本技術(shù)涉及真空設(shè)備，具體是一種花瓣型吸氣劑泵用吸氣劑。

背景技術(shù)：

1、吸氣劑主要是應用在真空領(lǐng)域，是真空和氣體純化領(lǐng)域常用的材料，作用是消除器件中的雜質(zhì)氣體，在真空腔體中起到維持真空度的作用，進而延長器件壽命，減小噪聲；

2、吸氣劑按是否蒸散可以分為兩大類，一類稱為蒸散型吸氣劑，在真空中時加熱激活從吸氣劑中蒸散出堿土金屬，并很快附著在真空器件內(nèi)壁上形成吸氣薄膜，有很強的吸氣能力。第二種稱為非蒸散型吸氣劑，常見的材料是鋯、鈦等金屬及化合物，這類吸氣劑在大氣中表面會形成致密鈍化層，在真空中對吸氣劑進行高溫激活破壞表面鈍化層，吸氣劑就可以吸收殘氣，并向吸氣劑內(nèi)部擴散；

3、吸氣劑泵一般由非蒸散型多孔吸氣材料和加熱結(jié)構(gòu)組成。非蒸散型多孔吸氣材料一般由鈦、鋯、鉿、鉭、釔、鈮、鉬、釩、錳、鐵、鎳、鈷、鋁、稀土等金屬中選擇一種或多種或他們的合金制成，具體組成由所能提供的激活溫度，對氫氣的平衡壓力的要求，以及多孔材料的牢固度要求決定。

4、吸氣劑泵一般用于真空腔體內(nèi)，可用作維持真空、氣體純化等功能。由于吸氣劑泵在超高真空環(huán)境下的對氫氣的抽速較高且清潔無污染，因此在超高真空領(lǐng)域有獨特的優(yōu)勢。

5、目前市場現(xiàn)有的非蒸散型吸氣劑泵，一般使用的吸氣劑都是傳統(tǒng)的圓片狀吸氣劑，吸氣表面積較低且氣體流導較小，從而導致吸氣劑泵為獲得更大的氣體抽速往往選擇增加更多的吸氣劑片，但是不斷增加吸氣劑的數(shù)量又會存在吸氣劑泵牢固度降低和難以激活等問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為了彌補現(xiàn)有技術(shù)的不足，非蒸散型吸氣劑泵，一般使用的吸氣劑都是傳統(tǒng)的圓片狀吸氣劑，吸氣表面積較低且氣體流導較小，從而導致吸氣劑泵為獲得更大的氣體抽速往往選擇增加更多的吸氣劑片，但是不斷增加吸氣劑的數(shù)量又會存在吸氣劑泵牢固度降低和難以激活的問題，本實用新型提出一種花瓣型吸氣劑泵用吸氣劑。

2、本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種花瓣型吸氣劑泵用吸氣劑，包括吸氣劑，所述吸氣劑由固定圈和鈦基吸氣合金兩部分組成，其中吸氣劑外形為花瓣狀，包含多個橢圓狀瓣片。

3、優(yōu)選的，所述鈦基吸氣合金其成分包括鋯、鋁、鈦、鉬、釩、鐵、鉭、鉿、稀土中地一種或多種。

4、優(yōu)選的，所述吸氣劑的外圈共包含有7-30橢圓狀瓣片。

5、優(yōu)選的，所述固定圈為金屬材質(zhì)，一般由鐵合金、鋼、鈦或鈦合金等材料制成，所述固定圈直徑為4mm—8mm，所述固定圈的高度為0.5mm—3mm。

6、優(yōu)選地，所述吸氣劑的最大外徑為30mm，所述吸氣劑的高度為0.5mm—3mm。

7、本實用新型的有益之處在于：

8、1.本實用新型提高吸氣劑泵的穩(wěn)定性及牢固度，可以更好地抵抗振動、沖擊和其他外部力量的影響，同時，也提高了吸氣劑泵的吸氣表面積，從而將更多的氣體吸入泵內(nèi)，有助于提高吸氣效率，加快氣體吸入速度，并且使得吸氣劑泵可以處理更大的氣體流量，使其具有更強的抽取能力，還有利于降低泵的能耗，并減少對泵的壓力和負荷，延長泵的使用壽命，同時可以減少氣體進入泵內(nèi)部的速度和壓力，降低氣體中懸浮固體顆?；螂s質(zhì)引起的堵塞風險，從而達到了提高泵的可靠性和穩(wěn)定性的目的。

技術(shù)特征：

1.一種花瓣型吸氣劑泵用吸氣劑，其特征在于：包括吸氣劑（1），所述吸氣劑（1）由固定圈（11）和鈦基吸氣合金（12）兩部分組成，其中吸氣劑（1）外形為花瓣狀，包含多個橢圓狀瓣片。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種花瓣型吸氣劑泵用吸氣劑，其特征在于：所述吸氣劑（1）的外圈共包含有7-30橢圓狀瓣片。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種花瓣型吸氣劑泵用吸氣劑，其特征在于：所述固定圈（11）為金屬材質(zhì)，一般由鐵合金、鋼、鈦或鈦合金制成，所述固定圈（11）直徑為4mm—8mm，所述固定圈（11）的高度為0.5mm—3mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種花瓣型吸氣劑泵用吸氣劑，其特征在于：所述吸氣劑（1）的最大外徑為30mm，所述吸氣劑（1）的高度為0.5mm—3mm。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)屬于真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種花瓣型吸氣劑泵用吸氣劑，包括吸氣劑，所述吸氣劑由固定圈和鈦基吸氣合金兩部分組成，其中吸氣劑外形為花瓣狀，包含多個橢圓狀瓣片，本技術(shù)提高吸氣劑泵的穩(wěn)定性及牢固度，可以更好地抵抗振動、沖擊和其他外部力量的影響，同時，也提高了吸氣劑泵的吸氣表面積，從而將更多的氣體吸入泵內(nèi)，有助于提高吸氣效率，加快氣體吸入速度，并且使得吸氣劑泵可以處理更大的氣體流量，使其具有更強的抽取能力，還有利于降低泵的能耗，并減少對泵的壓力和負荷，延長泵的使用壽命，同時可以減少氣體進入泵內(nèi)部的速度和壓力，降低氣體中懸浮固體顆?；螂s質(zhì)引起的堵塞風險。

技術(shù)研發(fā)人員：杜時韜,薛函迎,柴云川
受保護的技術(shù)使用者：南京華東電子真空材料有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231226
技術(shù)公布日：2025/1/6