低溫泵系統(tǒng)、低溫泵控制裝置及低溫泵再生方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種低溫泵系統(tǒng)、低溫泵控制裝置及低溫泵再生方法，其課題在于縮短低溫泵的再生時間。本發(fā)明的低溫泵系統(tǒng)具備：低溫泵(10)；及再生控制部(102)，根據(jù)包括排出處理的再生順序控制低溫泵(10)，所述排出處理為從低溫泵(10)排出冷凝物的排出處理，在所述排出處理中執(zhí)行低溫泵(10)的粗抽。再生控制部(102)具備：壓力下降率運(yùn)算部(114)，運(yùn)算出低溫泵(10)粗抽中的低溫泵(10)內(nèi)的壓力下降率；及壓力下降率監(jiān)視部(116)，檢測出粗抽中的壓力下降率的縮小。
【專利說明】低溫泵系統(tǒng)、低溫泵控制裝置及低溫泵再生方法
[0001 ]本申請主張基于2015年2月20日申請的日本專利申請第2015-031852號的優(yōu)先權(quán)。該日本申請的全部內(nèi)容通過參考援用于本說明書中。
技術(shù)領(lǐng)域
[0002]本發(fā)明涉及一種低溫栗系統(tǒng)、低溫栗控制裝置及低溫栗再生方法。
【背景技術(shù)】
[0003]低溫栗是將氣體分子通過冷凝或吸附捕捉到冷卻至超低溫的低溫板上而進(jìn)行排氣的真空栗。低溫栗通常用于實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體電路制造工藝等中所要求的清潔的真空環(huán)境。低溫栗是所謂的氣體捕集式真空栗，因此需要定期進(jìn)行向外部排出已捕捉的氣體的再生。
[0004]專利文獻(xiàn)I:日本特開2008-223538號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的一種實(shí)施方式的示例性的目的之一在于縮短低溫栗的再生時間。
[0006]根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方式，提供一種低溫栗系統(tǒng)，其具備:低溫栗;及再生控制部，根據(jù)包括排出處理的再生順序控制所述低溫栗，所述排出處理為從所述低溫栗排出冷凝物的排出處理，在所述排出處理中執(zhí)行所述低溫栗的粗抽。所述再生控制部具備:壓力下降率運(yùn)算部，運(yùn)算出所述低溫栗粗抽中的所述低溫栗內(nèi)的壓力下降率;及壓力下降率監(jiān)視部，檢測出所述粗抽中的所述壓力下降率的縮小。
[0007]根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方式，提供一種低溫栗控制裝置，其具備根據(jù)包括排出處理的再生順序控制所述低溫栗的再生控制部，所述排出處理為從低溫栗排出冷凝物的排出處理，在所述排出處理中執(zhí)行所述低溫栗的粗抽。所述再生控制部具備:壓力下降率運(yùn)算部，運(yùn)算出所述低溫栗粗抽中的所述低溫栗內(nèi)的壓力下降率;及壓力下降率監(jiān)視部，檢測出所述粗抽中的所述壓力下降率的縮小。
[0008]根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方式，提供一種低溫栗再生方法，所述方法具備根據(jù)包括排出處理的再生順序控制所述低溫栗的工序，所述排出處理為從低溫栗排出冷凝物的排出處理，在所述排出處理中執(zhí)行所述低溫栗的粗抽。所述控制具備如下工序:運(yùn)算出所述低溫栗粗抽中的所述低溫栗內(nèi)的壓力下降率、檢測出所述粗抽中的所述壓力下降率的縮小。
[0009]另外，以上構(gòu)成要件的任意組合、本發(fā)明的構(gòu)成要件或表現(xiàn)在裝置、方法、系統(tǒng)、計算機(jī)程序、存儲計算機(jī)程序的存儲媒介等之間的相互置換也作為本發(fā)明的方式有效。
[0010]根據(jù)本發(fā)明，能夠縮短低溫栗的再生時間。
【附圖說明】
[0011]圖1是示意地表示本發(fā)明的一種實(shí)施方式所涉及的低溫栗系統(tǒng)的圖。
[0012]圖2是概略地表示本發(fā)明的一種實(shí)施方式所涉及的低溫栗控制部的結(jié)構(gòu)的圖。
[0013]圖3是表示本發(fā)明的一種實(shí)施方式所涉及的低溫栗再生方法的主要步驟的流程圖。
[0014]圖4是概略表示本發(fā)明的一種實(shí)施方式所涉及的低溫栗內(nèi)的壓力變化的圖。
[0015]圖中:10-低溫栗，18-低溫低溫板，19-高溫低溫板，38-殼體，72-粗抽閥，74-排氣閥，94-壓力傳感器，100-低溫栗控制部，102-再生控制部，110-閥控制部，112-壓力監(jiān)視部，114-壓力下降率運(yùn)算部，116-壓力下降率監(jiān)視部，118-相變推斷部。
【具體實(shí)施方式】
[0016]以下，參考附圖對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。另外，在說明中，對相同要件標(biāo)注相同符號，并適當(dāng)省略重復(fù)說明。并且，以下敘述的結(jié)構(gòu)為示例，并不對本發(fā)明的范圍作任何限定。
[0017]圖1是示意地表示本發(fā)明的一種實(shí)施方式所涉及的低溫栗系統(tǒng)的圖。低溫栗系統(tǒng)具備低溫栗10、控制低溫栗10的真空排氣運(yùn)行及再生運(yùn)行的低溫栗控制部100。低溫栗10例如安裝于離子注入裝置或?yàn)R射裝置等的真空腔室，用于將真空腔室內(nèi)部的真空度提高至所希望的工藝中要求的水平。低溫栗控制部100可以與低溫栗10設(shè)置成一體，也可以構(gòu)成為與低溫栗10分體的控制裝置。
[0018]低溫栗10具有用于接收氣體的吸氣口 12。吸氣口 12是通向低溫栗10的內(nèi)部空間14的入口。應(yīng)排出的氣體從安裝有低溫栗10的真空腔室通過吸氣口 12進(jìn)入到低溫栗10的內(nèi)部空間14。
[0019]另外，以下為了更通俗易懂地表示低溫栗10的構(gòu)成要件之間的位置關(guān)系，有時使用“軸向”、“徑向”等術(shù)語。軸向表示通過吸氣口 12的方向，徑向表示沿吸氣口 12的方向。為方便起見，有時將在軸向上相對靠近吸氣口 12的一側(cè)稱作“上”，相對遠(yuǎn)離吸氣口 12的一側(cè)稱作“下”。即，有時將相對遠(yuǎn)離低溫栗10底部的一側(cè)稱作“上”，相對靠近低溫栗10底部的一側(cè)稱作“下”。關(guān)于徑向，有時將靠近吸氣口 12的中心的一側(cè)稱作“內(nèi)”，將靠近吸氣口 12的周邊的一側(cè)稱作“外”。另外，這種表達(dá)與低溫栗10安裝于真空腔室時的配置無關(guān)。例如，低溫栗10也可以以使吸氣口 12沿鉛垂方向朝下的方式安裝于真空腔室內(nèi)。
[0020]低溫栗10具備低溫低溫板18及高溫低溫板19。并且，低溫栗10具備對高溫低溫板19及低溫低溫板18進(jìn)行冷卻的冷卻系統(tǒng)。該冷卻系統(tǒng)具備制冷機(jī)16及壓縮機(jī)36。
[0021]制冷機(jī)16例如為吉福德-麥克馬洪式制冷機(jī)(所謂GM制冷機(jī))等超低溫制冷機(jī)。制冷機(jī)16是具備第I冷卻臺20、第2冷卻臺21、第I缸體22、第2缸體23、第I置換器24及第2置換器25的二級式制冷機(jī)。因此，制冷機(jī)16的高溫級具備第I冷卻臺20、第I缸體22及第I置換器
24。制冷機(jī)16的低溫級具備第2冷卻臺21、第2缸體23及第2置換器25。
[0022]第I缸體22和第2缸體23串聯(lián)連接。第I冷卻臺20設(shè)置于第I缸體22和第2缸體23的結(jié)合部。第2缸體23連結(jié)第I冷卻臺20和第2冷卻臺21。第2冷卻臺21設(shè)置于第2缸體23的末端。在第I缸體22和第2缸體23各自的內(nèi)部以沿制冷機(jī)16的長度方向(圖1中為左右方向)能夠移動的方式配設(shè)有第I置換器24及第2置換器25。第I置換器24和第2置換器25以能夠一體移動的方式連結(jié)在一起。在第I置換器24和第2置換器25上分別組裝有第I蓄冷器及第2蓄冷器(未圖示)。
[0023]制冷機(jī)16具備驅(qū)動機(jī)構(gòu)17，該驅(qū)動機(jī)構(gòu)17設(shè)置于第I缸體22的高溫端。驅(qū)動機(jī)構(gòu)17與第I置換器24及第2置換器25連接，以使第I置換器24及第2置換器25分別在第I缸體22及第2缸體23的內(nèi)部能夠往復(fù)移動。并且，驅(qū)動機(jī)構(gòu)17包括流路切換機(jī)構(gòu)，該流路切換機(jī)構(gòu)切換工作氣體的流路，以便周期性地重復(fù)工作氣體的供給和排出。流路切換機(jī)構(gòu)例如包括閥部及用于驅(qū)動閥部的驅(qū)動部。閥部例如包括回轉(zhuǎn)閥，驅(qū)動部包括用于使回轉(zhuǎn)閥旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)。馬達(dá)可以是例如AC馬達(dá)或DC馬達(dá)。并且，流路切換機(jī)構(gòu)也可以為通過直線馬達(dá)而被驅(qū)動的直動式的機(jī)構(gòu)。
[0024]制冷機(jī)16經(jīng)由高壓導(dǎo)管34及低壓導(dǎo)管35與壓縮機(jī)36連接。制冷機(jī)16使從壓縮機(jī)36供給過來的高壓工作氣體(例如氦氣)在制冷機(jī)16的內(nèi)部膨脹從而使第I冷卻臺20及第2冷卻臺21產(chǎn)生寒冷。壓縮機(jī)36回收在制冷機(jī)16中膨脹的工作氣體并再次進(jìn)行加壓后供給至制冷機(jī)16。
[0025]具體而言，首先，驅(qū)動機(jī)構(gòu)17使高壓導(dǎo)管34與制冷機(jī)16的內(nèi)部空間連通。高壓工作氣體從壓縮機(jī)36通過高壓導(dǎo)管34供給至制冷機(jī)16。若制冷機(jī)16的內(nèi)部空間被高壓工作氣體充滿，則驅(qū)動機(jī)構(gòu)17切換流路，使制冷機(jī)16的內(nèi)部空間與低壓導(dǎo)管35連通。由此工作氣體進(jìn)行膨脹。膨脹的工作氣體回收至壓縮機(jī)36。與這樣的工作氣體的供排氣同步，第I置換器24及第2置換器25分別在第I缸體22及第2缸體23的內(nèi)部進(jìn)行往復(fù)移動。通過重復(fù)這種熱循環(huán)，制冷機(jī)16使第I冷卻臺20及第2冷卻臺21產(chǎn)生寒冷。
[0026]制冷機(jī)16構(gòu)成為將第I冷卻臺20冷卻至第I溫度水平，將第2冷卻臺21冷卻至第2溫度水平。第2溫度水平為低于第I溫度水平的低溫。例如，第I冷卻臺20冷卻至65K?120K左右，優(yōu)選冷卻至80K?100K，第2冷卻臺21冷卻至1K?20K左右。
[0027 ]圖1中示出低溫栗1的包括內(nèi)部空間14的中心軸和制冷機(jī)16的中心軸的剖面。圖1所示的低溫栗10是所謂臥式低溫栗。臥式低溫栗通常是指制冷機(jī)16配設(shè)成與低溫栗10的內(nèi)部空間14的中心軸交叉(通常為正交)的低溫栗。本發(fā)明同樣可以適用于所謂立式低溫栗。立式低溫栗是指制冷機(jī)沿低溫栗的軸向配設(shè)的低溫栗。
[0028]低溫低溫板18設(shè)置于低溫栗10的內(nèi)部空間14的中心部。低溫低溫板18例如包括多個板部件26。板部件26例如分別具有圓錐臺側(cè)面的形狀，換言之傘狀形狀。在各板部件26上通常設(shè)置有活性炭等吸附劑27。吸附劑27例如粘結(jié)在板部件26的背面。由此，低溫低溫板18具備用于吸附氣體分子的吸附區(qū)域。
[0029]板部件26安裝在板安裝部件28。板安裝部件28安裝在第2冷卻臺21。如此，低溫低溫板18與第2冷卻臺21熱連接。由此，低溫低溫板18冷卻至第2溫度水平。
[0030]高溫低溫板19具備放射屏蔽件30和入口低溫板32。高溫低溫板19以包圍低溫低溫板18的方式設(shè)置在低溫低溫板18的外側(cè)。高溫低溫板19與第I冷卻臺20熱連接，因此高溫低溫板19冷卻至第I溫度水平。
[0031]放射屏蔽件30主要是為了從來自低溫栗10的殼體38的輻射熱保護(hù)低溫低溫板18而設(shè)置的。放射屏蔽件30位于殼體38和低溫低溫板18之間，且包圍低溫低溫板18。放射屏蔽件30的軸向上端朝向吸氣口 12開放。放射屏蔽件30具有軸向下端封閉的筒形(例如圓筒)形狀，即形成為杯狀。在放射屏蔽件30的側(cè)面有用于安裝制冷機(jī)16的孔，第2冷卻臺21從該安裝孔插入到放射屏蔽件30中。第I冷卻臺20固定在該安裝孔的外周部且放射屏蔽件30的外表面。由此，放射屏蔽件30與第I冷卻臺20熱連接。
[0032]入口低溫板32在吸氣口 12中沿徑向配置。入口低溫板32配設(shè)于屏蔽件開口端31。入口低溫板32的外周部固定于屏蔽件開口端31，從而與放射屏蔽件30熱連接。入口低溫板32設(shè)置成相對于低溫低溫板18向軸向上方分開。入口低溫板32例如形成為百葉窗結(jié)構(gòu)或鋸齒結(jié)構(gòu)。入口低溫板32可以形成為以放射屏蔽件30的中心軸為中心的同心圓狀，或者也可以形成為格子狀等其他形狀。
[0033]入口低溫板32是為了對進(jìn)入吸氣口 12的氣體進(jìn)行排氣而設(shè)置的。在入口低溫板32的溫度下冷凝的氣體(例如水分)捕捉于其表面。并且，入口低溫板32是為了從來自低溫栗10外部的熱源(例如，安裝有低溫栗10的真空腔室內(nèi)的熱源)的輻射熱保護(hù)低溫低溫板18而設(shè)置的。除了輻射熱之外，入口低溫板32還限制氣體分子的進(jìn)入。入口低溫板32占據(jù)吸氣口12的開口面積的一部分，以便將通過吸氣口 12流入到內(nèi)部空間14的氣體限制為所希望的量。
[0034]低溫栗10具備殼體38。殼體38是用于隔開低溫栗10的內(nèi)部與外部的真空容器。殼體38構(gòu)成為氣密地保持低溫栗10的內(nèi)部空間14。殼體38設(shè)置在高溫低溫板19的外側(cè)，且包圍高溫低溫板19。并且，殼體38容納制冷機(jī)16。即，殼體38是容納高溫低溫板19及低溫低溫板18的低溫栗容器。
[0035]殼體38以不與高溫低溫板19及制冷機(jī)16的低溫部接觸的方式固定在外部環(huán)境溫度的部位(例如制冷機(jī)16的高溫部)。殼體38的外表面暴露于外部環(huán)境，其溫度比被冷卻的高溫低溫板19高(例如室溫程度)。
[0036]并且，殼體38具備從其開口端朝向徑向外側(cè)延伸的吸氣口凸緣56。吸氣口凸緣56是用于將低溫栗10安裝于真空腔室的凸緣。在真空腔室的開口設(shè)置有閘閥(未圖示)，吸氣口凸緣56安裝于該閘閥上。由此，閘閥位于入口低溫板32的軸向上方。例如在對低溫栗10進(jìn)行再生時關(guān)閉閘閥，而在低溫栗10對真空腔室進(jìn)行排氣時打開閘閥。
[0037]在殼體38上安裝有通氣閥70、粗抽閥72及排氣閥74。
[0038]通氣閥70例如設(shè)置于用于將流體從低溫栗10的內(nèi)部排出到外部環(huán)境的排出管道80的末端。通過打開通氣閥70，允許排出管道80中的流體的流動，通過關(guān)閉通氣閥70，切斷排出管道80中的流體的流動。排出的流體基本上為氣體，但也可以是液體或氣液混合物。例如，被低溫栗1冷凝的氣體的液化物也可以混在排出流體中。通過打開通氣閥70，能夠?qū)a(chǎn)生于殼體38內(nèi)部的正壓釋放到外部。
[0039]粗抽閥72與粗抽栗73連接。通過打開或關(guān)閉粗抽閥72，使粗抽栗73與低溫栗10連通或斷開。通過打開粗抽閥72，使粗抽栗73與殼體38連通，通過關(guān)閉粗抽閥72，使粗抽栗73和殼體38斷開。通過打開粗抽閥72且使粗抽栗73工作，能夠?qū)Φ蜏乩?0的內(nèi)部進(jìn)行減壓。
[0040]粗抽栗73是用于對低溫栗10進(jìn)行真空抽氣的真空栗。粗抽栗73是用于向低溫栗10提供低溫栗10的工作壓力范圍的低真空區(qū)域的真空栗，換言之，粗抽栗73是用于向低溫栗10提供低溫栗10的工作開始壓力(S卩，基礎(chǔ)壓力水平)的真空栗。粗抽栗73能夠使殼體38從大氣壓減壓至基礎(chǔ)壓力水平?；A(chǔ)壓力水平相當(dāng)于粗抽栗73的高真空區(qū)域，其包含于粗抽栗73與低溫栗10的工作壓力范圍重疊的部分?；A(chǔ)壓力水平例如在IPa以上且50Pa以下的范圍(例如為1Pa左右)。
[0041]典型的粗抽栗73作為與低溫栗10分體的真空裝置而設(shè)置，從而構(gòu)成例如包括與低溫栗10連接的真空腔室在內(nèi)的真空系統(tǒng)的一部分。低溫栗10是真空腔室的主栗，粗抽栗73為輔助栗。
[0042 ]排氣閥74連接于包括吹掃氣體源75的吹掃氣體供給裝置。通過打開或關(guān)閉排氣閥74，使吹掃氣體源75與低溫栗10連通或斷開，從而控制向低溫栗10的吹掃氣體的供給。通過打開排氣閥74，允許吹掃氣體從吹掃氣體源75流向殼體38 ο通過關(guān)閉排氣閥74，切斷吹掃氣體從吹掃氣體源75流向殼體38。通過打開排氣閥74以將吹掃氣體從吹掃氣體源75導(dǎo)入到殼體38，從而能夠提升低溫栗10內(nèi)部的壓力。供給過來的吹掃氣體通過通氣閥70或粗抽閥72從低溫栗10排出。
[0043]在本實(shí)施方式中，吹掃氣體的溫度被調(diào)整為室溫，但在一種實(shí)施方式中，吹掃氣體也可以為被加熱至高于室溫的氣體或稍低于室溫的氣體。在本說明書中，室溫是選自10°C?30°C的范圍或15°C?25°C的范圍的溫度，例如約為20°C。吹掃氣體例如為氮?dú)?。吹掃氣體也可以為干燥的氣體。
[0044]低溫栗10具備用于測定第I冷卻臺20的溫度的第I溫度傳感器90及用于測定第2冷卻臺21的溫度的第2溫度傳感器92。第I溫度傳感器90安裝于第I冷卻臺20。第2溫度傳感器92安裝于第2冷卻臺21。第I溫度傳感器90定期測定第I冷卻臺20的溫度，并向低溫栗控制部100輸出表示測定溫度的信號。第I溫度傳感器90以能夠在第I溫度傳感器90與低溫栗控制部100之間對其輸出進(jìn)行通信的方式連接于低溫栗控制部100。第2溫度傳感器92也同樣地構(gòu)成。在低溫栗控制部100中，作為高溫低溫板19及低溫低溫板18的溫度可以分別使用第I溫度傳感器90及第2溫度傳感器92的測定溫度。
[0045]并且，在殼體38的內(nèi)部設(shè)置有壓力傳感器94。壓力傳感器94例如設(shè)置在高溫低溫板19的外側(cè)且制冷機(jī)16的附近。壓力傳感器94定期測定殼體38的壓力，并向低溫栗控制部100輸出表示測定壓力的信號。壓力傳感器94以能夠在壓力傳感器94與低溫栗控制部100之間對其輸出進(jìn)行通信的方式連接于低溫栗控制部100。
[0046]低溫栗控制部100構(gòu)成為為了低溫栗10的真空排氣運(yùn)行及再生運(yùn)行而控制制冷機(jī)16。低溫栗控制部100構(gòu)成為接收包括第I溫度傳感器90、第2溫度傳感器92及壓力傳感器94在內(nèi)的各種傳感器的測定結(jié)果。低溫栗控制部100根據(jù)這些測定結(jié)果運(yùn)算出賦予制冷機(jī)16及各種閥的控制指令。
[0047]例如，在真空排氣運(yùn)行中，低溫栗控制部100控制制冷機(jī)16以使冷卻臺溫度(例如第I冷卻臺溫度)達(dá)到目標(biāo)冷卻溫度。第I冷卻臺20的目標(biāo)溫度通常設(shè)定為恒定值。第I冷卻臺20的目標(biāo)溫度例如按照安裝有低溫栗10的真空腔室中進(jìn)行的工藝規(guī)定為規(guī)格參數(shù)。并且，低溫栗控制部100構(gòu)成為為了低溫栗10的再生而控制對殼體38的排氣和向殼體38的吹掃氣體的供給。在再生過程中，低溫栗控制部100控制通氣閥70、粗抽閥72及排氣閥74的開閉。
[0048]以下，對基于上述結(jié)構(gòu)的低溫栗10的動作進(jìn)行說明。在使低溫栗10工作時，首先在其工作之前通過粗抽閥72并用粗抽栗73對低溫栗10的內(nèi)部進(jìn)行粗抽以使其達(dá)到工作開始壓力(例如IPa至1Pa左右)。之后使低溫栗10工作。在低溫栗控制部100的控制下，第I冷卻臺20及第2冷卻臺21通過制冷機(jī)16的驅(qū)動而被冷卻，與第I冷卻臺20及第2冷卻臺21熱連接的高溫低溫板19及低溫低溫板18也被冷卻。
[0049]入口低溫板32冷卻從真空腔室向低溫栗10內(nèi)部飛來的氣體分子，并使在該冷卻溫度下蒸氣壓充分變低的氣體(例如水分等)冷凝于入口低溫板32的表面從而進(jìn)行排氣。在入口低溫板32的冷卻溫度下蒸氣壓未充分變低的氣體則通過入口低溫板32進(jìn)入到放射屏蔽件30內(nèi)部。進(jìn)入到放射屏蔽件30內(nèi)部的氣體分子中的、在低溫低溫板18的冷卻溫度下蒸氣壓充分變低的氣體冷凝于低溫低溫板18的表面從而進(jìn)行排氣。在該冷卻溫度下蒸氣壓未充分變低的氣體(例如氫等)則被粘結(jié)于低溫低溫板18的表面且被冷卻的吸附劑27吸附從而進(jìn)行排氣。如此，能夠使安裝有低溫栗10的真空腔室的真空度達(dá)到所希望的水平。
[0050]通過排氣運(yùn)行的持續(xù)進(jìn)行，氣體逐漸積蓄于低溫栗10。為了將積蓄的氣體排出到外部需要進(jìn)行低溫栗10的再生。低溫栗控制部100判定是否滿足了規(guī)定的再生開始條件，并且在滿足了該條件時開始進(jìn)行再生。當(dāng)未滿足該條件時，低溫栗控制部100不使再生開始，而是繼續(xù)進(jìn)行真空排氣運(yùn)行。再生開始條件例如可以包括開始真空排氣運(yùn)行并經(jīng)過了規(guī)定時間。
[0051]圖2是概略地表示本發(fā)明的一種實(shí)施方式所涉及的低溫栗控制部100的結(jié)構(gòu)的圖。這種控制裝置通過硬件、軟件或它們的組合得以實(shí)現(xiàn)。并且，在圖2中概略地表示相關(guān)低溫栗10的一部分結(jié)構(gòu)。
[0052]低溫栗控制部100具備再生控制部102、存儲部104、輸入部106及輸出部108。
[0053]再生控制部102構(gòu)成為按照包括升溫處理、排出處理及冷卻處理的再生順序控制低溫栗10。再生順序例如提供低溫栗10的完全再生。在完全再生中，包括高溫低溫板19及低溫低溫板18在內(nèi)的所有低溫板得到再生。另外，再生控制部102還可以按照表示部分再生的再生順序控制低溫栗10。
[0054]存儲部104構(gòu)成為存儲與低溫栗10的控制相關(guān)的信息。輸入部106構(gòu)成為接受來自用戶或其他裝置的輸入。輸入部106例如包括用于接受來自用戶的輸入的鼠標(biāo)或鍵盤等輸入構(gòu)件和/或用于與其他裝置進(jìn)行通信的通信構(gòu)件。輸出部108構(gòu)成為輸出與低溫栗10的控制相關(guān)的信息，其包括顯示器或打印機(jī)等輸出構(gòu)件。存儲部104、輸入部106及輸出部108連接成可以分別與再生控制部102進(jìn)行通信。
[0055]再生控制部102具備閥控制部110、壓力監(jiān)視部112、壓力下降率運(yùn)算部114、壓力下降率監(jiān)視部116及相變推斷部118。閥控制部110構(gòu)成為按照再生順序開閉通氣閥70、粗抽閥72和/或排氣閥74 ο閥控制部110根據(jù)輸入確定通氣閥70、粗抽閥72和/或排氣閥74的打開時間及關(guān)閉時間。對于壓力監(jiān)視部112、壓力下降率運(yùn)算部114、壓力下降率監(jiān)視部116及相變推斷部118將進(jìn)行后述。
[0056]升溫處理是將低溫栗10的低溫低溫板18和/或高溫低溫板19從超低溫度Tb加熱至再生溫度Ta的再生的第I工序。超低溫度Tb是低溫栗10的標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行溫度，其包括高溫低溫板19的運(yùn)行溫度Tbl和低溫低溫板18的運(yùn)行溫度Tb2。如上所述，高溫低溫板19的運(yùn)行溫度Tbl例如選自65K?120K的范圍，低溫低溫板18的運(yùn)行溫度Tb2例如選自1K?20K的范圍。
[0057]再生溫度Ta是升溫處理中的低溫板目標(biāo)溫度，是積蓄于低溫栗10的冷凝物的融點(diǎn)或比該融點(diǎn)更高的溫度。冷凝物例如包括水，此時再生溫度Ta為273K以上。再生溫度Ta可以為室溫或比室溫更高的溫度。再生溫度Ta也可以為低溫栗10的耐熱溫度或比該耐熱溫度更低的溫度。低溫栗10的耐熱溫度可以為例如320K?340K左右(例如約330K)。
[0058]再生控制部102構(gòu)成為控制低溫栗10以將低溫低溫板18和/或高溫低溫板19的溫度調(diào)整為在再生順序中確定的目標(biāo)溫度。再生控制部102將第I溫度傳感器90和/或第2溫度傳感器92的測定溫度用作低溫低溫板18和/或高溫低溫板19的溫度。
[0059]再生控制部102對設(shè)置于低溫栗10的至少I個熱源進(jìn)行控制，以將低溫低溫板18和/或高溫低溫板19的溫度控制為目標(biāo)溫度。例如，再生控制部102可以在升溫處理中打開排氣閥74以向殼體38供給吹掃氣體。并且，再生控制部102也可以關(guān)閉排氣閥74以停止向殼體38供給吹掃氣體。如此，在升溫處理中可以使用吹掃氣體作為對低溫低溫板18和/或高溫低溫板19進(jìn)行加熱的第I熱源。
[0060]為了對低溫低溫板18和/或高溫低溫板19進(jìn)行加熱，也可以使用與吹掃氣體不同的第2熱源。例如，再生控制部102可以控制制冷機(jī)16的升溫運(yùn)行。制冷機(jī)16構(gòu)成為，當(dāng)驅(qū)動機(jī)構(gòu)17向與冷卻運(yùn)行時相反的方向工作時工作氣體產(chǎn)生絕熱壓縮。制冷機(jī)16利用如此得到的壓縮熱對第I冷卻臺20及第2冷卻臺21進(jìn)行加熱。這種加熱被稱作制冷機(jī)16的反轉(zhuǎn)升溫。高溫低溫板19及低溫低溫板18分別將第I冷卻臺20及第2冷卻臺21作為熱源而被加熱。或者，也可以使用設(shè)置于制冷機(jī)16的加熱器作為熱源。此時，再生控制部102能夠與制冷機(jī)16的運(yùn)行獨(dú)立地控制加熱器。
[0061]在升溫處理中，可以單獨(dú)使用第I熱源及第2熱源中的一個，或者也可以同時使用兩者。同樣，在排出處理中也可以單獨(dú)使用第I熱源及第2熱源中的一個，或者同時使用兩者。再生控制部102可以切換第I熱源和第2熱源，或并用第I熱源和第2熱源，從而將低溫低溫板18和/或高溫低溫板19的溫度控制成目標(biāo)溫度。
[0062]再生控制部102判定低溫板溫度的測定值是否達(dá)到了目標(biāo)溫度。若低溫板溫度的測定值未達(dá)到目標(biāo)溫度，則再生控制部102繼續(xù)進(jìn)行升溫處理，若達(dá)到目標(biāo)溫度，則結(jié)束升溫處理。再生控制部102可以使升溫處理在達(dá)到目標(biāo)溫度后持續(xù)規(guī)定期間。此時可以繼續(xù)吹掃氣體的供給。若升溫處理結(jié)束，則再生控制部102開始排出處理。
[0063]在升溫處理中，低溫低溫板18和/或高溫低溫板19上的冷凝物和/或吸附物可以從低溫栗10排出。為了從殼體38排出冷凝物和/或吸附物，閥控制部110可以打開通氣閥70和/或粗抽閥72，并在之后適時關(guān)閉通氣閥70和/或粗抽閥72。
[0064]排出處理是從低溫栗10排出冷凝物和/或吸附物的再生的第2工序。在超低溫度Tb下，冷凝物和/或吸附物存在于低溫低溫板18和/或高溫低溫板19上。在從超低溫度Tb加熱至再生溫度Ta的過程中，冷凝物和/或吸附物溶解而最終被氣化。再生控制部102在排出處理中繼續(xù)進(jìn)行將低溫低溫板18和/或高溫低溫板19的溫度調(diào)至再生溫度Ta或其他目標(biāo)溫度的調(diào)溫。
[0065]從低溫板表面再次氣化的氣體向低溫栗10的外部排出。再次氣化的氣體例如通過排出管道80或被粗抽栗73排出至外部。再次氣化的氣體與根據(jù)需要而被導(dǎo)入的吹掃氣體一同從低溫栗10排出。
[0066]排出處理可以包括粗抽及吹掃。粗抽及吹掃是指交替進(jìn)行對殼體38的粗抽和吹掃氣體的供給的工序。在粗抽及吹掃中，執(zhí)行I次或多次粗抽和吹掃的組合。通常，在粗抽及吹掃中，再生控制部102選擇性地執(zhí)行粗抽或吹掃。即，在進(jìn)行粗抽(或吹掃)時停止吹掃(或粗抽)。作為代替方案，在粗抽及吹掃中，可以在連續(xù)進(jìn)行粗抽及吹掃中的一個的期間，間歇地進(jìn)行粗抽及吹掃中的另一個。這也可以看作是交替進(jìn)行粗抽和吹掃氣體的供給?？梢愿鶕?jù)殼體38的壓力和/或壓力下降率，或者根據(jù)經(jīng)過時間來確定粗抽及吹掃的開始及結(jié)束。
[0067]再生控制部102使排出處理進(jìn)行到滿足排出結(jié)束條件。排出結(jié)束條件基于低溫栗1內(nèi)的壓力例如壓力傳感器94的測定壓力。例如，在殼體38內(nèi)的測定壓力超過規(guī)定閾值的期間，再生控制部102判定冷凝物殘留于低溫栗10。由此，低溫栗10繼續(xù)進(jìn)行排出處理。當(dāng)殼體38內(nèi)的測定壓力低于閾值時，再生控制部102判定冷凝物的排出結(jié)束。此時，再生控制部102結(jié)束排出處理并開始冷卻處理。
[0068]再生控制部102可以執(zhí)行所謂的升壓測試。低溫栗再生中的升壓測試是在自判定開始時刻的壓力開始的壓力上升梯度未超過閾值時判定為從低溫栗10已排出冷凝物的處理。這還被稱作RoR(Rate-Of-Rise)法。由此，再生控制部102可以在基礎(chǔ)壓力水平下的每單位時間的壓力上升量低于閾值時結(jié)束排出處理。
[0069]壓力監(jiān)視部112構(gòu)成為使用壓力傳感器94的測定壓力來監(jiān)視低溫栗10內(nèi)(即殼體38內(nèi))的壓力。壓力監(jiān)視部112可以判定低溫栗10內(nèi)的壓力是否在某一壓力區(qū)域內(nèi)。該壓力區(qū)域可以為比低溫栗的工作開始壓力更高的壓力區(qū)域。壓力監(jiān)視部112可以將低溫栗10內(nèi)的壓力與壓力閾值進(jìn)行比較，并判定壓力是否高于閾值。該壓力閾值可以為低溫栗的工作開始壓力或比該工作開始壓力更高的壓力。壓力閾值為高于基礎(chǔ)壓力水平的壓力，例如可以選自50Pa至500Pa的范圍，優(yōu)選選自10Pa至200Pa的范圍。可將該壓力區(qū)域稱作準(zhǔn)基礎(chǔ)壓力水平。由此，壓力監(jiān)視部112可以判定低溫栗10內(nèi)的壓力是否處于基礎(chǔ)壓力水平，或低溫栗10內(nèi)的壓力是否處于準(zhǔn)基礎(chǔ)壓力水平。壓力監(jiān)視部112可以將低溫栗10內(nèi)的壓力和/或判定結(jié)果保存于存儲部104和/或輸出至輸出部108。
[0070]壓力下降率運(yùn)算部114構(gòu)成為運(yùn)算出低溫栗10粗抽中的低溫栗10內(nèi)的壓力下降率。壓力下降率運(yùn)算部114在粗抽閥72打開的期間，根據(jù)壓力傳感器94的測定壓力定期運(yùn)算壓力下降率。壓力下降率是基于粗抽的每單位時間的壓力下降量。壓力下降率運(yùn)算部114可以從壓力傳感器94的測定壓力運(yùn)算出壓力下降率的對數(shù)(例如常用對數(shù))。壓力下降率運(yùn)算部114向壓力下降率監(jiān)視部116輸出運(yùn)算出的壓力下降率。壓力下降率運(yùn)算部114將壓力下降率保存于存儲部104和/或輸出至輸出部108。
[0071]壓力下降率監(jiān)視部116構(gòu)成為監(jiān)視低溫栗10粗抽中的壓力下降率。壓力下降率監(jiān)視部116檢測某一次粗抽中的壓力下降率的縮小。壓力下降率監(jiān)視部116可以將壓力下降率與壓力下降率閾值進(jìn)行比較，并判定壓力下降率是否高于閾值。壓力下降率閾值可以為該一次粗抽開始時的壓力下降率或比其稍小的值。
[0072]壓力下降率監(jiān)視部116在壓力下降率小于壓力下降率閾值時，檢測為壓力下降率縮小。例如，壓力下降率監(jiān)視部116可以在壓力下降率在某一次粗抽中首次小于壓力下降率閾值時檢測為壓力下降率縮小?；蛘?，壓力下降率監(jiān)視部116可以在壓力下降率在規(guī)定時間里一直小于壓力下降率閾值時檢測為壓力下降率縮小。壓力下降率監(jiān)視部116向相變推斷部118輸出檢測結(jié)果。壓力下降率監(jiān)視部116可以將檢測結(jié)果保存于存儲部104和/或輸出至輸出部108。壓力下降率監(jiān)視部116也可以僅在通過壓力監(jiān)視部112判定出壓力傳感器94的測定壓力處于規(guī)定的壓力區(qū)域時檢測為粗抽中的壓力下降率縮小。
[0073]壓力下降率監(jiān)視部116可以檢測某一次粗抽中從第I壓力下降率區(qū)域朝向第2壓力下降率區(qū)域的壓力下降率的轉(zhuǎn)變。第I壓力下降率區(qū)域可以是包含該一次粗抽的開始時的壓力下降率的壓力下降率范圍。第2壓力下降率區(qū)域可以是小于第I壓力下降率區(qū)域的壓力下降率范圍。壓力下降率監(jiān)視部116可以檢測壓力下降率的轉(zhuǎn)變作為壓力下降率的縮小。
[0074]相變推斷部118構(gòu)成為推斷應(yīng)從低溫栗10排出的冷凝物的相變。在檢測到低溫栗10粗抽中的壓力下降率的縮小時，相變推斷部118推斷冷凝物從液相變向固相(即冷凝物的凍結(jié))。相變推斷部118可以將推斷結(jié)果保存于存儲部104和/或輸出至輸出部108。
[0075]閥控制部110響應(yīng)于檢測出的壓力下降率的縮小而暫時關(guān)閉粗抽閥72和/或暫時打開排氣閥74。閥控制部110也可以暫時關(guān)閉粗抽閥72且暫時打開排氣閥74。當(dāng)壓力監(jiān)視部112判定為壓力傳感器94的測定壓力在規(guī)定的壓力區(qū)域時，閥控制部110可以響應(yīng)于檢測出的壓力下降率的縮小而暫時關(guān)閉粗抽閥72和/或暫時打開排氣閥74。
[0076]存儲部104存儲用于定義再生順序的再生參數(shù)。再生參數(shù)是根據(jù)實(shí)驗(yàn)或經(jīng)驗(yàn)預(yù)先確定的，并且從輸入部106輸入。再生參數(shù)包括低溫板目標(biāo)溫度、排出結(jié)束條件、壓力閾值及壓力變化率閾值。低溫板目標(biāo)溫度包括再生溫度Ta及超低溫度Tb。再生溫度Ta及超低溫度Tb可以分別設(shè)定為某一單一溫度，也可設(shè)定為溫度帶。
[0077]冷卻處理是將低溫栗10再次冷卻至超低溫度Tb的再生的最終工序。超低溫度Tb是冷卻處理中的低溫板目標(biāo)溫度。當(dāng)滿足排出結(jié)束條件時，結(jié)束排除處理并開始冷卻處理。即開始制冷機(jī)16的冷卻運(yùn)行。再生控制部102執(zhí)行冷卻處理直至到達(dá)目標(biāo)溫度，并在到達(dá)目標(biāo)溫度時結(jié)束冷卻處理。由此結(jié)束再生處理。從而重新開始低溫栗10的真空排氣運(yùn)行。再生控制部102構(gòu)成為使制冷機(jī)16進(jìn)行調(diào)溫運(yùn)行，以便在真空排氣運(yùn)行中將低溫低溫板18或高溫低溫板19的溫度維持在目標(biāo)溫度。
[0078]圖3是表示本發(fā)明的一種實(shí)施方式所涉及的低溫栗再生方法的主要步驟的流程圖。圖4是概略地表示本發(fā)明的一種實(shí)施方式所涉及的低溫栗10內(nèi)的壓力變化的圖。圖3及圖4中示出完全再生中的排出處理。圖4的縱軸表示壓力，橫軸表示時間。
[0079]如上所述，再生控制部102在升溫處理之后接著執(zhí)行排出處理。閥控制部110檢測升溫處理的結(jié)束，從而關(guān)閉排氣閥74并且打開粗抽閥72(S10)。如此開始?xì)んw38的粗抽(圖4的時刻ta)。另外，通氣閥70在之后的處理中處于關(guān)閉狀態(tài)。
[0080]壓力監(jiān)視部112獲取粗抽中的壓力傳感器94的測定壓力P(S12)。壓力監(jiān)視部112判定測定壓力P是否為壓力閾值Pt以上(S14)。壓力閾值Pt選自基礎(chǔ)壓力水平或準(zhǔn)基礎(chǔ)壓力水平。
[0081]當(dāng)測定壓力P為壓力閾值Pt以上時(S14的是)，壓力下降率運(yùn)算部114根據(jù)壓力傳感器94的測定壓力P運(yùn)算出壓力下降率R(Sie)。壓力下降率監(jiān)視部116可以在每次粗抽時確定壓力下降率閾值Rt。例如，壓力下降率監(jiān)視部116可以根據(jù)剛開始粗抽后運(yùn)算出的初始壓力下降率Ra來運(yùn)算出壓力下降率閾值Rt。初始壓力下降率Ra例示于圖4?；蛘?，壓力下降率監(jiān)視部116也可以使用預(yù)先確定的壓力下降率閾值Rt。
[0082]壓力下降率監(jiān)視部116判定壓力下降率R是否低于壓力下降率閾值Rt(SlS)。當(dāng)壓力下降率R為壓力下降率閾值Rt以上時(S18的否)，閥控制部110繼續(xù)進(jìn)行殼體38的粗抽(310)。由此，重復(fù)測定壓力?及壓力下降率1?的監(jiān)視。如圖4所示，在時刻七&+八1七&+2&1七&+3 Δ t、……，定期監(jiān)視測定壓力P及壓力下降率R。
[0083]另一方面，當(dāng)壓力下降率R小于壓力下降率閾值Rt時(S18的是)，閥控制部110關(guān)閉粗抽閥72并且打開排氣閥74(S20)。在圖4所示的時刻tb中，壓力下降率R小于壓力下降率閾值Rt。由此，結(jié)束粗抽并開始吹掃。
[0084]在測定壓力P上升至規(guī)定壓力(例如大氣壓)時或開始吹掃并經(jīng)過規(guī)定時間后，閥控制部110結(jié)束吹掃(圖4的時刻tc)。即，閥控制部110再次關(guān)閉排氣閥74并且再次打開粗抽閥72(S10)。這樣，再次重復(fù)測定壓力P及壓力下降率R的監(jiān)視。如此，再生控制部102—邊監(jiān)視測定壓力P及壓力下降率R—邊執(zhí)行粗抽及吹掃。
[0085]當(dāng)測定壓力P低于壓力閾值Pt時(S14的否)，再生控制部102結(jié)束粗抽及吹掃(圖4的時刻td)。此時，再生控制部102可以在粗抽及吹掃結(jié)束之后接著判定是否滿足排出結(jié)束條件?；蛘?，再生控制部102可以立即結(jié)束排出處理并開始冷卻處理。
[0086]粗抽及吹掃中的粗抽具有促進(jìn)水氣化的優(yōu)點(diǎn)。這是因?yàn)樗跍p壓環(huán)境中會大量蒸發(fā)。然而，由于蒸發(fā)熱會冷卻水，因此至少一部分水會再次凍結(jié)成冰。這樣一來，蒸發(fā)量會減少。為此，導(dǎo)入吹掃氣體。通過吹掃氣體，冰被加熱而再次成為水。通過如此重復(fù)粗抽和吹掃，從低溫栗1排出水。
[0087]因此，要想有效地排出水優(yōu)選防止再次凍結(jié)。為此，例如優(yōu)選在水變成冰的時刻開始吹掃。然而，在典型的再生順序中這是很困難的。因?yàn)闊o法得知再次凍結(jié)的時刻。僅憑監(jiān)視壓力無法確定再次凍結(jié)的時刻。這是因?yàn)樵俅蝺鼋Y(jié)所產(chǎn)生的壓力值會因積蓄于低溫栗10的水的量或粗抽栗73的排氣能力等各種原因而顯著變化。
[0088]對此，根據(jù)本實(shí)施方式，監(jiān)視壓力下降率R。本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，蒸發(fā)熱引起的冷凝物的凍結(jié)會帶來壓力下降率R的縮小。如圖4所示，與粗抽開始時的初始壓力下降率Ra相比，該粗抽中的壓力下降率R逐漸下降。尤其，若以對數(shù)曲線描繪壓力，則在壓力分布中出現(xiàn)明顯的轉(zhuǎn)折點(diǎn)。通過檢測這種壓力下降率R的轉(zhuǎn)變，能夠捕捉到冷凝物的再次凍結(jié)時刻。
[0089]因此，根據(jù)本實(shí)施方式，能夠推斷出冷凝物的從液相朝向固相的相變的產(chǎn)生。與單一的壓力監(jiān)視相比，能夠提供一種可靠的相變時刻推斷方法。
[0090]并且，再生控制部102能夠?qū)⑼茢喑龅南嘧兊臅r刻用作再生順序中的執(zhí)行下一個步驟的觸發(fā)信號。例如，如上所述，再生控制部102將檢測出的再次凍結(jié)時刻作為觸發(fā)信號來中斷粗抽。并且，再生控制部102將檢測出的再次凍結(jié)時刻作為觸發(fā)信號來開始吹掃。由于在不進(jìn)行再次凍結(jié)的情況下從粗抽轉(zhuǎn)移至吹掃，因此能夠有效地使冷凝物氣化。由此，能夠縮短再生時間。
[0091]以上，根據(jù)實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行了說明。但本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解，本發(fā)明并不限定于上述實(shí)施方式，可以施以各種設(shè)計上的變更，并可以存在各種變形例，并且這些變形例也屬于本發(fā)明的范圍。
[0092]再生控制部102可以響應(yīng)于檢測出的壓力下降率的縮小而暫時關(guān)閉粗抽閥72并且使排氣閥74繼續(xù)保持關(guān)閉狀態(tài)。此時，再生控制部102可以暫時關(guān)閉粗抽閥72并且以使從其他熱源(例如制冷機(jī)16和/或加熱器等)朝向低溫板的熱輸入增加的方式控制該熱源。或者，再生控制部102也可以僅暫時關(guān)閉粗抽閥72。由此，低溫板可以自然升溫。由此，在低溫栗10可以不設(shè)置排氣閥74及吹掃氣體源。
[0093]再生控制部102可以響應(yīng)于檢測出的壓力下降率的縮小而暫時打開排氣閥74并且控制其他熱源(例如制冷機(jī)16和/或加熱器等)。由此，可以通過多個熱源對低溫板進(jìn)行加熱。
[0094]若通過排氣閥74的氣體流入量多于通過粗抽閥72的氣體流出量，則再生控制部102可以響應(yīng)于檢測出的壓力下降率的縮小而暫時打開排氣閥74并且使粗抽閥72繼續(xù)保持打開狀態(tài)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種低溫栗系統(tǒng)，其特征在于，具備: 低溫栗;及 再生控制部，根據(jù)包括排出處理的再生順序控制所述低溫栗，所述排出處理為從所述低溫栗排出冷凝物的排出處理，在所述排出處理中執(zhí)行所述低溫栗的粗抽， 所述再生控制部具備: 壓力下降率運(yùn)算部，運(yùn)算出所述低溫栗粗抽中的所述低溫栗內(nèi)的壓力下降率;及 壓力下降率監(jiān)視部，檢測出所述粗抽中的所述壓力下降率的縮小。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低溫栗系統(tǒng)，其特征在于， 所述再生順序包括升溫處理，在該升溫處理中，將所述低溫栗從超低溫度加熱至所述冷凝物的融點(diǎn)或比該融點(diǎn)更高的溫度， 所述再生控制部具備相變推斷部，所述相變推斷部在檢測出所述粗抽中的所述壓力下降率的縮小時推斷所述冷凝物再次凍結(jié)。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的低溫栗系統(tǒng)，其特征在于， 所述低溫栗具備: 低溫板； 低溫栗容器，容納所述低溫板； 粗抽閥，設(shè)置于所述低溫栗容器，在開閥時將所述低溫栗容器連接于粗抽栗，在關(guān)閥時從所述低溫栗容器隔斷所述粗抽栗;及 排氣閥，設(shè)置于所述低溫栗容器，在開閥時將所述低溫栗容器連接于吹掃氣體源，在關(guān)閥時從所述低溫栗容器隔斷所述吹掃氣體源， 所述再生控制部具備閥控制部，所述閥控制部響應(yīng)于檢測出的所述壓力下降率的縮小而暫時關(guān)閉所述粗抽閥和/或暫時打開所述排氣閥。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的低溫栗系統(tǒng)，其特征在于， 所述閥控制部響應(yīng)于檢測出的所述壓力下降率的縮小而暫時關(guān)閉所述粗抽閥且暫時打開所述排氣閥。5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的低溫栗系統(tǒng)，其特征在于， 所述低溫栗具備測定所述低溫栗容器內(nèi)的壓力的壓力傳感器， 所述壓力下降率運(yùn)算部根據(jù)所述低溫栗粗抽中的所述壓力傳感器的測定壓力來運(yùn)算出所述壓力下降率。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的低溫栗系統(tǒng)，其特征在于， 所述再生控制部具備壓力監(jiān)視部，所述壓力監(jiān)視部判定所述壓力傳感器的測定壓力是否處于比所述低溫栗的工作開始壓力更高的壓力區(qū)域， 在所述壓力傳感器的測定壓力處于所述壓力區(qū)域內(nèi)時，所述閥控制部響應(yīng)于檢測出的所述壓力下降率的縮小而暫時關(guān)閉所述粗抽閥和/或暫時打開所述排氣閥。7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的低溫栗系統(tǒng)，其特征在于， 所述冷凝物包括水。8.一種低溫栗控制裝置，其特征在于， 所述低溫栗控制裝置具備根據(jù)包括排出處理的再生順序控制所述低溫栗的再生控制部，所述排出處理為從低溫栗排出冷凝物的排出處理，在所述排出處理中執(zhí)行所述低溫栗的粗抽， 所述再生控制部具備: 壓力下降率運(yùn)算部，運(yùn)算出所述低溫栗粗抽中的所述低溫栗內(nèi)的壓力下降率;及 壓力下降率監(jiān)視部，檢測出所述粗抽中的所述壓力下降率的縮小。9.一種低溫栗再生方法，其特征在于， 所述方法具備根據(jù)包括排出處理的再生順序控制所述低溫栗的工序，所述排出處理為從低溫栗排出冷凝物的排出處理，在所述排出處理中執(zhí)行所述低溫栗的粗抽， 所述控制具備如下工序: 運(yùn)算出所述低溫栗粗抽中的所述低溫栗內(nèi)的壓力下降率;及 檢測出所述粗抽中的所述壓力下降率的縮小。
【文檔編號】F04B49/22GK105909493SQ201610053653
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年1月26日
【發(fā)明人】谷津貴裕
【申請人】住友重機(jī)械工業(yè)株式會社