真空泵的控制裝置和具備它的真空泵的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及作為半導(dǎo)體制造裝置、平板顯示器制造裝置、太陽能面板制造裝置的工藝腔室、其他腔室的氣體排氣機構(gòu)等使用的真空泵的控制裝置和具備它的真空泵。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，這種真空泵作為其控制裝置而具備例如專利文獻I所記載的電源裝置
(50)。該電源裝置(50)具備具有開口部(凹部51b的上表面開口部)的第I殼體(基體部件
51)、安裝在該第I殼體上并將上述開口部覆蓋的第2殼體(覆蓋部件52)、設(shè)置在上述第I殼體內(nèi)并控制真空泵的基板(電路基板71)和將該基板覆蓋的模制部(保護材料55)，通過上述模制部保護上述基板和該基板上的電子零件(72、73)，防止起因于結(jié)露的電路短路的發(fā)生等。
[0003]但是，根據(jù)上述專利文獻I所記載的電源裝置(50)，如該文獻I的圖2或圖5等所圖示那樣，模制部(保護材料55)比第I殼體(基體部件51)的開口部(凹部51b的上表面開口部)伸出。因此，當(dāng)將由第I殼體(基體部件51)、基板(電路基板71)、模制部(保護材料55)構(gòu)成的裝置主體保管或輸送時，通過保管時或輸送時的溫度變化而模制部膨脹，有可能與其他部件接觸而在模制部中發(fā)生龜裂等的損壞。如果在模制部發(fā)生龜裂等的損壞，則通過因結(jié)露帶來的水滴從損壞部位向模制部的內(nèi)部滲透，有可能發(fā)生基板上的電子零件損傷或電路短路等，損害控制裝置的正常的動作。此外，在將裝置主體與第2殼體(覆蓋部件
52)分離、將裝置主體堆起多個保管或輸送時，必須使夾插到堆起的裝置主體間的間隔件的高度至少變高模制部的伸出量，在體積變大這一點上不適合于保管及輸送。
[0004]在上述專利文獻I所記載的電源裝置(50)中，由于模制部、第I殼體、基板分別由熱膨脹率不同的材料構(gòu)成，所以有可能通過因溫度變化帶來的模制部、第I殼體、基板的膨脹收縮而在模制部發(fā)生龜裂等的損壞。如果在模制部發(fā)生龜裂等的損壞，則還有可能通過因結(jié)露帶來的水滴從損壞部位向模制部的內(nèi)部滲透，基板上的電子零件損傷或發(fā)生電路短路等，控制裝置的正常的動作受損。
[0005]此外，如果參照專利文獻I的圖5，則在該文獻I所記載的電源裝置(50)中，如果在模制部(保護材料55)的表面存在凹凸，則因結(jié)露帶來的水滴集中在凹凸的凸部，還有可能水滴落在沒有被模制部覆蓋的基板(電路基板81)上、基板上的電子零件損傷或發(fā)生電路短路等，控制裝置的正常的動作受損。
[0006]另外，上述括號內(nèi)的部件名稱和附圖標(biāo)記是在專利文獻I中使用的部件名稱和附圖標(biāo)記。
[0007]專利文獻1:特開2013 — 29063號公報。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明是為了解決上述問題而做出的，其目的是提供一種適合防止因溫度變化帶來的模制部的損壞的真空泵的控制裝置。
[0009]為了達到上述目的，本發(fā)明是一種真空泵的控制裝置，控制真空泵，其特征在于，具備:殼體，具有開口部；電路基板，設(shè)置在上述殼體內(nèi)；和模制部，將上述電路基板覆蓋；上述模制部的表面比上述殼體的上述開口部凹陷。
[0010]在上述本發(fā)明中，也可以是，其特征在于，上述模制部的表面為平面狀。
[0011]在上述本發(fā)明中，也可以是，其特征在于，上述模制部的表面的與上述殼體的接觸部的高度比上述模制部的表面的其他部分高。
[0012]在上述本發(fā)明中，也可以是，其特征在于，對上述基板的角部實施了 R倒角或C倒角。
[0013]在上述本發(fā)明中，也可以是，其特征在于，對上述模制部的角部實施了 R倒角或C倒角。
[0014]在上述本發(fā)明中，也可以是，其特征在于，使上述殼體內(nèi)的角部為R形狀或C倒角形狀。
[0015]在上述本發(fā)明中，也可以是，其特征在于，上述殼體和上述電路基板通過連結(jié)部件連結(jié)；上述連結(jié)部件具備密封構(gòu)造作為密封上述連結(jié)部件周圍的間隙的機構(gòu)。
[0016]此外，本發(fā)明是一種真空泵的控制裝置，控制真空泵，其特征在于，具備:殼體，具有開口部；電路基板，設(shè)置在上述殼體內(nèi)；和模制部，將上述電路基板覆蓋；對上述電路基板的角部實施了 R倒角或C倒角。
[0017]進而，本發(fā)明是具備上述真空泵的控制裝置的真空泵。
[0018]在本發(fā)明中，作為真空泵的控制裝置的具體的結(jié)構(gòu)，如上述那樣，采用模制部的表面比殼體的開口部凹陷的結(jié)構(gòu)。因此，即使通過溫度變化而模制部膨脹/收縮，也不會比第I殼體的開口部伸出。因而，例如在將由殼體、基板、模制部構(gòu)成的裝置主體保管或輸送時，即使通過保管時或輸送時的溫度變化而模制部膨脹，也能夠降低在模制部發(fā)生龜裂等的損壞的可能性。此外，當(dāng)將裝置主體堆起多個保管或輸送時，能夠使向堆起的裝置主體間夾插的間隔件的高度變低，即使在保管或輸送時堆起也不會成為大體積，能夠提供保管或輸送較容易的真空泵的控制裝置。
[0019]此外，在本發(fā)明中，作為真空泵的控制裝置的具體的結(jié)構(gòu)，采用如上述那樣對基板的角部實施了 R倒角或C倒角的結(jié)構(gòu)，由此，構(gòu)成為，即使是通過溫度變化而殼體、基板及模制部熱膨脹的情況，因溫度變化造成的熱應(yīng)力的集中部位也減少，所以能夠提供適合防止因溫度變化造成的模制部的損壞的真空泵的控制裝置。
[0020]在本發(fā)明中，在采用如上述那樣模制部的表面為平面狀的結(jié)構(gòu)的情況下，由于在該模制部的表面沒有水滴容易積存的凸部，所以不易發(fā)生從模制部表面的水滴的落下，能夠有效地防止因落下的水滴帶來的不良狀況，例如在安裝在殼體(第I殼體)上的其他殼體(第2殼體)的內(nèi)側(cè)安裝著沒有被模制部覆蓋的別的基板的情況下，能夠有效地防止水滴落到該基板上、基板上的電子零件損傷或發(fā)生電路短路等的不良狀況。
[0021]在本發(fā)明中，通過采用如上述那樣模制部的表面的與殼體的接觸部的高度比模制部的表面的其他部分高的結(jié)構(gòu)，即使是使真空泵的控制裝置上下反轉(zhuǎn)而使用的情況，水滴也不容易積存在殼體和模制部的邊界附近。
【附圖說明】
[0022]圖1是具備作為本發(fā)明的一實施方式的真空泵的控制裝置的真空泵的說明圖。
[0023]圖2是圖1的真空泵的控制裝置的剖視圖。
[0024]圖3 Ca)是在圖1、圖2的真空泵的控制裝置中采用的基板的一實施方式的俯視圖，圖3 (b)是作為該基板的另一實施方式的俯視圖。
[0025]圖4 Ca)是作為在圖1、圖2的真空泵的控制裝置中采用的第I殼體、模制部的一實施方式的俯視圖，圖4 (b)是作為該第I殼體、該模制部的其他實施方式的俯視圖。
[0026]圖5是作為在圖1、圖2的真空泵的控制裝置中采用的密封構(gòu)造的一實施方式的剖視圖。
[0027]圖6是作為在圖1、圖2的真空泵的控制裝置中采用的密封構(gòu)造的其他實施方式的剖視圖。
【具體實施方式】
[0028]以下，一邊參照附圖一邊對用來實施本發(fā)明的最優(yōu)選的形態(tài)詳細地說明。
[0029]圖1是具備作為本發(fā)明的一實施方式的真空泵的控制裝置的真空泵的說明圖。此夕卜，圖2是圖1的真空泵的控制裝置的剖視圖，圖3 (a)是作為在圖1、圖2的真空泵的控制裝置中采用的基板的一實施方式的俯視圖，圖3 (b)是作為該基板的其他實施方式的俯視圖，圖4 (a)是作為在圖1、圖2的真空泵的控制裝置中采用的第I殼體、模制部的一實施方式的俯視圖，圖4 (b)是作為該第I殼體、該模制部的其他實施方式的俯視圖。
[0030]圖1的真空泵I為將通過驅(qū)動馬達旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子用磁軸承支承、通過轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)從吸氣口 2朝向排氣口 3將氣體排氣的構(gòu)造，例如作為半導(dǎo)體制造裝置、平板顯示器制造裝置、太陽能面板制造裝置的工藝腔室、其他腔室的氣體排氣機構(gòu)等使用。
[0031]另外，圖1的真空泵I的磁軸承為用電磁鐵的磁力將轉(zhuǎn)子在徑向及軸向上支承、并將轉(zhuǎn)子的徑向變位及軸向變位用傳感器檢測、將其檢測信號向控制裝置輸出的構(gòu)造，由于這一點是周知的，所以其詳細說明省略。驅(qū)動馬達也還是周知的，所以其詳細說明省略。
[0032]參照圖2，安裝在圖1的真空泵I上的真空泵的控制裝置4具備具有開口部5的第I殼體6、安裝在第I殼體6上的第2殼體7、從開口部5側(cè)設(shè)置在第I殼體6內(nèi)的電路基板(例如控制真空泵I的基板8 (8A))和將該電路基板覆蓋的模制部9。作為上述電路基板，也可以包括在真空泵I的控制以外的其他用途中使用的基板。另外，以下為了說明的方便，作為上述電路基板的一例而舉上述例示的基板8 (8A)進行說明。
[0033]在第I殼體6的與開口部5相反的面?zhèn)仍O(shè)有水冷單元10，水冷單元10為通過從水冷管11導(dǎo)入到水冷單元10內(nèi)的冷媒將第I殼體6內(nèi)冷卻的結(jié)構(gòu)。
[0034]此外，第I殼體6經(jīng)由位于水冷單元10側(cè)的安裝間隔件12安裝在真空泵I的底部，但也可以通過與它不同的手段將第I殼體6安裝到真空泵I上。
[0035]參照圖4，第I殼體6的外形從其上表面看是四邊形，但也可以是四邊以外的多邊形。關(guān)于這一點第I殼體6的開口部5也是同樣的。此外，第I殼體6的外形從其上表面看也可以是大致圓形。
[0036]第2殼體7為通過將其周緣部用螺栓連結(jié)在第I殼體6的周緣部上而安裝到第I殼體6上、將該第I殼體6的開口部5整體覆蓋的構(gòu)造。另外，也可以采用螺栓以外的連結(jié)機構(gòu)。
[0037]控制真空泵I的基板8如上述那樣，大體分為設(shè)置在第I殼體6內(nèi)的基板(以下稱作“第I基板8A”)、和設(shè)置在真空泵I的第2殼體7的內(nèi)側(cè)的基板(以下稱作“第2基板8B，，)。
[0038]第I基板8A是主要進行對驅(qū)動馬達或磁軸承等那樣的真空泵I的電裝零件的電力的供給和該供給電力的控制的電源電路基板，將被該電源電路基板控制的穩(wěn)定的電力向真空泵I的電裝零件供給。
[0039]第2基板8B是將例如從磁軸承的傳感器輸