本申請(qǐng)涉及電池加工，具體而言，涉及一種隔膜泵的控制系統(tǒng)和硼擴(kuò)機(jī)臺(tái)。

背景技術(shù)：

1、能源是世界經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展的基礎(chǔ)，隨著傳統(tǒng)化石能源的消耗以及人類生存環(huán)境的惡化，發(fā)展清潔可再生能源引起了大家的高度重視。

2、隨著高效電池技術(shù)的不斷發(fā)展，陸續(xù)開發(fā)了諸多新技術(shù)，如：p型鈍化發(fā)射極及背面接觸(perc)太陽(yáng)能電池技術(shù)，n型鈍化發(fā)射極背面局部擴(kuò)散(perl)太陽(yáng)能技術(shù)，硅基異質(zhì)結(jié)(shj)太陽(yáng)能技術(shù)，n型隧穿氧化層鈍化接觸(topcon)太陽(yáng)能電池技術(shù)，背結(jié)背接觸(ibc)太陽(yáng)能技術(shù)等。

3、硼擴(kuò)工序就是topcon工藝中的重要工序，目的是在p(n)型襯底上擴(kuò)散n(p)型雜質(zhì)形成pn結(jié)，達(dá)到合適的摻雜濃度ρ/方阻r，獲得適合太陽(yáng)能電池pn結(jié)需要的結(jié)深、摻雜濃度ρ、方阻r。

4、化學(xué)隔膜泵是在硼擴(kuò)工藝過程中，針對(duì)氣體持續(xù)的、無(wú)油抽氣的優(yōu)秀解決方案，擁有極好的極限真空度，能達(dá)到1.5mbar。由于它的抽速大，對(duì)于高氣載應(yīng)用或要求快速抽氣到負(fù)壓狀態(tài)的真空箱體，該泵是一個(gè)很好的選擇。所有沾濕部件均由鋁、不銹鋼和精心挑選的塑料制成，適用于廣泛的無(wú)腐蝕性氣體應(yīng)用，可自動(dòng)調(diào)節(jié)其電機(jī)轉(zhuǎn)速，以保持所需的真空度。這意味著泵運(yùn)行時(shí)非常安靜，振動(dòng)超低，并具有較好的密封性。高柔性纖維增強(qiáng)雙fkm膜片是延長(zhǎng)泵使用壽命的理想選擇。設(shè)計(jì)包括變頻泵和帶外置傳感器的真空控制器。按需響應(yīng)的電機(jī)轉(zhuǎn)速控制進(jìn)一步延長(zhǎng)了隔膜和閥門已經(jīng)很長(zhǎng)的使用壽命。而且無(wú)油運(yùn)行意味著沒有回流污染的風(fēng)險(xiǎn)。

5、n型topcon的工藝路線中，硼擴(kuò)工序隔膜泵作為真空環(huán)境重要組成部分，在營(yíng)造爐管真空環(huán)境中起到了重要作用。

6、現(xiàn)有硼擴(kuò)機(jī)臺(tái)，隔膜泵整體處在廢氣柜中，廢氣柜中溫度較高，平均有50-100℃，且有氧化硼粉塵，具有腐蝕性，在此環(huán)境下，電控部分壽命僅有3個(gè)月，且經(jīng)常出現(xiàn)突發(fā)性損壞，造成批量異常返工。

7、針對(duì)上述的問題，目前尚未提出有效的解決方案。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種隔膜泵的控制系統(tǒng)和硼擴(kuò)機(jī)臺(tái)，以至少解決相關(guān)技術(shù)中隔膜泵的電控部分壽命較短的技術(shù)問題。

2、根據(jù)本申請(qǐng)實(shí)施例的一個(gè)方面，提供了一種隔膜泵的控制系統(tǒng)，包括：廢氣柜、安裝柜、隔板、電箱、控制屏以及快接頭；所述隔膜泵安裝在所述廢氣柜內(nèi)，所述廢氣柜上開設(shè)有通孔，所述隔膜泵的電源線、薄膜硅控制線以及通訊網(wǎng)線均從所述通孔引出；所述電箱、所述控制屏以及所述快接頭均安裝在所述隔板上，所述隔板安裝在所述安裝柜上，所述控制屏和所述電箱與所述快接頭連接，所述隔膜泵的電源線、所述薄膜硅控制線以及所述通訊網(wǎng)線從所述通孔引出后連接至所述快接頭；所述安裝柜與所述廢氣柜之間的間隔距離達(dá)到預(yù)設(shè)距離。

3、根據(jù)本申請(qǐng)實(shí)施例的另一方面，還提供了一種硼擴(kuò)機(jī)臺(tái)，包括上述的隔膜泵的控制系統(tǒng)。

4、在本申請(qǐng)實(shí)施例中，本申請(qǐng)的隔膜泵的控制系統(tǒng)包括：廢氣柜、安裝柜、隔板、電箱、控制屏以及快接頭，電箱、控制屏以及快接頭均安裝在隔板上，隔板安裝在安裝柜上，控制屏和電箱與快接頭連接，廢氣柜上開設(shè)有通孔，隔膜泵的電源線、薄膜硅控制線以及通訊網(wǎng)線從通孔引出后連接至快接頭，而安裝柜與廢氣柜之間的間隔距離達(dá)到預(yù)設(shè)距離，從而可以隔絕高溫對(duì)電控部分的影響、且能夠避免腐蝕性環(huán)境的影響，可以解決相關(guān)技術(shù)中隔膜泵的電控部分壽命較短的技術(shù)問題。

技術(shù)特征：

1.一種隔膜泵的控制系統(tǒng)，其特征在于，包括：

2.一種硼擴(kuò)機(jī)臺(tái)，其特征在于，包括權(quán)利要求1所述的隔膜泵的控制系統(tǒng)。

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)公開了一種隔膜泵的控制系統(tǒng)和硼擴(kuò)機(jī)臺(tái)。其中，該隔膜泵的控制系統(tǒng)包括：廢氣柜、安裝柜、隔板、電箱、控制屏以及快接頭，電箱、控制屏以及快接頭均安裝在隔板上，隔板安裝在安裝柜上，控制屏和電箱與快接頭連接，廢氣柜上開設(shè)有通孔，隔膜泵的電源線、薄膜硅控制線以及通訊網(wǎng)線從通孔引出后連接至快接頭，而安裝柜與廢氣柜之間的間隔距離達(dá)到預(yù)設(shè)距離，從而可以隔絕高溫對(duì)電控部分的影響、且能夠避免腐蝕性環(huán)境的影響，可以解決相關(guān)技術(shù)中隔膜泵的電控部分壽命較短的技術(shù)問題。

技術(shù)研發(fā)人員：張弛
受保護(hù)的技術(shù)使用者：合肥清電長(zhǎng)信光伏科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240301
技術(shù)公布日：2025/1/9