1.一種復(fù)動(dòng)式真空吸附用流體壓力缸,具有:活塞(14),該活塞滑動(dòng)自如地配設(shè)在缸主體(12)的內(nèi)部;活塞桿(16),該活塞桿與所述活塞(14)連結(jié);桿罩(18),該桿罩固定于所述缸主體(12);以及滑塊(20),該滑塊與所述活塞桿(16)的從所述桿罩(18)向外方突出的端部連結(jié),該復(fù)動(dòng)式真空吸附用流體壓力缸的特征在于,
在所述滑塊(20)裝配有噴嘴(21),在所述活塞(14)與所述桿罩(18)之間配設(shè)有彈簧(68)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)動(dòng)式真空吸附用流體壓力缸,其特征在于,
所述彈簧(68)是壓縮螺旋彈簧。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)動(dòng)式真空吸附用流體壓力缸,其特征在于,
所述滑塊(20)經(jīng)由緩沖機(jī)構(gòu)(80、82、84)與所述活塞桿(16)連結(jié)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)動(dòng)式真空吸附用流體壓力缸,其特征在于,
中空狀的真空桿(17)與所述滑塊(20)連結(jié),所述真空桿(17)配設(shè)成在所述缸主體(12)的內(nèi)部滑動(dòng)自如。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的復(fù)動(dòng)式真空吸附用流體壓力缸,其特征在于,
所述真空桿(17)的內(nèi)部空間經(jīng)由形成于所述滑塊(20)的流路(72、78)而與所述噴嘴(21)的內(nèi)部空間連通。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的復(fù)動(dòng)式真空吸附用流體壓力缸,其特征在于,
所述真空桿(17)經(jīng)由軸承(88、90)支承于所述缸主體(12)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的復(fù)動(dòng)式真空吸附用流體壓力缸,其特征在于,
所述真空桿(17)的連結(jié)于所述滑塊(20)的一側(cè)的相反側(cè)的端部從所述滑塊(20)向外方突出。