(zhuǎn)子軸向a觀察至少一部分重疊。由此，能夠抑制氣體的逆流。

接著，關(guān)于定子70，基于圖5、6進(jìn)行說(shuō)明。圖5是表示定子70向真空排氣下游側(cè)發(fā)生撓曲的情況的示意圖。圖6是表示定子70向真空排氣上流側(cè)發(fā)生撓曲的情況的示意圖。

如圖5所示，若定子70由于自重等向轉(zhuǎn)子軸向a的下方，即，向真空排氣下游側(cè)發(fā)生撓曲，則在定子翼72接觸至轉(zhuǎn)子翼23之前，內(nèi)周側(cè)邊緣部73接觸至真空排氣下游側(cè)的圓環(huán)部22。圓環(huán)部22遍及轉(zhuǎn)子20的周向地連續(xù)，內(nèi)周側(cè)邊緣部73和圓環(huán)部22連續(xù)地接觸。由此，即使在定子70向真空排氣下游側(cè)發(fā)生撓曲的情況下，也避免轉(zhuǎn)子翼23和定子翼72的接觸，圓環(huán)部22與內(nèi)周側(cè)邊緣部73緩慢地接觸。

此外，如圖6所示，使真空泵1向空氣敞開等，若定子70向轉(zhuǎn)子軸向a的上方，即，真空排氣上流側(cè)發(fā)生撓曲，則定子翼72接觸于轉(zhuǎn)子翼23之前，定子翼72接觸于真空排氣上流側(cè)的圓環(huán)部22。定子翼72相對(duì)于圓環(huán)部22間斷地接觸。由此，在定子70向真空排氣上流側(cè)發(fā)生撓曲的情況下，與以往那樣轉(zhuǎn)子翼23和定子翼72互相間斷地接觸時(shí)相比，定子翼72相對(duì)于圓環(huán)部22間斷地接觸，所以能夠?qū)⑥D(zhuǎn)子20和定子70的沖擊稍微緩和。

另外，上述構(gòu)造優(yōu)選地被應(yīng)用于包括被配置于最下級(jí)的圓環(huán)部22及定子70、的被配置于轉(zhuǎn)子軸向a的下方的至少各個(gè)最下級(jí)的圓環(huán)部22及定子70。這是因?yàn)?，被配置于轉(zhuǎn)子軸向a的下方的定子70與被配置于轉(zhuǎn)子軸向a的上方的定子70相比強(qiáng)度容易變低，所以防止以往那樣轉(zhuǎn)子翼23和定子翼72互相間斷地接觸的價(jià)值較大。

接著，基于圖7～10，對(duì)被用于涉及本發(fā)明的第2實(shí)施例的真空泵的定子70進(jìn)行說(shuō)明。另外，對(duì)本實(shí)施例的定子70和上述第1實(shí)施例的定子70相同的結(jié)構(gòu)，附加相同的附圖標(biāo)記，省略重復(fù)的說(shuō)明。圖7是表示被用于涉及本發(fā)明的第2實(shí)施例的真空泵的定子70的立體圖。圖8是表示圖7的定子70向真空排氣下游側(cè)發(fā)生撓曲的情況的示意圖。圖9是表示圖7的定子70向真空排氣上流側(cè)發(fā)生撓曲的情況的示意圖。圖10是表示圖7的定子70的變形例的示意圖。

定子70具備承接部77，前述承接部77由向下突出部75和向上突出部76構(gòu)成，前述向下突出部75從內(nèi)周側(cè)邊緣部73向轉(zhuǎn)子軸向a的下方突出地設(shè)置（以突出狀態(tài)設(shè)置），前述向上突出部76從內(nèi)周側(cè)邊緣部73向轉(zhuǎn)子軸向a的上方突出地設(shè)置。向下突出部75和向上突出部76在定子70的周向c中交替地設(shè)置。

如圖8所示，若定子70向真空排氣下游側(cè)發(fā)生撓曲，則定子翼72與轉(zhuǎn)子翼23接觸前，向下突出部75與真空排氣下游側(cè)的圓環(huán)部22接觸。由此，即使在定子70向真空排氣下游側(cè)發(fā)生撓曲的情況下，也避免轉(zhuǎn)子翼23和定子翼72的接觸。

此外，如圖9所示，若定子70向真空排氣上流側(cè)發(fā)生撓曲，則定子翼72與轉(zhuǎn)子翼23接觸前，向上突出部76與真空排氣上流側(cè)的圓環(huán)部22接觸。由此，即使在定子70向真空排氣上流側(cè)發(fā)生撓曲的情況下，也避免轉(zhuǎn)子翼23和定子翼72的接觸。

進(jìn)而，向下突出部75和向上突出部76為，將與圓環(huán)部22接觸的角部倒角加工或圓弧加工（r加工）等，或?qū)⑴c圓環(huán)部22接觸的表面研磨加工等，由此即使在轉(zhuǎn)子20和定子70接觸的情況下，接觸時(shí)的阻力變小，能夠進(jìn)一步緩和接觸時(shí)的沖擊。另外，向下突出部75和向上突出部76不限于獨(dú)立設(shè)置，如圖10所示，也可以是一體地設(shè)置。

接著，基于圖11、12，說(shuō)明被用于涉及本發(fā)明的第3實(shí)施例的真空泵的定子70。另外，對(duì)于本實(shí)施例的定子70和上述第1實(shí)施例的定子70相同的結(jié)構(gòu)，附加相同的附圖標(biāo)記，省略重復(fù)的說(shuō)明。圖11是表示被用于涉及本發(fā)明的第3實(shí)施例的真空泵的定子70的立體圖。圖12是表示圖11的定子70和轉(zhuǎn)子20的主要部放大圖。

定子70具備將內(nèi)周側(cè)邊緣部73向轉(zhuǎn)子軸向a的上方彎折來(lái)形成的承接部78。承接部78遍及定子70的周向c連續(xù)地設(shè)置。

定子70向真空排氣下游側(cè)發(fā)生撓曲的情況下，定子翼72與真空排氣下游側(cè)的轉(zhuǎn)子翼23接觸前，承接部78的下端78a與真空排氣下游側(cè)的圓環(huán)部22接觸。此外，定子70向真空排氣上流側(cè)發(fā)生撓曲的情況下，定子翼72與真空排氣上流側(cè)的轉(zhuǎn)子翼23接觸前，承接部78的上端78b與真空排氣上流側(cè)的圓環(huán)部22接觸。此外，承接部78與被用于上述第2實(shí)施例的定子70相比，承接部78與圓環(huán)部22連續(xù)地在周向c上抵接，由此承接部78與圓環(huán)部22緩和地接觸。

另外，定子70不限于具備如上所述的向轉(zhuǎn)子軸向a的上方立設(shè)的定子翼72，也可以如下地構(gòu)成，如圖13（a）所示，將兩個(gè)定子翼72互相隔開間隙地打孔，如圖13（b）所示，從翼的中心扭轉(zhuǎn)，由此向轉(zhuǎn)子軸向a的上方及下方的兩側(cè)立設(shè)。此外，定子翼72的形狀也可以是，如圖13（a）、（b）所示，從轉(zhuǎn)子徑向r的內(nèi)側(cè)向外側(cè)等寬度地形成，立設(shè)時(shí)的高度相同。

這樣，涉及本實(shí)施例的真空泵1為，圓環(huán)部22遍及轉(zhuǎn)子軸向a地形成為大致等厚，由此能夠確保圓環(huán)部22的強(qiáng)度，此外，定子70與圓環(huán)部22接觸，由此能夠抑制由于轉(zhuǎn)子翼23和定子翼72的接觸導(dǎo)致的轉(zhuǎn)子20及定子70的破損。

此外，本發(fā)明只要是具備渦輪分子泵機(jī)構(gòu)的設(shè)備就能夠應(yīng)用，不限于上述復(fù)合泵，也可以使用于僅為渦輪分子泵機(jī)構(gòu)的泵。

另外，本發(fā)明只要不脫離本發(fā)明的精神可以進(jìn)行多種改變，并且本發(fā)明當(dāng)然也及于該改變。

附圖標(biāo)記說(shuō)明

1???真空泵

10???殼

11???氣體吸入口

20???轉(zhuǎn)子

21???轉(zhuǎn)子軸

22???圓環(huán)部

22a???（圓環(huán)部的）外周端

23???轉(zhuǎn)子翼

30???驅(qū)動(dòng)馬達(dá)

31???馬達(dá)轉(zhuǎn)子

32???馬達(dá)定子

40???定子柱

50???基部

51???氣體排出口

52???o型環(huán)

53???螺旋槽部

54???螺旋定子

60???磁軸承

61???徑向電磁鐵

62???軸向電磁鐵

62a???軸向位移傳感器

70???定子

71???支承件

72???定子翼

72a???（定子翼的）內(nèi)周端

73???內(nèi)周側(cè)邊緣部

74???外周側(cè)邊緣部

75???向下突出部

76???向上突出部

77???承接部

78???承接部

a???轉(zhuǎn)子軸向

r???轉(zhuǎn)子徑向

c???（定子的）周向

pa???渦輪分子泵機(jī)構(gòu)

pb???螺旋槽泵機(jī)構(gòu)。