1.一種用于從真空室抽空氣體的旋轉(zhuǎn)葉片真空泵，所述旋轉(zhuǎn)葉片真空泵包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，其中，所述旋轉(zhuǎn)葉片真空泵進(jìn)一步包括所述至少一個(gè)傳感器，所述至少一個(gè)傳感器包括溫度傳感器、壓力傳感器、濕度傳感器和用于感測(cè)所述轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)次數(shù)的傳感器中的至少一者。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的旋轉(zhuǎn)葉片真空泵，其中，
4.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的旋轉(zhuǎn)葉片真空泵，其中，所述通氣通道被構(gòu)造成在更靠近所述真空泵的所述入口而不是所述出口處通向所述旋轉(zhuǎn)葉片泵。
5.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的旋轉(zhuǎn)葉片真空泵，其中，所述通氣通道向在大氣壓力之上的壓力通氣。
6.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的旋轉(zhuǎn)葉片真空泵，其中，所述旋轉(zhuǎn)葉片真空泵包括潤(rùn)滑劑密封的滑動(dòng)葉片真空泵，并且所述通氣通道向所述泵的潤(rùn)滑劑套管通氣。
7.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的旋轉(zhuǎn)葉片真空泵，其中，所述流動(dòng)控制裝置被構(gòu)造成打開所述通氣通道或閉合所述通氣通道。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的旋轉(zhuǎn)葉片真空泵，其中，所述流動(dòng)控制裝置被構(gòu)造成控制打開的程度，且因此控制通過所述通氣通道的流動(dòng)。
9.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的旋轉(zhuǎn)葉片真空泵，其中，所述流動(dòng)控制裝置包括閥。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的旋轉(zhuǎn)葉片真空泵，其中，所述閥包括機(jī)械閥，所述機(jī)械閥包括用于將所述閉合元件偏置朝向所述閉合位置的彈性構(gòu)件。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的旋轉(zhuǎn)葉片真空泵，其中，所述閥包括電控閥，所述電控閥被構(gòu)造成響應(yīng)于由控制電路系統(tǒng)發(fā)送的控制信號(hào)而操作。
12.根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)或11所述的旋轉(zhuǎn)葉片真空泵，所述旋轉(zhuǎn)葉片泵進(jìn)一步包括控制電路系統(tǒng)，所述控制電路系統(tǒng)被構(gòu)造成：
13.一種啟動(dòng)根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的旋轉(zhuǎn)葉片真空泵的方法，所述方法包括：
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，所述方法進(jìn)一步包括：
15.根據(jù)權(quán)利要求13或14所述的方法，其中，阻礙流動(dòng)通過所述通氣通道的所述步驟包括閉合閥。