本技術(shù)涉及半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備，具體涉及了一種耐超低溫和高溫的離心式渦輪風(fēng)機(jī)。

背景技術(shù)：

1、在一些高可靠性、高性能的半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過(guò)程中，需要對(duì)其進(jìn)行超低溫和高溫檢測(cè)實(shí)驗(yàn)。在進(jìn)行此類超低溫和高溫檢測(cè)實(shí)驗(yàn)時(shí)，需要使用離心風(fēng)機(jī)將噴入檢測(cè)設(shè)備內(nèi)腔中的液氮或高溫介質(zhì)快速分散均勻，從而使得分散的超低溫氮?dú)饣蚋邷亟橘|(zhì)能夠?qū)z測(cè)設(shè)備內(nèi)腔中的半導(dǎo)體器件進(jìn)行超低溫或高溫檢測(cè)實(shí)驗(yàn)。

2、例如申請(qǐng)?zhí)枮?021217451954的實(shí)用新型專利公開了一種低溫箱，包括下冷室和上冷室，上冷室和下冷室之間形成有空腔，空腔內(nèi)設(shè)置有試樣架和液氮盤管，上冷室上對(duì)應(yīng)于空腔設(shè)置有至少一個(gè)風(fēng)輪機(jī)構(gòu)，風(fēng)輪機(jī)構(gòu)包括電機(jī)和離心風(fēng)輪，電機(jī)豎向固定在上冷室上部，離心風(fēng)輪位于空腔內(nèi)離心風(fēng)輪的風(fēng)輪軸與電機(jī)的電機(jī)軸連接。該實(shí)用新型公開的低溫箱通過(guò)采用離心風(fēng)輪強(qiáng)制使低溫箱內(nèi)空氣流動(dòng)循環(huán)，使低溫箱內(nèi)各處溫度一致，但是該專利公開的低溫箱是直接將電機(jī)設(shè)置在上冷室的上部，然后直接將電機(jī)軸伸入到空腔內(nèi)部與風(fēng)輪軸相連接，其在運(yùn)行過(guò)程中雖然也將電機(jī)外置設(shè)計(jì)，但是電機(jī)與上冷室的直接安裝會(huì)導(dǎo)致電機(jī)因低溫易發(fā)生故障，一旦電機(jī)故障后由于電機(jī)的電機(jī)軸是與風(fēng)輪軸相連接，需要將整個(gè)低溫箱拆開維修，導(dǎo)致其維修過(guò)程復(fù)雜。另外，該低溫箱上的多個(gè)風(fēng)輪機(jī)構(gòu)各連接一個(gè)電機(jī)，其不僅增加了設(shè)備成本，而且運(yùn)行過(guò)程中的電能消耗較大?；诂F(xiàn)有低溫箱存在的上述技術(shù)問(wèn)題，本申請(qǐng)?zhí)岢隽艘环N耐超低溫和高溫的離心式渦輪風(fēng)機(jī)，將其與檢測(cè)設(shè)備配套使用能夠有效解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型旨在于一種耐超低溫和高溫的離心式渦輪風(fēng)機(jī)，將其與半導(dǎo)體低溫測(cè)試設(shè)備相配套使用能夠有效提高其使用壽命和半導(dǎo)體超低溫和高溫的測(cè)試效果。

2、本實(shí)用新型是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：

3、一種耐超低溫和高溫的離心式渦輪風(fēng)機(jī)，包括電機(jī)、離心風(fēng)輪、風(fēng)機(jī)腔體和介質(zhì)輸送管道，所述風(fēng)機(jī)腔體的上端開口設(shè)置有密封蓋板，所述密封蓋板的兩端分別轉(zhuǎn)動(dòng)連接有伸入到風(fēng)機(jī)腔體內(nèi)部的主動(dòng)軸和從動(dòng)軸，兩個(gè)所述離心風(fēng)輪分別與主動(dòng)軸、從動(dòng)軸的下端相連接，所述介質(zhì)輸送管道的端部與兩個(gè)離心風(fēng)輪之間的風(fēng)機(jī)腔體相連通，位于所述密封蓋板上方的主動(dòng)軸、從動(dòng)軸之間設(shè)置有傳動(dòng)部件，所述主動(dòng)軸的頂端與電機(jī)的電機(jī)軸相連接。

4、作為上述方案的進(jìn)一步設(shè)置，所述密封蓋板的兩端分別設(shè)置有主動(dòng)軸承和從動(dòng)軸承，所述主動(dòng)軸、從動(dòng)軸分別與主動(dòng)軸承和從動(dòng)軸承相連接。

5、作為上述方案的進(jìn)一步設(shè)置，位于所述主動(dòng)軸承的上方設(shè)置有電機(jī)支架，所述電機(jī)固定設(shè)置在電機(jī)支架上，所述電機(jī)的電機(jī)軸通過(guò)聯(lián)軸器與主動(dòng)軸相連接。

6、作為上述方案的進(jìn)一步設(shè)置，所述傳動(dòng)部件包括分別連接在主動(dòng)軸、從動(dòng)軸上的主動(dòng)帶輪和從動(dòng)帶輪，所述主動(dòng)帶輪和從動(dòng)帶輪之間設(shè)置有傳動(dòng)皮帶。

7、作為上述方案的進(jìn)一步設(shè)置，所述密封蓋板的上表面設(shè)置有將主動(dòng)帶輪、從動(dòng)帶輪和傳動(dòng)皮帶進(jìn)行保護(hù)的防護(hù)罩組件。

8、作為上述方案的進(jìn)一步設(shè)置，所述密封蓋板的上表面設(shè)置有對(duì)傳動(dòng)皮帶進(jìn)行張力調(diào)節(jié)的張緊輪。

9、作為上述方案的進(jìn)一步設(shè)置，所述密封蓋板的上表面設(shè)置有對(duì)傳動(dòng)部件進(jìn)行檢測(cè)的傳感器。

10、作為上述方案的進(jìn)一步設(shè)置，所述風(fēng)機(jī)腔體的兩端開設(shè)有與主動(dòng)軸、從動(dòng)軸相對(duì)齊的風(fēng)輪腔，兩個(gè)所述風(fēng)輪腔的上端均開設(shè)有向風(fēng)機(jī)腔體中心處延伸的導(dǎo)流通道，且兩個(gè)導(dǎo)流通道前后間隔設(shè)置，兩個(gè)所述導(dǎo)流通道之間的隔板下端設(shè)置有管道罩，所述介質(zhì)輸送管道的端部與管道罩相連接。

11、作為上述方案的進(jìn)一步設(shè)置，位于所述風(fēng)機(jī)腔體外部的介質(zhì)輸送管道上設(shè)置有隔熱保護(hù)套。

12、與現(xiàn)有技術(shù)相比，其有益效果如下：

13、本專利公開的耐超低溫和高溫的離心式渦輪風(fēng)機(jī)將電機(jī)和傳動(dòng)部件外置，其不僅安裝方便，無(wú)需整體拆卸即可進(jìn)行日常維護(hù)，而且使得在嚴(yán)苛環(huán)境下的故障率也較低，極大提高了整個(gè)風(fēng)機(jī)的使用壽命。

14、2.本專利公開的風(fēng)機(jī)采用外置電機(jī)軸傳動(dòng)連接離心式風(fēng)扇的方式，并結(jié)合風(fēng)機(jī)腔體內(nèi)部的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)提高了氣體壓力，運(yùn)行過(guò)程中的風(fēng)壓高，能夠使得噴入的液氮或高溫介質(zhì)進(jìn)行充分流動(dòng)；同時(shí)由于電機(jī)和傳動(dòng)部件等外置設(shè)計(jì)，氣體只經(jīng)過(guò)內(nèi)部腔體與離心風(fēng)輪接觸，所以整個(gè)電機(jī)對(duì)流經(jīng)的氣體要求不苛刻，適用于一些苛刻環(huán)境下的使用場(chǎng)景。

技術(shù)特征：

1.一種耐超低溫和高溫的離心式渦輪風(fēng)機(jī)，包括電機(jī)、離心風(fēng)輪、風(fēng)機(jī)腔體和介質(zhì)輸送管道，其特征在于，所述風(fēng)機(jī)腔體的上端開口設(shè)置有密封蓋板，所述密封蓋板的兩端分別轉(zhuǎn)動(dòng)連接有伸入到風(fēng)機(jī)腔體內(nèi)部的主動(dòng)軸和從動(dòng)軸，兩個(gè)所述離心風(fēng)輪分別與主動(dòng)軸、從動(dòng)軸的下端相連接，所述介質(zhì)輸送管道的端部與兩個(gè)離心風(fēng)輪之間的風(fēng)機(jī)腔體相連通，位于所述密封蓋板上方的主動(dòng)軸、從動(dòng)軸之間設(shè)置有傳動(dòng)部件，所述主動(dòng)軸的頂端與電機(jī)的電機(jī)軸相連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的耐超低溫和高溫的離心式渦輪風(fēng)機(jī)，其特征在于，所述密封蓋板的兩端分別設(shè)置有主動(dòng)軸承和從動(dòng)軸承，所述主動(dòng)軸、從動(dòng)軸分別與主動(dòng)軸承和從動(dòng)軸承相連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的耐超低溫和高溫的離心式渦輪風(fēng)機(jī)，其特征在于，位于所述主動(dòng)軸承的上方設(shè)置有電機(jī)支架，所述電機(jī)固定設(shè)置在電機(jī)支架上，所述電機(jī)的電機(jī)軸通過(guò)聯(lián)軸器與主動(dòng)軸相連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的耐超低溫和高溫的離心式渦輪風(fēng)機(jī)，其特征在于，所述傳動(dòng)部件包括分別連接在主動(dòng)軸、從動(dòng)軸上的主動(dòng)帶輪和從動(dòng)帶輪，所述主動(dòng)帶輪和從動(dòng)帶輪之間設(shè)置有傳動(dòng)皮帶。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的耐超低溫和高溫的離心式渦輪風(fēng)機(jī)，其特征在于，所述密封蓋板的上表面設(shè)置有將主動(dòng)帶輪、從動(dòng)帶輪和傳動(dòng)皮帶進(jìn)行保護(hù)的防護(hù)罩組件。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的耐超低溫和高溫的離心式渦輪風(fēng)機(jī)，其特征在于，所述密封蓋板的上表面設(shè)置有對(duì)傳動(dòng)皮帶進(jìn)行張力調(diào)節(jié)的張緊輪。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的耐超低溫和高溫的離心式渦輪風(fēng)機(jī)，其特征在于，所述密封蓋板的上表面設(shè)置有對(duì)傳動(dòng)部件進(jìn)行檢測(cè)的傳感器。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的耐超低溫和高溫的離心式渦輪風(fēng)機(jī)，其特征在于，所述風(fēng)機(jī)腔體的兩端開設(shè)有與主動(dòng)軸、從動(dòng)軸相對(duì)齊的風(fēng)輪腔，兩個(gè)所述風(fēng)輪腔的上端均開設(shè)有向風(fēng)機(jī)腔體中心處延伸的導(dǎo)流通道，且兩個(gè)導(dǎo)流通道前后間隔設(shè)置，兩個(gè)所述導(dǎo)流通道之間的隔板下端設(shè)置有管道罩，所述介質(zhì)輸送管道的端部與管道罩相連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的耐超低溫和高溫的離心式渦輪風(fēng)機(jī)，其特征在于，位于所述風(fēng)機(jī)腔體外部的介質(zhì)輸送管道上設(shè)置有隔熱保護(hù)套。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及了一種耐超低溫和高溫的離心式渦輪風(fēng)機(jī)，包括電機(jī)、離心風(fēng)輪、風(fēng)機(jī)腔體和介質(zhì)輸送管道，風(fēng)機(jī)腔體的上端開口設(shè)置有密封蓋板，密封蓋板的兩端分別轉(zhuǎn)動(dòng)連接有伸入到風(fēng)機(jī)腔體內(nèi)部的主動(dòng)軸和從動(dòng)軸，兩個(gè)離心風(fēng)輪分別與主動(dòng)軸、從動(dòng)軸的下端相連接，介質(zhì)輸送管道的端部與兩個(gè)離心風(fēng)輪之間的風(fēng)機(jī)腔體相連通，位于密封蓋板上方的主動(dòng)軸、從動(dòng)軸之間設(shè)置有傳動(dòng)部件，主動(dòng)軸的頂端與電機(jī)的電機(jī)軸相連接；本專利公開的耐超低溫和高溫離心式渦輪安裝維修方便，適用于嚴(yán)苛環(huán)境下的使用，而且在嚴(yán)苛環(huán)境下的故障率低、使用壽命更長(zhǎng)。

技術(shù)研發(fā)人員：盧勇,顏偉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州必得瑞半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240426
技術(shù)公布日：2025/1/2