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低溫泵冷屏的制作方法

文檔序號:10365901閱讀:1024來源:國知局
低溫泵冷屏的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本實(shí)用新型涉及低溫真空技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種低溫栗冷屏。
【背景技術(shù)】
[0002]低溫栗是靠低溫冷凝和低溫吸附原理而獲得和保持真空的設(shè)備。目前,低溫栗主要由低溫制冷機(jī)、殼體、冷屏、吸附陣(也叫冷傘)、障板(也叫擋板)等幾部分構(gòu)成,其中冷屏、吸附陣、障板都直接或間接被低溫制冷機(jī)冷卻處在低溫狀態(tài)下,從而實(shí)現(xiàn)對被抽氣體的冷凝或吸附。低溫栗對氣體的冷凝抽氣主要與制冷機(jī)性能、冷凝面積及冷凝結(jié)構(gòu)對氣體的捕獲幾率這三個因素有關(guān),在制冷機(jī)性能一定的情況下可通過提升冷凝面積和增強(qiáng)對氣體的捕獲幾率來提升低溫栗的抽氣速度(簡稱抽速)。
[0003]北京衛(wèi)星環(huán)境工程研究所于2008年11月17日申請的專利《一種小型制冷機(jī)低溫栗》(申請?zhí)?200820178015.7)中公開了如下的技術(shù)方案:一種小型制冷機(jī)低溫栗,主要包括冷頭、殼體、冷屏、二級冷板、障板,所述冷屏設(shè)置在殼體內(nèi)部,二級冷板設(shè)置在冷屏內(nèi)部,所述冷頭通過其法蘭固定在殼體中線上并穿過殼體,在殼體內(nèi)部通過冷頭的一級法蘭與所述冷屏連接,在所述冷屏內(nèi)通過所述冷頭的二級法蘭與二級冷板相連接,所述障板與冷板組成光學(xué)封閉結(jié)構(gòu),將二級冷板包圍在其中。結(jié)合附圖1以及說明書中的記載,可以毫無疑義的看出其冷屏結(jié)構(gòu)為圓筒狀。
[0004]住友重機(jī)械工業(yè)株式會社于2013年02月04日申請的專利《低溫栗》(申請?zhí)?201310044685.5)中公開了如下技術(shù)方案:一種低溫栗,具備:栗殼,具備沿軸向向低溫栗的吸氣口延伸的筒部;凸緣,具備設(shè)置于所述筒部的開口端的徑向外側(cè)的內(nèi)周部分和用于安裝低溫栗的外周部分;及入口低溫板,位于所述吸氣口,所述入口低溫板在所述筒部的徑向外側(cè)具備擴(kuò)張部分,在所述內(nèi)周部分與所述外周部分之間沿軸向形成有高度差,所述入口低溫板在所述擴(kuò)張部分與所述內(nèi)周部分之間沿軸向形成間隙,且在所述擴(kuò)張部分與所述外周部分之間沿徑向形成間隙,且所述入口低溫板被所述凸緣包圍。該專利中的放射屏蔽件30即相當(dāng)于冷屏,說明書中明確述及“放射屏蔽件30如圖1所示既可構(gòu)成為一體的筒狀,并且,也可構(gòu)成為通過多個零件整體上成為筒狀的形狀”,因而這里的冷屏也是圓筒狀的。
[0005]還有很多其他有關(guān)低溫栗的專利中也都有關(guān)于冷屏結(jié)構(gòu)的記載,現(xiàn)有的低溫栗的冷屏結(jié)構(gòu)均圓筒狀結(jié)構(gòu),有一個平面底板或平底封頭底板,底板固定在低溫制冷機(jī)冷頭上被制冷機(jī)冷卻。這種結(jié)構(gòu)的冷屏主要靠其內(nèi)壁對被抽氣體進(jìn)行冷凝和吸附,由于冷屏的內(nèi)壁均為光滑的,導(dǎo)致其存在諸多不足:其一,冷凝面積較小;其二,未被冷凝的氣體分子很容易反彈出去,導(dǎo)致捕獲效率低。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]本實(shí)用新型的目的在于提供一種低溫栗冷屏,提高冷凝面積和對氣體分子的捕獲效率,增加氣體的抽氣速度。
[0007]為實(shí)現(xiàn)以上目的,本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為:一種低溫栗冷屏,包括圓桶狀的冷屏本體,冷屏本體的桶底固定在低溫制冷機(jī)的冷頭上,冷屏本體的桶壁和/或桶底朝向桶腔內(nèi)側(cè)設(shè)置有凸起。
[0008]優(yōu)選地,所述的凸起布置在冷屏本體的桶壁上,凸起呈薄片狀或板條狀,凸起沿冷屏本體軸芯方向的截面呈扇形或環(huán)形,扇形或環(huán)形的圓心位于冷屏本體的軸芯線上。
[0009]優(yōu)選地,所述的凸起為呈環(huán)形板狀的第一肋條,第一肋條沿冷屏本體的軸芯方向均勻間隔布置多個。
[0010]優(yōu)選地,所述第一肋條上開設(shè)有多個第一、二通孔,第一通孔的軸芯方向平行于冷屏本體的軸芯方向且多個第一通孔沿周向均勻間隔布置,第二通孔的軸芯方向沿冷屏本體的徑向布置且與第一通孔交叉成“十”字。
[0011]優(yōu)選地,所述的凸起布置在冷屏本體的桶壁上,凸起呈長方形的薄片狀或板條狀,凸起的長度方向與冷屏本體的軸芯方向平行。
[0012]優(yōu)選地,所述的凸起為呈長方形板狀的第二肋條,第二肋條沿周向均勻間隔布置有多個;第二肋條上開設(shè)有一個第三通孔和多個第四通孔,第三通孔的軸芯方向平行于冷屏本體的軸芯方向,第四通孔的軸芯方向沿冷屏本體的徑向布置且與第三通孔交叉。
[0013]優(yōu)選地,所述的冷屏本體為一體式結(jié)構(gòu),冷屏本體和凸起均為紫銅材料制成,凸起通過通過銀釬焊與冷屏本體焊接固定。
[0014]優(yōu)選地,所述的冷屏本體包括筒體和封頭,封頭通過氬弧焊接在筒體上;冷屏本體和凸起均為紫銅材料制成,凸起通過通過銀釬焊與冷屏本體焊接固定。
[0015]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型存在以下技術(shù)效果:設(shè)置凸起之后使得冷屏的表面積有了較大增加,也就增加低溫栗對被抽氣體的冷凝接觸面積,冷凝接觸面增加了,氣體與冷凝面接觸的幾率就變大了,這樣氣體的冷凝效率就變高了,提高了抽氣速度;同時凸起之間的間隙提升了被抽氣體與冷凝面的碰撞路徑和次數(shù),氣體分子進(jìn)入凸起之間的間隙中之后,很容易與冷凝面發(fā)生碰撞,這樣,被抽氣體分子在凸起之間運(yùn)動時被捕獲的幾率也大大增加了,從而有效的提升低溫栗對被抽氣體的抽速。
【附圖說明】
[0016]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例一的剖視圖;
[0017]圖2是圖1的俯視圖;
[0018]圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例二的剖視圖;
[0019]圖4是圖3的俯視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0020]下面結(jié)合圖1至圖4,對本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)敘述。
[0021 ]參閱圖1 -4,一種低溫栗冷屏,包括圓桶狀的冷屏本體10,冷屏本體10的桶底固定在低溫制冷機(jī)的冷頭上,冷屏本體10的桶壁和/或桶底朝向桶腔內(nèi)側(cè)設(shè)置有凸起。設(shè)置凸起之后使得冷屏的表面積有了較大增加,也就增加低溫栗對被抽氣體的冷凝接觸面積,冷凝接觸面增加了,氣體與冷凝面接觸的幾率就變大了,這樣氣體的冷凝效率就變高了,提高了抽氣速度;同時凸起之間的間隙提升了被抽氣體與冷凝面的碰撞路徑和次數(shù),氣體分子進(jìn)入凸起之間的間隙中之后,受到凸起的阻擋,更容易被捕獲、冷凝,這樣,被抽氣體分子在凸起之間運(yùn)動時被捕獲的幾率也大大增加了,從而有效的提升低溫栗對被抽氣體的抽速。在冷屏本體10的桶壁和/或桶底上設(shè)置凸起,都可以增加冷凝面積,只要是與在冷屏本體10的內(nèi)側(cè)設(shè)置即可。
[0022]凸起的設(shè)置方式有很多,這里提供了兩種較為優(yōu)選的方式供參考,具體在設(shè)置凸起的形狀時,并不局限于下面兩種實(shí)施例所表現(xiàn)的結(jié)構(gòu)方式,如下兩種實(shí)施例只是為了方便大家理解該凸起的設(shè)置。
[0023]實(shí)施例一:如圖1、2所示,所述的凸起布置在冷屏本體10的桶壁上,凸起呈薄片狀或板條狀,凸起沿冷屏本
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