專(zhuān)利名稱(chēng):高效抽氫致冷機(jī)低溫泵的制作方法
本發(fā)明屬于真空技術(shù)領(lǐng)域：
。
致冷機(jī)低溫泵由一級(jí)冷陣、二級(jí)冷陣和泵殼三個(gè)部分組成，泵的結(jié)構(gòu)是影響主要工作性能的決定因素，現(xiàn)有的各種致冷機(jī)低溫泵在結(jié)構(gòu)上未能兼顧各方面的要求，致使部分性能不佳，尤其是對(duì)氫等非凝性氣體的抽氣效率較低。美國(guó)專(zhuān)利US4285710，英國(guó)專(zhuān)利GB2059512A，GB2061391A所示的致冷機(jī)低溫泵在結(jié)構(gòu)上有了合理的改進(jìn)，使泵對(duì)可凝性氣體的抽氣效率有了一定程度的提高，但對(duì)非凝性氣體的抽氣效率無(wú)顯著改善，而且吸附劑易受到可凝性氣體的污染，使泵在工作中對(duì)非凝性氣體難以保持穩(wěn)定的抽速。
本發(fā)明的目的在于提供一種對(duì)氫等非凝性氣體具有較高抽氣效率的致冷機(jī)低溫泵。
本發(fā)明中的一級(jí)冷陣由圓筒形輻射屏蔽屏〔1〕，兩塊對(duì)稱(chēng)傾斜的平面底板〔2〕，泵口處的房頂式人字形擋板〔3〕，以及在二級(jí)冷陣兩側(cè)對(duì)稱(chēng)設(shè)置的兩個(gè)板狀立式百葉窗擋板〔4〕所構(gòu)成。二級(jí)冷陣是由兩個(gè)直立對(duì)稱(chēng)安放的板狀立式人字形抽氣部件〔5〕組成的。房頂式人字形擋板的外形呈房頂狀，頂部有一形如房頂?shù)娜俗中稳~片，兩邊各有數(shù)個(gè)平行傾斜排列的人字形葉片。板狀立式百葉窗擋板的外形為矩形板狀，主要由若干個(gè)不等距排列的條形片狀葉片構(gòu)成。板狀立式人字形抽氣部件的外形呈板狀，內(nèi)有若干個(gè)平行排列的人字形葉片，葉片的局部部位上敷有吸附劑〔7〕。
本發(fā)明兼顧了各項(xiàng)性能的要求，既對(duì)各類(lèi)氣體具有較高的抽氣效率，又具有良好的光屏蔽性能，而且充分發(fā)揮了吸附劑的作用。特別是對(duì)氫等非凝性氣體具有很高的抽氣效率。
附圖是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
本發(fā)明可以采用以下方案實(shí)施房頂式人字形擋板〔3〕中的各葉片分別焊接在兩塊連接板上，連接板同輻射屏蔽屏〔1〕用螺栓連接。在板狀立式百葉窗擋板〔4〕中，各葉片之間的距離隨葉片所在位置的高度的降低而增大，葉片兩端焊在一框架上，框架用螺栓與輻射屏蔽屏相連。所有擋板中的葉片和底板〔2〕也可以直接焊接在輻射屏蔽屏上。二級(jí)冷陣由兩個(gè)板狀立式人字形抽氣部件〔5〕和隔板〔6〕對(duì)稱(chēng)組裝而成。在抽氣部件中，各人字形葉片靠抽氣部件入口處的前半部分是水平面，且與抽氣入口面互相垂直，后半部分是斜面，內(nèi)側(cè)敷有吸附劑〔7〕。抽氣部件中的葉片焊在框架上，框架與二級(jí)冷頭〔9〕用螺栓連接。一級(jí)冷陣中各部位的內(nèi)側(cè)均發(fā)黑，外側(cè)拋光鍍銀，一方面反射外界熱輻射，減小一級(jí)冷頭〔8〕的熱負(fù)載，另一方面吸收進(jìn)入泵內(nèi)的熱輻射，減小對(duì)二級(jí)冷陣的反射。二級(jí)冷陣所有部位均拋光鍍銀，以反射熱輻射，減小二級(jí)冷頭的熱負(fù)載。吸附劑采用活性炭，采用環(huán)氧樹(shù)脂或低溫膠粘接在二級(jí)冷陣上，焊接用低溫銀焊。冷陣中螺栓連接處需用銦墊片，使得連接處有足夠的接觸面，以保證良好的熱傳導(dǎo)性。
本發(fā)明中各結(jié)構(gòu)參數(shù)均要根據(jù)設(shè)計(jì)時(shí)所選用的泵的口徑和高度而定。實(shí)施例泵徑為150mm。輻射屏蔽屏的高度為160mm，內(nèi)徑為140mm。房頂式人字形擋板中各人字形葉片的張角為90°，擋板兩邊人字形葉片的排列方向的夾角為90°。兩板狀立式百葉窗擋板相距30mm，高度為120mm，各擋板中有葉片11片，葉片傾角為45°，葉片間距從上到下由6mm依次增至25mm。底板傾斜角度為45°。在每個(gè)板狀立式人字形抽氣部件中，人字形葉片的張角為135°，葉片間距為5mm，抽氣部件全高120mm。
補(bǔ)正 85200140文件名稱(chēng) 頁(yè) 行 補(bǔ)正前 補(bǔ)正后權(quán)利要求
書(shū) 1 1 其特征…… 本發(fā)明的特征……
權(quán)利要求
1.一種真空泵，由一級(jí)冷陣，二級(jí)冷陣和泵殼組成，其特征在于一級(jí)冷陣由房頂式人字形擋板[3]和板狀立式百葉窗擋板[4]，以及圓筒形泵內(nèi)兩塊傾斜設(shè)置的平面底板[2]所構(gòu)成，二級(jí)冷陣采用板狀立式人字形抽氣部件[5]。
2.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的真空泵，其特征在于一級(jí)冷陣中的房頂式人字形擋板〔3〕的頂部，有一形如房頂?shù)娜~片，兩邊對(duì)稱(chēng)傾斜排列了數(shù)個(gè)人字形葉片，擋板外形呈房頂狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的真空泵，其特征在于在二級(jí)冷陣兩側(cè)對(duì)稱(chēng)設(shè)置了兩個(gè)板狀立式百葉窗擋板〔4〕，擋板中各葉片之間的距離不等，且隨葉片位置的高度的降低而增大，擋板外形為矩形板狀。
4.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的真空泵，其特征在于二級(jí)冷陣是由兩個(gè)對(duì)置放置的板狀立式人字形抽氣部件〔5〕和兩抽氣部件之間的隔板〔6〕組成，抽氣部件中有若干個(gè)平行排列的人字形葉片，葉片前半部分平面與抽氣部件的入口面互相垂直。
專(zhuān)利摘要
本發(fā)明屬于真空技術(shù)領(lǐng)域：
。各種制冷機(jī)低溫泵都普遍存在著對(duì)氫等非凝性氣體的抽氣效率較低的弱點(diǎn)。本發(fā)明提供了一種具有較高抽氫效率的新型結(jié)構(gòu)的致冷機(jī)低溫泵。該泵采用了房頂式人字形擋板，板狀立式百葉窗擋板和板狀立式人字形抽氣部件，使泵對(duì)氫等非凝性氣體的抽氣效率大大優(yōu)于同類(lèi)泵。這種泵可用于任何需要清潔超高真空環(huán)境的場(chǎng)合。
文檔編號(hào)F04B37/00GK85200140SQ85200140
公開(kāi)日1985年9月10日 申請(qǐng)日期1985年4月1日
發(fā)明者錢(qián)進(jìn), 劉炳坤, 任家生, 崔秀華 申請(qǐng)人:南京工學(xué)院導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan