1.一種復(fù)合式真空泵，其特征在于：所述復(fù)合式真空泵包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種復(fù)合式真空泵，其特征在于：所述復(fù)合轉(zhuǎn)子（2）還包括位于所述螺桿轉(zhuǎn)子（23）上游的進(jìn)氣羅茨轉(zhuǎn)子（22）。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種復(fù)合式真空泵，其特征在于：所述泵殼（11）沿氣流運(yùn)動(dòng)方向自上游向下游包括螺桿腔、爪式腔和多葉羅茨腔，所述泵殼（11）包括豎立的螺桿爪式分隔壁（15）和爪式羅茨分隔壁（17），所述螺桿爪式分隔壁（15）上形成螺桿爪式氣流通道（151），所述爪式羅茨分隔壁（17）上形成爪式羅茨氣流通道（171）。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種復(fù)合式真空泵，其特征在于：所述泵殼（11）沿氣流運(yùn)動(dòng)方向自上游向下游包括進(jìn)氣羅茨腔、螺桿腔、爪式腔和多葉羅茨腔，所述泵殼（11）包括豎立的羅茨螺桿分隔壁（14）、螺桿爪式分隔壁（15）和爪式羅茨分隔壁（17），所述羅茨螺桿分隔壁（14）上形成羅茨螺桿氣流通道（141），所述螺桿爪式分隔壁（15）上形成螺桿爪式氣流通道（151），所述爪式羅茨分隔壁（17）上形成爪式羅茨氣流通道（171）。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的一種復(fù)合式真空泵，其特征在于：所述爪式轉(zhuǎn)子（24）為多級(jí)，所述泵殼（11）包括豎立的爪間分隔壁（16），所述爪間分隔壁（16）上形成爪間氣流通道（161）。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種復(fù)合式真空泵，其特征在于：所述螺桿爪式氣流通道（151）和所述爪間氣流通道（161）在軸向錯(cuò)開(kāi)：所述爪式羅茨氣流通道（171）和所述爪間氣流通道（161）在軸向錯(cuò)開(kāi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種復(fù)合式真空泵，其特征在于：所述泵殼（11）包括上殼體（111）和下殼體（112），所述上殼體（111）上設(shè)置所述進(jìn)氣口（113），所述下殼體（112）上設(shè)置所述出氣口（114）；
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種復(fù)合式真空泵，其特征在于：所述復(fù)合轉(zhuǎn)子（2）為一體成型結(jié)構(gòu)，或者，所述復(fù)合轉(zhuǎn)子（2）為裝配結(jié)構(gòu)；
9.復(fù)合轉(zhuǎn)子（2），其特征在于：包括轉(zhuǎn)子軸（21）、設(shè)于所述轉(zhuǎn)子軸（21）上的螺桿轉(zhuǎn)子（23）、爪式轉(zhuǎn)子（24）和多葉羅茨轉(zhuǎn)子（25），所述螺桿轉(zhuǎn)子（23）、爪式轉(zhuǎn)子（24）和多葉羅茨轉(zhuǎn)子（25）沿氣流運(yùn)動(dòng)方向自上游向下游分布。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的復(fù)合轉(zhuǎn)子（2），其特征在于：所述復(fù)合轉(zhuǎn)子（2）還包括位于所述螺桿轉(zhuǎn)子（23）上游的進(jìn)氣羅茨轉(zhuǎn)子（22）；所述復(fù)合轉(zhuǎn)子（2）為一體成型結(jié)構(gòu)，或者，所述復(fù)合轉(zhuǎn)子（2）為裝配結(jié)構(gòu)。