專利名稱：用于制造工具和其他設(shè)備的可調(diào)支撐件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明總的來說涉及設(shè)備支撐件，特別涉及用于制造工具和其他設(shè)備的可調(diào)支撐件。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體器件通常用在多種類型的電子產(chǎn)品和消費(fèi)品的電路構(gòu)造中。集成電路和半導(dǎo)體器件在使用高專用化和所有權(quán)的設(shè)備和加工過程的專門結(jié)構(gòu)的工廠被制造。單獨(dú)的半導(dǎo)體元件的小本質(zhì)包括高集成電路，高可靠性以及它們對(duì)污染的敏感度的要求需要使用除塵室和專用的制造工具。
用于半導(dǎo)體制造的工具和設(shè)備通常放在兩個(gè)種類之一產(chǎn)生振動(dòng)的工具和接收振動(dòng)的工具。振動(dòng)產(chǎn)生工具的例子包括化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)(CMP)和其他轉(zhuǎn)動(dòng)或擺動(dòng)機(jī)器。對(duì)振動(dòng)敏感的工具的例子包括光學(xué)器件，例如燃燒工具和蝕刻器、掃描電子顯微鏡和檢查工具。
半導(dǎo)體除塵室通常設(shè)計(jì)具有升高的地板，該地板構(gòu)造具有許多矩形板，這些矩形板懸置在混凝土基層、分級(jí)厚板或者其他堅(jiān)實(shí)的基底之上。升高的地板設(shè)有電路、布線、管道、通風(fēng)、管道支架和排水系統(tǒng)的通道，上述的電路、布線等沿基底并圍繞基底延伸。在除塵室中的半導(dǎo)體制造工具和其他設(shè)備必須安裝到工作臺(tái)、底板、支架或者其他組件上，以穩(wěn)定和牢固的方式在活地板之上支撐工具的質(zhì)量，并使設(shè)備之間的任何振動(dòng)的傳遞最小化。如果源于轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)器的任何振動(dòng)被傳遞到振動(dòng)敏感設(shè)備，由這種振動(dòng)敏感設(shè)備進(jìn)行的制造過程可能被損壞。例如，許多光學(xué)燃燒器或蝕刻器是納米級(jí)的高精度工具。設(shè)備中的任何振動(dòng)可以引起跳動(dòng)或模糊光學(xué)焦點(diǎn)并產(chǎn)生集成電路中的缺陷。
制造工具經(jīng)常安裝到由剛性支座或“象腿”支撐的工作臺(tái)或底板，所述支座或“象腿”是位于工具工作臺(tái)的每個(gè)角或支撐面積下的短支架。升起的地板安置在設(shè)備支撐件周圍?，F(xiàn)有技術(shù)的支座的一個(gè)例子如圖1所示。制造工具10，如半導(dǎo)體除塵室中的CMP，由調(diào)平器支腿12支撐，每個(gè)支腿12具有腳14。調(diào)整螺母16轉(zhuǎn)動(dòng)以伸長和縮短支腿12，平衡制造工具10并為其提供支撐。
另一個(gè)已知的工具支撐件使用了一個(gè)剛性的焊接框架組件來支撐重型設(shè)備，例如，在數(shù)百到數(shù)千磅的范圍。工具支撐件使用一個(gè)相互連接的槽鋼形成的框架結(jié)構(gòu)，它們是被焊接或用螺栓固定到基底上。每個(gè)框架組件通常定制而建造，以便裝配在基底上的現(xiàn)有結(jié)構(gòu)中和其周圍，例如管道、水渠和排水管?？蚣芙M件很重，而且修建和維修都很費(fèi)時(shí)并昂貴，并且易于增加除塵室環(huán)境的污染?？蚣芙M件的剛性構(gòu)造使得在設(shè)備和除塵室布置中的移動(dòng)或改變變得困難和不靈活。如果需要移動(dòng)設(shè)備，經(jīng)常需要對(duì)于框架組件重要的計(jì)劃和重新工作，以滿足基底坡度和排水系統(tǒng)的要求，并避開在新區(qū)域內(nèi)的已有結(jié)構(gòu)和障礙。很多時(shí)候，框架組件必須完全重建。即使有仔細(xì)的測量和設(shè)計(jì)，由于許多商人進(jìn)入和接觸除塵室地板通道空間，也可以引起不可預(yù)見的復(fù)雜性。

發(fā)明內(nèi)容
在一個(gè)實(shí)施例中，本發(fā)明是一個(gè)用于支撐基底上方的設(shè)備的支撐件，該支撐件包括具有一個(gè)螺紋套管的主體；軸，該軸具有一個(gè)支撐該設(shè)備的支撐端和一個(gè)擰入主體的螺紋套管來調(diào)節(jié)支撐架高度的螺紋端；以及結(jié)合到主體的第一、第二和第三腿，其中每條腿包括一個(gè)垂直的槽式元件和一個(gè)對(duì)角斜撐件，該槽式元件與基底接觸，該對(duì)角斜撐件將垂直槽式元件結(jié)合到主體。
在另一個(gè)實(shí)施例中，本發(fā)明是一個(gè)可調(diào)高度的設(shè)備支撐架，包括一個(gè)主體和結(jié)合到該主體的第一、第二和第三腿，該主體具有一個(gè)螺旋擰入主體中的可伸長的軸，其中每條腿具有一個(gè)垂直的槽式元件和一個(gè)將垂直槽式元件結(jié)合到主體的對(duì)角斜撐件。
在又一個(gè)實(shí)施例中，本發(fā)明是用于支撐基底上方的設(shè)備的方法，包括提供一個(gè)用于支撐該設(shè)備的軸，轉(zhuǎn)動(dòng)穿過主體的軸的螺紋端以便升高和降低該設(shè)備，以及用第一、第二和第三腿支撐該主體，其中每條腿具有一個(gè)與基底相接觸的垂直槽件和一個(gè)將垂直槽件結(jié)合到主體的對(duì)角斜撐件。


圖1示出了現(xiàn)有技術(shù)的制造工具的支撐件；圖2示出了帶有活地板和工具支座組件的半導(dǎo)體除塵室；圖3a-3c示出了支撐半導(dǎo)體制造工具的四腿組件；圖4a和圖4b示出了四腿組件的特征；圖5a和圖5b示出了帶有更短的腿的四腿組件；圖6a和圖6b示出了帶有振動(dòng)隔離支承組件和系緊桿的四腿組件；圖7a和圖7b示出了具有腿延長件的四腿組件；圖8a和8b示出了四腿組件頭部件；圖9a和9b示出了帶有垂直管狀件和對(duì)角斜撐件的腿部件；圖10a-10c示出了帶有不同kick angle結(jié)構(gòu)的對(duì)角斜撐件；圖11a和11b示出了用于將管螺絲鎖定在位的鎖緊螺母；圖12示出了用于減少四腿組件頭部件的輪緣直徑的接頭圓盤；圖13示出了用于四腿組件頭部件的旋轉(zhuǎn)頭組件；
圖14示出了電纜系緊組件；圖15示出了鉤環(huán)和鏈系緊組件；以及圖16a和圖16b示出了用于手動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)管螺絲的活動(dòng)扳手。
具體實(shí)施例方式
半導(dǎo)體制造除塵室區(qū)域如圖2所示?；畹匕?0包括多個(gè)矩形板22，矩形板由支架24所支撐，支架24被擱在混凝土基層、分級(jí)厚板或者其他堅(jiān)實(shí)的基底25上。板22可以是24平方英寸，由鋁制造。活地板20圍繞工具支座組件26。工具支座組件26包括一個(gè)底板或工作臺(tái)28，在底板或工作臺(tái)28上安裝半導(dǎo)體制造工具或設(shè)備。底板28由四個(gè)支撐組件30(下文稱為四腿組件)支撐，這些支撐組件30與基底25接觸。底板28高出鄰近的活地板面板22，或者與鄰近的活地板面板22齊平。對(duì)角支桿32、直拉桿34和對(duì)角地板斜撐桿36通過將四腿組件30作為一個(gè)剛性的支柱結(jié)構(gòu)的支撐框架系統(tǒng)保持在一起，為工具支座組件26提供了剛性。
四腿組件30是負(fù)載的工具架或支撐件，適于在半導(dǎo)體設(shè)備上的除塵室安裝，該半導(dǎo)體設(shè)施用于安裝制造工具和其他設(shè)備。四腿組件30構(gòu)造有除塵室相容材料和保護(hù)涂層。半導(dǎo)體制造工具包括已知的用于產(chǎn)生振動(dòng)的設(shè)備如化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)(CMP)和其他轉(zhuǎn)動(dòng)和擺動(dòng)機(jī)器，以及對(duì)振動(dòng)敏感的設(shè)備如光學(xué)燃燒工具和蝕刻器、掃描電子顯微鏡和檢查工具。
制造工具可以安裝在剛性底板28上，底板28由一個(gè)或多個(gè)四腿組件30支撐。作為另一種選擇，制造工具40可以直接安裝到一個(gè)或多個(gè)四腿組件30上，如圖3a所示。四腿組件30位于制造工具40的每個(gè)角或其他加載面下方，以保持工具在基底25上方的理想高度。圖3b進(jìn)一步表示支撐制造工具40的一個(gè)角的四腿組件30的細(xì)節(jié)。四腿組件30的高度可被調(diào)整為，制造工具40的底面位于活地板20之下、與其平齊或在其之上?；畹匕?0可以容易地放置在制造工具40的所有側(cè)，以便方便的接近該設(shè)備。圖3c示出了位于活地板20上面的、帶有四腿組件30的制造工具40，四腿組件30穿過一個(gè)活地板面板20中的切口延伸，以便支撐制造工具的一個(gè)角。
圖4a示出了四腿組件30的進(jìn)一步的細(xì)節(jié)。四腿組件30包括四條腿46，每個(gè)都具有調(diào)平器螺絲和旋轉(zhuǎn)角組件48。在其他實(shí)施例中，四腿組件30可能具有三條腿46或五條或更多的腿46。調(diào)平器螺絲的螺絲桿被旋入螺母50，該螺母50被焊接在每條腿46的底部上。地震夾或帶52由螺母50鎖定，在地震的情況下，或假如工具支座組件26震動(dòng)或碰撞，它將四腿組件30穩(wěn)固地錨固到基底25。旋轉(zhuǎn)腳適合于基底上用于排水的坡度。腿46是焊接的鋼管和管部件，具有一個(gè)垂直管或者槽式元件80和一個(gè)對(duì)角斜撐件90。腿46的對(duì)角斜撐件用銷或插孔安裝到頭部或主體56。頭部56具有一個(gè)螺紋套管58。管螺絲60是外螺紋插孔螺絲軸，用于支撐、提升和使制造工具40和/或底板28水平。管螺絲60擰入具有內(nèi)螺紋的套管58中。為了在重載下升高容易，車縲紋為方形輪廓、小螺距并有特富龍(teflon)涂層。管螺絲60使四腿組件30在高度上可以調(diào)整，以適合基底25和制造工具40之間的任何距離或間隙。腿46也可以使用調(diào)平器螺絲和旋轉(zhuǎn)腳組件48獨(dú)立的被調(diào)整，以解決基底25中和其周圍的不平、高度的變化、溝槽、結(jié)構(gòu)和障礙物。
為了減少腿46的根部的彎矩，環(huán)62被用來將腿46保持在一起。腿46用螺栓、焊接或銷釘固定到環(huán)62上。環(huán)62包括附加的孔64來容納斜撐件、系梁和撐桿。腿46垂直管部件的頂部也具有焊接螺母66來容納斜撐件、系梁和撐桿。管螺絲60由焊接的圓形頭部68形成頂部，該頭部68支撐振動(dòng)隔離支承組件70。隔離支承組件70提供對(duì)從基底25接收的振動(dòng)的隔離，用于振動(dòng)敏感的制造工具和其他設(shè)備。隔離支承組件70還具有旋轉(zhuǎn)頭72，以在工作中，也就是當(dāng)進(jìn)行提升操作時(shí)容納底座或工具水準(zhǔn)測量?？刂茥U臂74有助于升高，可以利用它用手?jǐn)Q動(dòng)管螺絲60。在不使用時(shí)或水平空間有限時(shí)，控制桿臂74從頭部78擰下。頭部78還具有工具套筒扳手孔，以容納活動(dòng)扳手或其他專用工具來用手轉(zhuǎn)動(dòng)管螺絲60。與夾52相似的地震夾76連接到頭部72用于錨固底板28或制造工具40。四腿組件30的側(cè)視圖如圖4b所示。
四腿組件30被放置在底板28和/或制造工具40的每個(gè)角或需要載荷支撐的其他位置。腿46與用于堅(jiān)固基礎(chǔ)的基底25接觸。腿46接近基底25的部分，也就是垂直管部件80和調(diào)平器螺絲和旋轉(zhuǎn)腳組件48，機(jī)械地彼此隔離。基底25附近在垂直管部件80或組件48上或其周圍的腿46之間，沒有獨(dú)立的支撐。因此，使用分離和獨(dú)立的垂直槽式元件80，四腿組件30可以被轉(zhuǎn)動(dòng)和定向從而腿46跨過或避開基底上和周圍任何結(jié)構(gòu)和障礙物。換句話說，腿46可以越過側(cè)邊現(xiàn)有結(jié)構(gòu)和障礙物、在其下方、圍繞或沿著側(cè)邊現(xiàn)有結(jié)構(gòu)和障礙物放置，這些現(xiàn)有結(jié)構(gòu)和障礙物如管道系統(tǒng)、水管、管道支架和排水系統(tǒng)。調(diào)平器螺絲和旋轉(zhuǎn)腳組件48可以被調(diào)整，當(dāng)保持四腿組件30的中心線在垂直公差內(nèi)，解決基底的任何變形和坡度。控制桿臂74轉(zhuǎn)動(dòng)管螺絲60以升高或降低四腿組件30的整體高度并使隔離支承組件70和旋轉(zhuǎn)頭72與底板28和/或制造工具40接觸并支撐底板28和/或制造工具40。通過轉(zhuǎn)動(dòng)管螺絲60可以在高度上調(diào)整四腿組件30，以便在基底25之上的任何所需高度上支撐制造工具40。組件48和管螺絲60的螺紋特性使四腿組件30升高、降低、拉平和對(duì)準(zhǔn)幾乎任何制造工具。在一個(gè)實(shí)施例中，重約120磅的四腿組件30可以支撐高達(dá)8000磅的負(fù)載。四腿組件30提供了六個(gè)自由度x方向、y方向和z方向的位移，以及每個(gè)位移相應(yīng)的轉(zhuǎn)動(dòng)。
四腿組件30被設(shè)計(jì)并建造為適合活地板高度和坡度的變化、腿位置、混凝土地板中用于排水、溝槽線的傾斜，而且跨過并避開了(水、電、氣)管線、箱室、管道和其他固定結(jié)構(gòu)。四腿組件30可以在工廠或現(xiàn)場被組裝，包括套筒桿、斜撐件、撐桿、電纜和錨地。四腿組件30是剛性的、堅(jiān)固的，而且重量輕，可以由容易運(yùn)輸?shù)脑诂F(xiàn)場被快速安裝。附件、固定設(shè)備和錨固螺栓以及其他硬件都是一個(gè)尺寸裝配并可以相互替換的。
圖5a示出了具有用于腿46的較短垂直管部件的四腿組件30的另一個(gè)變形，適合淺的活地板20。圖中具有相同或相似功能的元件用相同的附圖標(biāo)記表示。在這個(gè)實(shí)施例中，當(dāng)沒有接收任何結(jié)構(gòu)附件時(shí)，由于腿46較短，用于腿46的垂直管部件80的頂部蓋有塑料塞82。對(duì)角斜撐件90在頭部56和環(huán)62之間通過槽86可轉(zhuǎn)動(dòng)的固定，用于腿46的自由轉(zhuǎn)動(dòng)，以避開基底25上或其周圍的障礙物例如管道、箱室、管件和其他機(jī)械結(jié)構(gòu)。頭部56使用固定螺絲釘84以將套管58鎖定在位，使用固定螺絲釘88將對(duì)角斜撐件90鎖定在位。固定螺絲釘94將頭部68鎖定在位。頭部68承受一個(gè)淺的、高載荷、短行程的振動(dòng)隔離支承組件96，該組件96具有承受基座板的球形頂部(圓頭)件。隔離支承組件96被設(shè)計(jì)為減少從振動(dòng)產(chǎn)生工具和設(shè)備傳遞到基底25的振動(dòng)，振動(dòng)產(chǎn)生工具和設(shè)備由四腿組件30支撐。四腿組件30的較短變形的側(cè)視圖如圖5b所示。
圖6a示出了帶有隔離支承組件98的短四腿組件30組件，該隔離支承組件98具有旋轉(zhuǎn)頭100以支撐底板28和/或制造工具40。隔離支承組件98為四腿組件30提供了堅(jiān)固的、長行程振動(dòng)隔離特性。頭部100的頂部獨(dú)立于隔離支承組件98而旋轉(zhuǎn)，以便在升高和調(diào)平制造工具40時(shí)提供轉(zhuǎn)動(dòng)自由度和安裝、操作的簡單性。圖6a還示出了包括螺紋桿108的拉桿組件106。桿108擰入垂直管部件80。螺母110固定拉桿組件106到底板28，提供地震連續(xù)特性，將底板28壓下到四腿組件30，四腿組件30又如圖4a所示用夾子52錨固到基底25。圖6b表示了帶有隔離支承組件98和旋轉(zhuǎn)頭100的短四腿組件30。
圖7a示出了帶有振動(dòng)隔離支承組件98和旋轉(zhuǎn)頭100的四腿組件30組件。腿延長組件116提供了延伸四腿組件30垂直長度和增加其載荷承受能力、同時(shí)減少了腿46上的應(yīng)力的機(jī)構(gòu)。帶有腿延長組件116的四腿組件30組件可以在高于基底25的更大的高度上支撐重載，而不需扣住。腿延長組件116包括垂直管或者槽式元件118，被插入斜撐或撐桿一拉桿件122的套管120。垂直管80也滑入套管120中并由固定螺絲釘124固定。腿延長組件116是一個(gè)調(diào)節(jié)器，它使多個(gè)腿延長組件被添加以進(jìn)一步地增加四腿組件30高度。使用一個(gè)或多個(gè)腿延長組件116，四腿組件30的高度可以在0.5到7.5英尺或更大的范圍內(nèi)。圖7b表示了帶有腿延長組件116的四腿組件30組件的側(cè)視圖。
圖8示出了帶有管螺 60和頭部68的四腿組件頭部件。控制桿臂74被螺栓或擰入頭部68中，轉(zhuǎn)動(dòng)管螺絲60。頭部68還具有固定螺絲釘孔132來固定匹配的隔離支承組件70或98、旋轉(zhuǎn)頭72、底板28或制造工具40。內(nèi)螺紋孔(tapped hole)134設(shè)有錨固地震夾或工具腿下壓件。圖8b表示四腿組件頭部件的側(cè)視圖。
圖9a示出了帶有套管式垂直管延長件140的腿46。對(duì)角斜撐件90被焊接到管延長件140上。延長件140具有一個(gè)被插入垂直管部件80的長度。延長件140可以被調(diào)節(jié)以增加腿46的整個(gè)長度。鎖緊螺母144將延長件140所要的長度保持在適當(dāng)?shù)奈恢蒙?。腿延長件140提供了腿46長度的單獨(dú)調(diào)整，解決了基底25中和其周圍的不平坦和結(jié)構(gòu)。圖9b表示了帶有套管式垂直管延長件140的腿46的側(cè)視圖。圖10a-10c示出了帶有不同的kick angle構(gòu)造的對(duì)角斜撐件90。
圖11a示出了用于將管螺絲60鎖定在適當(dāng)位置的鎖緊螺母150。鎖緊螺母150包括扳手孔152，用于用手的簡單操作，鎖定工具入口和手指邊緣154。鎖緊螺母150將管螺絲60緊固地保持在位并防止任何松動(dòng)、移動(dòng)或振動(dòng)。圖11b表示了鎖緊螺母150的俯視圖。
圖12表示了用于減小頭部68輪緣直徑的接頭圓盤158。在四腿組件30的一些較低載荷支承的應(yīng)用情況下，理想的是使用較小直徑的隔離支承組件和旋轉(zhuǎn)軸承。接頭圓盤158安裝到如圖8a所示的標(biāo)準(zhǔn)尺寸的頭部68上。每個(gè)接頭圓盤158可以改變尺寸以承受不同的隔離支承組件和旋轉(zhuǎn)軸承。
圖13示出了旋轉(zhuǎn)頭組件160，其安裝在頭部68與底板28和/或制造工具40之間以適合于承載表面的任何不平放置或水平測量。旋轉(zhuǎn)頭組件160具有球形蓋162，球形蓋162坐在相匹配的蓋座164內(nèi)，蓋座164具有特富龍涂層用于平滑旋轉(zhuǎn)。蓋162相對(duì)蓋座164有角度地并定向地自由轉(zhuǎn)動(dòng)，使四腿組件30保持垂直，同時(shí)為承載表面提供堅(jiān)固和均勻的支撐。當(dāng)基底25不水平或不平時(shí)，旋轉(zhuǎn)頭組件160也是有用的。當(dāng)?shù)装?8保持水平時(shí)，四腿組件30的中心線可以偏離垂直的。
圖14表示一個(gè)在腿46和制造工具40之間的電纜系緊組件170。電纜系緊組件170在一端具有一個(gè)吊環(huán)172，在另一端具有線圈174，還具有互連電纜176和電纜夾178。吊環(huán)172保持制造工具40，同時(shí)線圈174包圍腿46，以便在地震時(shí)或者假如工具基座組件26震動(dòng)或碰撞的情況下，錨固制造工具或被支撐的設(shè)備。底板28具有電纜176的穿過孔。
圖15表示了制造工具系緊組件的替換實(shí)施例，具有連接在腿46和制造工具40之間的聯(lián)鎖的鉤環(huán)和鏈組件180。鉤環(huán)和鏈組件180提供了一個(gè)錨，用于從制造工具40通過底板28到四腿組件30、最終借助夾52到基底25的地震連續(xù)。
圖16示出了帶有手柄192和焊接夾具194的活動(dòng)扳手190?；顒?dòng)扳手與孔130配合，用以手動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)管螺絲60并調(diào)整四腿組件頭部件的高度。在一個(gè)替換實(shí)施例中，可以使用電動(dòng)機(jī)來轉(zhuǎn)動(dòng)管螺絲60并調(diào)整四腿組件頭部件的高度。
如前述圖中所示的，四腿組件30由可互換的元件組合而構(gòu)成。這些特點(diǎn)使四腿組件30易于適應(yīng)基底25的承載要求、空間、結(jié)構(gòu)、障礙物和表面定向。四腿組件30可以放置在許多現(xiàn)有結(jié)構(gòu)和障礙物內(nèi)或其周圍，同時(shí)解決了基底表面的平坦性和水平的變化。四腿組件30可以被調(diào)整到很大的高度范圍，以配合基底25上面制造工具40的間隙要求。四腿組件30支撐制造工具40是隨環(huán)境和條件而變化的。四腿組件30很容易被取下并是可移動(dòng)的，以便布置和支撐其他設(shè)備。
四腿組件30有很多其他的應(yīng)用。四腿組件30能夠用在建造、改造和其他需要支撐物體的區(qū)域。四腿組件30為固定框架組件提供了方便并節(jié)省成本的可供選擇的辦法，并可適于安裝在現(xiàn)有環(huán)境內(nèi)和周圍。
本發(fā)明結(jié)合優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行了描述。本領(lǐng)域技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)到，在不背離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可以作形式上和細(xì)節(jié)上的改變，等同物可以替代本發(fā)明的元素。在不背離本發(fā)明的實(shí)質(zhì)范圍內(nèi)，根據(jù)本發(fā)明的教導(dǎo)，可以作許多修改以適合特殊狀態(tài)或材料。因此，本發(fā)明意在不限于實(shí)施本發(fā)明所披露的具體實(shí)施例，而是本發(fā)明將包括落入權(quán)利要求范圍內(nèi)的所有實(shí)施例。
權(quán)利要求
1.一種用于支撐基底上的設(shè)備的支撐件，包括一個(gè)具有螺紋套管的主體；一根軸，該軸具有一個(gè)支撐該設(shè)備的支撐端和一個(gè)擰入主體的螺紋套管來調(diào)節(jié)支撐件高度的螺紋端；以及結(jié)合到主體的第一、第二和第三腿，其中每條腿包括一個(gè)垂直的槽式元件和一個(gè)對(duì)角斜撐件，該槽式元件與基底接觸，該對(duì)角斜撐件將垂直槽式元件結(jié)合到主體。
2.如權(quán)利要求1所述的支撐件，還包括一條第四腿，該腿具有一個(gè)垂直的槽式元件和一個(gè)對(duì)角斜撐件，該槽式元件與基底接觸，該對(duì)角斜撐件將垂直槽式元件結(jié)合到主體。
3.如權(quán)利要求1所述的支撐件，其中所述腿的垂直槽式元件在基底附近的部分被機(jī)械地隔離以避開構(gòu)造物。
4.如權(quán)利要求1所述的支撐件，還包括放置在所述軸的支撐端的隔離支承組件，用于提供對(duì)設(shè)備的隔離。
5.如權(quán)利要求4所述的支撐件，其中所述隔離支承組件包括旋轉(zhuǎn)頭用來以自由轉(zhuǎn)動(dòng)的方式支撐該設(shè)備。
6.如權(quán)利要求1所述的支撐件，其中所述腿在長度上是可延長的。
7.如權(quán)利要求1所述的支撐件，還包括結(jié)合到腿的腿延長組件，用于延長支撐件的高度。
8.如權(quán)利要求1所述的支撐件，還包括可調(diào)整的旋轉(zhuǎn)腳，它結(jié)合到與基底接觸的垂直槽式元件。
9.如權(quán)利要求1所述的支撐件，還包括用于將所述腿穩(wěn)固到基底的夾具。
10.如權(quán)利要求1所述的支撐件，還包括結(jié)合到軸的控制桿臂，用于轉(zhuǎn)動(dòng)軸的螺紋端。
11.如權(quán)利要求1所述的支撐件，其中所述對(duì)角斜撐件以象用銷釘一樣的方式被固定到主體上，用于所述腿的自由轉(zhuǎn)動(dòng)。
12.一種四腿支撐架，包括一根具有一個(gè)支撐端和一個(gè)螺紋端的軸；一個(gè)被結(jié)合的用來容納該軸的螺紋端的主體；以及結(jié)合到主體的至少四條腿，其中每條腿都包括一個(gè)垂直的槽式元件和一個(gè)將垂直槽式元件結(jié)合到主體的對(duì)角斜撐件。
13.如權(quán)利要求12所述的四腿支撐架，其中所述主體包括一個(gè)被結(jié)合的用于容納該軸的螺紋端的螺紋套管。
14.如權(quán)利要求12所述的四腿支撐架，還包括一個(gè)放置在該軸的支撐端的隔離支承組件。
15.如權(quán)利要求12所述的四腿支撐架，其中所述腿在長度上是可延長的。
16.如權(quán)利要求12所述的四腿支撐架，還包括結(jié)合到腿的腿延長組件，用于延長四腿支撐架的高度。
17.如權(quán)利要求12所述的四腿支撐架，其中所述對(duì)角斜撐件以象用銷釘一樣的方式被固定到主體上，用于所述腿的自由轉(zhuǎn)動(dòng)。
18.一種高度可調(diào)的設(shè)備支撐架，包括一個(gè)包括可延長軸的主體，該可延長軸擰入該主體；以及結(jié)合到該主體的第一、第二和第三腿，其中每條腿包括一個(gè)垂直的槽式元件和一個(gè)對(duì)角斜撐件，該對(duì)角斜撐件將垂直槽式元件結(jié)合到主體。
19.如權(quán)利要求18所述的高度可調(diào)的設(shè)備支撐架，還包括一條第四腿，該腿具有一個(gè)垂直的槽式元件和一個(gè)對(duì)角斜撐件，該對(duì)角斜撐件將垂直槽式元件結(jié)合到主體。
20.如權(quán)利要求18所述的高度可調(diào)的設(shè)備支撐架，還包括放置在所述可延長軸的一端的隔離支承組件。
21.如權(quán)利要求20所述的高度可調(diào)的設(shè)備支撐架，其中所述隔離支承組件包括一個(gè)可自由轉(zhuǎn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)頭。
22.如權(quán)利要求18所述的高度可調(diào)的設(shè)備支撐架，其中所述腿在長度上是可延長的。
23.如權(quán)利要求18所述的高度可調(diào)的設(shè)備支撐架，還包括結(jié)合到腿的腿延長組件，用于延長高度可調(diào)的設(shè)備支撐架的高度。
24.一種支撐在基底上的設(shè)備的方法，包括提供一根支撐該設(shè)備的軸；轉(zhuǎn)動(dòng)該軸的螺紋端穿過主體，以便升高和降低該設(shè)備；以及用第一、第二和第三腿支撐該主體，其中每條腿包括一個(gè)垂直的槽式元件和一個(gè)對(duì)角斜撐件，該槽式元件與基底接觸，該對(duì)角斜撐件將垂直槽式元件結(jié)合到主體。
25.如權(quán)利要求24所述的方法，還包括步驟提供一條第四腿，該腿具有一個(gè)垂直的槽式元件和一個(gè)對(duì)角斜撐件，該槽式元件與基底接觸，該對(duì)角斜撐件將垂直槽式元件結(jié)合到主體。
26.如權(quán)利要求24所述的方法，還包括步驟提供一放置在所述軸的支撐端的隔離支承組件。
27.如權(quán)利要求24所述的方法，還包括步驟延長所述腿的長度。
28.如權(quán)利要求24所述的方法，還包括步驟提供一結(jié)合到腿的腿延長組件，用于延長該設(shè)備的高度。
全文摘要
一個(gè)可調(diào)支撐架(30)支撐基底上方的設(shè)備。主體(56)具有一個(gè)螺紋套管(58)。軸(60)具有一個(gè)支撐該設(shè)備的支撐端和一個(gè)擰入主體的螺紋套管來調(diào)節(jié)支撐件高度的螺紋端。隔離支承組件(70)安置在軸的支撐端，提供該設(shè)備的隔離。四條腿(46)連接到主體上。每條腿具有一個(gè)垂直的槽式元件(80)和一個(gè)對(duì)角斜撐件(90)，該槽式元件(80)與基底接觸，該對(duì)角斜撐件(90)將垂直槽式元件結(jié)合到主體。這些腿的長度是可以獨(dú)立延伸的。腿伸長組件(116)可以用于伸長支撐架的高度。
文檔編號(hào)F16M7/00GK1666058SQ03815841
公開日2005年9月7日 申請(qǐng)日期2003年6月13日 優(yōu)先權(quán)日2002年6月13日
發(fā)明者佐爾塔·A·凱梅尼 申請(qǐng)人:曲格萊維蒂事業(yè)有限公司