附近的氣體的向螺紋槽內(nèi)的逆流，因而能夠進(jìn)一步抑制起因于氣體滯留于螺紋槽的排氣側(cè)出口而導(dǎo)致的氣體生成物的堆積。
[0026]權(quán)利要求8記載的發(fā)明提供如下的真空栗:除了權(quán)利要求6或7記載的發(fā)明的構(gòu)成之外，前述回旋滯留抑制壁與前述突條部一體地形成。
[0027]依據(jù)該構(gòu)成，突條部從轉(zhuǎn)子圓筒部或定子的排氣側(cè)端面延伸并與回旋滯留抑制壁一體地形成，由此，抑制氣體越過突條部的氣體排氣方向的排氣側(cè)的排氣側(cè)端部而流入轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方向前方的螺紋槽，因而能夠進(jìn)一步抑制起因于氣體滯留于螺紋槽的排氣側(cè)出口而導(dǎo)致的氣體生成物的堆積。
[0028]發(fā)明的效果
權(quán)利要求1記載的發(fā)明，由于氣體滯留抑制裝置抑制螺紋槽的排氣側(cè)出口處的氣體的滯留，因而能夠抑制起因于氣體滯留于螺紋槽的排氣側(cè)出口而導(dǎo)致的氣體生成物的堆積。
[0029]權(quán)利要求2記載的發(fā)明，除了權(quán)利要求1記載的發(fā)明的效果之外，由于流入抑制壁抑制螺紋槽的排氣側(cè)出口的氣體越過突條部的排氣側(cè)端部而流入轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方向前方的螺紋槽，因而能夠抑制起因于氣體滯留于螺紋槽的排氣側(cè)出口而導(dǎo)致的氣體生成物的堆積。
[0030]權(quán)利要求3記載的發(fā)明，除了權(quán)利要求2記載的發(fā)明的效果之外，由于流入抑制壁抑制氣體越過排氣側(cè)端部而流入轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方向前方的螺紋槽，另外，螺紋槽內(nèi)的氣體沿著突條部的以錐狀形成的流入抑制壁順利地排氣，因而抑制螺紋槽的出口壓力的增加，同時(shí)，能夠抑制起因于氣體滯留于螺紋槽的排氣側(cè)而導(dǎo)致的氣體生成物的堆積。
[0031]權(quán)利要求4記載的發(fā)明，除了權(quán)利要求2記載的發(fā)明的效果之外，由于遍及加寬區(qū)域內(nèi)形成的流入抑制壁抑制螺紋槽的排氣側(cè)出口的氣體越過突條部的排氣側(cè)端部而流入轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方向前方的螺紋槽，因而能夠抑制起因于氣體滯留于螺紋槽的排氣側(cè)出口而導(dǎo)致的氣體生成物的堆積。
[0032]權(quán)利要求5記載的發(fā)明，除了權(quán)利要求1記載的發(fā)明的效果之外，由于流入抑制壁抑制氣體越過突條部的排氣側(cè)端部而流入轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方向前方的螺紋槽，另外，避免伴隨著流入抑制壁的設(shè)置而發(fā)生的流動于螺紋槽內(nèi)的氣體流量的過度下降，因而保持氣體的流量，同時(shí)，能夠抑制起因于氣體滯留于螺紋槽的排氣側(cè)而導(dǎo)致的氣體生成物的堆積。
[0033]權(quán)利要求6記載的發(fā)明，除了權(quán)利要求1記載的發(fā)明的效果之外，由于回旋滯留抑制壁使氣體的滯留衰減而抑制氣體逆流至螺紋槽，因而能夠抑制起因于氣體滯留于螺紋槽的排氣側(cè)出口而導(dǎo)致的氣體生成物的堆積。
[0034]權(quán)利要求7記載的發(fā)明，除了權(quán)利要求6記載的發(fā)明的效果之外，由于氣體誘導(dǎo)面將容易滯留在轉(zhuǎn)子圓筒部或定子的排氣側(cè)端面的氣體從外周側(cè)向內(nèi)周側(cè)誘導(dǎo)，因而抑制氣體從轉(zhuǎn)子圓筒部或定子的排氣側(cè)端面逆流至螺紋槽內(nèi)而滯留在螺紋槽的排氣側(cè)出口，能夠抑制起因于氣體滯留于螺紋槽的排氣側(cè)出口而導(dǎo)致的氣體生成物的堆積。
[0035]權(quán)利要求8記載的發(fā)明，除了權(quán)利要求6或7記載的發(fā)明的效果之外，由于抑制氣體越過突條部的排氣側(cè)端部而流入轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方向前方的螺紋槽，因而能夠進(jìn)一步抑制起因于氣體滯留于螺紋槽的排氣側(cè)出口而導(dǎo)致的氣體生成物的堆積。
【附圖說明】
[0036]圖1是示出本發(fā)明的第1實(shí)施例所涉及的真空栗的剖視圖。
[0037]圖2是圖1所示的外周側(cè)定子的縱向剖視圖。
[0038]圖3是圖1所示的內(nèi)周側(cè)定子的圖，(a)是俯視圖，(b)是側(cè)視圖。
[0039]圖4是示出圖3的內(nèi)周側(cè)定子的變形例的圖，(a)是俯視圖，(b)是側(cè)視圖。
[0040]圖5是示出適用于本發(fā)明的第2實(shí)施例所涉及的真空栗的內(nèi)周側(cè)定子的圖，(a)是俯視圖，(b)是側(cè)視圖。
[0041]圖6是示出圖4的內(nèi)周側(cè)定子的變形例的圖，(a)是俯視圖，(b)是側(cè)視圖。
[0042]圖7是示出適用于現(xiàn)有的真空栗的內(nèi)筒定子的側(cè)視圖。
[0043]圖8是圖7所示的內(nèi)筒定子的俯視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0044]本發(fā)明為了達(dá)成抑制螺紋槽的排氣側(cè)出口處的氣體生成物的產(chǎn)生并在長期內(nèi)維持栗性能這一目的，通過如下的真空栗來實(shí)現(xiàn):具備螺紋槽栗機(jī)構(gòu)，該螺紋槽栗機(jī)構(gòu)具有:轉(zhuǎn)子圓筒部，設(shè)置在能夠沿既定的旋轉(zhuǎn)方向旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子；大致圓筒狀的2個(gè)定子，在轉(zhuǎn)子圓筒部的內(nèi)周面和外周面分別經(jīng)由間隙而配置在與轉(zhuǎn)子圓筒部相同的軸上；多個(gè)突條部，在2個(gè)定子的與轉(zhuǎn)子圓筒部對置的對置面或轉(zhuǎn)子圓筒部的內(nèi)周面和外周面的任一方沿著氣體排氣方向延伸設(shè)置；以及螺紋槽，雕刻設(shè)置在多個(gè)突條部之間，真空栗將螺紋槽內(nèi)的氣體從氣體排氣方向的吸氣側(cè)向排氣側(cè)傳送，具備抑制螺紋槽的排氣側(cè)出口處的氣體的滯留的氣體滯留抑制裝置。
實(shí)施例
[0045]以下，基于圖1至圖3，說明本發(fā)明的第1實(shí)施例所涉及的真空栗。
[0046]真空栗1是由容納在大致圓筒狀的殼體10內(nèi)的渦輪分子栗機(jī)構(gòu)PA和螺紋槽栗機(jī)構(gòu)PB構(gòu)成的復(fù)合栗。
[0047]真空栗1具備:大致圓筒狀的殼體10 ;轉(zhuǎn)子軸20，在殼體10內(nèi)可旋轉(zhuǎn)地被支撐；驅(qū)動電動機(jī)30，使轉(zhuǎn)子軸20旋轉(zhuǎn)；轉(zhuǎn)子40，固定在轉(zhuǎn)子軸20的上部，具備相對于轉(zhuǎn)子軸20的軸心而以同心圓狀并列設(shè)置的旋轉(zhuǎn)葉片41 ;以及定子列50，容納轉(zhuǎn)子軸20的一部分和驅(qū)動電動機(jī)30。
[0048]殼體10以有底圓筒狀形成。殼體10由如下的部件構(gòu)成:底座11，在下部側(cè)方形成有氣體排氣口 11a ;和圓筒部12，在上部形成有氣體吸氣口 12a，并且以承載于底座11上的狀態(tài)經(jīng)由螺栓13而固定。此外，圖1中的符號14是后蓋。
[0049]殼體10經(jīng)由圓筒部12的凸緣12b而安裝在未圖示的室等真空容器。氣體吸氣口12a連接至真空容器，氣體排氣口 11a以與未圖示的輔助栗連通的方式連接。
[0050]轉(zhuǎn)子軸20由徑向電磁鐵21和軸向電磁鐵22非接觸支撐。徑向電磁鐵21和軸向電磁鐵22連接至未圖示的控制單元。
[0051]控制單元基于徑向方向位移傳感器21a和軸向方向位移傳感器22a的檢測值，控制徑向電磁鐵21、軸向電磁鐵22的激磁電流，由此，轉(zhuǎn)子軸20以在既定的位置浮起的狀態(tài)被支撐。
[0052]轉(zhuǎn)子軸20的上部和下部插入貫通于觸地軸承23內(nèi)。在轉(zhuǎn)子軸20不能控制的情況下，以高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子軸20與觸地軸承23接觸而防止真空栗1的損傷。
[0053]驅(qū)動電動機(jī)30由安裝在轉(zhuǎn)子軸20的外周的轉(zhuǎn)子31和配置為包圍轉(zhuǎn)子31的定子32構(gòu)成。定子31連接至上述的未圖示的控制單元，由控制單元控制轉(zhuǎn)子軸20和轉(zhuǎn)子40的旋轉(zhuǎn)。
[0054]在將轉(zhuǎn)子軸20的上部插入貫通于轂孔42的狀態(tài)下，將螺栓43插入貫通于轉(zhuǎn)子凸緣44并螺紋固定于軸凸緣24，由此，轉(zhuǎn)子40與轉(zhuǎn)子軸20 —體地安裝。
[0055]定子列50在承載于底座11上的狀態(tài)將下端部經(jīng)由未圖示的螺栓而固定于底座
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[0056]接著，說明配置在真空栗1的大致上半部分的渦輪分子栗機(jī)構(gòu)PA。
[0057]渦輪分子栗機(jī)構(gòu)PA由轉(zhuǎn)子40的旋轉(zhuǎn)葉片41和在旋轉(zhuǎn)葉片41之間隔開間隙而配置的固定葉片60構(gòu)成。沿著上下方向Η交替地排列有多級旋轉(zhuǎn)葉片41和固定葉片60，在本實(shí)施例中，排列有5級旋轉(zhuǎn)葉片41和4級固定葉片60。
[0058]旋轉(zhuǎn)葉片41由以既定的角度傾斜的葉片構(gòu)成，一體地形成于轉(zhuǎn)子40的上部外周面。另外，圍繞轉(zhuǎn)子40的軸線以放射狀設(shè)置多個(gè)旋轉(zhuǎn)葉片41。
[0059]固定葉片60由沿與旋轉(zhuǎn)葉片41相反的方向傾斜的葉片構(gòu)成，由在圓筒部12的內(nèi)壁面12a堆疊地設(shè)置的隔離物61沿上下方向夾