本技術(shù)涉及真空，尤其涉及一種真空管路系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、在腔體抽真空的過程中，通常會(huì)采用多個(gè)真空泵分別控制不同的腔體的方式。以三個(gè)真空泵分別控制三個(gè)不同的腔體為例，這個(gè)過程中需要進(jìn)行閥門的切換，即打開或關(guān)閉真空閥來控制不同腔體的抽真空。

2、然而，現(xiàn)有技術(shù)在以下方面存在一些缺陷：

3、(1)傳統(tǒng)的一腔一泵方式無法保證腔體的真空度。由于每個(gè)泵只能控制一個(gè)腔體，如果某個(gè)泵出現(xiàn)問題，就會(huì)導(dǎo)致其對(duì)應(yīng)的腔體的真空度不足。

4、(2)在腔體貼合完成到第二次貼合的過程中，總會(huì)有一段時(shí)間的等待。如果在這個(gè)等待時(shí)間里，真空泵還在不停機(jī)地作業(yè)，就會(huì)造成浪費(fèi)，同時(shí)也會(huì)縮短真空泵的使用壽命。

5、因此，需要對(duì)現(xiàn)有技術(shù)進(jìn)行改進(jìn)。

6、以上信息作為背景信息給出只是為了輔助理解本公開，并沒有確定或者承認(rèn)任意上述內(nèi)容是否可用作相對(duì)于本公開的現(xiàn)有技術(shù)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型提供一種真空管路系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供以下的技術(shù)方案：

3、一種真空管路系統(tǒng)，包括至少兩個(gè)真空泵、至少兩個(gè)抽真空管路和至少兩個(gè)腔體；其中，

4、每個(gè)所述抽真空管路通過一個(gè)真空閥與對(duì)應(yīng)的一個(gè)腔體連通，且通過另一個(gè)所述真空閥與相鄰的另一個(gè)所述抽真空管路連通；

5、每個(gè)所述真空泵與對(duì)應(yīng)的一個(gè)所述抽真空管路連通。

6、進(jìn)一步地，所述真空管路系統(tǒng)中，每個(gè)所述腔體還連通有破真空管路；

7、每個(gè)所述破真空管路上設(shè)置有一個(gè)破真空閥。

8、進(jìn)一步地，所述真空管路系統(tǒng)中，所述破真空管路的輸入端與所述腔體連通，所述破真空管路的輸出端與大氣連通。

9、進(jìn)一步地，所述真空管路系統(tǒng)，還包括控制器；

10、所述真空泵、真空閥和破真空閥均與所述控制器電性連接。

11、進(jìn)一步地，所述真空管路系統(tǒng)，還包括真空檢測(cè)計(jì)；

12、每個(gè)所述腔體內(nèi)設(shè)置有一個(gè)所述真空檢測(cè)計(jì)；

13、所述真空檢測(cè)計(jì)與所述控制器電性連接。

14、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果：

15、本實(shí)用新型提供的一種真空管路系統(tǒng)，通過巧妙的設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了至少兩個(gè)真空泵同時(shí)控制至少兩個(gè)腔體。這一創(chuàng)新設(shè)計(jì)不僅克服了傳統(tǒng)一腔一泵模式無法保證腔體真空度的問題，而且通過不同的真空泵交叉作業(yè)，能夠充分利用真空泵的工作能力，避免了等待時(shí)間，從而避免了資源的浪費(fèi)。

16、本實(shí)用新型具有其它的特性和優(yōu)點(diǎn)，這些特性和優(yōu)點(diǎn)從并入本文中的附圖和隨后的具體實(shí)施方式中將是顯而易見的，或者將在并入本文中的附圖和隨后的具體實(shí)施方式中進(jìn)行詳細(xì)陳述，這些附圖和具體實(shí)施方式共同用于解釋本實(shí)用新型的特定原理。

技術(shù)特征：

1.一種真空管路系統(tǒng)，其特征在于，包括至少兩個(gè)真空泵(1)、至少兩個(gè)抽真空管路(2)和至少兩個(gè)腔體(3)；其中，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空管路系統(tǒng)，其特征在于，每個(gè)所述腔體(3)還連通有破真空管路(5)；

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空管路系統(tǒng)，其特征在于，所述破真空管路(5)的輸入端與所述腔體(3)連通，所述破真空管路(5)的輸出端與大氣連通。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空管路系統(tǒng)，其特征在于，還包括控制器；

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空管路系統(tǒng)，其特征在于，還包括真空檢測(cè)計(jì)；

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及真空技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種真空管路系統(tǒng)，包括至少兩個(gè)真空泵、至少兩個(gè)抽真空管路和至少兩個(gè)腔體；其中，每個(gè)所述抽真空管路通過一個(gè)真空閥與對(duì)應(yīng)的一個(gè)腔體連通，且通過另一個(gè)所述真空閥與相鄰的另一個(gè)所述抽真空管路連通；每個(gè)所述真空泵與對(duì)應(yīng)的一個(gè)所述抽真空管路連通。本技術(shù)提供的一種真空管路系統(tǒng)，通過巧妙的設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了至少兩個(gè)真空泵同時(shí)控制至少兩個(gè)腔體。這一創(chuàng)新設(shè)計(jì)不僅克服了傳統(tǒng)一腔一泵模式無法保證腔體真空度的問題，而且通過不同的真空泵交叉作業(yè)，能夠充分利用真空泵的工作能力，避免了等待時(shí)間，從而避免了資源的浪費(fèi)。

技術(shù)研發(fā)人員：梁富,徐燦,賈偉,李波
受保護(hù)的技術(shù)使用者：深圳市集銀科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240409
技術(shù)公布日：2025/1/2