專利名稱：真空用充氣過壓溢流閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是一種真空氣壓保護(hù)裝置，用于當(dāng)往離子注入機(jī)的真空系統(tǒng)中充氮?dú)鈺r(shí)，當(dāng)內(nèi)部壓力高于所調(diào)定壓力時(shí)，自動溢流排氣，防止由于過壓對部分系統(tǒng)元件的破壞或發(fā)生壓力爆炸，起到保護(hù)真空系統(tǒng)安全運(yùn)行的作用。屬于半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
離子注入機(jī)屬于粒子加速器的一種，被摻雜元素的離子從離子源處電離，再經(jīng)分析器篩選出所需離子，然后離子束經(jīng)過掃描和加速，最后到達(dá)靶室注入到硅片中去。離子運(yùn)動過程的腔體必需保持在高真空環(huán)境下。在對真空系統(tǒng)進(jìn)行維護(hù)時(shí)，需向真空腔體和真空管道中充填潔凈氮?dú)?，保持系統(tǒng)的潔凈，縮短真空再建立的時(shí)間。
這種充填氮?dú)?，為高壓氣體，當(dāng)真空腔體內(nèi)壓力達(dá)到大氣壓力后，依然可繼續(xù)向腔體充填氮?dú)?，此時(shí)腔體內(nèi)部壓力會高于外部大氣，形成正壓，若沒有過壓溢流裝置溢流，腔內(nèi)壓力會持續(xù)增高，直到與氣源壓力平衡，這種高壓易對部分系統(tǒng)元件產(chǎn)生破壞，嚴(yán)重時(shí)會引發(fā)系統(tǒng)壓力爆炸，造成人身傷害。市場上有類似產(chǎn)品，但一般都不適用于高真空環(huán)境，

發(fā)明內(nèi)容
為了解決這個(gè)問題，本發(fā)明設(shè)計(jì)了真空用充氣過壓溢流閥。
本發(fā)明的充氣過壓溢流閥裝置，主要構(gòu)成是墊圈1，KF接口2，彈簧3，溢流密封蓋板4，外罩5，內(nèi)六角圓柱頭螺釘6，O型密封圈7和O型密封圈8，彈性擋圈9，卡套接頭10，如圖1所示。
所述的墊圈1是墊在彈性擋圈9和彈簧3之間，限定和調(diào)節(jié)彈簧3。
所述的KF接口2為閥體的結(jié)構(gòu)接口，外罩5通過內(nèi)六角圓柱頭螺釘6連接到KF接口2上，成一密封腔體，阻止溢流氣體直接進(jìn)入外部環(huán)境。密封貼合面內(nèi)裝O型密封圈7，外罩5頂裝卡套接頭10。
所述的O型密封圈7密封KF接口2和外罩5的貼合面。
所述的O型密封圈8密封KF接口2和溢流密封蓋板4的貼合面。
KF接口2內(nèi)有圓孔平臺，放置彈簧3。
所述的彈簧3套在密封蓋板4下端長桿外面，上端和KF接口2的圓孔平臺的平臺面接觸，下端與墊片1接觸。當(dāng)充氣壓力大于彈簧3的預(yù)調(diào)壓力時(shí)，彈簧3被壓縮受力產(chǎn)生形變，充氣過壓溢流閥開始溢流。當(dāng)充氣過壓溢流閥連接的兩端壓力達(dá)到平衡時(shí)，彈簧3回彈，推動溢流密封蓋板4密封。
所述的溢流密封蓋板4在充氣過壓溢流閥中起著閥芯的作用?？拷露嗣嫣幱行A環(huán)槽，卡裝彈性擋圈9，下端長桿中心有溢流通道孔。
所述的內(nèi)六角圓柱頭螺釘6連接KF接口2和外罩5。
所述的彈性擋圈9卡裝在溢流密封蓋板4的下端長桿下端面處的圓環(huán)槽內(nèi)，擋住墊片1。
所述的卡套接頭10是快插接頭，內(nèi)插排氣管道，卡套接頭10用錐管螺紋連接到外罩5上。用于收集真空腔體溢流排出的氣體。
本發(fā)明通過預(yù)調(diào)定溢流壓力來設(shè)計(jì)彈簧3的簧絲直徑和圈數(shù)，當(dāng)充氣壓力超出預(yù)調(diào)壓力時(shí)，溢流密封蓋板4被頂起，氣體就溢流，彈簧3被壓縮；當(dāng)溢流密封蓋板4兩邊壓力回到平衡時(shí)，彈簧3在回彈力作用下，又頂推固定在溢流密封蓋板4上的墊圈1，使溢流密封蓋板4回彈，起到密封作用。
溢流閥卡套采用真空標(biāo)準(zhǔn)接口KF系列，互換性強(qiáng)，O型密封圈7、O型密封圈8和內(nèi)六角圓柱頭螺釘6都是標(biāo)準(zhǔn)件，只需根據(jù)設(shè)計(jì)尺寸選用。整套裝置成本低，安全可靠性高，安裝調(diào)試簡單。且用于不同充氣壓力只需設(shè)計(jì)不同壓縮比彈簧，通用性好。


圖1為真空用充氣過壓溢流閥的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中，墊圈1，KF接口2，彈簧3，溢流密封蓋板4，外罩5，內(nèi)六角圓柱頭螺釘6，O型密封圈7和O型密封圈8，彈性擋圈9，卡套接頭10。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步介紹，但不作為對本發(fā)明的限定。
參考圖1，真空溢流閥裝置主要構(gòu)成是墊圈1，KF接口2，彈簧3，溢流密封蓋板4，外罩5，內(nèi)六角圓柱頭螺釘6，O型密封圈7和O型密封圈8，彈性擋圈9，卡套接頭10。
KF接口2與真空系統(tǒng)相連，所充入氣體由溢流密封蓋板4的下端通孔進(jìn)入，氣體壓力作用在溢流密封蓋板4上，當(dāng)壓力大于彈簧3的預(yù)壓力時(shí)，溢流密封蓋板4被頂起，彈簧3被壓縮，溢流。當(dāng)溢流到密封蓋板4兩端氣壓平衡時(shí)，在彈簧3的回彈力作用下，溢流密封蓋板4下移，自動密封。
本發(fā)明的特定實(shí)施例已對本發(fā)明做了詳盡說明。本領(lǐng)域技術(shù)人員在不背離本發(fā)明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構(gòu)成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
權(quán)利要求
1.真空用充氣過壓溢流閥，其特征在于，由下列部件構(gòu)成墊圈(1)，KF接口(2)，彈簧(3)，溢流密封蓋板(4)，外罩(5)，內(nèi)六角圓柱頭螺釘(6)，O型密封圈(7)和O型密封圈(8)，彈性擋圈(9)，卡套接頭(10)；所述的墊圈(1)是墊在彈性擋圈(9)和彈簧(3)之間，限定和調(diào)節(jié)彈簧(3)；所述的KF接口(2)為閥體的結(jié)構(gòu)接口，外罩(5)通過內(nèi)六角圓柱頭螺釘(6)連接到KF接口(2)上，成一密封腔體，阻止溢流氣體直接進(jìn)入外部環(huán)境；所述的O型密封圈(7)密封KF接口(2)和外罩(5)的貼合面；所述的O型密封圈(8)密封KF接口(2)和溢流密封蓋板(4)的貼合面；KF接口(2)內(nèi)有圓孔平臺，放置彈簧(3)；所述的彈簧(3)套在溢流密封蓋板(4)下端長桿外面，上端和KF接口(2)的圓孔平臺的平臺面接觸，下端與墊片1接觸；所述的溢流密封蓋板(4)在充氣過壓溢流閥中起著閥芯的作用，靠近下端面處有小圓環(huán)槽，卡裝彈性擋圈(9)，下端長桿中心有溢流通道孔；所述的彈性擋圈(9)卡裝在溢流密封蓋板(4)的下端長桿下端面處的圓環(huán)槽內(nèi)，擋住墊片(1)；所述的卡套接頭(10)是快插接頭，內(nèi)插排氣管道，卡套接頭(10)用錐管螺紋連接到外罩(5)上。
全文摘要
本發(fā)明涉及應(yīng)用于離子注入機(jī)的真空系統(tǒng)過壓保護(hù)裝置，具體為真空用過壓溢流閥，當(dāng)內(nèi)部壓力高于所調(diào)定壓力時(shí)，自動溢流排氣，防止由于過壓對部分系統(tǒng)元件的破壞或發(fā)生壓力爆炸，起到保護(hù)真空系統(tǒng)安全運(yùn)行的作用。
文檔編號F16K17/04GK101038041SQ200610065120
公開日2007年9月19日 申請日期2006年3月17日 優(yōu)先權(quán)日2006年3月17日
發(fā)明者唐景庭, 彭立波, 姚琛, 鐘新華 申請人:北京中科信電子裝備有限公司