本申請(qǐng)是申請(qǐng)日為2013年9月30日、申請(qǐng)?zhí)枮?01310460434.5、發(fā)明名稱為“干式真空泵裝置和在該干式真空泵所使用的控制裝置”的發(fā)明專利申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。

本發(fā)明涉及干式真空泵裝置和在該干式真空泵所使用的控制裝置。

背景技術(shù)：

通常而言，干式真空泵裝置具有干式真空泵、驅(qū)動(dòng)干式真空泵的馬達(dá)、控制馬達(dá)轉(zhuǎn)速(旋轉(zhuǎn)頻率)的逆變器、和控制逆變器動(dòng)作的控制裝置。干式真空泵有時(shí)為了將半導(dǎo)體制造裝置的真空室內(nèi)的氣體排出而使用，但根據(jù)氣體種類不同有時(shí)因化學(xué)反應(yīng)而生成生成物(反應(yīng)生成物)。當(dāng)排出這樣的氣體時(shí)，有時(shí)在泵內(nèi)生成生成物，生成物進(jìn)入泵轉(zhuǎn)子。另外，附著于真空室的內(nèi)壁的生成物有時(shí)會(huì)剝落而進(jìn)入泵轉(zhuǎn)子。其結(jié)果，泵的轉(zhuǎn)速降低。

存在在真空室與泵之間設(shè)置有加載互鎖室(loadlockchamber)的所謂的加載互鎖方式的真空排氣系統(tǒng)。加載互鎖室是用于在對(duì)保持真空的真空室進(jìn)出晶片時(shí)進(jìn)行從大氣壓向真空的降壓和從真空向大氣壓的升壓的小空間。真空室原則上始終處于真空狀態(tài)。能夠在該真空室內(nèi)的真空空間與大氣壓空間之間進(jìn)行晶片輸送的是加載互鎖室。晶片在真空室內(nèi)被處理，縮短對(duì)真空室進(jìn)出晶片的時(shí)間關(guān)系到整體的生產(chǎn)量提高。因此，需要將加載互鎖室內(nèi)的氣體快速排出，在該加載互鎖室內(nèi)形成真空。然而，在將加載互鎖室內(nèi)從大氣壓排氣成真空時(shí)，有時(shí)會(huì)對(duì)馬達(dá)施加過負(fù)載而使馬達(dá)轉(zhuǎn)速降低，泵的排氣速度降低。

為了在如此對(duì)馬達(dá)施加了過負(fù)載時(shí)維持泵的轉(zhuǎn)速，需要使用大容量的馬達(dá)。因此，在半導(dǎo)體制造裝置等中，選擇并使用了與通常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)需要的馬達(dá)相比大容量的馬達(dá)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明是為了解決上述的以往的問題點(diǎn)而完成的發(fā)明，其目的在于提供一種即使在負(fù)載增大時(shí)也能夠使用較小容量的馬達(dá)來進(jìn)行穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)的干式真空泵裝置。另外，本發(fā)明的目的在于提供一種在這樣的干式真空泵裝置所使用的控制裝置。

為了達(dá)到上述的目的，本發(fā)明的一個(gè)方式是具有至少一個(gè)泵單元和控制所述泵單元的控制裝置的干式真空泵裝置，其特征在于，所述泵單元具有：干式真空泵；驅(qū)動(dòng)所述干式真空泵的馬達(dá)；和控制所述馬達(dá)轉(zhuǎn)速的逆變器，所述控制裝置具有將所述逆變器的輸出電流限制值從第1電流限制值切換為第2電流限制值的功能，所述第1電流限制值是所述逆變器能夠連續(xù)流向所述馬達(dá)的電流的最大值即連續(xù)額定電流值，所述第2電流限制值是超過所述連續(xù)額定電流值的值。

本發(fā)明的優(yōu)選方式的特征在于，按照來自設(shè)置于所述干式真空泵裝置外部的外部指令裝置的指令，將所述逆變器的輸出電流限制值從所述第1電流限制值切換為所述第2電流限制值。

本發(fā)明的優(yōu)選方式的特征在于，所述控制裝置在所述逆變器輸出與所述第1電流限制值相當(dāng)?shù)碾娏鲿r(shí)，在所述干式真空泵的轉(zhuǎn)速低于預(yù)定的目標(biāo)轉(zhuǎn)速的情況下，將所述逆變器的輸出電流限制值從所述第1電流限制值切換為所述第2電流限制值。

本發(fā)明的優(yōu)選方式的特征在于，所述控制裝置在檢測(cè)到所述泵的轉(zhuǎn)速恢復(fù)為所述目標(biāo)轉(zhuǎn)速時(shí)，將所述逆變器的輸出電流限制值從所述第2電流限制值切換為所述第1電流限制值。

本發(fā)明的優(yōu)選方式的特征在于，所述控制裝置在與所述第2電流限制值相當(dāng)?shù)碾娏鞯妮敵鰰r(shí)間超過了預(yù)定的閾值的情況下，將所述逆變器的輸出電流限制值從所述第2電流限制值切換為所述第1電流限制值。

本發(fā)明的優(yōu)選方式的特征在于，還具有測(cè)定所述泵單元的溫度的至少一個(gè)溫度傳感器，所述控制裝置在由所述溫度傳感器測(cè)定的所述溫度超過預(yù)定的閾值時(shí)，將所述逆變器的輸出電流限制值從所述第2電流限制值切換為所述第1電流限制值。

本發(fā)明的優(yōu)選方式的特征在于，所述至少一個(gè)溫度傳感器選自測(cè)定所述干式真空泵的泵殼體的溫度的溫度傳感器、測(cè)定所述干式真空泵的軸承的溫度的溫度傳感器、測(cè)定所述馬達(dá)的溫度的溫度傳感器、測(cè)定所述干式真空泵的泵轉(zhuǎn)子的溫度的溫度傳感器、測(cè)定所述干式真空泵的吸入氣體的溫度的溫度傳感器、以及測(cè)定所述干式真空泵的排氣的溫度的溫度傳感器。

本發(fā)明的優(yōu)選方式的特征在于，所述至少一個(gè)泵單元是排出大氣壓的氣體的主泵單元和排出真空壓的氣體的增壓泵單元，以使供給到所述干式真空泵裝置的電力不超過預(yù)先設(shè)定的值的方式運(yùn)轉(zhuǎn)所述主泵和所述增壓泵。

本發(fā)明的另一方式是在具有干式真空泵、驅(qū)動(dòng)所述干式真空泵的馬達(dá)、和控制所述馬達(dá)轉(zhuǎn)速的逆變器的干式真空泵裝置中所使用的控制裝置，其特征在于，所述控制裝置具有將所述逆變器的輸出電流限制值從第1電流限制值切換為第2電流限制值的功能，所述第1電流限制值是所述逆變器能夠連續(xù)流向所述馬達(dá)的電流的最大值即連續(xù)額定電流值，所述第2電流限制值是超過所述連續(xù)額定電流值的值。

本發(fā)明的優(yōu)選方式的特征在于，所述控制裝置按照來自設(shè)置于所述干式真空泵裝置外部的外部指令裝置的指令，將所述逆變器的輸出電流限制值從所述第1電流限制值切換為所述第2電流限制值。

本發(fā)明的優(yōu)選方式的特征在于，所述控制裝置在所述逆變器輸出與所述第1電流限制值相當(dāng)?shù)碾娏鲿r(shí)，在所述干式真空泵的轉(zhuǎn)速低于預(yù)定的目標(biāo)轉(zhuǎn)速的情況下，將所述逆變器的輸出電流限制值從所述第1電流限制值切換為所述第2電流限制值。

本發(fā)明的優(yōu)選方式的特征在于，所述控制裝置在檢測(cè)到所述泵的轉(zhuǎn)速恢復(fù)為所述目標(biāo)轉(zhuǎn)速時(shí)，將所述逆變器的輸出電流限制值從所述第2電流限制值切換為所述第1電流限制值。

本發(fā)明的優(yōu)選方式的特征在于，所述控制裝置在與所述第2電流限制值相當(dāng)?shù)碾娏鞯妮敵鰰r(shí)間超過了預(yù)定的閾值的情況下，將所述逆變器的輸出電流限制值從所述第2電流限制值切換為所述第1電流限制值。

根據(jù)本發(fā)明，在負(fù)載大時(shí)，將逆變器的輸出電流限制值暫時(shí)切換為第2電流限制值，由此能夠在維持轉(zhuǎn)速的狀態(tài)下穩(wěn)定地運(yùn)轉(zhuǎn)干式真空泵。

附圖說明

圖1是表示具有本發(fā)明的第1實(shí)施方式的干式真空泵裝置的真空排氣系統(tǒng)的圖。

圖2是干式真空泵及馬達(dá)的剖視圖。

圖3是圖2的iii-iii線剖視圖。

圖4是圖2的iv-iv線剖視圖。

圖5是表示干式真空泵裝置的控制順序的圖。

圖6是表示泵單元內(nèi)的溫度傳感器的配置部位的圖。

圖7是表示第1電流限制值和第2電流限制值的切換的圖。

圖8是表示干式真空泵的運(yùn)轉(zhuǎn)控制的一例的圖。

圖9是用于說明輸出電流限制值的切換的判斷的圖。

圖10的(a)是表示在將逆變器的輸出電流限制值設(shè)定為第1電流限制值的情況下的逆變器的輸出電力與馬達(dá)轉(zhuǎn)速的關(guān)系的曲線圖，圖10的(b)是表示逆變器的輸出電流與馬達(dá)轉(zhuǎn)速的關(guān)系的曲線圖，圖10的(c)是表示逆變器的輸出電壓與馬達(dá)轉(zhuǎn)速的關(guān)系的曲線圖。

圖11的(a)是表示在將逆變器的輸出電流限制值設(shè)定為第2電流限制值的情況下的逆變器的輸出電力與馬達(dá)轉(zhuǎn)速的關(guān)系的曲線圖，圖11的(b)是表示逆變器的輸出電流與馬達(dá)轉(zhuǎn)速的關(guān)系的曲線圖，圖11的(c)是表示逆變器的輸出電壓與馬達(dá)轉(zhuǎn)速的關(guān)系的曲線圖。

圖12是表示具有干式真空泵裝置的真空排氣系統(tǒng)的另一例的圖。

圖13是本發(fā)明的第2實(shí)施方式的泵裝置的示意圖。

圖14是表示作為外部指令裝置取代操作面板而將上位控制器與控制裝置連接的狀態(tài)的示意圖。

圖15是示意表示圖13及圖14所示的泵裝置的系統(tǒng)的圖。

圖16是表示增壓泵及主泵的運(yùn)轉(zhuǎn)控制的一例的圖。

圖17的(a)是表示增壓泵優(yōu)先運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的主泵單元的逆變器的輸出電力與馬達(dá)轉(zhuǎn)速的關(guān)系的曲線圖，圖17的(b)是表示主泵單元的逆變器的輸出電流與馬達(dá)轉(zhuǎn)速的關(guān)系的曲線圖，圖17的(c)是表示主泵單元的逆變器的輸出電壓與馬達(dá)轉(zhuǎn)速的關(guān)系的曲線圖。

圖18的(a)是表示增壓泵優(yōu)先運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的增壓泵單元的逆變器的輸出電力與馬達(dá)轉(zhuǎn)速的關(guān)系的曲線圖，圖18的(b)是表示增壓泵單元的逆變器的輸出電流與馬達(dá)轉(zhuǎn)速的關(guān)系的曲線圖，圖18的(c)是表示增壓泵單元的逆變器的輸出電壓與馬達(dá)轉(zhuǎn)速的關(guān)系的曲線圖。

附圖標(biāo)記說明

1、90泵裝置

2泵

3、103、107馬達(dá)

4、104、108逆變器

5控制裝置

7商用電源

8、130進(jìn)氣管

9、131排氣管

11真空室

12連結(jié)配管

13流量傳感器

14、120泵溫度傳感器

20、121泵殼體

21泵轉(zhuǎn)子

22轉(zhuǎn)子殼體

23旋轉(zhuǎn)軸

24、25、123軸承

27定時(shí)齒輪

28齒輪箱

30馬達(dá)殼體

35馬達(dá)轉(zhuǎn)子

36永磁體

37定子芯

39磁極齒

40、126線圈

41上位控制器

42、122軸承溫度傳感器

43、124轉(zhuǎn)子溫度傳感器

44、125馬達(dá)溫度傳感器

45、127進(jìn)氣溫度傳感器

46、128排氣溫度傳感器

50加載互鎖室

51連通管

52閘式閥

53吸入閥

92增壓泵單元

93主泵單元

102增壓泵

106主泵

110控制裝置

111進(jìn)氣管

115操作面板

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖1是表示具有本發(fā)明的第1實(shí)施方式的干式真空泵裝置的真空排氣系統(tǒng)的圖。該真空排氣系統(tǒng)具有干式真空泵裝置1和與干式真空泵裝置1連接的真空室11。如圖1所示，干式真空泵裝置1具有泵2、驅(qū)動(dòng)泵2的馬達(dá)3、控制馬達(dá)3的轉(zhuǎn)速的逆變器4、和控制逆變器4的動(dòng)作的控制裝置5。泵2是在氣體的流路內(nèi)不使用油的干式真空泵。由泵2、馬達(dá)3和逆變器4構(gòu)成1個(gè)泵單元?？刂蒲b置5在其內(nèi)部?jī)?nèi)置有中央運(yùn)算處理裝置(cpu)，通過通信信號(hào)傳輸單元或接點(diǎn)與逆變器4連接。干式真空泵裝置1與商用電源7連接。泵2的進(jìn)氣管8和真空室11由連結(jié)配管12連接，通過泵2的運(yùn)轉(zhuǎn)，真空室11內(nèi)的氣體經(jīng)過連結(jié)配管12從泵2的排氣管9排出。

在進(jìn)氣管8安裝有測(cè)定向泵2流入的氣體的流量的流量傳感器13。所測(cè)定出的氣體的流量通過流量傳感器13轉(zhuǎn)換成流量信號(hào)，并發(fā)送給控制裝置5。在泵2安裝有測(cè)定泵2的溫度的泵溫度傳感器14。所測(cè)定出的泵2的溫度通過泵溫度傳感器14轉(zhuǎn)換成溫度信號(hào)，并發(fā)送給控制裝置5。進(jìn)而，由泵溫度傳感器14取得的溫度信號(hào)從控制裝置5發(fā)送給后述的上位控制器41。

圖2是泵2及馬達(dá)3的剖視圖。本實(shí)施方式中說明的泵是羅茨型真空泵，但除了羅茨型真空泵以外也可以選擇螺旋型等其他型的真空泵。如圖2所示，在泵殼體20內(nèi)配置有多個(gè)泵轉(zhuǎn)子(羅茨轉(zhuǎn)子)21。泵轉(zhuǎn)子21收容在轉(zhuǎn)子殼體22內(nèi)，在泵轉(zhuǎn)子21與轉(zhuǎn)子殼體22之間形成有微小的間隙。泵轉(zhuǎn)子21固定于旋轉(zhuǎn)軸23。雖然未圖示，但與泵轉(zhuǎn)子21平行地配置有另外的泵轉(zhuǎn)子，該泵轉(zhuǎn)子也固定于旋轉(zhuǎn)軸(未圖示)。旋轉(zhuǎn)軸23由軸承24、25支承為自由旋轉(zhuǎn)。在旋轉(zhuǎn)軸23的一端部設(shè)置有相互嚙合的一對(duì)定時(shí)齒輪27，并收容在齒輪箱28內(nèi)。在旋轉(zhuǎn)軸23的另一端部設(shè)置有馬達(dá)3。

參照?qǐng)D3及圖4對(duì)馬達(dá)3的具體結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖3是圖2的iii-iii線剖視圖。如圖3所示，在馬達(dá)殼體30內(nèi)收容有一對(duì)馬達(dá)轉(zhuǎn)子35、35。馬達(dá)轉(zhuǎn)子35、35的外周面由永磁體36、36形成，定子芯37設(shè)置成包圍馬達(dá)轉(zhuǎn)子35、35的周圍。

圖4是圖2的iv-iv線剖視圖。如圖4所示，馬達(dá)殼體30內(nèi)的定子芯37具有以包圍馬達(dá)轉(zhuǎn)子35、35的方式排列的磁極齒39。在各磁極齒39卷繞有線圈40。通過在線圈40中流動(dòng)電流而在磁極齒39形成磁場(chǎng)，馬達(dá)轉(zhuǎn)子35、35通過該磁場(chǎng)而旋轉(zhuǎn)。

通過馬達(dá)3的驅(qū)動(dòng)，泵轉(zhuǎn)子向彼此相反方向旋轉(zhuǎn)，真空室11內(nèi)的氣體被堵塞在泵轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子殼體22之間而移送到排氣管9。通過連續(xù)進(jìn)行這樣的氣體移送，對(duì)真空室11內(nèi)的氣體進(jìn)行真空排氣。

接著，參照?qǐng)D5對(duì)泵裝置1的控制順序進(jìn)行說明。圖5是表示泵裝置1的控制順序的圖。在泵裝置1的外部作為外部指令裝置而設(shè)有上位控制器41。泵裝置1和上位控制器41經(jīng)由通信信號(hào)傳輸單元或接點(diǎn)而連接。當(dāng)上位控制器41生成泵2的啟動(dòng)指令信號(hào)時(shí)，啟動(dòng)指令信號(hào)被傳遞到控制裝置5，泵2啟動(dòng)。上位控制器41例如是控制半導(dǎo)體制造裝置的動(dòng)作的控制裝置。也可以作為外部指令裝置而在泵裝置1的外部設(shè)置操作面板，通過工作人員的操作將泵2的啟動(dòng)指令信號(hào)從操作面板發(fā)送到控制裝置5。

當(dāng)控制裝置5接收到泵2的啟動(dòng)指令信號(hào)時(shí)，控制裝置5對(duì)逆變器4發(fā)出指令以使其以預(yù)先設(shè)定的目標(biāo)轉(zhuǎn)速來驅(qū)動(dòng)馬達(dá)3。逆變器4在接收到來自控制裝置5的指令時(shí)將與目標(biāo)轉(zhuǎn)速對(duì)應(yīng)的電力供給到馬達(dá)3。對(duì)馬達(dá)3施加的電壓的最佳值由線圈40的規(guī)格來決定。例如，在永磁體型dc馬達(dá)的情況下，馬達(dá)3的轉(zhuǎn)速與供給電壓大致成比例，因此與轉(zhuǎn)速成比例的電壓被施加到馬達(dá)3。馬達(dá)3的轉(zhuǎn)矩通過供給到馬達(dá)3的電流的大小來控制。控制裝置5控制逆變器4的輸出電力以使馬達(dá)3以目標(biāo)轉(zhuǎn)速進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。馬達(dá)3的轉(zhuǎn)速可以由未圖示的旋轉(zhuǎn)傳感器來檢測(cè)，或者也可以將流經(jīng)馬達(dá)3的電流反饋給控制裝置5，根據(jù)該電流算出馬達(dá)3的轉(zhuǎn)速?；蛘撸部梢詫⒘鹘?jīng)馬達(dá)3的電流反饋給逆變器4，逆變器4根據(jù)該電流算出馬達(dá)3的轉(zhuǎn)速。

在泵裝置1中，除了泵溫度傳感器14以外還安裝有多個(gè)溫度傳感器。參照?qǐng)D6對(duì)這些溫度傳感器進(jìn)行說明。圖6是表示泵裝置1內(nèi)的溫度傳感器的配置部位的圖。泵溫度傳感器14安裝于泵殼體20，測(cè)定泵殼體20。軸承溫度傳感器42配置于泵2的軸承25附近，測(cè)定軸承25的溫度。轉(zhuǎn)子溫度傳感器43配置于泵2的內(nèi)部，測(cè)定泵轉(zhuǎn)子21的溫度。馬達(dá)溫度傳感器44安裝于馬達(dá)3的線圈40，測(cè)定馬達(dá)3的溫度。進(jìn)氣溫度傳感器45安裝于進(jìn)氣管8，測(cè)定向泵2流入的氣體的溫度。排氣溫度傳感器46安裝于排氣管9，測(cè)定從泵2排出的氣體的溫度。由這些溫度傳感器檢測(cè)到的溫度通過各溫度傳感器轉(zhuǎn)換成溫度信號(hào)，并發(fā)送給控制裝置5。進(jìn)而，由各溫度傳感器取得的溫度信號(hào)從控制裝置5發(fā)送給上位控制器41。在難以將溫度傳感器安裝于線圈40的情況下，控制裝置5也可以根據(jù)逆變器4的輸出電流來推定線圈40的溫度。

將超過連續(xù)額定電流值的電流供給到馬達(dá)3的結(jié)果是，當(dāng)馬達(dá)3及逆變器4的熱超過泵裝置1自身的冷卻能力時(shí)，馬達(dá)3及逆變器4會(huì)過熱。然而，如果在逆變器4及馬達(dá)3過熱之前降低電流值，則能夠暫時(shí)流動(dòng)比連續(xù)額定電流值大的電流。在本說明書中，將該能夠暫時(shí)流動(dòng)的最大電流值稱為瞬時(shí)額定電流值。

控制裝置5具有在馬達(dá)3的驅(qū)動(dòng)中將逆變器4輸出的電流的限制值在第1電流限制值和第2電流限制值之間進(jìn)行切換的功能。第1電流限制值是上述的連續(xù)額定電流值，第2電流限制值是上述的瞬時(shí)額定電流值。這些第1電流限制值及第2電流限制值預(yù)先存儲(chǔ)在控制裝置5中。參照?qǐng)D7對(duì)具體的切換進(jìn)行說明。

圖7是表示第1電流限制值與第2電流限制值的切換的圖。如圖7所示，控制裝置5能夠切換第1電流限制值和第2電流限制值。為了防止馬達(dá)3及逆變器4的故障，第1電流限制值被設(shè)定成馬達(dá)3的連續(xù)額定電流值和逆變器4的連續(xù)額定電流值中的較小一方。同樣，第2電流限制值被設(shè)定成馬達(dá)3的瞬時(shí)額定電流值和逆變器4的瞬時(shí)額定電流值中的較小一方。在圖7中，由于馬達(dá)3的連續(xù)額定電流值比逆變器4的連續(xù)額定電流值小，所以馬達(dá)3的連續(xù)額定電流值被設(shè)定成第1電流限制值。由于馬達(dá)3的瞬時(shí)額定電流值比逆變器4的瞬時(shí)額定電流值小，所以馬達(dá)3的瞬時(shí)額定電流值被設(shè)定成第2電流限制值。

瞬時(shí)額定電流值的大小由流動(dòng)電流的時(shí)間來決定。因此，在流動(dòng)電流的時(shí)間短的情況下，與流動(dòng)電流的時(shí)間長(zhǎng)的情況相比，能夠流動(dòng)更大的電流。第2電流限制值被設(shè)定成連續(xù)額定電流值的數(shù)倍～數(shù)十倍。

控制裝置5優(yōu)選對(duì)從第1電流限制值切換為第2電流限制值的次數(shù)的累計(jì)值進(jìn)行計(jì)數(shù)，在該累計(jì)值超過了預(yù)定的閾值的情況下，控制裝置5降低第2電流限制值本身?；蛘?，控制裝置5也可以對(duì)從第1電流限制值向第2電流限制值切換的頻度進(jìn)行計(jì)數(shù)，在該頻度比預(yù)定的閾值高的情況下，控制裝置5降低第2電流限制值本身。

參照?qǐng)D8對(duì)切換第1電流限制值和第2電流限制值的條件進(jìn)行說明。圖8是表示泵2的運(yùn)轉(zhuǎn)控制的一例的圖。在圖8中，將與15kw的電力對(duì)應(yīng)的電流限制值設(shè)為第1電流限制值，將與20kw的電力對(duì)應(yīng)的電流限制值設(shè)為第2電流限制值。在圖8所示的例子中，由泵溫度傳感器14、馬達(dá)溫度傳感器44以及軸承溫度傳感器42測(cè)定泵溫度、馬達(dá)溫度以及軸承溫度。各自的溫度的上限值被設(shè)定為100℃。此外，圖8所示的運(yùn)轉(zhuǎn)條件并不限于此，也可以任意地設(shè)定運(yùn)轉(zhuǎn)條件。例如，由于溫度傳感器檢測(cè)的溫度根據(jù)設(shè)置的部位不同而不同，因此各溫度的上限值并不限于此。另外，由于第1電流限制值及第2電流限制值都根據(jù)所采用的逆變器及馬達(dá)不同而不同，因此并不限定于圖示的例子。

在連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)泵2的情況(條件1)下，逆變器4的輸出電流限制值被設(shè)定成第1電流限制值。在啟動(dòng)泵2的情況(條件2)下，控制裝置5將逆變器4的輸出電流限制值從第1電流限制值切換為第2電流限制值。由此，馬達(dá)3的轉(zhuǎn)矩增大，能夠使泵2快速增大到額定速度。在從泵2的啟動(dòng)經(jīng)過了預(yù)定時(shí)間(圖8中為30秒)之后，控制裝置5將逆變器4的輸出電流限制值從第2電流限制值切換為第1電流限制值。由此，能夠不使泵3及逆變器4發(fā)生故障而穩(wěn)定地運(yùn)轉(zhuǎn)泵2。

當(dāng)生成物進(jìn)入泵2時(shí)，對(duì)馬達(dá)3的負(fù)載增大，妨礙了泵2的運(yùn)轉(zhuǎn)。在將進(jìn)入的生成物除去的情況(條件3)下，控制裝置5根據(jù)來自上位控制器41的指令，將逆變器4的輸出電流限制值從第1電流限制值切換為第2電流限制值。當(dāng)泵2的溫度超過作為其上限值的100℃而變?yōu)?20℃時(shí)，控制裝置5將逆變器4的輸出電流限制值從第2電流限制值切換為第1電流限制值。當(dāng)泵2的溫度變?yōu)?00℃以下時(shí)，根據(jù)來自上位控制器41的指令，控制裝置5再次將逆變器4的輸出電流限制值從第1電流限制值切換為第2電流限制值。

在將真空室11內(nèi)的大氣壓的氣體排出的情況(條件4)下，控制裝置5在與條件3所示的運(yùn)轉(zhuǎn)條件相同的條件下進(jìn)行逆變器4的控制。在泵2啟動(dòng)時(shí)，為了防止泵2的轉(zhuǎn)速的降低，根據(jù)來自上位控制器41的指令，控制裝置5將逆變器4的輸出電流限制值切換為第2電流限制值。當(dāng)馬達(dá)3的溫度變?yōu)?20℃且馬達(dá)溫度傳感器44檢測(cè)到這一情況時(shí)，控制裝置5將逆變器4的輸出電流限制值從第2電流限制值切換為第1電流限制值。當(dāng)馬達(dá)3的溫度變?yōu)?00℃以下時(shí)，根據(jù)來自上位控制器41的指令，控制裝置5再次將逆變器4的輸出電流限制值從第1電流限制值切換為第2電流限制值。

上述的從第1電流限制值向第2電流限制值的切換，按照來自上位控制器41的指示來進(jìn)行，但也可以使控制裝置5進(jìn)行逆變器4的輸出電流限制值的切換的判斷。參照?qǐng)D9對(duì)具體的輸出電流限制值的切換的判斷進(jìn)行說明。圖9是用于說明輸出電流限制值的切換的判斷的圖。圖9所示的橫軸表示逆變器4的輸出電流，縱軸表示泵2的轉(zhuǎn)速。在泵2的負(fù)載足夠小的情況下，逆變器4輸出比第1限制電流值小的電流，使泵2以額定速度運(yùn)轉(zhuǎn)(p1)?？刂蒲b置5根據(jù)泵2的負(fù)載來調(diào)整逆變器4的輸出電流，以使泵2的轉(zhuǎn)速恒定。當(dāng)泵2的負(fù)載增大時(shí)，逆變器4輸出與第1電流限制值相當(dāng)?shù)碾娏?，使?以額定速度運(yùn)轉(zhuǎn)(p2)。

當(dāng)泵2的負(fù)載進(jìn)一步增大時(shí)，泵2的轉(zhuǎn)速降低(p3)。在逆變器4輸出與第1電流限制值相當(dāng)?shù)碾娏鲿r(shí)，若控制裝置5檢測(cè)到泵2的轉(zhuǎn)速的降低，則控制裝置5將逆變器4的輸出電流限制值從第1電流限制值切換為第2電流限制值。由此，逆變器4的輸出電流上升到第2電流限制值(p4)。逆變器4將與第2電流限制值相當(dāng)?shù)碾娏鞴┙o到馬達(dá)3，由此馬達(dá)3的轉(zhuǎn)矩增大，泵2的轉(zhuǎn)速恢復(fù)到額定速度(p5)。如果負(fù)載減小，則控制裝置5將逆變器4的輸出電流限制值從第2電流限制值切換為第1限制電流值(p2)。在負(fù)載仍然大的情況下，以與第2電流限制值對(duì)應(yīng)的電力來驅(qū)動(dòng)馬達(dá)3。為了防止馬達(dá)3及逆變器4的過熱，在馬達(dá)3以第2電流限制值的運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間超過了預(yù)定的時(shí)間的情況下，控制裝置5將逆變器4的輸出電流限制值從第2電流限制值切換為第1電流限制值。

在泵2的待機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)中，控制裝置5控制逆變器4以使馬達(dá)3的轉(zhuǎn)速下降到必要最低限度的轉(zhuǎn)速(p6)。通過來自上位控制器41的信號(hào)或操作面板的操作，泵2立即恢復(fù)到額定速度。

為了防止因泵單元的過熱導(dǎo)致的故障，控制裝置5具有故障避免功能。例如，在由溫度傳感器14、42、43、44、45以及46中至少1個(gè)溫度傳感器測(cè)定出的溫度超過了預(yù)定的閾值的情況下，控制裝置5的故障避免功能發(fā)揮作用，將逆變器4的輸出電流限制值從第2電流限制值切換為第1電流限制值。在上述溫度傳感器的檢測(cè)溫度超過了預(yù)定的閾值的情況下，控制裝置5也可以降低第2電流限制值本身。

在上述的例子中，在與第2電流限制值相當(dāng)?shù)碾娏鞯妮敵鰰r(shí)間超過了預(yù)定的時(shí)間的情況下，控制裝置5從第2電流限制值切換為第1電流限制值。取而代之，控制裝置5也可以根據(jù)由流量傳感器13檢測(cè)到的氣體的流量將逆變器4的輸出電流限制值從第2電流限制值切換為第1電流限制值。例如，在排出大量氣體的情況下，控制裝置5接收來自上位控制器41或操作面板的信號(hào)，將逆變器4的輸出電流限制值從第1電流限制值切換為第2電流限制值，在由流量傳感器13測(cè)定出的流量降低到預(yù)定的值時(shí)，將逆變器4的輸出電流限制值從第2電流限制值切換為第1電流限制值。

在盡管由流量傳感器13測(cè)定的流量少但逆變器4的輸出電流大的情況下，認(rèn)為在泵轉(zhuǎn)子21附著有生成物。因此，在這樣的情況下，優(yōu)選通過將逆變器4的輸出電流限制值從第1電流限制值切換為第2電流限制值來除去生成物。具體而言，優(yōu)選是，在由流量傳感器13測(cè)定出的流量為預(yù)定的閾值以下、且逆變器4的輸出電流為預(yù)定的閾值以上的情況下，控制裝置5將逆變器4的輸出電流限制值從第1電流限制值切換為第2電流限制值。在由流量傳感器13測(cè)定的流量大、且逆變器4的輸出電流也大的情況下，認(rèn)為這是通常的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，因此逆變器4的輸出電流限制值維持為第1電流限制值。

另外，在逆變器4的輸出電力的累計(jì)值超過了預(yù)定的閾值的情況下，控制裝置5可以將逆變器4的輸出電流限制值從第2電流限制值切換為第1電流限制值。具體而言，控制裝置5可以按每預(yù)定的單位時(shí)間(例如0.1秒)存儲(chǔ)逆變器4的輸出電力，算出在預(yù)定的期間(例如數(shù)秒)的每上述預(yù)定的單位時(shí)間的輸出電力的累計(jì)值，在該累計(jì)值超過了預(yù)定的閾值的情況下，將逆變器4的輸出電流限制值從第2電流限制值切換為第1電流限制值。

在從第1電流限制值向第2電流限制值的切換頻繁發(fā)生的情況下，認(rèn)為由于異物的進(jìn)入等外部原因?qū)е卤?停止的危險(xiǎn)高。因此控制裝置5優(yōu)選在從第1電流限制值向第2電流限制值切換的頻度高于預(yù)定的閾值的情況下發(fā)出警告。另外，優(yōu)選通過通信信號(hào)傳輸單元或接點(diǎn)接觸，將警告通知給上位控制器41或操作面板。

如上所述，控制裝置5暫時(shí)增大逆變器4的輸出電流限制值，由此能夠防止泵單元的過熱，同時(shí)穩(wěn)定地運(yùn)轉(zhuǎn)泵單元。

圖10的(a)是表示在將逆變器4的輸出電流限制值設(shè)定為第1電流限制值的情況下的逆變器4的輸出電力與馬達(dá)3的轉(zhuǎn)速的關(guān)系的曲線圖，圖10的(b)是表示逆變器4的輸出電流與馬達(dá)3的轉(zhuǎn)速的關(guān)系的曲線圖，圖10的(c)是表示逆變器4的輸出電壓與馬達(dá)3的轉(zhuǎn)速的關(guān)系的曲線圖。在圖10的(a)中，當(dāng)啟動(dòng)馬達(dá)3時(shí)，馬達(dá)3的轉(zhuǎn)速上升到額定速度。逆變器4以使馬達(dá)3的轉(zhuǎn)速保持恒定的方式輸出電力。當(dāng)施加于泵2的負(fù)載增大時(shí)，如圖10(b)所示，逆變器4的輸出電流到達(dá)第1電流限制值。當(dāng)施加于泵2的負(fù)載進(jìn)一步增大，負(fù)載轉(zhuǎn)矩大于馬達(dá)3的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)矩時(shí)，在逆變器4的輸出電流值維持為第1電流限制值的狀態(tài)下，馬達(dá)3的轉(zhuǎn)速降低。當(dāng)馬達(dá)3的轉(zhuǎn)速降低時(shí)，如圖10的(c)所示，逆變器4的輸出電壓降低，隨之如圖10的(a)所示，逆變器4的輸出電力降低。

圖11的(a)是表示在將逆變器4的輸出電流限制值設(shè)定為第2電流限制值的情況下的逆變器4的輸出電力與馬達(dá)3的轉(zhuǎn)速的關(guān)系的曲線圖，圖11的(b)是表示逆變器4的輸出電流與馬達(dá)3的轉(zhuǎn)速的關(guān)系的曲線圖，圖11的(c)是表示逆變器4的輸出電壓與馬達(dá)3的轉(zhuǎn)速的關(guān)系的曲線圖。圖11的(a)所示的虛線與圖10的(a)的曲線圖相同，圖11的(b)所示的虛線與圖10的(b)所示的曲線圖相同。逆變器4的電力被控制以使馬達(dá)3的轉(zhuǎn)速維持為額定速度。當(dāng)泵2的負(fù)載增大時(shí)，如圖11的(b)所示，逆變器4的輸出電力到達(dá)第2電流限制值。當(dāng)施加于泵2的負(fù)載進(jìn)一步增大，負(fù)載轉(zhuǎn)矩大于馬達(dá)3的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)矩時(shí)，在逆變器4的輸出電流值維持為第2電流限制值的狀態(tài)下，馬達(dá)3的轉(zhuǎn)速降低。當(dāng)馬達(dá)3的轉(zhuǎn)速降低時(shí)，如圖11的(c)所示，逆變器4的輸出電壓降低，隨之如圖11的(a)所示，逆變器4的輸出電力降低。

如圖11的(a)所示，在將逆變器4的輸出電流限制值設(shè)定為第2電流限制值來驅(qū)動(dòng)馬達(dá)3的情況下，與圖10的(a)所示驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的情況相比，該電力增加了與長(zhǎng)度l相當(dāng)?shù)牧?。因此，馬達(dá)3的轉(zhuǎn)矩增大，即使負(fù)載增大轉(zhuǎn)速也難以降低。

圖12是表示具有干式真空泵裝置的真空排氣系統(tǒng)的另一例的圖。該真空排氣系統(tǒng)具有泵裝置1、與泵裝置1連接的加載互鎖室50、和與加載互鎖室50連接的真空室11。在真空室11與泵裝置1之間配置有加載互鎖室50。加載互鎖室50和真空室11通過連通管51連接，在連通管51安裝有能夠開閉的閘式閥52。通過關(guān)閉閘式閥52，切斷真空室11與加載互鎖室50之間的氣體的連通。加載互鎖室50是在例如半導(dǎo)體制造裝置中使用的裝置，能夠在將真空室11內(nèi)維持真空狀態(tài)的狀態(tài)下對(duì)真空室11進(jìn)出基板。

真空室11內(nèi)總是被維持真空。向加載互鎖室50放入晶片，通過泵2將加載互鎖室50內(nèi)排氣。在加載互鎖室50內(nèi)變成真空之后，打開閘式閥52，將晶片從加載互鎖室50送入真空室11。在真空室11中處理了晶片之后，將晶片從真空室11移送到加載互鎖室50，在關(guān)閉閘式閥52后，將加載互鎖室50內(nèi)的氣壓恢復(fù)到大氣壓，將晶片從加載互鎖室50取出。

加載互鎖室50內(nèi)的排氣如下述這樣來進(jìn)行。使泵2以額定速度運(yùn)轉(zhuǎn)，在該狀態(tài)下，打開加載互鎖室50與泵2之間的吸入閥53。于是，加載互鎖室50內(nèi)的大氣壓的氣體被一口氣吸進(jìn)泵2中，加載互鎖室50內(nèi)被從大氣壓排氣成真空。在該真空排氣工序中，當(dāng)打開吸入閥53時(shí)，加載互鎖室50內(nèi)的氣體一口氣流入泵2中，因此對(duì)泵2施加了過大的負(fù)載。因此，有時(shí)馬達(dá)3的轉(zhuǎn)速會(huì)降低，泵2的排氣速度會(huì)降低。

為了解決該問題，在本實(shí)施方式中，在從打開吸入閥53起經(jīng)過預(yù)定時(shí)間之前，在逆變器4的輸出電流限制值被設(shè)定為第2電流限制值的條件下驅(qū)動(dòng)馬達(dá)3。以打開吸入閥53為契機(jī)，控制裝置5將逆變器4的輸出電流限制值從第1電流限制值切換為第2電流限制值。在打開吸入閥53之后，可以在預(yù)先設(shè)定的時(shí)間內(nèi)使泵2的轉(zhuǎn)速比額定速度高百分之幾到百分之十幾。能夠通過提高泵2的轉(zhuǎn)速來提高泵2的排氣速度。由此，可縮短加載互鎖室50內(nèi)的排氣時(shí)間，生產(chǎn)性提高。

圖13是本發(fā)明的第2實(shí)施方式的干式真空泵裝置90的示意圖。對(duì)與第1實(shí)施方式相同或相當(dāng)?shù)臉?gòu)成要素標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，省略重復(fù)的說明。如圖13所示，干式真空泵裝置90具有經(jīng)由連結(jié)配管12與真空室11連接的增壓泵單元92和與增壓泵單元92連接的主泵單元93。增壓泵單元92具有增壓泵102、馬達(dá)103和逆變器104。主泵單元93具有主泵106、馬達(dá)107和逆變器108。主泵106是將真空室11內(nèi)的氣體從大氣壓排出的泵，增壓泵102是將真空室11內(nèi)的氣體進(jìn)一步排出而提高真空度的泵?？梢栽趩?dòng)主泵106后啟動(dòng)增壓泵102，也可以同時(shí)啟動(dòng)這些泵102、106。

本實(shí)施方式中的主泵106具有與圖2所示的泵2相同的構(gòu)造。主泵106的進(jìn)氣管111與增壓泵102的排氣口連接。增壓泵102由比主泵106少的級(jí)數(shù)的泵轉(zhuǎn)子構(gòu)成。增壓泵102具有比主泵106大的排氣速度。

增壓泵102與馬達(dá)103連接，馬達(dá)103與逆變器104連接。主泵106與馬達(dá)107連接，馬達(dá)107與逆變器108連接。在逆變器104及逆變器108的附近配置有控制逆變器104及逆變器108的動(dòng)作的控制裝置110?？刂蒲b置110與設(shè)置在泵裝置90外部的操作面板(外部指令裝置)115連接，工作人員對(duì)操作面板115進(jìn)行操作，由此將在第1電流限制值和第2電流限制值之間切換逆變器104及/或逆變器108的輸出電流限制值的指令信號(hào)發(fā)送到控制裝置110。沒有特別說明的控制裝置110的結(jié)構(gòu)及動(dòng)作與上述的控制裝置5相同，因此省略其重復(fù)的說明。

在增壓泵單元92及主泵單元93安裝有測(cè)定這些泵單元92、93內(nèi)的溫度的多個(gè)溫度傳感器。雖然未圖示，但在主泵單元93安裝有與增壓泵單元92相同的溫度傳感器。以下，對(duì)安裝于增壓泵單元92的溫度傳感器進(jìn)行說明，省略重復(fù)的溫度傳感器的說明。

泵溫度傳感器120安裝于增壓泵102的泵殼體121，測(cè)定泵殼體121的溫度。軸承溫度傳感器122配置于增壓泵102的軸承123的附近，測(cè)定軸承123的溫度。轉(zhuǎn)子溫度傳感器124配置于增壓泵102的內(nèi)部，測(cè)定未圖示的泵轉(zhuǎn)子的溫度。馬達(dá)溫度傳感器125安裝于馬達(dá)103的線圈126，測(cè)定馬達(dá)103的溫度。進(jìn)氣溫度傳感器127安裝于增壓泵102的進(jìn)氣管130，測(cè)定向增壓泵102流入的氣體的溫度。排氣溫度傳感器128安裝于主泵106的排氣管131，測(cè)定從主泵106排出的氣體的溫度。

為了防止因泵單元的過熱導(dǎo)致的故障，控制裝置110具有故障避免功能。例如在安裝于增壓泵單元92及主泵單元93的溫度傳感器中的至少1個(gè)溫度傳感器檢測(cè)到的溫度超過了預(yù)定的閾值的情況下，控制裝置110的故障避免功能發(fā)揮作用，將逆變器104或逆變器108的輸出電流限制值從第2電流限制值切換為第1電流限制值。在上述溫度傳感器的檢測(cè)溫度超過了預(yù)定的閾值的情況下，控制裝置110也可以降低第2電流限制值本身。

圖14是表示作為外部指令裝置取代操作面板115而將上位控制器41與控制裝置110連接的狀態(tài)的示意圖?？刂蒲b置110根據(jù)從上位控制器41送來的切換指令信號(hào)，將逆變器104及/或逆變器108的輸出電流限制值從第1電流限制值切換為第2電流限制值。

圖15是示意表示圖13、圖14所示的泵裝置90的系統(tǒng)的圖。圖15所示的溫度傳感器包括性地表示溫度傳感器120、122、124、125、127以及128。如圖15所示，安裝于增壓泵單元92及主泵單元93的溫度傳感器，經(jīng)由通信信號(hào)傳輸單元或接點(diǎn)與控制裝置110連接。由各溫度傳感器取得的溫度信號(hào)從控制裝置110發(fā)送給上位控制器41或操作面板115?？刂蒲b置110也連接于逆變器104及逆變器108，根據(jù)來自操作面板115或上位控制器41的信號(hào)控制逆變器104及逆變器108的動(dòng)作。

圖16是表示增壓泵102及主泵106的運(yùn)轉(zhuǎn)控制的一例的圖。在圖16中，將與15kw的電力對(duì)應(yīng)的電流限制值設(shè)為第1電流限制值，將與20kw的電力對(duì)應(yīng)的電流限制值設(shè)為第2電流限制值，將與10kw的電力對(duì)應(yīng)的電流限制值設(shè)為第3電流限制值。如圖16所示，在將供給到泵裝置90的總電力設(shè)為30kw時(shí)，使泵裝置90通常運(yùn)轉(zhuǎn)的情況(條件1)下，逆變器104、108的輸出電流限制值被設(shè)定為第1電流限制值。因此，向增壓泵單元92及主泵單元93最大各供給15kw的電力。

對(duì)啟動(dòng)泵裝置90的情況(條件2)進(jìn)行說明。在泵裝置90啟動(dòng)時(shí)，使主泵106優(yōu)先運(yùn)轉(zhuǎn)的情況下，逆變器108的輸出電流限制值被切換為第2電流限制值，逆變器104的輸出電流限制值被設(shè)定為比第1電流限制值低的第3電流限制值。因此，逆變器108最大將20kw的電力供給到馬達(dá)107，逆變器104最大將10kw的電力供給到馬達(dá)103。接著，使增壓泵102優(yōu)先運(yùn)轉(zhuǎn)。在該情況下，逆變器108的輸出電流限制值被切換為第3電流限制值，逆變器104的輸出電流限制值被切換為第2電流限制值。因此，逆變器104最大將20kw的電力供給到馬達(dá)103，逆變器108最大將10kw的電力供給到馬達(dá)107。然后，泵裝置90在通常運(yùn)轉(zhuǎn)模式下運(yùn)轉(zhuǎn)。在該通常運(yùn)轉(zhuǎn)中，逆變器104、108的輸出電流限制值被切換為第1電流限制值。因此，逆變器104、108向馬達(dá)103、107最大各供給15kw的電力。

在除去生成物的情況(條件3)下，進(jìn)行增壓泵優(yōu)先運(yùn)轉(zhuǎn)。也就是說，逆變器104的輸出電流限制值被切換為第2電流限制值，逆變器108的輸出電流限制值被切換為第3電流限制值。因此，逆變器104最大將20kw的電力供給到馬達(dá)103，逆變器108最大將10kw的電力供給到馬達(dá)107。由于逆變器104最大將20kw的電力供給到馬達(dá)103，因此馬達(dá)103的轉(zhuǎn)矩增大，生成物被除去。

在將真空室11內(nèi)的氣體從大氣壓排出的情況(條件4)下，首先進(jìn)行主泵優(yōu)先運(yùn)轉(zhuǎn)。也就是說，逆變器108的輸出電流限制值被切換為第2電流限制值，逆變器104的輸出電流限制值被切換為第3電流限制值。因此，逆變器108最大將20kw的電力供給到馬達(dá)107，逆變器104最大將10kw的電力供給到馬達(dá)103。在真空室11內(nèi)的氣體排出一定程度之后，接著進(jìn)行增壓泵優(yōu)先運(yùn)轉(zhuǎn)。也就是說，逆變器104的輸出電流限制值被切換為第2電流限制值，逆變器108的輸出電流限制值被切換為第3電流限制值。因此，逆變器104最大將20kw的電力供給到馬達(dá)103，逆變器108最大將10kw的電力供給到馬達(dá)107。通過在這樣的運(yùn)轉(zhuǎn)條件下運(yùn)轉(zhuǎn)增壓泵102及主泵106，能夠?qū)⒄婵帐?1內(nèi)的氣體高速排出。作為結(jié)果，能夠縮短直到形成目標(biāo)真空之前的時(shí)間。此外，圖16所示的運(yùn)轉(zhuǎn)條件并不限于此，可以任意地設(shè)定運(yùn)轉(zhuǎn)條件。

圖17的(a)是表示增壓泵優(yōu)先運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的主泵單元93的逆變器108的輸出電力與馬達(dá)107的轉(zhuǎn)速的關(guān)系的曲線圖，圖17的(b)是表示逆變器108的輸出電流與馬達(dá)107的轉(zhuǎn)速的關(guān)系的曲線圖，圖17的(c)是表示逆變器108的輸出電壓與馬達(dá)107的轉(zhuǎn)速的關(guān)系的曲線圖。圖17的(a)的虛線表示在將逆變器108的輸出電流限制值設(shè)定為第1電流限制值時(shí)的馬達(dá)107的轉(zhuǎn)速與逆變器108的輸出電力的關(guān)系，圖17的(a)的實(shí)線表示在將逆變器108的輸出電流限制值設(shè)定為第3電流限制值時(shí)的馬達(dá)107的轉(zhuǎn)速與逆變器108的輸出電力的關(guān)系。

當(dāng)啟動(dòng)馬達(dá)107時(shí)，馬達(dá)107的轉(zhuǎn)速上升到額定速度。逆變器108以使馬達(dá)107的轉(zhuǎn)速保持恒定的方式輸出電力。當(dāng)施加于主泵106的負(fù)載增大時(shí)，如圖17的(b)所示，逆變器108的輸出電流到達(dá)第3電流限制值。當(dāng)施加于主泵106的負(fù)載進(jìn)一步增大時(shí)，在逆變器108的輸出電流維持為第3電流限制值的狀態(tài)下，馬達(dá)107的轉(zhuǎn)速降低。當(dāng)馬達(dá)107的轉(zhuǎn)速降低時(shí)，如圖17的(c)所示，逆變器108的輸出電壓降低，隨之如圖17的(a)所示，逆變器108的輸出電力降低。

在使增壓泵102優(yōu)先運(yùn)轉(zhuǎn)的情況下，由于供給到馬達(dá)107的電力比與第1電流限制值對(duì)應(yīng)的電力小，所以如圖17的(a)及圖17的(b)的實(shí)線所示，比通常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的電流小的電流被供給到馬達(dá)107。

圖18的(a)是表示增壓泵優(yōu)先運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的增壓泵單元92的逆變器104的輸出電力與馬達(dá)103的轉(zhuǎn)速的關(guān)系的曲線圖，圖18的(b)是表示增壓泵優(yōu)先運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的逆變器104的輸出電流與馬達(dá)103的轉(zhuǎn)速的關(guān)系的曲線圖，圖18的(c)是表示增壓泵優(yōu)先運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的逆變器104的輸出電壓與馬達(dá)103的轉(zhuǎn)速的關(guān)系的曲線圖。

圖18的(a)的虛線表示在將逆變器104的輸出電流限制值設(shè)定為第1電流限制值時(shí)的馬達(dá)103的轉(zhuǎn)速與逆變器104的輸出電力的關(guān)系，圖18的(a)的實(shí)線表示在將逆變器104的輸出電流限制值設(shè)定為第2電流限制值時(shí)的馬達(dá)103的轉(zhuǎn)速與逆變器104的輸出電力的關(guān)系。如圖18的(a)所示，將逆變器104的輸出電流限制值從第1電流限制值切換為第2電流限制值的情況下的電力值，增加了與長(zhǎng)度l相當(dāng)?shù)牧?。由此，馬達(dá)103的轉(zhuǎn)矩增大，即使負(fù)載增大增壓泵102的轉(zhuǎn)速也維持恒定。圖18的(a)至圖18的(c)所示的曲線圖與圖11的(a)至圖11的(c)所示的曲線圖相同。

至此對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限定于上述的實(shí)施方式，當(dāng)然可以在其技術(shù)思想的范圍內(nèi)以各種不同的方式來實(shí)施。