本實(shí)用新型涉及工程機(jī)械領(lǐng)域，尤其涉及一種減震防漏油式真空泵。

背景技術(shù)：

單晶硅是光伏發(fā)電和半導(dǎo)體行業(yè)中的基礎(chǔ)原料，單晶硅一般采用直拉法在單晶爐中制備。直拉法的制備過(guò)程如下：把原料多晶硅塊放入石英坩堝中,在單晶爐中加熱熔化,待溫度穩(wěn)定后,將一根棒狀晶種浸入熔體中,在合適的溫度梯度下,熔液中的硅原子會(huì)順著晶種的硅原子排列結(jié)構(gòu)在固液交界面上形成規(guī)則的結(jié)晶,成為單晶體。晶種旋轉(zhuǎn)并慢速向上提升,熔液中的硅原子會(huì)在固液界面上繼續(xù)結(jié)晶,并延續(xù)其規(guī)則的原子排列結(jié)構(gòu)。若整個(gè)結(jié)晶環(huán)境穩(wěn)定,則可以持續(xù)不斷地形成結(jié)晶,最后形成一根圓柱型的原子排列整齊的硅單晶體,即硅單晶錠。因直拉法易于拉制出大直徑、高品質(zhì)的硅單晶,用該法生長(zhǎng)的晶體已經(jīng)占到晶體生長(zhǎng)總量的90%左右。

硅單晶的生長(zhǎng)是在惰性氣體保護(hù)下進(jìn)行并且對(duì)單晶爐的真空度、漏氣率都有較高要求，因此需要用真空泵對(duì)單晶爐進(jìn)行抽氣。真空泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的振動(dòng)傳導(dǎo)至地面，使得地面與單晶爐發(fā)生共振。傳遞到硅熔體的振動(dòng)會(huì)影響硅單晶的品質(zhì)。同時(shí),機(jī)械振動(dòng)增加了硅單晶的位錯(cuò)機(jī)率,影響了硅單晶的成晶率,從而影響到生產(chǎn)效益。

現(xiàn)有技術(shù)的單晶爐用真空泵，減震裝置直接固定在地面上。這種方式存在以下問(wèn)題：由于地面較硬并且真空泵的振動(dòng)較大，減震裝置向地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng)并不能有效被地面吸收，從而導(dǎo)致真空泵自身依然存在較大振動(dòng)。同時(shí)真空泵內(nèi)的真空泵油在使用過(guò)程中會(huì)有部分流出，會(huì)對(duì)地面造成污染。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，有必要提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、可靠性高的帶有接油功能的減震防漏油式真空泵。

一種減震防漏油式真空泵，包括真空泵、接油盤(pán)、第一減震機(jī)構(gòu)、第二減震機(jī)構(gòu)，接油盤(pán)設(shè)置在真空泵的底座下方，第一減震機(jī)構(gòu)的固定端穿過(guò)接油盤(pán)并與真空泵的底座固定連接，第一減震機(jī)構(gòu)和真空泵的底座共同作用，將接油盤(pán)夾緊，以使接油盤(pán)與第一減震機(jī)構(gòu)密封，第一減震機(jī)構(gòu)的下端設(shè)置在第二減震機(jī)構(gòu)中；第二減震機(jī)構(gòu)設(shè)置緩沖層，第一減震機(jī)構(gòu)的下端設(shè)置在所述緩沖層中。

優(yōu)選的，所述第一減震機(jī)構(gòu)包括固定部、減震彈簧、減震底座，固定部的上端穿過(guò)接油盤(pán)并與真空泵的底座螺紋連接，固定部與真空泵共同作用，將接油盤(pán)夾緊，以使接油盤(pán)和固定部密封，固定部的下端與減震彈簧的上端固定連接，減震彈簧的下端與減震底座固定連接。

優(yōu)選的，所述第二減震機(jī)構(gòu)包括顆粒盛放盤(pán)、減震顆粒，減震底座設(shè)置在減震顆粒中，位于顆粒盛放盤(pán)中的減震顆粒構(gòu)成了第二減震機(jī)構(gòu)的緩沖層，以使減震底座的振動(dòng)能夠被減震顆粒吸收。

優(yōu)選的，所述第二減震機(jī)構(gòu)包括碎屑盛放盤(pán)、減震碎屑，減震底座設(shè)置在減震碎屑中，位于碎屑盛放盤(pán)中的減震碎屑構(gòu)成了第二減震機(jī)構(gòu)的緩沖層，以使減震底座的振動(dòng)能夠被減震碎屑吸收。

優(yōu)選的，所述第二減震機(jī)構(gòu)包括混合盛放盤(pán)、碎屑和顆?；旌衔铮瑴p震底座設(shè)置在碎屑和顆?；旌衔镏?，位于混合盛放盤(pán)中的碎屑和顆粒混合物構(gòu)成了第二減震機(jī)構(gòu)的緩沖層，以使減震底座的振動(dòng)能夠被碎屑和顆?；旌衔镂铡?/p>

有益效果：上述減震防漏油式真空泵設(shè)置的第二減震機(jī)構(gòu)能夠緩沖真空泵的振動(dòng)，同時(shí)接油盤(pán)將真空泵泄露出的真空泵油接住，從而避免污染地面。

附圖說(shuō)明

圖1為減震防漏油式真空泵的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為減震防漏油式真空泵的第一減震裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：接油盤(pán)1、第一減震機(jī)構(gòu)2、固定部21、減震彈簧22、減震底座23、第二減震機(jī)構(gòu)3、緩沖層4、真空泵5。

具體實(shí)施方式

請(qǐng)參看圖1，減震防漏油式真空泵包括真空泵5、接油盤(pán)1、第一減震機(jī)構(gòu)2、第二減震機(jī)構(gòu)3，接油盤(pán)1設(shè)置在真空泵5的底座下方，第一減震機(jī)構(gòu)2的固定端穿過(guò)接油盤(pán)1并與真空泵5的底座固定連接，第一減震機(jī)構(gòu)2和真空泵5的底座共同作用，將接油盤(pán)1夾緊，以使接油盤(pán)1與第一減震機(jī)構(gòu)2密封，第一減震機(jī)構(gòu)2的下端設(shè)置在第二減震機(jī)構(gòu)3中；第二減震機(jī)構(gòu)3設(shè)置緩沖層4，第一減震機(jī)構(gòu)2的下端設(shè)置在所述緩沖層4中。

請(qǐng)參看圖2，所述第一減震機(jī)構(gòu)2包括固定部21、減震彈簧22、減震底座23，固定部21的上端穿過(guò)接油盤(pán)1并與真空泵5的底座螺紋連接，固定部21與真空泵5共同作用，將接油盤(pán)1夾緊，以使接油盤(pán)1和固定部密封21，固定部21的下端與減震彈簧22的上端固定連接，減震彈簧22的下端與減震底座23固定連接。

所述第二減震機(jī)構(gòu)3包括顆粒盛放盤(pán)、減震顆粒，減震底座23設(shè)置在減震顆粒中，位于顆粒盛放盤(pán)中的減震顆粒構(gòu)成了第二減震機(jī)構(gòu)3的緩沖層4，以使減震底座23的振動(dòng)能夠被減震顆粒吸收。在一較佳實(shí)施方式中，減震顆粒為彈性膠粒。

所述第二減震機(jī)構(gòu)3包括碎屑盛放盤(pán)、減震碎屑，減震底座23設(shè)置在減震碎屑中，位于碎屑盛放盤(pán)中的減震碎屑構(gòu)成了第二減震機(jī)構(gòu)3的緩沖層4，以使減震底座23的振動(dòng)能夠被減震碎屑吸收。在一較佳實(shí)施方式中，碎屑為鋸末。

所述第二減震機(jī)構(gòu)3包括混合盛放盤(pán)、碎屑和顆?；旌衔?，減震底座23設(shè)置在碎屑和顆?；旌衔镏?，位于混合盛放盤(pán)中的碎屑和顆?；旌衔飿?gòu)成了第二減震機(jī)構(gòu)3的緩沖層4，以使減震底座23的振動(dòng)能夠被碎屑和顆?；旌衔镂铡?/p>

現(xiàn)有技術(shù)的真空泵5的減震裝置是通過(guò)彈簧、橡膠等整塊阻尼減震材料制成，或是通過(guò)氣動(dòng)或液壓的方式減小振動(dòng)。這種減震方式的問(wèn)題在于振動(dòng)波還是能夠通過(guò)阻尼減震材料向地面?zhèn)鲗?dǎo)。而地面一般為水泥地面，水泥地面的硬度強(qiáng)，但是彈性很差。這會(huì)導(dǎo)致一部分振動(dòng)波不被吸收，使真空泵5依然存在較大振動(dòng)。

上述真空泵5減震裝置碎塊化的緩沖層4能夠改變振動(dòng)波的傳播方向，同時(shí)振動(dòng)會(huì)引起碎屑或顆粒的振動(dòng)，振動(dòng)過(guò)程中碎屑或顆粒間的位置關(guān)系會(huì)發(fā)生變化，從而使振動(dòng)波形紊亂。波形紊亂更加有利于振動(dòng)波的抵消。

真空泵底座上分布四個(gè)第一減震機(jī)構(gòu)2，四個(gè)第一減震機(jī)構(gòu)2的中心與真空泵5的重心在同一豎直線上。真空泵5在運(yùn)作過(guò)程中，第一減震機(jī)構(gòu)2會(huì)在緩沖層4中出現(xiàn)小幅下沉，由于四個(gè)第一減震機(jī)構(gòu)2的中心與真空泵5的中心在同一豎直線上，四個(gè)第一減震機(jī)構(gòu)2將同步下沉，以避免真空泵5傾斜，影響真空泵5的使用。

在實(shí)際緩沖層4的材料選取過(guò)程中，要根據(jù)實(shí)際情況選擇碎屑或顆粒，或是碎屑和顆粒的結(jié)合。同時(shí)碎屑的種類(lèi)、材質(zhì)，顆粒的直徑、材質(zhì)，以及碎屑和顆粒的混合比例也會(huì)影響緩沖層4的防震效果，要根據(jù)實(shí)際情況具體選擇。