用于大半導(dǎo)體行業(yè)的抽真空裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及真空獲得裝置領(lǐng)域，尤其涉及一種用于大半導(dǎo)體行業(yè)的抽真空裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]大半導(dǎo)體行業(yè)(如SEMI PV LED FTO等)用的抽真空裝置10包括連接到工藝設(shè)備的工藝腔或者上載-卸載腔的真空泵20，真空泵包括泵體21，里面的5級(jí)轉(zhuǎn)子Rl，R2，R3，R4，R5，及驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)的馬達(dá)22，及真空泵20的入口管23 ;順序連接在真空泵排氣端的單向閥28及中間連接管道25，在真空泵20工作時(shí)此單向閥28僅允許真空泵排氣氣流向大氣側(cè)；一個(gè)與單向閥28并行連接的相對(duì)小抽速的輔助泵30及中間連接管道26，此輔助泵用來在真空泵等待狀態(tài)時(shí)降低真空泵20的排氣壓力。
[0003]工藝設(shè)備的上載-卸載腔和真空泵20之間的截止閥打開時(shí)，真空泵20工作將工藝設(shè)備的上載-卸載腔抽到真空狀態(tài)，而此時(shí)輔助泵30無作用。然而當(dāng)工藝設(shè)備的上載-卸載腔和真空泵20之間的截止閥關(guān)斷時(shí)，真空泵20進(jìn)入等待狀態(tài)，此時(shí)輔助泵30開始作用，降低真空泵20的排氣端壓力，從而降低真空泵20的負(fù)載。特別地，對(duì)于多級(jí)結(jié)構(gòu)的真空泵20來說位于排氣端的轉(zhuǎn)子R5相對(duì)于R1，占到最大的壓縮比，R5段的功耗占到真空泵總功耗的最大比例。相應(yīng)地輔助泵30能夠降低施加于R5的負(fù)載，從而能夠極大地降低真空泵20的總功耗。
[0004]然而，用于降低真空泵20的排氣端負(fù)載的輔助泵30有一些如下固有的問題:
[0005]I)輔助泵30需要額外的購(gòu)置成本。
[0006]2)既然輔助泵30不能夠簡(jiǎn)單地連接到排氣管25，需要復(fù)雜的附加排氣管26。此會(huì)產(chǎn)生管道成本，安裝成本，占地費(fèi)用。
[0007]3)即使輔助泵30相對(duì)是小抽速的泵，但是它本身還是需要額外的功耗。
[0008]綜上幾點(diǎn)，采用輔助泵降低真空泵總功耗存在固有的局限，達(dá)不到滿意的水平。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是:節(jié)約成本，降低能耗，延長(zhǎng)真空泵使用壽命。
[0010]為解決上述技術(shù)問題采用的技術(shù)方案是:一種用于大半導(dǎo)體行業(yè)(如SEMI PV LEDFPD等)的抽真空裝置，包括真空泵和用于降低所述真空泵負(fù)載的減壓模塊，所述真空泵包括泵體，泵入口管，五級(jí)轉(zhuǎn)子，驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)的泵馬達(dá)以及連接所述真空泵和所述減壓模塊的真空管道。
[0011]進(jìn)一步的是:所述減壓模塊包括順序連接在所述真空泵排氣端的第一分管，安裝在第一分管中間僅允許真空泵的排氣從真空泵到大氣壓側(cè)的單向閥，從第一分管分支出來的用來旁通單向閥的第二分管，位于第二分管中間的真空發(fā)生器，所述真空發(fā)生器利用外部載氣讓載氣從外部流入，后流向大氣壓側(cè)，從而降低真空泵排氣壓力。
[0012]進(jìn)一步的是:所述減壓模塊包括真空發(fā)生器，載氣接口，扁平緊湊的自鎖法蘭連接的真空泵側(cè)法蘭和大氣壓側(cè)法蘭，兩個(gè)法蘭中間設(shè)置單向閥，不用改變現(xiàn)存的真空泵排氣端管道；
[0013]進(jìn)一步的是:所述減壓模塊被密封安裝于保護(hù)盒子中，所述保護(hù)盒子外圍包括載氣進(jìn)氣管及法蘭，連接真空泵排氣側(cè)管道及法蘭，及大氣排氣管道及法蘭。
[0014]進(jìn)一步的是:所述真空發(fā)生器包括讓外部載氣流入的進(jìn)口段，讓載氣流出的出口段，連接進(jìn)口段和出口段的橫截面，以及連接在橫截面上的中間段，還包括與中間段連接在一起的第二分管的進(jìn)口管。
[0015]進(jìn)一步的是:所述真空發(fā)生器的連接進(jìn)口段和出口段的橫截面跟進(jìn)口段和出口段截面相比突然變小，從而使載氣的流速徒然增加。
[0016]進(jìn)一步的是:所述真空泵通過真空管道與工藝設(shè)備的上載-卸載腔連接，所述真空管道上設(shè)置截止閥。
[0017]本發(fā)明的用于大半導(dǎo)體行業(yè)(如SEMI PV LED FPD等)的抽真空裝置，包含的減壓模塊利用高壓氣流和文丘里效應(yīng)來降低真空泵排氣端的壓力，由于只用載氣，此模塊不需要額外的電耗，就能夠降低真空泵的負(fù)載從而到達(dá)節(jié)能的目的。
[0018]此減壓模塊包括順序連接于真空泵排氣端的第一分管；一個(gè)安裝于第一分管僅使真空泵工作排氣時(shí)從真空泵流向大氣側(cè)的單向閥；一個(gè)從第一分管分支出來的用來旁通單向閥的第二分管；一個(gè)安裝于第二分管上的真空發(fā)生器，此真空發(fā)生器從外部接入高壓載氣，通過文丘里效應(yīng)產(chǎn)生降壓作用，從而讓真空泵的排氣壓力降低，在真空泵處于等待狀態(tài)時(shí)讓氣流通過真空發(fā)生器流向大氣側(cè)。
[0019]真空發(fā)生器包含載氣流入管及通過的入口段；連接到第二分管大氣壓側(cè)的氣體出口段；連接入口段和出口段的橫截面的中間段。當(dāng)載氣從入口端流向出口段的過程中橫截面急劇變小時(shí)載氣的流速陡然增加，產(chǎn)生文丘里效應(yīng)，從而在中間段產(chǎn)生壓降作用。
【附圖說明】
[0020]圖1是本發(fā)明抽真空裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖；
[0021]圖2是本發(fā)明抽真空裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖3是本發(fā)明抽真空裝置真空發(fā)生器連接端口簡(jiǎn)圖；
[0023]圖4是本發(fā)明抽真空裝置減壓模塊原理圖；
[0024]圖5是本發(fā)明減壓模塊一種【具體實(shí)施方式】ERM型號(hào)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖6是本發(fā)明減壓模塊另一種【具體實(shí)施方式】e-SAVER型號(hào)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖7是本發(fā)明抽真空裝置減壓模塊氣體路徑圖；
[0027]圖8是本發(fā)明抽真空裝置減壓模塊節(jié)能對(duì)比圖。
【具體實(shí)施方式】
[0028]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步說明。
[0029]本發(fā)明提供了一種成本低，能耗低，真空泵使用壽命長(zhǎng)的大半導(dǎo)體行業(yè)(如SEMIPV LED FPD等)的抽真空裝置。一種用于大半導(dǎo)體行業(yè)(如SEMI PV LED FPD等)的抽真空裝置，包括真空泵和用于降低所述真空泵負(fù)載的減壓模塊，所述真空泵包括泵體，泵入口管，五級(jí)轉(zhuǎn)子，驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)的泵馬達(dá)以及連接所述真空泵和所述減壓模塊的真空管道。
[0030]本發(fā)明大半導(dǎo)體行業(yè)(如SEMI PV LED FPD等)的抽真空裝置，如圖1所示，一個(gè)帶減壓模塊200的抽真空裝置連接于工藝設(shè)備的工藝腔110或上載-卸載腔120，多級(jí)真空泵130，用來降低真空泵130排氣壓力的減壓模塊200，連接工藝設(shè)備的上載-卸載腔和真空泵130的連接管道151，連接真空泵130和減壓模塊200的連接管道153，以及連接在工藝設(shè)備的上載-卸載腔和真空泵130中間的截止閥140。
[0031]減壓模塊200簡(jiǎn)單地通過真空泵130的排氣管道153的法蘭連接，不像傳統(tǒng)方式的輔助泵需要額外的管道和功耗，同樣可以顯著地降低真空泵130的負(fù)載，達(dá)到大幅降低真空泵130能耗的效果。
[0032]如圖2所示，本發(fā)明抽真空裝置包括真空泵130和減壓模塊200。真空泵130包括泵體131，泵入口管133，泵5級(jí)轉(zhuǎn)子Rl，R2，R3，R4，R5，泵馬達(dá)132，以及連接真空泵130和減壓模塊200的連接管道153.減壓模塊200包括一個(gè)真空發(fā)生器210，第一分管232a232b，位于第一分管232a232b中間的單相閥220，同單向閥220并行連接的第二分管233a233b，位于第二分管233a233b中間的真空發(fā)生器210。
[0033]如圖3所示，真空發(fā)生器210的三段接口，包括載氣入口段211，出口段212，連接入口段211和出口段212的橫截面上的中間段213。
[0034]如圖4所示，本發(fā)明減壓模塊的原理為:減壓模塊200包括一個(gè)真空發(fā)生器210，第一分管232a232b，處于第一分管232a232b中間的單相閥220，同單向閥220并行連接的第二分管233a233b，處于第二分管233a233b中間的真空發(fā)生器210 ;以及外圍的三個(gè)進(jìn)口管及法蘭:載氣進(jìn)氣管235及法蘭235a，連接真空泵排氣側(cè)管道231及