專利名稱：一種固定機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及固定技術(shù)，尤其涉及一種固定機(jī)構(gòu)。
技術(shù)背景半導(dǎo)體制造中所使用的諸多機(jī)臺(tái)(例如刻蝕機(jī)臺(tái)或氣相沉積機(jī)臺(tái)等)均設(shè) 置有一供晶圓進(jìn)出的開口，為避免機(jī)臺(tái)中的生成物污染環(huán)境，同時(shí)也避免外界 的污染物進(jìn)入機(jī)臺(tái)，機(jī)臺(tái)針對該開口設(shè)置有伸縮門，當(dāng)晶圓進(jìn)出機(jī)臺(tái)時(shí)，該伸 縮門從堵塞開口的位置降下以露出開口供晶圓進(jìn)出，當(dāng)無晶圓進(jìn)出該機(jī)臺(tái)時(shí)， 該伸縮門升到可堵塞該開口的位置。該伸縮門與一升降軸連接，并在升降軸的 驅(qū)動(dòng)下做升降運(yùn)動(dòng)。參見圖1，顯示了升降軸和伸縮門間的連接結(jié)構(gòu)示意圖，如圖所示，升降軸1和伸縮門2通過固定機(jī)構(gòu)3連接固定，該固定才幾構(gòu)3包括螺釘30和兩連接固 定件31、 32,該連接固定件31、 32為相同的柱體，該升降軸1和伸縮門2均設(shè) 置有與該螺釘30相匹配的第一螺紋孔10和20,該第一螺紋孔20還為埋頭螺紋 孔，其包括相連通且分別設(shè)置在伸縮門2正面的埋頭孔200和設(shè)置在伸縮門2 背面的螺紋孔201，該升降軸1還設(shè)置有恰容許兩連接固定件31、 32穿過的通 孔ll、 12,該伸縮門2對應(yīng)該連接固定件31、 32設(shè)置有盲孔21、 22,該兩固 定件31、 32和盲孔21、 22通過榫卯連接方式連接。當(dāng)通過固定機(jī)構(gòu)3將升降 軸1和伸縮門2固定在一起時(shí)，需首先將兩固定件31、 32的一端楫接在盲孔21、 22中，該兩固定件31、 32的另一端放置在通孔11、 12中，然后再通過該螺4丁 30與第一螺紋孔10和20旋合。但上述兩固定件31、 32易從盲孔21和22中松脫，當(dāng)其松脫時(shí)，維修人員 無法將固定件31、 32再重新牢固的固定在盲孔21和22中，此時(shí)伸縮門的重力 完全通過螺釘30和與其旋合的第一螺紋孔10和20承擔(dān)，長此以往將會(huì)造成螺 釘30、第一螺紋孔10和20的螺牙磨損，從而會(huì)造成伸縮門2從升降軸1上的松脫，當(dāng)伸縮門2升降時(shí)會(huì)與刻蝕機(jī)臺(tái)的腔室壁發(fā)生碰撞，甚至?xí)鲎矎拈_口進(jìn)入機(jī)臺(tái)的晶圓，另外，需頻繁的更換升降軸1和伸縮門2，如此將會(huì)造成不必 要的經(jīng)濟(jì)損失。因此，如何提供一種固定機(jī)構(gòu)以提高伸縮門和升降軸的使用壽命，又能避 免伸縮門和腔室壁或晶圓發(fā)生碰撞，已成為業(yè)界亟待解決的技術(shù)問題。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種固定機(jī)構(gòu)，通過所述固定機(jī)構(gòu)可提高伸縮 門和升降軸的使用壽命，大大節(jié)約成本。本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的 一種固定機(jī)構(gòu)，用于將一伸縮門固定在 一升降軸上，該伸縮門和該升降軸上均設(shè)置有貫通的第一螺紋孔，該伸縮門背 面上還在第一螺紋孔兩側(cè)對稱設(shè)置有兩結(jié)合部，該固定機(jī)構(gòu)包括一與該第一螺 紋孔相匹配的螺釘以及兩連接固定件，該結(jié)合部為第二螺紋孔，該連接固定件 一端具有與該第二螺紋孔相匹配的螺紋。在上述的固定機(jī)構(gòu)中，該第二螺紋孔為盲孔螺紋孔。 在上述的固定機(jī)構(gòu)中，該第一螺紋孔的直徑大于該第二螺紋孔的直徑。 在上述的固定機(jī)構(gòu)中，該伸縮門的第一螺紋孔為埋頭螺紋孔，該埋頭螺紋 孔包括相連通且分別設(shè)置在伸縮門正面的埋頭孔和設(shè)置在伸縮門背面的螺紋 孔。在上述的固定機(jī)構(gòu)中，該螺釘穿過該埋頭螺紋孔和該升降軸上的第一螺紋 孔將該伸縮門固定在該升降軸上。在上述的固定機(jī)構(gòu)中，該升降軸在第 一螺紋孔兩側(cè)對稱設(shè)置有與該兩連接 固定件另 一端相匹配的兩通孔，該兩連接固定件的一端通過螺紋旋合在該第二 螺紋孔中后，其另一端恰-沒置在該兩通孔中。與現(xiàn)有技術(shù)中連接固定件與伸縮門通過榫卯固定方式易松脫而造成伸縮門 和升降軸使用壽命的降低相比，本實(shí)用新型的固定機(jī)構(gòu)將連接固定件與伸縮門 的連接方式改為螺絲旋合固定，從而可在連接固定件松脫時(shí)更換連接固定件， 從而可大大延長伸縮門和升降軸的使用壽命，并且可避免晶圓在進(jìn)入刻蝕機(jī)臺(tái) 時(shí)伸縮門從升降軸上松脫而造成晶圓損壞的事情發(fā)生，大大提高了固定的安全性和可靠性。

本實(shí)用新型的固定機(jī)構(gòu)由以下的實(shí)施例及附圖給出。圖1為升降軸和伸縮門通過現(xiàn)有的固定機(jī)構(gòu)連接固定的分解結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為升降軸和伸縮門通過本實(shí)用新型的固定機(jī)構(gòu)連接固定的分解結(jié)構(gòu)示 意圖。
具體實(shí)施方式
以下將對本實(shí)用新型的固定機(jī)構(gòu)作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。參見圖2，顯示了升降軸和伸縮門間的連接結(jié)構(gòu)示意圖，如圖所示，升降軸 1和伸縮門4通過本實(shí)用新型的固定機(jī)構(gòu)5連接固定，所述固定機(jī)構(gòu)5包括螺釘 50和兩連接固定件51、 52,所述升降軸1和伸縮門4均設(shè)置有貫通的且與所述 螺釘50相匹配的第一螺紋孔10和40,所述第一螺紋孔40為埋頭螺紋孔，其包 括相連通且分別設(shè)置在伸縮門4正面的埋頭孔400和設(shè)置在伸縮門4背面的螺 紋孔401。所述伸縮門4對應(yīng)所述連接固定件51、 52設(shè)置有第二螺紋孔41、 42，所述 第二螺紋孔41、 42為盲孔螺紋孔，其對稱分布在螺紋孔401的兩側(cè)，所述第一 螺紋孔10和40的直徑大于所述第二螺紋孔41、 42的直徑。所述連接固定件51、 52—端具有與第二螺紋孔41、 42相匹配的螺紋510、 520,所述升降軸1在第 一螺紋孔10兩側(cè)對稱設(shè)置有恰容許兩連接固定件51、 52另一端穿過的通孔11、 12,所述連接固定件51、 52的一端通過螺紋510、 520旋合在所述螺紋孔41、 42中后，其另一端恰設(shè)置在通孔ll、 12中。采用本實(shí)用新型的固定機(jī)構(gòu)5將升降軸1和伸縮門4固定在一起的詳細(xì)過 程如下首先將連接固定件51、 52上的螺紋510、 520分別與第二螺紋孔41、 42旋合，然后將所述兩連接固定件51、 52的另一端放置在通孔11、 12中，此 時(shí)第一螺紋孔10和40對齊，然后使螺釘50依次穿過埋頭孔400并與螺紋孔401 和第一螺紋孔IO旋合，從而將伸縮門4固定在升降軸1上。綜上所述，本實(shí)用新型的固定機(jī)構(gòu)將連接固定件與伸縮門的連接方式改為螺絲旋合固定，從而在連接固定件松脫時(shí)可以更換連接固定件，從而可大大延 長伸縮門和升降軸的使用壽命，并且可避免晶圓在進(jìn)入刻蝕機(jī)臺(tái)時(shí)伸縮門從升 降軸上松脫而造成晶圓損壞的事情發(fā)生，提高了固定的安全性和可靠性。
權(quán)利要求1、一種固定機(jī)構(gòu)，用于將一伸縮門固定在一升降軸上，該伸縮門和該升降軸上均設(shè)置有貫通的第一螺紋孔，該伸縮門背面上還在第一螺紋孔兩側(cè)對稱設(shè)置有兩結(jié)合部，該固定機(jī)構(gòu)包括一與該第一螺紋孔相匹配的螺釘以及兩連接固定件，其特征在于，該結(jié)合部為第二螺紋孔，該連接固定件一端具有與該第二螺紋孔相匹配的螺紋。
2、 如權(quán)利要求l所述的固定機(jī)構(gòu)，其特征在于，該第二螺紋孔為盲孔螺紋孔。
3、 如權(quán)利要求1所述的固定機(jī)構(gòu)，其特征在于，該第一螺紋孔的直徑大于 該第二螺紋孔的直徑。
4、 如權(quán)利要求1所述的固定機(jī)構(gòu)，其特征在于，該伸縮門的第一螺紋孔為 埋頭螺紋孔，該埋頭螺紋孔包括相連通且分別設(shè)置在伸縮門正面的埋頭孔和設(shè) 置在伸縮門背面的螺紋孔。
5、 如權(quán)利要求4所述的固定機(jī)構(gòu)，其特征在于，該螺釘穿過該埋頭螺紋孔 和該升降軸上的第一螺紋孔將該伸縮門固定在該升降軸上。
6、 如權(quán)利要求1所述的固定機(jī)構(gòu)，其特征在于，該升降軸在第一螺紋孔兩 側(cè)對稱設(shè)置有與該兩連接固定件另 一端相匹配的兩通孔，該兩連接固定件的一 端通過螺紋旋合在該第二螺紋孔中后，其另 一端恰^殳置在該兩通孔中。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種固定機(jī)構(gòu)，用于將一伸縮門固定在一升降軸上，該伸縮門和該升降軸上均設(shè)置有第一螺紋孔。現(xiàn)有技術(shù)中連接固定件與伸縮門間通過榫卯方式連接固定存在易松脫而使伸縮門損壞的問題。本實(shí)用新型的固定機(jī)構(gòu)包括一與該第一螺紋孔相匹配的螺釘以及兩連接固定件，該伸縮門背面上還在第一螺紋孔兩側(cè)對稱設(shè)置有兩結(jié)合部，該結(jié)合部為第二螺紋孔，該連接固定件一端具有與該第二螺紋孔相匹配的螺紋。采用本實(shí)用新型可大大提高固定的牢固性和抗疲勞性，從而避免伸縮門的損壞。
文檔編號F16B33/02GK201115300SQ20072007328
公開日2008年9月10日 申請日期2007年8月3日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月3日
發(fā)明者京 唐, 楊軍成 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司