專利名稱：匯流閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及具有主流路、副流路和分支流路的匯流閥，更詳細(xì)地說是涉及小型且清洗效果優(yōu)異的匯流閥。
背景技術(shù)：
以往，在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的研漿管路、各種化學(xué)藥液管路中，在將流體從主流路分流而供給的管路中，作為防止研漿的凝集、粘固或結(jié)晶析出等故障的目的，設(shè)置有用于清洗分支管路的管路(副流路)。作為一般的方法，有如

圖18所示在主流路206、副流路207、208及分支流路209、210上裝配三通閥200、201和二通閥202、203及T形接頭204、205的方法，和如圖19所示在主流路215、副流路216及分支流路217、218上裝配三通閥211、212和四通閥213、214的方法。
可是，在前者的方法中，在圖18中，存在有研漿滯留在從T形接頭204、205到二通閥202、203的流路中這樣的問題，和從三通閥200、201到T形接頭204、205的流路不能充分地清洗這樣的問題。另外，在后者的方法中，在圖19中，存在有隨著分支流路的數(shù)量增加同時(shí)閥的數(shù)量增加而配管空間變大，還有帶來成本上升這樣的問題。

發(fā)明內(nèi)容
從而，本發(fā)明的目的，在于提供小型(緊湊)且清洗效果優(yōu)異的匯流閥。
根據(jù)本發(fā)明，提供一種匯流閥，其具備本體、和具有閥體的驅(qū)動部，在該本體中，形成有通過連結(jié)流路而互相連通的至少一對主流路側(cè)閥室及副流路側(cè)閥室、與主流路側(cè)閥室連通的分支流路、與主流路側(cè)閥室經(jīng)由在其底部中央開口的主流路側(cè)連通口而連通的主流路、與副流路側(cè)閥室經(jīng)由在其底部中央開口的副流路側(cè)連通口而連通的副流路，主流路側(cè)連通口及副流路側(cè)連通口分別由驅(qū)動部的閥體而被開閉，連結(jié)流路及分支流路，被構(gòu)成為其底部與主流路側(cè)閥室及副流路側(cè)閥室的底部大致成同一平面。
優(yōu)選為，上述匯流閥，具備多個(gè)主流路側(cè)閥室，多個(gè)主流路側(cè)閥室經(jīng)由各自的主流路側(cè)連通口而與同一主流路連通。
另外，優(yōu)選為，上述匯流閥，具備多個(gè)副流路側(cè)閥室，多個(gè)副流路側(cè)閥室經(jīng)由各自的副流路側(cè)連通口而與同一或不同的副流路連通。
在上述匯流閥中，主流路和副流路既可平行地延伸，也可垂直地延伸。
另外，上述主流路，既可貫通本體而延伸，也可不貫通本體，即，一端在前述本體的外部開口且另一端在本體的內(nèi)部終止。
同樣，上述副流路，既可貫通本體而延伸，也可一端在前述本體的外部開口且另一端在本體的內(nèi)部終止。
附圖的簡單說明下面，參照附圖，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)一步詳細(xì)地說明本發(fā)明的上述的目的及其他的目的、特征、優(yōu)點(diǎn)。在所說的附圖中，圖1是本發(fā)明的第一實(shí)施方式的匯流閥的僅本體的俯視圖；圖2是沿在圖1的本體上固定有四個(gè)驅(qū)動部的情況的圖1的線II-II的縱剖視圖，表示主流路側(cè)連通口為開，且副流路側(cè)連通口為閉的狀態(tài)；圖3是沿在圖1的本體上固定有四個(gè)驅(qū)動部的情況的圖1的線III-III的縱剖視圖，表示2個(gè)主流路側(cè)連通口同時(shí)為開的狀態(tài)；圖4是沿在圖1的本體上固定有四個(gè)驅(qū)動部的情況的圖1的線IV-IV的縱剖視圖，表示主流路側(cè)連通口為開，且副流路側(cè)連通口為閉的狀態(tài)；圖5是驅(qū)動部的縱剖視圖；圖6是圖1的本體的立體圖；圖7是本發(fā)明的第二實(shí)施方式的匯流閥的僅本體的俯視圖；圖8是本發(fā)明的第三實(shí)施方式的匯流閥的僅本體的俯視圖；圖9A至圖9F是表示在本發(fā)明的第一實(shí)施方式的匯流閥中的由各連通口開閉組合形成的流體的流動的外觀圖；
圖10是表示使用本發(fā)明的第一實(shí)施方式的匯流閥后的情況的藥液分支供給管路的外觀圖；圖11是本發(fā)明的第四實(shí)施方式的匯流閥的僅本體的俯視圖；圖12是沿在圖11的本體上固定有四個(gè)驅(qū)動部的情況的圖11的線XII-XII的縱剖視圖，表示主流路側(cè)連通口為開，且副流路側(cè)連通口為閉的狀態(tài)；圖13是圖11的本體的立體圖；圖14是本發(fā)明的第五實(shí)施方式的匯流閥的僅本體的立體圖；圖15是本發(fā)明的第六實(shí)施方式的匯流閥的僅本體的俯視圖；圖16A至圖16F是表示在本發(fā)明的第四實(shí)施方式的匯流閥中的由各連通口的開閉組合形成的流體的流動的外觀圖；圖17是表示使用本發(fā)明的第四實(shí)施方式的匯流閥后的情況的藥液分支供給管路的外觀圖；圖18是表示使用了三通閥、二通閥和T形接頭的以往技術(shù)的藥液分支供給管路的外觀圖；圖19是表示使用了三通閥和四通閥的以往技術(shù)的藥液分支供給管路的外觀圖。
用于實(shí)施發(fā)明的最佳方式下面，關(guān)于本發(fā)明的實(shí)施方式參照附圖進(jìn)行說明，但是本發(fā)明顯然不限于本實(shí)施方式。
參照圖1至圖6，本發(fā)明的匯流閥具備本體1、主流路6、副流路7和分支流路9。在本體1的上部設(shè)置有通過連結(jié)流路11而連通的圓筒狀的主流路側(cè)閥室17和副流路側(cè)閥室19。主流路6，與被設(shè)置在主流路側(cè)閥室17的底部中央的主流路側(cè)連通口13連通，如圖1及圖6所示貫通本體1而延伸。副流路7，與被設(shè)置在副流路側(cè)閥室19的底部中央的副流路側(cè)連通口15沿直角方向連通。分支流路9，與主流路側(cè)閥室17連通，位于本體1的與副流路7相反的一側(cè)。連結(jié)流路11，被構(gòu)成為其底部與主流路側(cè)閥室17和副流路側(cè)閥室19各自的底部大致成同一平面，另外，分支流路9也被構(gòu)成為其底部與主流路側(cè)閥室17的底部大致成同一平面。從而，形成了在主流路側(cè)閥室17和副流路側(cè)閥室19內(nèi)不存在產(chǎn)生流體的滯留部分那樣的構(gòu)造。
如從圖1至圖5所知，主流路6沿相對于副流路7和分支流路9及連結(jié)流路11的每一個(gè)垂直的方向延伸。即，副流路7和分支流路9及連結(jié)流路11平行且沿同一方向延伸。
另外，主流路側(cè)連通口13和副流路側(cè)連通口15各自的開口部的邊緣、或周緣部成為供驅(qū)動部2、3的閥體46、47壓觸、離開的閥座21、22。主流路側(cè)閥室17，被構(gòu)成為其直徑比主流路側(cè)連通口13及閥體46的直徑大，同樣地副流路側(cè)閥室19也被構(gòu)成為其直徑比副流路側(cè)連通口15及閥體47的直徑大。
沿著主流路6進(jìn)一步設(shè)置主流路側(cè)連通口13以外的另一個(gè)主流路側(cè)連通口14(參照圖3)，針對主流路側(cè)連通口14，也設(shè)置有與其具有與主流路側(cè)連通口13和主流路側(cè)閥室17、分支流路9、連結(jié)流路11、副流路側(cè)閥室19、副流路側(cè)連通口15及副流路7的相對關(guān)系一樣的相對關(guān)系的主流路側(cè)閥室18、分支流路10、連結(jié)流路12、副流路側(cè)閥室20、副流路側(cè)連通口16及副流路8。即在本實(shí)施方式中，在本體1上設(shè)置有4個(gè)閥室(參照圖1、圖6)。
再者，在本實(shí)施方式中在主流路6上設(shè)置有兩個(gè)主流路側(cè)連通口13、14，但是也可以根據(jù)目的不同，在主流路6上設(shè)置三個(gè)或更多的主流路側(cè)連通口，并設(shè)成與上述說明同樣的構(gòu)造而增加閥室，而不必被本實(shí)施方式特別地限定。
另外，在本實(shí)施方式的說明的附圖中，與主流路的口徑相對的副流路、分支流路、及連結(jié)流路的口徑相同，但是當(dāng)然可以根據(jù)目的而改變其口徑的大小。
在本實(shí)施方式中，在本體1的側(cè)面上一體地突出而形成有接頭部25、26，主流路6在其內(nèi)部分別延長而被形成。關(guān)于副流路7、8及分支流路9、10也以同樣的狀態(tài)被形成(參照圖1)。在接頭部25上連接配管管路37時(shí)，以首先使配管管路37配合在接頭部25的前端部44上、并使蓋螺母31的內(nèi)螺紋部45螺旋接合在設(shè)于接頭部25的外周上的外螺紋部43上而夾持、固定配管管路37的端部的方法進(jìn)行(參照圖3)。關(guān)于其他的接頭部26至30也以同樣的方法連接配管管路38至42。再者，關(guān)于本體1和配管管路37至42的連接結(jié)構(gòu)不限于本實(shí)施方式，也可采用其他的一般的連接結(jié)構(gòu)。
驅(qū)動部2至5被用雙頭連接螺栓、螺母(圖未示)固定在本體1的上部。因?yàn)楦髯缘臉?gòu)造一樣，所以以驅(qū)動部2為代表進(jìn)行說明(參照圖5)。
在圖4中，缸體本體，由參照標(biāo)號50表示，在內(nèi)部具有圓筒狀的缸體部54和在下部具有圓柱狀的突部55，以從缸體部54的底面中央貫通突部55的方式形成有貫通孔56。在貫通孔56的內(nèi)周面上嵌入有O形環(huán)69。進(jìn)而，在缸體本體50的側(cè)面上設(shè)置有分別與缸體部54的上方及下方連通的一對的工作流體供給口64、65。
缸體蓋，由參照標(biāo)號51表示，具有在底面嵌入有O形環(huán)67的圓柱狀突部57，通過將圓柱狀突部57通過O形環(huán)67嵌入到缸體部54的上部而與缸體本體50接合。在本實(shí)施方式中，本體1、缸體本體50及缸體蓋51三者由雙頭連接螺栓、螺母(圖未示)一體化地被固定。
活塞，由參照標(biāo)號52表示，在外周面上嵌入有O形環(huán)68，通過O形環(huán)68而上下滑動自如地嵌入在缸體本體50的缸體部54中。在下端面中央以滑動自如地貫通突出于缸體本體50的貫通孔56的方式一體地設(shè)置有桿部58，在桿部58的前端部上設(shè)置有接合隔膜53的閥體46的接合部59。另外，由活塞52的上面、缸體部54的內(nèi)周面和缸體蓋51的下面形成上部空隙62，由活塞52的下面及桿部58的外周面和缸體部54的內(nèi)周面及底面形成下部空隙63。
在隔膜53上，在其中央下面，一體地設(shè)置有與形成在本體1上的閥座21(即，主流路側(cè)連通口13的開口部緣)壓觸、離開的閥體46，該閥體46通過螺紋接合而與活塞52的桿部58的前端部接合。在隔膜53的外周緣部上設(shè)置有圓筒狀膜部60，進(jìn)而在圓筒狀膜部60的上端部外周上設(shè)置有環(huán)狀突部61。圓筒狀膜部60被本體1的主流路側(cè)閥室17的內(nèi)周面和缸體本體50的突部55的外周面所夾持，進(jìn)而，環(huán)狀突部61，被嵌入在設(shè)于主流路側(cè)閥室17的內(nèi)周面上部的階梯部66上，在缸體本體50和環(huán)狀突部61之間夾持O形環(huán)70，由本體1的主流路側(cè)閥室17的內(nèi)周面和缸體本體的突部55的外周面夾持、固定。該隔膜53的形狀不限于本實(shí)施方式，只要是具有由本體1和缸體本體50所夾持的膜部的部件任何形式都可以，也可是波紋型等形狀。
再者，對于驅(qū)動部的構(gòu)造，只要是具有分別開閉主流路側(cè)連通口和副流路側(cè)連通口的閥體的構(gòu)造，在內(nèi)部具備彈簧等的構(gòu)造，或者是手動型式的構(gòu)造都可以，并不特別限于本實(shí)施方式。另外，這些具有閥體的驅(qū)動部，最好分別單獨(dú)設(shè)置在主流路側(cè)、副流路側(cè)，但是也可將兩者一體地設(shè)置，其設(shè)置方法沒有特別地限定。
再者，在本發(fā)明中本體等部件，因?yàn)橐竽退幤沸粤己们译s質(zhì)的溶出也少等原因，所以適合使用聚四氟乙烯(下面稱為PTFE)或四氟乙烯-全氟烷乙烯基醚共聚物(下面稱為PFA)等氟樹脂，但是也可是聚氯乙烯、聚丙烯等其他的塑膠或金屬，沒有特別地限定。另外，隔膜的材質(zhì)適合使用PTFE、PFA等氟樹脂，但是也可是橡膠及金屬，沒有特別地限定。
下面對在圖1中表示的本發(fā)明的第一實(shí)施方式的匯流閥的動作進(jìn)行說明。
在圖2、圖3中，形成了主流路側(cè)連通口13開，副流路側(cè)連通口15閉的狀態(tài)。在該狀態(tài)下，主流路6的流體，向副流路側(cè)閥室19、連結(jié)流路11、主流路側(cè)閥室17、及分支流路9流動。在該狀態(tài)下，當(dāng)工作流體、例如被壓縮后的空氣等從圖5所示的驅(qū)動部2的工作流體供給口64被由外部注入到上部空隙62內(nèi)時(shí)，借助該工作流體的壓力活塞52被推下。由此，被接合在桿部58的下端部的閥體46被向閥座21推壓，主流路側(cè)連通口13變成閉狀態(tài)。另一方面，相反地，當(dāng)工作流體被從驅(qū)動部3的工作流體供給口65注入到下部空隙63中時(shí)，由該工作流體的壓力活塞52被推起。由此，被接合在桿部58的下端部上的閥體47從閥座22離開，副流路側(cè)連通口15變成開狀態(tài)，副流路7內(nèi)的流體向副流路側(cè)閥室19、連結(jié)流路11、主流路側(cè)閥室17、及分支流路9流動(因?yàn)轵?qū)動部3的工作流體供給口、下部空隙、活塞及桿部與驅(qū)動部2相同所以使用驅(qū)動部2中的標(biāo)號)。另外，關(guān)于圖4所示的主流路側(cè)連通口14、副流路側(cè)連通口16的開閉動作也同樣地進(jìn)行。
例如在本實(shí)施方式的閥，被使用在從主流路6側(cè)供給研漿、另外從副流路7、8側(cè)供給清洗液、從分支流路9、10進(jìn)行排出這樣的管路上的情況下，在圖2、圖3、圖4所示的狀態(tài)下，在主流路6中流動的研漿通過主流路側(cè)閥室17、18而從分支流路9、10排出，但是在連結(jié)流路11、12、及副流路側(cè)閥室19、20中滯留有研漿?？墒?，當(dāng)在該狀態(tài)下關(guān)閉主流路側(cè)連通口13、14，打開副流路側(cè)連通口15、16，從副流路7、8側(cè)流入清洗液時(shí)，該滯留的研漿被從分支流路9、10排除并可進(jìn)行閥內(nèi)的清洗。因?yàn)樵诒緦?shí)施方式中分支流路9、10、主流路側(cè)閥室17、18、連結(jié)流路11、12、及副流路側(cè)閥室19、20的底面如前所述被設(shè)計(jì)成大致在同一平面上，所以滯留部容積變得極其小，且因?yàn)楦髁髀沸纬蔀橹本€狀所以壓力損失小，能獲得良好的清洗效果。
圖7是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式的匯流閥的僅本體71的俯視圖。與上述第一實(shí)施方式不同的地方是，本體兩端的副流路73、74與主流路72平行地延伸，且在與主流路72開口的本體71的側(cè)面相同的側(cè)面上開口。關(guān)于分支流路75、76等其他的構(gòu)造，與第一實(shí)施方式的匯流閥一樣，說明省略。另外，因?yàn)殛P(guān)于動作，也只是在副流路73、74中流動的流體的流動方向變成為沿相對于連結(jié)流路77、78的直角方向，其他和第一實(shí)施方式一樣所以說明省略。
圖8是表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式的匯流閥的僅本體79的俯視圖。與上述第一實(shí)施方式不同的地方是，主流路80沒有貫通本體79，只在本體79的單側(cè)的側(cè)面上開口，即，主流路80的一端在本體79的外部開口且另一端在本體79的內(nèi)部終止。關(guān)于副流路81、82、分支流路83、84、連結(jié)流路85、86等其他的構(gòu)造，與第一實(shí)施方式的匯流閥一樣，省略其說明。另外，因?yàn)殛P(guān)于動作，也與第一實(shí)施方式一樣所以省略其說明。
圖9A至圖9F，是表示使用本發(fā)明的第一實(shí)施方式的匯流閥且分別在主流路流有藥液、在副流路流有清洗液時(shí)的由各連通口的開、閉組合實(shí)現(xiàn)的代表性的流體的流動的圖。在本實(shí)施方式中，因?yàn)轵?qū)動部2至5可分別獨(dú)立地動作，所以顯然通過開閉組合可產(chǎn)生各種各樣的使用方法，是非常有效的閥。這在本發(fā)明的第二實(shí)施方式及第三實(shí)施方式的匯流閥中也是一樣的。
將在上述以往的技術(shù)中，使用了本發(fā)明的第一實(shí)施方式時(shí)的藥液分支供給管路的外觀圖表示在圖10中。圖中，87是本發(fā)明的匯流閥，88、89是主流路，90、91是副流路，92、93是分支流路。像在圖中所知道的那樣，若與在圖18中表示的以往的管路相比較，能夠使閥和T形接頭的數(shù)量減少，即本實(shí)施方式用一個(gè)即可應(yīng)對。從而能夠簡單地實(shí)現(xiàn)配管管路，配管空間也變小，且施工也能較容易地進(jìn)行。
上面，對于與被設(shè)置在匯流閥的副流路側(cè)閥室相對應(yīng)地分別設(shè)置有單獨(dú)的副流路的情況的本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但是本發(fā)明不限于此。例如，如下所示，也可形成為多個(gè)副流路側(cè)閥室通過各自的副流路側(cè)連通口而與同一個(gè)副流路連通。
圖11是表示本發(fā)明的第四實(shí)施方式的匯流閥的僅本體94的俯視圖，圖12是沿在圖11的本體上固定有四個(gè)驅(qū)動部后的情況的圖11的線XII-XII的縱剖視圖，圖13是圖11的本體的立體圖。與上述第一實(shí)施方式不同的地方是，副流路96與主流路95平行地貫通本體94而延伸，與2個(gè)主流路側(cè)閥室105、106分別通過連結(jié)流路99、100而連通的2個(gè)副流路側(cè)閥室107、108，通過各自的副流路側(cè)連通口103、104而與同一個(gè)副流路96連通。另外，分支流路97、98及連結(jié)流路99、100，沿相對于主流路95及副流路96的每一個(gè)成直角的方向延伸，但是關(guān)于主流路側(cè)連通口101、102及接頭部109～114等其他的構(gòu)造，與上述第一實(shí)施方式一樣，說明省略。另外，關(guān)于動作也一樣，只是代替在第一實(shí)施方式的匯流閥中當(dāng)副流路側(cè)連通口15、16打開時(shí)清洗液從副流路7、8流到副流路側(cè)閥室19、20中，而在本實(shí)施方式的匯流閥中，當(dāng)副流路側(cè)連通口103、104打開時(shí)清洗液從同一個(gè)副流路96流到副流路側(cè)閥室107、108中，除了這一點(diǎn)以外都一樣，說明省略。
圖14是表示本發(fā)明的第五實(shí)施方式的匯流閥的僅本體115的立體圖。與上述第一實(shí)施方式不同的地方是，在主流路116和副流路117的每一個(gè)上各設(shè)置有三個(gè)主流路側(cè)連通口124、125、126和副流路側(cè)連通口127、128、129，與各連通口對應(yīng)地，設(shè)置有與其具有與第一實(shí)施方式的主流路側(cè)連通口13及副流路側(cè)連通口15和主流路側(cè)閥室17、副流路側(cè)閥室19、分支流路9及連結(jié)流路11的相對關(guān)系一樣的相對關(guān)系的主流路側(cè)閥室130、131、132、副流路側(cè)閥室133、134、135、分支流路118、119、120及連結(jié)流路121、122、123。另外，關(guān)于動作，因?yàn)榕c第四實(shí)施方式一樣所以說明省略。
圖15是表示本發(fā)明的第六實(shí)施方式的匯流閥的僅本體136的俯視圖。與上述第一實(shí)施方式不同的地方是，主流路137和副流路138沒有貫通本體136、而只在本體136的單側(cè)的側(cè)面上開口，即，主流路137及138的一端在本體136的外部開口且另一端在本體136的內(nèi)部終止。關(guān)于分支流路139、140、連結(jié)流路141、142、主流路側(cè)連通口143、144、副流路側(cè)連通口145、146、主流路側(cè)閥室147、148、副流路側(cè)閥室149、150等其他的構(gòu)造，與第一實(shí)施方式的匯流閥一樣，說明省略。另外，關(guān)于動作，因?yàn)榕c第四實(shí)施方式一樣所以說明省略。
圖16A至圖16F是表示使用本發(fā)明的第四實(shí)施方式且分別在主流路流有藥液、在副流路流有清洗液時(shí)的由各連通口的開、閉組合實(shí)現(xiàn)的代表性的流體的流動。在本實(shí)施方式中因?yàn)轵?qū)動部2至5分別獨(dú)立地動作，所以顯然通過開閉組合能夠產(chǎn)生各種各樣的使用方法，構(gòu)成了與在圖1中表示的匯流閥一樣非常有效的閥。其在本發(fā)明的第五實(shí)施方式及第六實(shí)施方式的匯流閥中一樣。
將在上述以往的技術(shù)中，使用了本發(fā)明的第四實(shí)施方式時(shí)的藥液分支供給管路的外觀圖表示在圖17中。圖中，151是本發(fā)明的匯流閥，154、154是分支流路，如從圖中所知，若與圖18及圖19表示的以往的管路相比較，能夠使閥和T形接頭的數(shù)量減少，即本實(shí)施方式用一個(gè)即可應(yīng)對。從而能夠簡單地實(shí)現(xiàn)配管管路，配管空間也變小，且施工也能較容易地進(jìn)行。
本發(fā)明具有上面說明那樣的構(gòu)造，通過使用本發(fā)明能夠獲得下面的優(yōu)異效果。
(a)在主流路側(cè)的閥為閉、且副流路側(cè)的閥為開的狀態(tài)下，在使清洗液從副流路流入的情況下，當(dāng)將副流路側(cè)閥室、連結(jié)流路、主流路側(cè)閥室和分支流路設(shè)為大致呈直線狀且將各自的底部大致形成在同一平面上時(shí)，能夠有效地清洗、排出殘留在閥室內(nèi)的藥液，其結(jié)果能夠大幅地縮短閥內(nèi)的流路的清洗時(shí)間。
(b)在使清洗液從副流路側(cè)流入的情況下，通過開閉操作設(shè)置在本體上的多個(gè)副流路側(cè)連通口能夠同時(shí)清洗閥內(nèi)，或有選擇性地清洗所希望的管路。
(c)將主流路及/或副流路貫通本體而設(shè)置的情況下，在將主流路側(cè)連通口和副流路側(cè)連通口設(shè)為閉狀態(tài)的情況下，還能夠預(yù)先分別使流體流入、或者循環(huán)，對研漿等沉淀性高的流體也能夠使用。
(d)因?yàn)殚y的構(gòu)造緊湊，所以在配管管路上與以往相比較能夠使閥、T形接頭的數(shù)量減少，從而能夠簡單地實(shí)現(xiàn)配管管路，配管空間也變小，且施工也變得較容易。
(e)因?yàn)楫?dāng)使用PTFE、PFA等氟樹脂作為本體及隔膜的材料時(shí)耐藥性變高，另外向流體的雜質(zhì)的溶出也少，所以也能夠適當(dāng)?shù)厥褂迷诎雽?dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的超純水管路或各種化學(xué)藥液管路上。
權(quán)利要求
1.一種匯流閥，其特征在于，具備本體、和具有閥體的驅(qū)動部；在該本體上，形成有通過連結(jié)流路而互相連通的主流路側(cè)閥室及副流路側(cè)閥室、與前述主流路側(cè)閥室連通的分支流路、與前述主流路側(cè)閥室經(jīng)由在其底部中央開口的主流路側(cè)連通口而連通的主流路、與前述副流側(cè)閥室經(jīng)由在其底部中央開口的副流路側(cè)連通口而連通的副流路，前述主流路側(cè)連通口及前述副流路側(cè)連通口分別通過前述驅(qū)動部的閥體而開閉；前述連結(jié)流路及前述分支流路，被構(gòu)成為其底部與前述主流路側(cè)閥室及前述副流路側(cè)閥室的底部大致成同一平面。
2.如權(quán)利要求1所述的匯流閥，其中前述匯流閥具備多個(gè)主流路側(cè)閥室，多個(gè)前述主流路側(cè)閥室經(jīng)由各自的主流路側(cè)連通口而與同一主流路連通。
3.如權(quán)利要求1所述的匯流閥，其中前述匯流閥具備多個(gè)副流路側(cè)閥室，多個(gè)前述副流路側(cè)閥室經(jīng)由各自的副流路側(cè)連通口而與不同的副流路連通。
4.如權(quán)利要求1所述的匯流閥，其中前述匯流閥具備多個(gè)副流路側(cè)閥室，多個(gè)前述副流路側(cè)閥室經(jīng)由各自的副流路側(cè)連通口而與同一副流路連通。
5.如權(quán)利要求1所述的匯流閥，其中前述主流路與前述副流路平行地延伸。
6.如權(quán)利要求1所述的匯流閥，其中前述主流路與前述副流路垂直地延伸。
7.如權(quán)利要求1所述的匯流閥，其中前述主流路貫通前述本體而延伸。
8.如權(quán)利要求1所述的匯流閥，其中前述主流路，一端在前述本體的外部開口且另一端在前述本體的內(nèi)部終止。
9.如權(quán)利要求1所述的匯流閥，其中前述副流路貫通前述本體而延伸。
10.如權(quán)利要求1所述的匯流閥，其中前述副流路，一端在前述本體的外部開口且另一端在前述本體的內(nèi)部終止。
全文摘要
本發(fā)明的匯流閥，具備本體(1)、和具有閥體(46、47)的驅(qū)動部(2、3)。在本體上，形成有通過連結(jié)流路(11)而互相連通的至少一對主流路側(cè)閥室(117)及副流路側(cè)閥室(19)、與主流路側(cè)閥室連通的分支流路(9)、與主流路側(cè)閥室經(jīng)由在其底部中央開口的主流路側(cè)連通口(13)而連通的主流路(6)、與副流路側(cè)閥室經(jīng)由在其底部中央開口的副流路側(cè)連通口(15)而連通的副流路(7)。主流路側(cè)連通口及副流路側(cè)連通口分別通過驅(qū)動部的閥體(46、47)而開閉。進(jìn)而，連接流路及分支流路，被構(gòu)成為其底部與主流路側(cè)閥室及副流路側(cè)閥室的底部大致成同一平面。
文檔編號F16K41/00GK1599850SQ0282427
公開日2005年3月23日 申請日期2002年12月5日 優(yōu)先權(quán)日2001年12月6日
發(fā)明者花田敏廣, 濱田健志 申請人:旭有機(jī)材工業(yè)株式會社