專利名稱：一種三氯氧磷的安全輸送方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及氣體輸送方法，尤其涉及一種三氯氧磷的安全輸送方法。
背景技術(shù)：
三氯氧磷(POCl3)是無色透明液體，屬于液態(tài)磷源，用于N-型半導(dǎo)體的擴 散摻雜。與磷垸相比，POCb具有毒性低、副產(chǎn)物少、工藝控制簡單等優(yōu)點，
在太陽能、集成電路等行業(yè)應(yīng)用廣泛。
由于POCl3屬于強腐蝕性、強氧化性、劇毒、遇水劇烈反應(yīng)的化學(xué)品，目
前用戶使用的均為石英瓶容器(0.4 1.5L)，并采用PFA閥門。作為運輸和輸 送容器。其缺點是玻璃容器易碎，換瓶頻繁、操作危險，泄漏風(fēng)險高，純度風(fēng) 險大，人力成本高，物流和環(huán)保成本高。
國內(nèi)某著名太陽能客戶，其POCl3月消耗量是800kg，采用400mL的石英 瓶，需要1200瓶。由于換瓶操作需要穿戴呼吸器和防化服，且每天的源瓶更 換頻繁，給現(xiàn)場操作人員帶來了很大困擾。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的就是為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷而提供一種運輸方 便，安全可靠的三氯氧磷的安全輸送方法。
本發(fā)明的目的可以通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn) 一種三氯氧磷的安全輸送方 法，其特征在于，該方法采用新型三氯氧磷輸送裝置，該輸送裝置包括源瓶、 自動補液裝置、鼓泡器、流量控制；所有容器和閥門均經(jīng)過特殊防腐處理，可 確保三氯氧磷的純度。
所述的源瓶為圓筒形，容積19L，采用不銹鋼SS316L，配置兩個高純隔膜 閥，用于進氣和出液，頂部設(shè)閥門保護桿。
所述的自動補液裝置采用高純氮氣，將三氯氧磷壓送到擴散爐附近的鼓泡
器內(nèi)，供液信號來源于鼓泡器的需求指令，補液裝置可容納兩個鋼瓶，配置電 子秤，監(jiān)測鋼瓶重量，以實現(xiàn)左右切換，化學(xué)品輸送面板均采用防腐處理，設(shè) 備采用抽風(fēng)柜體，配置泄漏檢測器；底部采用110%容納溢流，配置溢出液位 探頭；采用兩塊獨立的面板，補液裝置配置高真空隔膜泵，以便更換鋼瓶時輔 助吹掃。
所述的面板為氣體面板、液體控制面板。
所述的鼓泡器使用氮氣，將液體蒸汽攜帶至擴散爐管，鼓泡器配置液位開 關(guān)，在低液位時，且氣體出口閥門關(guān)閉的情況下，補液閥門將自動打開，鼓泡 器還配置了溫度計套管，用于監(jiān)測化學(xué)品溫度，鼓泡器將被置于現(xiàn)場已經(jīng)有的 恒溫箱內(nèi)，用于控制溫度。
所述的流量控制由質(zhì)量流量控制器控制攜帶氣體在鼓泡器上游，下游通過 限流孔板，平衡兩路氣體的流量。
所述的三氯氧磷的輸送管線采用雙套管，內(nèi)管為PFA材質(zhì)，外管為不銹鋼， 中間采用氮氣吹掃，防止空氣中水分滲漏至PFA管線內(nèi)部。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點-
1) 新型19升容器運輸方便，安全可靠，給物流操作帶來極大便利；
2) 基本杜絕人工更換石英容器，徹底消除安全隱患；
3) 實現(xiàn)連續(xù)供液，提高產(chǎn)品質(zhì)量和工藝的穩(wěn)定性；
4) 大大降低生產(chǎn)成本、物流成本；
5) 有效降低環(huán)境污染。


圖1為本發(fā)明三氯氧磷的安全輸送裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖及具體實施例對本發(fā)明作進一步說明。 實施例
如圖1所示， 一種三氯氧磷的安全輸送方法，該方法采用一種新型三氯氧 磷的安全輸送裝置，該輸送裝置主要包括四個部分19L源瓶容器l、自動補
液裝置2、鼓泡器3、流量控制等。所有容器和閥門均經(jīng)過特殊防腐處理，可
確保POCl3的純度。
源瓶為圓筒形，容積19L，采用不銹鋼SS316L，配置兩個高純隔膜閥，用 于進氣和出液，頂部設(shè)閥門保護桿。
自動補液裝置2采用高純氮氣，將POCl3壓送到擴散爐4附近的l號鼓泡 器31和2號鼓泡器32內(nèi)。供液信號來源于鼓泡器的需求指令。補液裝置可容 納兩個鋼瓶，配置電子秤，監(jiān)測鋼瓶重量，以實現(xiàn)左右切換?；瘜W(xué)品輸送面板 均采用防腐處理。設(shè)備采用抽風(fēng)柜體，配置泄漏檢測器；底部采用110%容納 溢流，配置溢出液位探頭；采用兩塊獨立的面板(氣體面板、液體控制面板)。 補液裝置配置高真空隔膜泵，以便更換鋼瓶時輔助吹掃。
鼓泡器使用氮氣，將液體蒸汽攜帶至l號擴散爐管41、 2號擴散爐管42、 3號擴散爐管43、 4號擴散爐管44。鼓泡器配置液位開關(guān)。在低液位時，且氣 體出口閥門關(guān)閉的情況下，補液閥門將自動打開。鼓泡器還配置了溫度計套管， 用于監(jiān)測化學(xué)品溫度。鼓泡器將被置于現(xiàn)場已經(jīng)有的恒溫箱內(nèi)，用于控制溫度。
攜帶氣體在鼓泡器上游由質(zhì)量流量控制器(MFC)控制。下游通過限流孔板， 平衡兩路氣體的流量。
POCL3輸送管線采用雙套管，內(nèi)管為PFA材質(zhì)，外管為不銹鋼。中間采用 氮氣吹掃，防止空氣中水分滲漏至PFA管線內(nèi)部。
權(quán)利要求
1.一種三氯氧磷的安全輸送方法，其特征在于，該方法采用新型三氯氧磷輸送裝置，該輸送裝置包括源瓶、自動補液裝置、鼓泡器、流量控制；所有容器和閥門均經(jīng)過特殊防腐處理，可確保三氯氧磷的純度。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三氯氧磷的安全輸送方法，其特征在于， 所述的源瓶為圓筒形，容積19L，采用不銹鋼SS316L，配置兩個高純隔膜閥， 用于進氣和出液，頂部設(shè)閥門保護桿。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三氯氧磷的安全輸送方法，其特征在于， 所述的自動補液裝置采用高純氮氣，將三氯氧磷壓送到擴散爐附近的鼓泡器 內(nèi)，供液信號來源于鼓泡器的需求指令，補液裝置可容納兩個鋼瓶，配置電子 秤，監(jiān)測鋼瓶重量，以實現(xiàn)左右切換，化學(xué)品輸送面板均采用防腐處理，設(shè)備 采用抽風(fēng)柜體，配置泄漏檢測器；底部采用110%容納溢流，配置溢出液位探 頭；采用兩塊獨立的面板，補液裝置配置高真空隔膜泵，以便更換鋼瓶時輔助 吹掃。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種三氯氧磷的安全輸送方法，其特征在于， 所述的面板為氣體面板、液體控制面板。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三氯氧磷的安全輸送方法，其特征在于， 所述的鼓泡器使用氮氣，將液體蒸汽攜帶至擴散爐管，鼓泡器配置液位開關(guān)， 在低液位時，且氣體出口閥門關(guān)閉的情況下，補液閥門將自動打開，鼓泡器還 配置了溫度計套管，用于監(jiān)測化學(xué)品溫度，鼓泡器將被置于現(xiàn)場已經(jīng)有的恒溫 箱內(nèi)，用于控制溫度。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三氯氧磷的安全輸送方法，其特征在于， 所述的流量控制由質(zhì)量流量控制器控制攜帶氣體在鼓泡器上游，下游通過限流 孔板，平衡兩路氣體的流量。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三氯氧磷的安全輸送方法，其特征在于， 所述的三氯氧磷的輸送管線采用雙套管，內(nèi)管為PFA材質(zhì)，外管為不銹鋼，中 間采用氮氣吹掃，防止空氣中水分滲漏至PFA管線內(nèi)部。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種三氯氧磷的安全輸送方法，該方法采用新型三氯氧磷輸送裝置，該輸送裝置包括源瓶、自動補液裝置、鼓泡器、流量控制；所有容器和閥門均經(jīng)過特殊防腐處理，可確保三氯氧磷的純度。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有運輸方便，安全可靠，給物流操作帶來極大便利等優(yōu)點。
文檔編號F16L9/18GK101358686SQ20071004445
公開日2009年2月4日 申請日期2007年8月1日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月1日
發(fā)明者李東升 申請人:上海正帆超凈技術(shù)有限公司