本發(fā)明屬于真空獲得技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種立式復(fù)合徑流分子泵。

背景技術(shù)：

專利ZL201620118209.2提供了一種立式復(fù)合徑流分子泵（簡稱徑流泵），該徑流泵具有結(jié)構(gòu)簡單、能耗低和兼有中、高真空泵雙重性能力等優(yōu)點，然而，也存在如下缺點：

1．該徑流泵的進氣口均設(shè)在泵筒的側(cè)面，導(dǎo)致進氣口面積無增加的空間，限制了徑流泵抽速的提高；

2．該徑流泵的靜輪的中部設(shè)有隔板，影響氣體的抽速；

3．該徑流泵的抽氣槽長度較短，限制了徑流泵壓縮能力的提高。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種能提高抽速和壓縮能力的立式復(fù)合徑流分子泵。

本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的，一種立式復(fù)合徑流分子泵，包括上端敞口的泵筒，所述泵筒的側(cè)壁開設(shè)有進氣口和排氣口，所述泵筒內(nèi)設(shè)有徑流抽氣單元，所述徑流抽氣單元包括轉(zhuǎn)子、靜輪和動密封，所述轉(zhuǎn)子上固設(shè)有兩平圓盤狀的動輪，兩所述動輪平行且間隔設(shè)置，所述靜輪設(shè)于兩所述動輪之間，所述靜輪與兩所述動輪平行設(shè)置，所述動密封位于下方的所述動輪的下方，所述靜輪和動密封均固設(shè)于所述泵筒的側(cè)壁上；

位于上方的所述動輪的外側(cè)設(shè)有一組渦輪葉列，所述渦輪葉列由上向下抽氣；

所述靜輪上設(shè)有若干由螺旋狀葉片構(gòu)成的抽氣槽，所述靜輪的中部未設(shè)置隔板。

進一步地，所述抽氣槽由三部分組成，其中，靠近所述抽氣槽的進氣口的部分為第一部分，所述抽氣槽的中間部分為第二部分，所述第二部分為環(huán)形通道，靠近所述抽氣槽的出氣口的部分為第三部分。

本發(fā)明提供的立式復(fù)合徑流分子泵具有如下優(yōu)點：

1．提高立式復(fù)合徑流分子泵的抽速約80%；

2．提高立式復(fù)合徑流分子泵的壓縮能力約50%。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明的技術(shù)方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本發(fā)明實施例一提供的立式復(fù)合徑流分子泵的泵筒的示意圖。

圖2是沿圖1中的A-A方向的剖視圖。

圖3是本發(fā)明實施例一提供的立式復(fù)合徑流分子泵的剖視圖。

圖4是本發(fā)明實施例一提供的立式復(fù)合徑流分子泵的靜輪的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5是本發(fā)明實施例二提供的立式復(fù)合徑流分子泵的靜輪的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述。

實施例一

如圖1至圖4所示，本發(fā)明實施例提供的一種立式復(fù)合徑流分子泵，包括上端敞口的泵筒11，泵筒11的側(cè)壁開設(shè)有進氣口12和排氣口（未示出），泵筒11內(nèi)設(shè)有徑流抽氣單元，該徑流抽氣單元包括轉(zhuǎn)子13、靜輪14和動密封15，轉(zhuǎn)子13上固設(shè)有兩平圓盤狀的動輪16，兩動輪16平行且間隔設(shè)置，靜輪14設(shè)于兩動輪16之間，靜輪14與兩動輪16平行設(shè)置，動密封15位于下方的動輪16的下方，靜輪14和動密封15均固設(shè)于泵筒11的側(cè)壁上；

位于上方的動輪16的外側(cè)設(shè)有一組渦輪葉列17，渦輪葉列17由上向下抽氣；

靜輪14上設(shè)有若干由螺旋狀葉片構(gòu)成的抽氣槽141，靜輪14的中部未設(shè)置隔板。由于靜輪14的中部未設(shè)置隔板，從而提高了氣體的抽速。

本實施例一的徑流分子泵的工作原理如下：

（1）本實施例一的進氣口12設(shè)在泵筒11的側(cè)壁，泵筒11外側(cè)的氣體依次經(jīng)進氣口12和抽氣槽141抽至徑流抽氣單元的下方。

（2）同時，由于本實施例一的泵筒11上端為敞口，在泵筒11上方增添了抽氣通道，泵筒11上方的氣體依次經(jīng)其上方的敞口、渦輪葉列17和抽氣槽141抽至徑流抽氣單元的下方。

綜上所述，由于本實施例一的徑流分子泵可以從泵筒11的上方和側(cè)壁同時抽氣，且靜輪14的中部未設(shè)置隔板，因此，徑流分子泵的抽速高出傳統(tǒng)徑流分子泵約80%。另外，本實施例一的徑流分子泵還具有結(jié)構(gòu)簡單和制造成本低的優(yōu)點。

實施例二

如圖5所示，本實施例二的結(jié)構(gòu)與實施例一的結(jié)構(gòu)大致相同，其不同之處在于：本實施例二的靜輪24的抽氣槽241由三部分組成，其中，靠近抽氣槽241的進氣口的部分為第一部分2411，抽氣槽241的中間部分為第二部分2412，第二部分2412為環(huán)形通道，靠近抽氣槽241的出氣口的部分為第三部分2413。與現(xiàn)有的靜輪的抽氣槽結(jié)構(gòu)相比，本實施例二的靜輪24的抽氣槽241增加了環(huán)形通道的第二部分1412，從而增加了抽氣槽241的有效長度，提高了徑流分子泵的壓縮能力約50%。

以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也視為本發(fā)明的保護范圍。