專利名稱：先導(dǎo)式二孔真空閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及連接在真空腔與真空泵之間、將真空腔減壓為真空壓時(shí)使用的先導(dǎo)式二孔真空閥。
例如，在半導(dǎo)體制造工序中，用真空泵把處理腔內(nèi)部降到真空壓時(shí)，急劇地將大氣壓或高壓狀態(tài)的腔內(nèi)加工氣體等的氣體排出時(shí)，由于大量的氣體一時(shí)地流動(dòng)，所以在腔內(nèi)產(chǎn)生氣體的亂流，附著在腔內(nèi)壁上的微粒子被卷起，有可能附著在半導(dǎo)體晶片等的零件上。
為了避免發(fā)生該情形，現(xiàn)有技術(shù)中提出了以下的方案，即，在設(shè)置在連接真空腔與真空泵的流路上的真空閥上，設(shè)有錐形閥座和閥體，該錐形閥座具有向外擴(kuò)開狀的錐形面，該閥體具有錐部。使該閥體沿著上述錐形閥座的中心線移動(dòng)，使與上述錐面間的間隙、即閥開度漸漸變化，這樣，可限制真空腔的排氣。另外，用電空比例閥控制流體壓，使閥行程微小變化，這樣，使閥開度微小地變化。
但是，即使在上述的備有錐狀閥體和錐狀閥座的真空閥中，由于閥座的開口徑大，所以，相對于閥行程的氣體流量的增加顯著，使真空腔慢慢地排氣實(shí)際上是困難的。另外，用電空比例閥使閥開度微小變化的方法，要求電空比例閥有極高的精度，而且控制機(jī)構(gòu)復(fù)雜、穩(wěn)定性欠缺。
本發(fā)明是鑒于上述問題而作出的，其目的在于提供一種使流路漸漸開放、可將真空腔內(nèi)慢慢排氣、構(gòu)造和操作簡單、動(dòng)作穩(wěn)定性好的先導(dǎo)式二孔真空閥。
本發(fā)明的其它目的和特征，從本說明書的說明和附圖中將更清楚地了解。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的先導(dǎo)式二孔真空閥，備有用于與真空腔連接的第1孔口以及用于與真空泵連接的第二孔口；連接上述第1孔口與第二孔口的斷面積大的主流路和斷面積比該主流路小的副流路；開閉上述主流路的主閥體以及開閉副流路的副閥體；通過第1軸與上述主閥體連接的第1活塞、以及通過第2軸與上述副閥體連接的第2活塞；使開閥方向的流體壓作用到上述第1活塞的主壓力作用室、以及使開閥方向的流體壓作用到上述第2活塞的副壓力作用室；將上述主壓力作用室與副壓力作用室相互連通的連通孔；將壓力流體供給到上述主壓力作用室和副壓力作用室的一個(gè)操作孔口；將上述主閥體朝關(guān)閉方向彈壓的彈力大的第1彈簧機(jī)構(gòu)、以及將上述副閥體朝關(guān)閉方向彈壓的彈力小的第2彈簧機(jī)構(gòu)；上述第1活塞及第2活塞的活塞直徑與第1彈簧機(jī)構(gòu)及第2彈簧機(jī)構(gòu)的彈力的關(guān)系是，第2活塞比第1活塞以低的流體壓動(dòng)作。
具有該構(gòu)造的本發(fā)明真空閥中，當(dāng)從操作孔口把所需壓力的流體供給到主壓力作用室和副壓力作用室時(shí)，第2活塞先抵抗第2彈簧機(jī)構(gòu)的彈力而動(dòng)作，將副閥體開放，所以，上述第1孔口和第二孔口通過斷面積小的副流路連通，氣體流量的上升小，所以真空腔緩慢地排氣。
然后，當(dāng)操作孔口的流體壓力上升時(shí)，第1活塞抵抗第1彈簧機(jī)構(gòu)的彈力而動(dòng)作，將主閥體開放，所以，上述第1孔口與第二孔口通過斷面積大的主流路連通，促進(jìn)真空腔的排氣。
因此，根據(jù)本發(fā)明的真空閥，只要從一個(gè)操作孔口供給控制了大小的壓力流體，就可以將主閥體和副閥體開放，可以使真空腔內(nèi)慢慢排氣。而且，構(gòu)造和操作簡單，動(dòng)作穩(wěn)定性好。
本發(fā)明中，上述副閥體最好由針閥構(gòu)成，并且，備有連續(xù)的坡度不同的若干錐部。這樣，可以使氣體流量的上升與該針閥的開度相應(yīng)地變化。
根據(jù)本發(fā)明一個(gè)具體的實(shí)施例，真空閥具有設(shè)定上述副閥體開度的設(shè)定機(jī)構(gòu)，該開度設(shè)定機(jī)構(gòu)，包括可調(diào)節(jié)位置的設(shè)定桿和調(diào)節(jié)該設(shè)定桿位置的調(diào)節(jié)部件，上述設(shè)定桿通過與上述第2軸或第2活塞相接，規(guī)定副閥體的開放行程端。
根據(jù)本發(fā)明另一個(gè)具體的實(shí)施例，上述主閥體具有大于副閥體的密封部直徑，上述第1活塞具有大于第2活塞的活塞直徑，上述副流路和副閥體組裝在上述主閥體內(nèi)，上述第2活塞及副壓力作用室，組裝在上述第1活塞內(nèi)部，上述第1軸穿過第2軸的內(nèi)部。
該實(shí)施例中，設(shè)置了用于設(shè)定副閥體開度的上述開度設(shè)定機(jī)構(gòu)時(shí)，上述設(shè)定桿兼作為檢測主閥體開度的檢測機(jī)構(gòu)，該設(shè)定桿與第1活塞螺接，與該第1活塞一起變移，根據(jù)該第1活塞的變移量檢測上述主閥體的開度。
或者，也可以設(shè)置檢測上述主閥體及副閥體雙方開度的開度檢測機(jī)構(gòu)。該檢測機(jī)構(gòu)，具有與上述第1活塞及第2活塞雙方連動(dòng)變移的一個(gè)檢測桿，根據(jù)該檢測桿輸出的上述第1活塞及第2活塞的變移量，檢測上述主閥體及副閥體的開度。


圖1是表示本發(fā)明一實(shí)施例的先導(dǎo)式二孔真空閥的、針閥的開狀態(tài)和閉狀態(tài)的斷面圖。
圖2是上述真空閥的閥開度和流體壓的特性圖。
圖3是表示本發(fā)明另一實(shí)施例中的針閥開狀態(tài)和閉狀態(tài)的要部斷面圖。
圖4是表示本發(fā)明另一實(shí)施例中的針閥形狀的要部斷面圖。
以下參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施例。在實(shí)施例中，具有同一功能的部件注以相同標(biāo)記。
圖1所示的先導(dǎo)式二孔真空閥，具有略圓筒形的閥殼1。在該閥殼1的軸線方向后端部安裝著蓋2。在前端部，形成用于與真空腔C連接的第1孔口3，在閥殼1的側(cè)面，朝著與軸線直交的方向，開設(shè)著與真空泵P連接的第二孔口4。在上述閥殼1的內(nèi)部，分別設(shè)有連接第1孔口3與第二孔口4的斷面積大的主流路A和斷面積小的副流路B，還設(shè)有全開閉主流路A的主閥機(jī)構(gòu)和限制地開閉副流路B的副閥機(jī)構(gòu)。
上述主閥機(jī)構(gòu)備有主閥體8、第1活塞30和第1軸6。主閥體8開閉主流路A中的第1閥座部25。第1活塞30借助流體壓的作用動(dòng)作，驅(qū)動(dòng)上述主閥體8。第1軸6將主閥體8與第1活塞30相互連接。
上述主閥體8，是在中央部開口的圓形板的第1閥座21的周緣部，設(shè)置了開閉上述第1閥座部25的密封部件24。上述第1閥座21的中央開口，形成上述副流路B的一部分，通過導(dǎo)通路17與第二孔口4連通。另外，第1軸6的前端部嵌入、接合在第1閥座21的中央部，由擋圈13固定而不能脫出。圖中的11，是保持第1軸6與第1閥座21間的氣密的密封部件。
第1軸6的后端部，通過導(dǎo)筒27和密封墊圈28可滑動(dòng)地且氣密地貫穿設(shè)在閥殼1內(nèi)部的臺(tái)座18，伸出到形成在該臺(tái)座18與上述蓋2間的氣缸41內(nèi)的第1活塞室47內(nèi)，與可滑動(dòng)地配設(shè)在該第1活塞室47內(nèi)的第1活塞30氣密地連接。
上述第1活塞30，在其外周具有在第1活塞室47的內(nèi)壁上氣密地滑動(dòng)的密封墊圈33和導(dǎo)環(huán)45，形成在該第1活塞30和上述臺(tái)座18間的主壓力作用室47a，與開設(shè)在氣缸41的側(cè)壁上的操作孔口35連通。
因此，從操作孔口35向主壓力作用室47a供給壓縮空氣等的壓力流體時(shí)，上述第1活塞30后退到蓋2側(cè)，主閥體8開放。這時(shí)，由電空調(diào)節(jié)器56控制了壓力的壓力流體供給到上述操作孔口35。
在上述閥殼1的內(nèi)部，在裝在第1閥座21上的彈簧支承16與臺(tái)座18之間，設(shè)有第1彈簧機(jī)構(gòu)10，該第1彈簧機(jī)構(gòu)10由把主閥體8向閉鎖方向彈壓的2個(gè)螺旋彈簧10a、10b構(gòu)成。在挾在閥殼1與臺(tái)座18間的波紋管座20與第1閥座21之間，設(shè)有內(nèi)包著第1軸6和2個(gè)彈簧10a、10b的波紋管5。另外，圖中的19和29，是保持閥殼1與波紋管座20之間、以及閥殼1與臺(tái)座18間的氣密的密封部件。49是將上述波紋管5的內(nèi)側(cè)空間與外部連通的呼吸孔口。51是將上述第1活塞30的背后的呼吸室與外部連通的呼吸孔。
上述副閥機(jī)構(gòu)，備有副閥體9、第2活塞46和第2軸7。副閥體9開閉設(shè)在主閥體8上的副流路B中的第2閥座部26。第2活塞46借助流體壓的作用動(dòng)作，驅(qū)動(dòng)該副閥體9。第2軸7將副閥體9和第2活塞46相互連接。如后所述，這些部件一體地組裝入上述主閥機(jī)構(gòu)。
即，上述第2閥座部26，是在圓環(huán)狀的第2閥座23上，安裝圓環(huán)狀的密封部件而構(gòu)成的，上述第2閥座23用固定螺栓同軸地固定在上述第1閥座21上。上述副閥體9由針閥構(gòu)成。該針閥9備有嵌入部60和法蘭狀的閥密封部61。嵌入部60呈尖狀，嵌入在上述第2閥座部26的內(nèi)部。閥密封部61形成在上述嵌入部60的基端部側(cè)，與第2閥座部接離。該針閥9可前后方向滑動(dòng)地收容在形成于第1軸6前端部的中空部內(nèi)，被由螺旋彈簧構(gòu)成的第2彈簧機(jī)構(gòu)15朝閉閥方向彈壓，該第2彈簧機(jī)構(gòu)15在副閥體9與設(shè)在第1軸6上的彈簧座6a之間。該副閥體9的閥密封部61的密封徑，比主閥體8的密封部件24的密封徑小。
圖中的58是呼吸孔，該呼吸孔58使配設(shè)著第2彈簧機(jī)構(gòu)15的上述針閥9的背室與外部連通。59是保持第1軸6與針閥9間氣密的密封墊。
上述第2軸7，氣密地且可滑動(dòng)地插入第1軸6的內(nèi)部，其后端部伸出到形成在第1活塞30內(nèi)部的第2活塞室48內(nèi)，與可滑動(dòng)地配設(shè)在第2活塞室48內(nèi)的第2活塞46氣密地連接。圖中的12是保持第2軸7與第1軸6間氣密的密封墊。43是保持第2軸7與第2活塞46間氣密的密封部件。
上述第2活塞46，在其外周具有在第2活塞室48的內(nèi)壁上氣密地滑動(dòng)的密封墊36，在該第2活塞46的前面?zhèn)?，與第1活塞30之間形成副壓力作用室48a，該副壓力作用室48a和上述主壓力作用室47a，借助形成在第1活塞30上的連通孔34相互連通。
在上述閥殼1的蓋2的中央部，附設(shè)有用于設(shè)定副閥體9的開度的開度設(shè)定機(jī)構(gòu)。該開度設(shè)定機(jī)構(gòu)包含可自由調(diào)節(jié)位置的設(shè)定桿31和調(diào)節(jié)該設(shè)定桿31的位置的調(diào)節(jié)部件32。設(shè)定桿31通過與第2軸7或第2活塞46相接，規(guī)定副閥體9的開放行程端。更具體地說，在上述蓋2的中央部，組入構(gòu)成上述調(diào)節(jié)部件32的標(biāo)度盤，該標(biāo)度盤可旋轉(zhuǎn)，并且由擋圈55防止脫出。在上述第1活塞30的后端面，固定著中央部有螺紋孔37的止擋部件38。上述設(shè)定桿31的前端部可旋轉(zhuǎn)進(jìn)退地螺合在該止擋部件38的螺紋孔37內(nèi)。設(shè)定桿31的后端部，可在軸方向相對移動(dòng)、且在旋轉(zhuǎn)方向相互結(jié)合地插入上述標(biāo)度盤32內(nèi)。圖中的39是呼吸孔，該呼吸孔39將第2活塞46背后的呼吸室與第1活塞30背后的呼吸室連通。40是防止設(shè)定桿31從止擋部件38脫落的擋圈。
在上述蓋2上，安裝著用于防止上述標(biāo)度盤32自然旋轉(zhuǎn)的針54。該針54插入設(shè)在蓋2上的孔內(nèi)，設(shè)在與固定螺絲52間的彈簧53，將其前端推壓上述標(biāo)度盤的被壓花加工的外周。
把上述設(shè)定桿31和標(biāo)度盤32只在旋轉(zhuǎn)方向結(jié)合的方法，例如，可以將設(shè)定桿31形成為四邊形或六邊形等的方軸和方孔；或者將側(cè)面的一部分，形成為平面化的圓軸和圓孔；或者形成為備有只在旋轉(zhuǎn)方向相互結(jié)合的槽和突起的斷面形狀的軸和孔等。也可以采用其它適當(dāng)?shù)慕Y(jié)合機(jī)構(gòu)。
上述開度設(shè)定機(jī)構(gòu)，通過使上述標(biāo)度盤32旋轉(zhuǎn)，使設(shè)定桿31相對于第2活塞46進(jìn)退，調(diào)節(jié)該第2活塞46的開放行程端的位置，可設(shè)定針閥9的開度。通過操作孔口35把壓力流體從主壓力作用室47a供給到副壓力作用室48a時(shí)，借助第2活塞46的動(dòng)作，第2軸7移動(dòng)到與設(shè)定桿31相接的位置，以與之相應(yīng)的開度，針閥9被打開。
上述設(shè)定桿31還兼作為檢測主閥體8開度的檢測機(jī)構(gòu)。即，該設(shè)定桿31，與上述第1活塞30一起變移，后端部從標(biāo)度盤32伸出到外部，所以，通過檢測其伸出量，就可以監(jiān)視主閥體8的開閥量。檢測上述設(shè)定桿31的伸出量的檢測機(jī)構(gòu)，可以采用光學(xué)的或磁性的或電氣的檢測機(jī)構(gòu)。
具有上述構(gòu)造的先導(dǎo)式二孔真空閥，通常，其主閥體8和副閥體9分別被第1彈簧機(jī)構(gòu)10及第2彈簧機(jī)構(gòu)15移動(dòng)到閉閥位置，通過與第1閥座部25及第2閥座部26相接，分別關(guān)閉主流路A和副流路B，所以，在該狀態(tài)，即使使真空泵P運(yùn)轉(zhuǎn)，真空腔C內(nèi)的氣體也不從第1孔口3向第二孔口4排出。
被電空調(diào)節(jié)器56控制了壓力的壓縮空氣等的壓力流體，從操作孔口35供給到主壓力作用室47a時(shí)，該壓力流體通過連通孔34也導(dǎo)入副壓力作用室48a。
在上述副壓力作用室48a內(nèi)，作用到第2活塞46上的流體壓作用力，大于第2彈簧機(jī)構(gòu)15的彈力時(shí)，上述第2活塞46動(dòng)作，使第2軸7抵抗第2彈簧機(jī)構(gòu)15的彈力移動(dòng)到與設(shè)定桿31相接的位置，將針閥9打開到設(shè)定的開度。因此，真空腔C內(nèi)的氣體限制地通過開口的副流路B，慢慢地流入第二孔口4，真空腔C以慢速排氣。
這時(shí)，在真空腔C內(nèi)，不產(chǎn)生急速排氣時(shí)那樣的氣體亂流，不產(chǎn)生隨著氣體亂流的微粒子卷起。另外，真空泵P也不會(huì)因一時(shí)地吸引大量的空氣而引起過負(fù)荷。
然后，從操作孔口35供給的流體的壓力上升，在主壓力作用室47a內(nèi)作用在第1活塞30上的流體壓作用力，大于第1彈簧機(jī)構(gòu)10的彈力時(shí)，上述第1活塞30動(dòng)作，使第1軸6抵抗第1彈簧機(jī)構(gòu)10的彈力后退到與蓋2相接的位置，將主閥體8開放。因此，斷面積大的主流路A開放，進(jìn)行剩余的排氣。由于這時(shí)的空氣密度低，即使被某種程度的速度吸引也不產(chǎn)生亂流，微粒子不會(huì)被卷起。當(dāng)然也不產(chǎn)生真空泵P的過負(fù)荷。
當(dāng)真空腔C達(dá)到所需的真空度時(shí)，降低來自操作孔口35的流體壓，當(dāng)作用在第1活塞30上的流體壓作用力小于第1彈簧機(jī)構(gòu)10的彈力時(shí)，主閥體8關(guān)閉主流路A，然后，當(dāng)作用于第2活塞46的流體壓作用力小于第2彈簧機(jī)構(gòu)15的彈力時(shí)，副閥體9關(guān)閉副流路B。
通過上述操作孔口35，一邊進(jìn)行壓力控制一邊將流體供給主壓力作用室47a和副壓力作用室48a內(nèi)的操作，是由電空調(diào)節(jié)器56自動(dòng)進(jìn)行的，這時(shí)的主閥體8和針閥9的閥開度與流體壓的關(guān)系，如圖2所示地推移。
該電空調(diào)節(jié)器56，被預(yù)定程序的控制信號(hào)控制，或者檢測主壓力作用室47a和副壓力作用室48a的壓力，根據(jù)該檢測信號(hào)，進(jìn)行加入了時(shí)間函數(shù)的控制，這樣，主閥體8和針閥9的開閉被控制。
這樣，本實(shí)施例的先導(dǎo)式二孔真空閥中，副閥體9和主閥體8的開閉，是與操作孔口35供給的流體壓大小相應(yīng)地自動(dòng)地被控制，所以操作簡單，穩(wěn)定性好。另外，由于可微妙地調(diào)節(jié)副閥體9的開度，所以，可切實(shí)防止真空腔C內(nèi)的微粒子卷起。不需要已往那樣的高精度電空比例閥，提高經(jīng)濟(jì)性。
上述詳述了本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，但本發(fā)明并不局限于該實(shí)施例，在不脫離本發(fā)明精神的范圍內(nèi)可作各種變更。
圖3中，附設(shè)了可檢測主閥體8和副閥體9二者開度的開度檢測機(jī)構(gòu)，用它代替上述的開度設(shè)定機(jī)構(gòu)。該開度檢測機(jī)構(gòu)，將檢測桿62的一端連接在第2軸7的端部，將另一端從蓋2伸出到外部，從與第1活塞30和第2活塞46的雙方連動(dòng)而變移的該檢測桿62的變移中，用光學(xué)的或磁性的或電氣的檢測機(jī)構(gòu)，檢測出副閥體9的開閉行程a和主閥體8的開閉行程b，由此可檢測出主閥體8和副閥體9的開度。
圖4是表示構(gòu)成副閥體9的針閥的另一實(shí)施例。該針閥9，在嵌入部60連續(xù)地形成坡度不同的若干錐部60a、60b、60c，開閉時(shí)的閥開度因這些錐部的不同而變化。此外，也可把上述針閥9的嵌入部60形成為漸漸變細(xì)的曲面。
另外，不僅能使真空腔C內(nèi)的壓力形成為真空壓，而且，用壓力傳感器檢測真空腔C內(nèi)的壓力，根據(jù)該檢測信號(hào)，控制由操作孔口35供給的壓力流體的壓力，可將真空腔C內(nèi)形成為任意的壓力。
從上面的說明可知，根據(jù)本發(fā)明的先導(dǎo)式二孔真空閥，由于主閥體和副閥體是借助操作孔口供給的流體壓的大小而被開閉操作，所以，可以將真空腔內(nèi)慢慢地排氣，構(gòu)造和操作簡單，動(dòng)作穩(wěn)定性也好。因此，可切實(shí)防止微粒子卷起，提高可靠性，不需要高精度的電空比例閥。
權(quán)利要求
1．先導(dǎo)式二孔真空閥，備有用于與真空腔連接的第1孔口以及用于與真空泵連接的第二孔口；連接上述第1孔口與第二孔口的斷面積大的主流路和斷面積比該主流路小的副流路；開閉上述主流路的主閥體以及開閉副流路的副閥體；通過第1軸與上述主閥體連接的第1活塞、以及通過第2軸與上述副閥體連接的第2活塞；使開閥方向的流體壓作用到上述第1活塞的主壓力作用室、以及使開閥方向的流體壓作用到上述第2活塞的副壓力作用室；將上述主壓力作用室與副壓力作用室相互連通的連通孔；將壓力流體供給到上述主壓力作用室和副壓力作用室的一個(gè)操作孔口；將上述主閥體朝關(guān)閉方向彈壓的彈力大的第1彈簧機(jī)構(gòu)、以及將上述副閥體朝關(guān)閉方向彈壓的彈力小的第2彈簧機(jī)構(gòu)；上述第1活塞及第2活塞的活塞直徑與第1彈簧機(jī)構(gòu)及第2彈簧機(jī)構(gòu)的彈力的關(guān)系是，第2活塞以比第1活塞低的流體壓力動(dòng)作。
2．如權(quán)利要求1所述的先導(dǎo)式二孔真空閥，其特征在于，上述副閥體是針閥。
3．如權(quán)利要求2所述的先導(dǎo)式二孔真空閥，其特征在于，上述針閥，備有連續(xù)的坡度不同的若干錐部。
4．如權(quán)利要求1所述的先導(dǎo)式二孔真空閥，其特征在于，該真空閥具有設(shè)定上述副閥體開度的機(jī)構(gòu)，該開度設(shè)定機(jī)構(gòu)，包括可調(diào)節(jié)位置的設(shè)定桿和調(diào)節(jié)該設(shè)定桿位置的調(diào)節(jié)部件，上述設(shè)定桿通過與上述第2軸或第2活塞相接，規(guī)定副閥體的開放行程端。
5．如權(quán)利要求1所述的先導(dǎo)式二孔真空閥，其特征在于，上述主閥體具有大于副閥體的密封部直徑，上述第1活塞具有大于第2活塞的活塞直徑，上述副流路和副閥體組裝在上述主閥體內(nèi)，上述第2活塞及副壓力作用室，組裝在上述第1活塞內(nèi)部，上述第1軸穿過第2軸的內(nèi)部。
6．如權(quán)利要求5所述的先導(dǎo)式二孔真空閥，其特征在于，上述副閥體是針閥。
7．如權(quán)利要求6所述的先導(dǎo)式二孔真空閥，其特征在于，上述針閥備有連續(xù)的坡度不同的若干錐部。
8．如權(quán)利要求5所述的先導(dǎo)式二孔真空閥，其特征在于，該真空閥具有設(shè)定上述副閥體開度的機(jī)構(gòu)，該開度設(shè)定機(jī)構(gòu)，包括可調(diào)節(jié)位置的設(shè)定桿和調(diào)節(jié)該設(shè)定桿位置的調(diào)節(jié)部件，上述設(shè)定桿通過與上述第2軸或第2活塞相接，規(guī)定副閥體的開放行程端；上述設(shè)定桿兼作為檢測主閥體開度的檢測機(jī)構(gòu)，該設(shè)定桿與上述第1活塞螺接，與該第1活塞一起變移，從該第1活塞的變移量檢測出主閥體的開度。
9．如權(quán)利要求5所述的先導(dǎo)式二孔真空閥，其特征在于，該真空閥具有檢測上述主閥體和副閥體開度的機(jī)構(gòu)，該開度檢測機(jī)構(gòu)具有與上述第1活塞和第2活塞雙方連動(dòng)而變移的一個(gè)檢測桿，根據(jù)該檢測桿輸出的上述第1活塞和第2活塞的變移量，檢測出上述主閥體和副閥體的開度。
全文摘要
開閉第1孔口與第二孔口間的主流路的主閥機(jī)構(gòu),備有主閥體、使該主閥體開放的大直徑第1活塞、驅(qū)動(dòng)該第1活塞的主壓力作用室、關(guān)閉上述第1活塞的第1彈簧機(jī)構(gòu);開閉副流路的副閥機(jī)構(gòu),備有副閥體、使該副閥體開放的小直徑第2活塞、驅(qū)動(dòng)該第2活塞的副壓力作用室、關(guān)閉上述第2活塞的第2彈簧機(jī)構(gòu);上述主壓力作用室與副壓力作用室由連通孔相互連通,上述兩活塞的活塞直徑與兩彈簧機(jī)構(gòu)的彈力的關(guān)系是,第2活塞比第1活塞以低的流體壓動(dòng)作。
文檔編號(hào)F16K39/00GK1314557SQ0111185
公開日2001年9月26日 申請日期2001年3月21日 優(yōu)先權(quán)日2000年3月21日
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