本申請(qǐng)涉及真空泵，尤其涉及一種用于真空泵的消音結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或者物理化學(xué)的方法對(duì)容器進(jìn)行抽氣，以獲得和維持真空的裝置，其廣泛應(yīng)用于冶金、化學(xué)、食品等行業(yè)。真空泵投入使用前需要對(duì)進(jìn)行測(cè)試，由于測(cè)試場(chǎng)景中不便裝設(shè)復(fù)雜的降噪結(jié)構(gòu)，導(dǎo)致真空泵產(chǎn)生大量的運(yùn)行噪聲。真空泵運(yùn)行過(guò)程中，真空泵將氣體吸入、壓縮并通過(guò)泵體出口排出，氣體在泵內(nèi)的壓縮和流動(dòng)的過(guò)程不可避免地產(chǎn)生振動(dòng)噪聲，而氣體自泵體出口排出產(chǎn)生的氣流沖擊也會(huì)造成氣動(dòng)噪聲，這些噪聲不僅會(huì)惡化工作環(huán)境，還可能干擾精密電子設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行。

2、相關(guān)技術(shù)中，通常真空泵的泵體出口連通波紋管，進(jìn)而連通于排風(fēng)管道，以對(duì)真空泵排出的氣體進(jìn)行收集和處理，并期望通過(guò)波紋管對(duì)泵體出口的氣流進(jìn)行導(dǎo)流以削弱真空泵的工作噪聲，然而，波紋管對(duì)噪聲的削減能力較弱，導(dǎo)致真空泵的運(yùn)行噪聲仍處于較高水平。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種用于真空泵的消音結(jié)構(gòu)，能夠解決測(cè)試過(guò)程中真空泵運(yùn)行噪聲程度高的技術(shù)問(wèn)題。

2、本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種用于真空泵的消音結(jié)構(gòu)，該消音結(jié)構(gòu)包括共振箱；所述共振箱具有并排設(shè)置的多個(gè)共振腔，還具有與多個(gè)所述共振腔一一對(duì)應(yīng)連通的多個(gè)止逆通道，以及具有多個(gè)導(dǎo)流通道；其中，各所述止逆通道通過(guò)所述導(dǎo)流通道與相鄰的所述共振腔連通，且同一所述共振腔連通于所述導(dǎo)流通道的開口與連通于所述止逆通道的開口間隔設(shè)置，多個(gè)所述共振腔中的一個(gè)為第一共振腔、另一個(gè)為第二共振腔，所述第一共振腔用于與真空泵連通，與所述第二共振腔連通的所述止逆通道具有止逆總出口，所述第一共振腔接收所述真空泵輸送的氣流，且氣流依次經(jīng)所述止逆通道和所述導(dǎo)流通道進(jìn)入相鄰的所述共振腔，并順次經(jīng)過(guò)全部所述共振腔后，從所述止逆總出口流出。

3、在其中一些實(shí)施例中，所述第一腔體用于連通所述真空泵的開口與連通所述止逆通道的開口在第一方向相對(duì)設(shè)置；同一所述共振腔連通于所述導(dǎo)流通道的開口與連通于所述止逆通道的開口在第一方向間隔設(shè)置；其中，所述第一方向垂直于多個(gè)所述共振腔并排設(shè)置的方向。

4、在其中一些實(shí)施例中，所述共振箱包括止逆壁，所述止逆壁包括第一板體和第二板體，所述第一板體與所述第二板體層疊設(shè)置并圍合形成所述止逆通道；所述消音結(jié)構(gòu)還包括止逆件，所述止逆件設(shè)于所述止逆通道，所述止逆件用于控制所述止逆通道的斷通，且用于控制氣流自上游的所述共振腔向下游的所述共振腔單向流通。

5、在其中一些實(shí)施例中，多個(gè)所述共振腔沿水平方向并排設(shè)置，所述止逆通道包括止逆腔，所述止逆腔具有與所述共振腔連通的止逆進(jìn)口，所述止逆件設(shè)于所述止逆腔；所述止逆件具有第一狀態(tài)和第二狀態(tài)，在所述第一狀態(tài)下，所述止逆件在重力作用下抵接于所述止逆進(jìn)口，以封閉所述止逆進(jìn)口；在所述第二狀態(tài)下，所述止逆件在氣流作用下與所述止逆進(jìn)口分離，以使氣流能夠自所述止逆進(jìn)口進(jìn)入所述止逆通道。

6、在其中一些實(shí)施例中，所述止逆腔沿重力方向延伸，且在重力方向，所述止逆腔沿朝向所述止逆進(jìn)口的方向橫截面積逐漸減??；所述止逆通道還包括導(dǎo)風(fēng)段，所述導(dǎo)風(fēng)段連通于所述止逆腔遠(yuǎn)離所述止逆進(jìn)口的一端，且自所述止逆腔延伸至連通所述導(dǎo)流通道；自所述止逆腔朝向所述導(dǎo)流通道的方向，所述導(dǎo)風(fēng)段的截面積逐漸增大；所述導(dǎo)風(fēng)段呈曲線型或直線型。

7、在其中一些實(shí)施例中，所述共振箱包括第一殼體和設(shè)于所述第一殼體內(nèi)部的多個(gè)第一間隔壁，多個(gè)第一間隔壁并排設(shè)置，并且將所述第一殼體的內(nèi)部空間分隔形成多個(gè)所述共振腔；所述第一間隔壁具有所述導(dǎo)流通道，所述導(dǎo)流通道具有與所述止逆通道連通導(dǎo)流進(jìn)口、與所述共振腔連通的導(dǎo)流出口，所述導(dǎo)流進(jìn)口與所述導(dǎo)流出口沿第一方向間隔設(shè)置，所述第一方向垂直于多個(gè)所述共振腔并排設(shè)置的方向。

8、在其中一些實(shí)施例中，各所述第一間隔壁包括在多個(gè)所述共振腔并排設(shè)置的方向上并排設(shè)置的兩個(gè)子間隔壁，兩個(gè)所述子間隔壁之間形成所述導(dǎo)流通道和所述導(dǎo)流進(jìn)口，且其中一個(gè)所述子間隔壁具有所述導(dǎo)流出口。

9、在其中一些實(shí)施例中，所述消音結(jié)構(gòu)還包括降噪箱，所述降噪箱安裝于所述共振箱，且所述降噪箱與所述共振箱圍合形成降噪腔，所述降噪腔與所述止逆總出口連通；所述降噪箱具有與所述降噪腔連通的降噪出口，經(jīng)所述止逆總出口流出的氣流進(jìn)入所述降噪腔，并從所述降噪出口流出所述降噪腔。

10、在其中一些實(shí)施例中，所述降噪腔的數(shù)量為兩個(gè)，且其中一個(gè)為第一降噪腔、另一個(gè)為第二降噪腔，所述第一降噪腔與所述止逆總出口連通，所述第二降噪腔與所述降噪出口連通；其中，所述第一降噪腔與所述第二降噪腔兩者相互連通，自所述止逆總出口進(jìn)入的氣流依次通過(guò)所述第一降噪腔、所述第二降噪腔后，從所述降噪出口排出。

11、在其中一些實(shí)施例中，所述第一降噪腔和所述第二降噪腔并排設(shè)置的方向與多個(gè)所述共振腔并排設(shè)置的方向平行；所述第一降噪腔和所述第二降噪腔沿第一方向設(shè)于多個(gè)所述共振腔同側(cè)，所述第一方向垂直于多個(gè)所述共振腔并排設(shè)置的方向。

12、基于本申請(qǐng)實(shí)施例的一種用于真空泵的消音結(jié)構(gòu)，多個(gè)共振腔并排設(shè)置，真空泵內(nèi)的振動(dòng)噪聲通過(guò)泵體出口向外傳播，并進(jìn)入多個(gè)共振腔，聲波在相互連通的多個(gè)共振腔的作用下產(chǎn)生共振并抵消，以削弱聲波振幅，進(jìn)而達(dá)到降低振動(dòng)噪聲的目的；相鄰兩個(gè)共振腔通過(guò)止逆通道和導(dǎo)流通道依次連通，并且同一共振腔連通于導(dǎo)流通道的開口和連通于止逆通道的開口間隔設(shè)置，如此氣流和噪聲在共振腔、止逆通道以及導(dǎo)流通道中流動(dòng)的過(guò)程中不斷切換方向，并且沿著延長(zhǎng)的路徑流動(dòng)，最終在順次經(jīng)過(guò)全部共振腔的過(guò)程中經(jīng)歷多次方向改變和路徑延長(zhǎng)，這種復(fù)雜的流動(dòng)模式不僅導(dǎo)致聲波在傳播過(guò)程中發(fā)生多次反射、干涉和能量耗散，進(jìn)一步地削弱振動(dòng)噪聲，還能夠快速削弱氣流流速，有效降低氣流沖擊產(chǎn)生的氣動(dòng)噪聲，本申請(qǐng)的消音結(jié)構(gòu)安裝便捷，第一共振腔與真空泵連通既能夠通過(guò)共振消聲、流動(dòng)方向改變以及路徑延長(zhǎng)共同作用實(shí)現(xiàn)降噪效果，有效削弱檢測(cè)時(shí)真空泵運(yùn)行噪聲水平。

技術(shù)特征：

1.一種用于真空泵的消音結(jié)構(gòu)(1)，其特征在于，包括共振箱(10)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于真空泵的消音結(jié)構(gòu)(1)，其特征在于，

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于真空泵的消音結(jié)構(gòu)(1)，其特征在于，所述共振箱(10)包括止逆壁，所述止逆壁包括第一板體(111)和第二板體(112)，所述第一板體(111)與所述第二板體(112)層疊設(shè)置并圍合形成所述止逆通道(110)；

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于真空泵的消音結(jié)構(gòu)(1)，其特征在于，多個(gè)所述共振腔(100)沿水平方向并排設(shè)置，所述止逆通道(110)包括止逆腔(1110)，所述止逆腔(1110)具有與所述共振腔(100)連通的止逆進(jìn)口(110a)，所述止逆件(20)設(shè)于所述止逆腔(1110)；

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于真空泵的消音結(jié)構(gòu)(1)，其特征在于，

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于真空泵的消音結(jié)構(gòu)(1)，其特征在于，所述共振箱(10)包括第一殼體(11)和設(shè)于所述第一殼體(11)內(nèi)部的多個(gè)第一間隔壁(12)，多個(gè)第一間隔壁(12)并排設(shè)置，并且將所述第一殼體(11)的內(nèi)部空間分隔形成多個(gè)所述共振腔(100)；

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于真空泵的消音結(jié)構(gòu)(1)，其特征在于，各所述第一間隔壁(12)包括在多個(gè)所述共振腔(100)并排設(shè)置的方向上并排設(shè)置的兩個(gè)子間隔壁(121)，兩個(gè)所述子間隔壁(121)之間形成所述導(dǎo)流通道(120)和所述導(dǎo)流進(jìn)口(120a)，且其中一個(gè)所述子間隔壁(121)具有所述導(dǎo)流出口(120b)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于真空泵的消音結(jié)構(gòu)(1)，其特征在于，所述消音結(jié)構(gòu)(1)還包括降噪箱(30)，所述降噪箱(30)安裝于所述共振箱(10)，且所述降噪箱(30)與所述共振箱(10)圍合形成降噪腔(300)，所述降噪腔(300)與所述止逆總出口連通；

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于真空泵的消音結(jié)構(gòu)(1)，其特征在于，所述降噪腔(300)的數(shù)量為兩個(gè)，且其中一個(gè)為第一降噪腔(310)、另一個(gè)為第二降噪腔(320)，所述第一降噪腔(310)與所述止逆總出口連通，所述第二降噪腔(320)與所述降噪出口連通；

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的用于真空泵的消音結(jié)構(gòu)(1)，其特征在于，

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)公開了一種用于真空泵的消音結(jié)構(gòu)，該消音結(jié)構(gòu)包括共振箱，共振箱具有并排設(shè)置的多個(gè)共振腔，多個(gè)共振腔依次連通，真空泵內(nèi)的振動(dòng)噪聲通過(guò)泵體出口向外傳播，并進(jìn)入多個(gè)共振腔，聲波在相互連通的多個(gè)共振腔的作用下產(chǎn)生共振并抵消，以削弱聲波振幅。本申請(qǐng)中，相鄰兩個(gè)共振腔通過(guò)止逆通道和導(dǎo)流通道依次連通，并且同一共振腔連通于導(dǎo)流通道的開口和連通于止逆通道的開口間隔設(shè)置，如此氣流和振動(dòng)噪聲在流動(dòng)的過(guò)程中經(jīng)歷多次方向改變和路徑延長(zhǎng)，復(fù)雜的流動(dòng)模式不僅通過(guò)多次反射、干涉進(jìn)一步地削弱聲波，降低振動(dòng)噪聲，還能夠快速削弱氣流流速，降低氣流沖擊產(chǎn)生的氣動(dòng)噪聲，有效削弱真空泵運(yùn)行過(guò)程的噪聲水平。

技術(shù)研發(fā)人員：劉旭鵬,楊全,陶俊愷,陳放,王豐
受保護(hù)的技術(shù)使用者：長(zhǎng)沙華實(shí)半導(dǎo)體有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/30