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壓電流體泵的制作方法

文檔序號:40569169發(fā)布日期:2025-01-03 11:29閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種壓電流體泵,其特征在于:包括流體激振單元和至少一個對置板(7);

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電流體泵,其特征在于:所述孔部(7-1)均設(shè)置于對置板(7)的與隔膜(5)振動的波腹位置(a)及波腹位置(a)的鄰近區(qū)域所相對的區(qū)域;

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓電流體泵,其特征在于:所述隔膜(5)振動僅具有一個波腹,至少一個設(shè)有所述單向閥(9)的孔部(7-1)作為第一孔(7-11),其余孔部(7-1)作為第二孔(7-12),所述第二孔(7-12)不設(shè)單向閥(9);所述第一孔(7-11)設(shè)置于對置板(7)的與隔膜(5)振動的波腹位置(a)及波腹位置(a)的鄰近區(qū)域所相對的區(qū)域;所述第二孔(7-12)設(shè)置于對置板(7)的與隔膜(5)振動的波節(jié)位置(b)及波節(jié)位置(b)的鄰近區(qū)域所相對的區(qū)域;

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓電流體泵,其特征在于:所述隔膜(5)振動僅具有一個波腹,所述孔部(7-1)均設(shè)有單向閥(9),至少一個設(shè)有所述單向閥(9)的孔部(7-1)作為第一孔(7-11),其余孔部(7-1)作為第二孔(7-12),設(shè)置于所述第一孔(7-11)內(nèi)的單向閥(9)和設(shè)置于第二孔(7-12)內(nèi)的單向閥(9)所限制的流體流動的方向相反,所述第一孔(7-11)設(shè)置于對置板(7)的與隔膜(5)振動的波腹位置(a)及波腹位置(a)的鄰近區(qū)域所相對的區(qū)域;所述第二孔(7-12)設(shè)置于對置板(7)的與隔膜(5)振動的波節(jié)位置(b)及波節(jié)位置(b)的鄰近區(qū)域所相對的區(qū)域;

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓電流體泵,其特征在于:所述隔膜(5)振動僅具有一個波腹,所述孔部(7-1)均設(shè)有單向閥(9),其中,至少一個設(shè)有所述單向閥(9)的孔部(7-1)作為第一孔(7-11),其余孔部(7-1)作為第二孔(7-12),設(shè)置于所述第一孔(7-11)內(nèi)的單向閥(9)和設(shè)置于第二孔(7-12)內(nèi)的單向閥(9)所限制的流體流動的方向相反,所述第一孔(7-11)及第二孔(7-12)均設(shè)置于對置板(7)的與隔膜(5)振動的波腹位置(a)及波腹位置(a)的鄰近區(qū)域所相對的區(qū)域;

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓電流體泵,其特征在于:所述隔膜(5)振動具有至少兩個波腹;

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓電流體泵,其特征在于:所述隔膜(5)振動具有至少兩個波腹,所述孔部(7-1)均設(shè)有單向閥(9),至少一個設(shè)有所述單向閥(9)的孔部(7-1)作為第一孔(7-11),其余孔部(7-1)作為第二孔(7-12),所述第一孔(7-11)設(shè)置于對置板(7)的與隔膜(5)振動的至少一個波腹位置(a)及波腹位置(a)的鄰近區(qū)域所相對的區(qū)域,所述第二孔(7-12)設(shè)置于對置板(7)的與隔膜(5)振動的波節(jié)位置(b)及波節(jié)位置(b)的鄰近區(qū)域所相對的區(qū)域,設(shè)置于所述第一孔(7-11)內(nèi)的單向閥(9)和設(shè)置于第二孔(7-12)內(nèi)的單向閥(9)所限制的流體流動的方向相反;

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓電流體泵,其特征在于:所述隔膜(5)振動具有至少兩個波腹;

9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓電流體泵,其特征在于:所述隔膜(5)振動具有至少兩個波腹;

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電流體泵,其特征在于:所述間隔部(4)為環(huán)狀結(jié)構(gòu),所述間隔部(4)的內(nèi)周壁與致動器(3)圍合成環(huán)狀的槽部(4-1),所述間隔部(4)背離致動器(3)的一端在繞槽部(4-1)的環(huán)形路徑上全部或部分與隔膜(5)接合。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電流體泵,其特征在于:所述間隔部(4)具有多個間隔體(41),所述間隔體(41)均接合于第一主面(3-1)或第二主面(3-2),多個所述間隔體(41)繞激勵腔(6)的周向間隔分布以與致動器(3)圍成所述槽部(4-1),所述間隔體(41)背離致動器(3)的一端全部或部分與隔膜(5)接合。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電流體泵,其特征在于:所述壓電陶瓷片呈中心貫穿有空洞(1-1)的環(huán)狀結(jié)構(gòu),所述空洞(1-1)與激勵腔(6)相對設(shè)置。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電流體泵,其特征在于:所述隔膜(5)由高分子材料構(gòu)成,或由高分子材料與金屬材料組成的復(fù)合材料構(gòu)成。

14.根據(jù)權(quán)利要求1-13任一項所述的壓電流體泵,其特征在于:還包括框板(10)和具有彈性的連接部(10-1),所述框板(10)圍住所述致動器(3)的周圍,所述連接部(10-1)的一端與框板(10)連接,另一端與致動器(3)連接,所述對置板(7)與所述隔膜(5)相對的一側(cè)表面的外周固定于所述框板(10)。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的壓電流體泵,其特征在于:所述框板(10)以在除了所述連接部(10-1)之外的部位隔著間隙的方式圍住所述致動器(3)的周圍。

16.根據(jù)權(quán)利要求1-13任一項所述的壓電流體泵,其特征在于:所述致動器(3)朝向所述對置板(7)的一側(cè)表面凸出有至少一個位于間隔部(4)外側(cè)的連接凸臺(11),所述對置板(7)與所述連接凸臺(11)相對的區(qū)域具有缺口(7-2),所述缺口(7-2)內(nèi)形成有彈性支撐部(7-3),所述連接凸臺(11)和與其相對的彈性支撐部(7-3)固定連接。

17.根據(jù)權(quán)利要求1-13任一項所述的壓電流體泵,其特征在于:所述致動器(3)朝向所述對置板(7)的一側(cè)表面凸出有至少一個位于間隔部(4)外側(cè)的連接凸臺(11),所述連接凸臺(11)具有彈性,所述連接凸臺(11)與對置板(7)靠近基板(2)的一側(cè)固定連接。

18.根據(jù)權(quán)利要求1-13任一項所述的壓電流體泵,其特征在于:還包括框部(12)和支承部(12-1),所述框部(12)圍住所述致動器(3)的周圍,且在沿著所述基板(2)的厚度方向上具有突出于所述致動器(3)的高度;


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及壓電泵技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種壓電流體泵,包括流體激振單元和至少一個對置板;流體激振單元具有壓電片、基板、間隔部和隔膜,壓電片與基板構(gòu)成致動器;對置板與隔膜之間形成泵腔;在對置板的與所述隔膜相對的區(qū)域至少貫穿有兩個與泵腔連通的孔部,孔部為入口或出口,其中有至少一個孔部為入口,另有至少一個孔部為出口,且至少一個孔部設(shè)有單向閥;本發(fā)明的壓電流體泵以隔膜作為激發(fā)泵腔內(nèi)的流體產(chǎn)生壓力變動的激勵源,隔膜通過間隔部而與致動器保持固定連接,該結(jié)構(gòu)下,致動器的極小振動位移能夠促使隔膜產(chǎn)生數(shù)倍甚至十?dāng)?shù)倍于致動器的振動位移,藉此,能夠大幅提升工作時泵腔的體積變化量,從而極大地提升輸出流量。

技術(shù)研發(fā)人員:請求不公布姓名,請求不公布姓名,請求不公布姓名
受保護(hù)的技術(shù)使用者:常州威圖流體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/1/2
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