本技術(shù)涉及化學(xué)試劑運輸，尤其涉及一種化學(xué)品供應(yīng)泵車。

背景技術(shù)：

1、隨著中國濕電子化學(xué)品企業(yè)布局的先進產(chǎn)能逐步落地，中國濕電子化學(xué)品企業(yè)市占率仍有較大提升潛力。部分國內(nèi)濕電子化學(xué)品廠商逐步在半導(dǎo)體級濕電子化學(xué)品市場實現(xiàn)了客戶突破，中國濕電子化學(xué)品行業(yè)已迎來快速發(fā)展期。

2、目前，化學(xué)品供應(yīng)設(shè)備都是大型、固定安裝設(shè)備，體積龐大，設(shè)備制作和現(xiàn)場管路施工周期過長，對于靈活快速地驗證機臺系統(tǒng)能否輸送化學(xué)品有一定的滯后性。在市場增長推動下,濕電子化學(xué)品需求更匹配工藝的相關(guān)輸送設(shè)備。

3、因此，亟需一種化學(xué)品供應(yīng)泵車，以解決上述技術(shù)問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提出一種化學(xué)品供應(yīng)泵車，能夠在化學(xué)試劑發(fā)生泄漏時，控制污染范圍，又能夠?qū)んw內(nèi)進行清潔，使得化學(xué)品供應(yīng)泵車能夠快速投入使用。

2、為達此目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案：

3、化學(xué)品供應(yīng)泵車，包括：

4、殼體，上述殼體開設(shè)有進氣道和排氣道，上述殼體的底部開設(shè)有排液通道且安裝有腳輪；

5、注料組件，上述注料組件安裝于上述殼體內(nèi)，上述注料組件包括儲液罐、管組和泵體、上述管組與上述泵體均與上述殼體固定，上述泵體驅(qū)使化學(xué)試劑沿上述管組自上述儲液罐流向機臺；

6、防漏組件，上述防漏組件安裝于上述殼體內(nèi)，上述防漏組件包括承漏盤和第一傳感器，上述承漏盤固定于上述殼體底部，用于承接自上述注料組件泄露的上述化學(xué)試劑，上述承漏盤通過閥體與上述排液通道連通，上述第一傳感器用于監(jiān)測上述化學(xué)試劑的泄露情況；

7、清理組件，上述清理組件安裝于上述殼體內(nèi)，上述清理組件包括用于沖刷上述注料組件和/或上述防漏組件的噴水槍，以用于吹掃上述注料組件和/或上述防漏組件的噴氣槍。

8、作為上述化學(xué)品供應(yīng)泵車的一種優(yōu)選技術(shù)方案，上述承漏盤的最大儲液量大于上述儲液罐的最大儲液量。

9、作為上述化學(xué)品供應(yīng)泵車的一種優(yōu)選技術(shù)方案，上述進氣道開設(shè)于上述殼體的頂部，上述噴氣槍噴射氮氣。

10、作為上述化學(xué)品供應(yīng)泵車的一種優(yōu)選技術(shù)方案，還包括抽氣裝置，上述抽氣裝置安裝于上述進氣道，上述抽氣裝置能夠?qū)⑸鲜鰵んw內(nèi)的氣體排出至上述殼體外。

11、作為上述化學(xué)品供應(yīng)泵車的一種優(yōu)選技術(shù)方案，還包括第二過濾器，上述殼體外的空氣沿上述進氣道經(jīng)過上述第二過濾器進入上述殼體內(nèi)。

12、作為上述化學(xué)品供應(yīng)泵車的一種優(yōu)選技術(shù)方案，上述殼體于其端面還開設(shè)有透氣孔，上述透氣孔處設(shè)置有濾網(wǎng)，且上述透氣孔處設(shè)置有開關(guān)裝置，上述開關(guān)裝置用于切換上述透氣孔的開關(guān)狀態(tài)。

13、作為上述化學(xué)品供應(yīng)泵車的一種優(yōu)選技術(shù)方案，上述殼體于第一水平方向開設(shè)有開口，上述儲液罐通過上述開口進出上述殼體，上述殼體內(nèi)安裝有滾輪組，上述滾輪組包括多組軸線平行的滾輪，上述滾輪的軸線平行于第二水平方向，上述儲液罐放置于上述滾輪上；

14、上述第一水平方向與上述第二水平方向垂直。

15、作為上述化學(xué)品供應(yīng)泵車的一種優(yōu)選技術(shù)方案，上述殼體開設(shè)有取樣口，上述管組包括第一出口和第二出口，上述第一出口與上述機臺連通，上述第二出口與上述取樣口連通。

16、作為上述化學(xué)品供應(yīng)泵車的一種優(yōu)選技術(shù)方案，上述注料組件還包括第一過濾器，上述儲液罐內(nèi)的上述化學(xué)試劑經(jīng)過上述第一過濾器后自上述第一出口和/或上述第二出口排出。

17、作為上述化學(xué)品供應(yīng)泵車的一種優(yōu)選技術(shù)方案，上述注料組件還包括第二傳感器，上述第二傳感器安裝于上述管組與上述儲液罐連接的一端，用于判定上述管組中是否有上述化學(xué)試劑。

18、本實用新型有益效果：

19、本申請?zhí)峁┝艘环N化學(xué)品供應(yīng)泵車，包括殼體、注料組件、防漏組件和清理組件。進氣道與排氣道分別將殼體內(nèi)室與殼體外部連通，形成換氣通道，一來能夠為殼體內(nèi)進行換氣散熱，另一方面，能夠?qū)鈶B(tài)的化學(xué)試劑排出殼體外。殼體底部的腳輪便于殼體移動，減少搬運的負(fù)擔(dān)；管組的進液口與儲液罐連通，管組的出液口能夠與機臺連通，泵體能夠產(chǎn)生驅(qū)動力，使得化學(xué)試劑自儲液罐沿管組流向出液口，并進入機臺。將管組、泵體與殼體固定形成配套設(shè)備，每次使用時僅需要更換儲液罐即可。由于注料組件安裝時誤差，或是化學(xué)品供應(yīng)泵車在移動時因地面起伏產(chǎn)生的晃動，注料組件的各連接點難免出現(xiàn)松動，導(dǎo)致化學(xué)試劑泄漏，為此，本實施例中提供了防漏組件，其中，承漏盤固定于殼體的底部，用于承接泄漏的化學(xué)試劑，而第一傳感器則能夠監(jiān)測到殼體內(nèi)是否發(fā)生泄露以及泄露程度。而清理組件則用于清潔殼體內(nèi)室，其中，噴水槍能夠噴射純水，用于沖刷自注料組件和/或防漏組件，將泄漏的化學(xué)試劑沖刷至承漏盤、稀釋承漏盤內(nèi)的化學(xué)試劑，以及在承漏盤與排液通道連通時，將承漏盤內(nèi)的殘余化學(xué)試劑沖刷掉；噴氣槍通過噴射氣體，對注料組件和/或防漏組件進行吹掃。

20、如此，化學(xué)品供應(yīng)泵車便于運輸，能夠與前端設(shè)備進行快速連接，進行試運行，且化學(xué)品泵車自身具備防漏組件能夠在一定程度上避免化學(xué)試劑的泄漏，還具備清理組件，能夠應(yīng)對后續(xù)的清理工作。

技術(shù)特征：

1.化學(xué)品供應(yīng)泵車，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)品供應(yīng)泵車，其特征在于，所述承漏盤(31)的最大儲液量大于所述儲液罐(21)的最大儲液量。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)品供應(yīng)泵車，其特征在于，所述進氣道開設(shè)于所述殼體(10)的頂部，所述噴氣槍(42)噴射氮氣。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)品供應(yīng)泵車，其特征在于，還包括抽氣裝置，所述抽氣裝置安裝于所述排氣道(11)，所述抽氣裝置能夠?qū)⑺鰵んw(10)內(nèi)的氣體排出至所述殼體(10)外。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的化學(xué)品供應(yīng)泵車，其特征在于，還包括第二過濾器(51)，所述殼體(10)外的空氣沿所述進氣道經(jīng)過所述第二過濾器(51)進入所述殼體(10)內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的化學(xué)品供應(yīng)泵車，其特征在于，所述殼體(10)于其端面還開設(shè)有透氣孔(61)，所述透氣孔(61)處設(shè)置有濾網(wǎng)，且所述透氣孔(61)處設(shè)置有開關(guān)裝置，所述開關(guān)裝置用于切換所述透氣孔(61)的開關(guān)狀態(tài)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)品供應(yīng)泵車，其特征在于，所述殼體(10)于第一水平方向(x)開設(shè)有開口，所述儲液罐(21)通過所述開口進出所述殼體(10)，所述殼體(10)內(nèi)安裝有滾輪組，所述滾輪組包括多組軸線平行的滾輪，所述滾輪的軸線平行于第二水平方向(y)，所述儲液罐(21)放置于所述滾輪上；

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)品供應(yīng)泵車，其特征在于，所述殼體(10)開設(shè)有取樣口(14)，所述管組(22)包括第一出口和第二出口，所述第一出口與所述機臺(100)連通，所述第二出口與所述取樣口(14)連通。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的化學(xué)品供應(yīng)泵車，其特征在于，所述注料組件(20)還包括第一過濾器(24)，所述儲液罐(21)內(nèi)的所述化學(xué)試劑經(jīng)過所述第一過濾器(24)后自所述第一出口和/或所述第二出口排出。

10.根據(jù)權(quán)利要求1-9任一項所述的化學(xué)品供應(yīng)泵車，其特征在于，所述注料組件(20)還包括第二傳感器(25)，所述第二傳感器(25)安裝于所述管組(22)與所述儲液罐(21)連接的一端，用于判定所述管組(22)中是否有所述化學(xué)試劑。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及化學(xué)試劑運輸技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種化學(xué)品供應(yīng)泵車，殼體開設(shè)有進氣道和排氣道，殼體的底部開設(shè)有排液通道且安裝有腳輪；注料組件包括儲液罐、管組和泵體、管組與泵體均與殼體固定，泵體驅(qū)使化學(xué)試劑沿管組自儲液罐流向機臺；防漏組件包括承漏盤和第一傳感器，承漏盤用于承接自注料組件泄露的化學(xué)試劑，承漏盤通過閥體與排液通道連通，第一傳感器用于監(jiān)測化學(xué)試劑的泄露情況；清理組件包括用于沖刷注料組件和/或防漏組件的噴水槍，以用于吹掃注料組件和/或防漏組件的噴氣槍?；瘜W(xué)品供應(yīng)泵車既能夠避免化學(xué)試劑進一步的泄漏至殼體外，控制污染范圍，又能夠?qū)んw內(nèi)進行清潔，使得化學(xué)品供應(yīng)泵車能夠快速投入使用。

技術(shù)研發(fā)人員：田小娟,杜洪龍,沈丹
受保護的技術(shù)使用者：上海正帆科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240229
技術(shù)公布日：2025/1/9