專利名稱：：陶瓷燒結(jié)體、使用其的滑動(dòng)部件以及陶瓷燒結(jié)體的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及陶瓷燒結(jié)體、使用其的滑動(dòng)部件以及陶瓷燒結(jié)體的制造方法。
背景技術(shù)：
：通常，碳化硅的燒結(jié)體極硬，另外，以水潤(rùn)滑而被使用時(shí)等具有良好的潤(rùn)滑性，并且具有耐磨耗性、耐藥品性優(yōu)良的特性。因此，廣泛用于機(jī)械密封、軸承等滑動(dòng)部件。特別是在機(jī)械密封時(shí)，即使PV值高的情況下也能夠使用，其中，PV值為滑動(dòng)面的面壓和旋轉(zhuǎn)速度的乘積，因此碳化硅燒結(jié)體(碳化硅陶瓷)被評(píng)價(jià)為有用的材料。另外，已知該碳化硅燒結(jié)體通過(guò)導(dǎo)入氣孔，使得即使在PV值更高的場(chǎng)合也能夠使用。上述以往的碳化硅燒結(jié)體，在滑動(dòng)面上形成有液膜的狀態(tài)(以下，稱作"潤(rùn)滑狀態(tài)，，)下，對(duì)滑動(dòng)摩擦具有良好特性。但是，如果是在滑動(dòng)面上完全未形成液膜，或液膜未充分形成的狀態(tài)(以下，稱作"無(wú)潤(rùn)滑狀態(tài)")，會(huì)產(chǎn)生固體摩擦，因此存在因摩擦系數(shù)顯著上升而容易產(chǎn)生滑動(dòng)面的燒粘或由此引起的異常磨耗的傾向。這樣，純粹的碳化硅燒結(jié)體未必是滑動(dòng)特性充分的燒結(jié)體，不適合在無(wú)潤(rùn)滑狀態(tài)下使用。碳化硅系的燒結(jié)體，作為減小表面的摩擦的材料，以往，提出了向碳化硅中添加石墨等碳元素材料作為固體潤(rùn)滑劑的材料。例如，首先例示了相對(duì)于碳化硅粉末添加15體積％的炭黑而得的燒結(jié)體(參照專利文獻(xiàn)1)。該燒結(jié)體在以水潤(rùn)滑時(shí)摩擦系數(shù)減小。另夕卜，例示了向碳化硅中添加作為碳元素相當(dāng)于6.0~12.0重量％的量的炭黑的燒結(jié)體(參照專利文獻(xiàn)2)。這樣的燒結(jié)體在油槽中的摩擦系數(shù)良好。此外，也提出了向碳化硅粉末中添加石墨的復(fù)合材料。例如，在專利文獻(xiàn)3中，例示了含有1030重量％的平均粒徑為8100^im的鱗狀的天然石墨、相對(duì)密度為8092%的燒結(jié)體。此外，公開(kāi)了具有99.9質(zhì)量％70質(zhì)量％的碳化硅部分以及0.1質(zhì)量％30質(zhì)量％的碳元素部分，碳化硅的平均粒度比lO(im大，具有含有二模粒子結(jié)構(gòu)的細(xì)微結(jié)構(gòu)的陶資復(fù)合材料，其中的碳元素的平均粒度不足10|im(參照專利文獻(xiàn)4)。專利文獻(xiàn)1:日本特乂>昭61-043310號(hào)公才艮專利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)昭61-063569號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3:曰本特許第3350394號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4:日本特開(kāi)2002-326873號(hào)公寺艮
發(fā)明內(nèi)容但是，上述的燒結(jié)體等與純粹的碳化硅燒結(jié)體相比，雖然減小了摩擦系數(shù)，但仍有在無(wú)潤(rùn)滑狀態(tài)下不能充分地防止燒粘的情況，難以確實(shí)地得到優(yōu)良的滑動(dòng)特性。另外，即使得到優(yōu)良的滑動(dòng)特性，燒結(jié)體并不致密，密封特性不充分，經(jīng)常有產(chǎn)生龜裂等不良情況。因此，鑒于這樣的情況，本發(fā)明的目的是提供一種陶瓷燒結(jié)體以及使用其的滑動(dòng)部件，該陶瓷燒結(jié)體具有致密的結(jié)構(gòu)，龜裂產(chǎn)生少，并且即使是無(wú)潤(rùn)滑狀態(tài)也能夠發(fā)揮優(yōu)良的滑動(dòng)特性。本發(fā)明的另外的目的是提供所述的陶瓷燒結(jié)體的制造方法。本發(fā)明人等對(duì)上述以往技術(shù)所具有的不良情況的要素做了詳細(xì)的研究，得到以下認(rèn)識(shí)。即，首先，碳化硅的燒結(jié)體表現(xiàn)出固體潤(rùn)滑劑的添加量越多，而且固體潤(rùn)滑劑的粒徑越大，摩擦系數(shù)就越低的傾向。例如，通過(guò)添加炭黑等進(jìn)行燒結(jié)而形成的石墨，如果形成為細(xì)微的粒子，與含有粗大的石墨粒子的情形相比，降低摩擦系數(shù)的效果小。具體地，在專利文獻(xiàn)1和2中，如上所述，記載了通過(guò)燒結(jié)添加于碳化硅的炭黑而形成的石含有墨的燒結(jié)體。專利文獻(xiàn)l中所述的材料的摩擦系數(shù)大到0.40左右，難以充分地防止燒粘。另外，專利文獻(xiàn)2中所述的材料，在空氣中的摩擦系數(shù)大，同樣難以充分地防止燒粘。為了得到更優(yōu)良的摩擦系數(shù)降低效果，而考慮大量地添加石墨。但是，此時(shí)，制造燒結(jié)體時(shí)的燒結(jié)工序中，石墨會(huì)不合適地干擾碳化硅的燒結(jié)，因此，例如在無(wú)加壓的條件下燒結(jié)時(shí)等，表現(xiàn)出難以得到致密的燒結(jié)體的傾向。例如，在上述專利文獻(xiàn)3中，例示了大量地添加天然石墨而得的燒結(jié)體。該燒結(jié)體作為機(jī)械密封使用時(shí)，若直接使用則具有容易發(fā)生貫通泄露、密封特性不充分的傾向。該文獻(xiàn)中，也記載了在燒結(jié)體中含浸樹(shù)脂，使它們炭化或石墨化來(lái)作為封孔材料的對(duì)策，但這樣的燒結(jié)體不容易制造，且制造成本也高，因此要求進(jìn)一步的改善。另一方面，為了提高滑動(dòng)特性，也考慮添加粗大的(粒徑大)石墨粒子。但是，含有粗大的石墨粒子的上述專利文獻(xiàn)4的陶瓷復(fù)合材料，例如，在其制造工序中，在加壓工序后弛緩時(shí)等，由于粗大的石墨粒子和碳化硅(SiC)的彈性行為的不同而產(chǎn)生龜裂，使得成型體經(jīng)常具有龜裂。在該文獻(xiàn)的比較例中，也例示了在添加平均粒度為40(im左右的粗大石墨時(shí)，在燒結(jié)體中石墨粒子周邊上產(chǎn)生龜裂。因此，本發(fā)明人等基于根據(jù)上述以往技術(shù)的討論得到的認(rèn)識(shí)，發(fā)現(xiàn)作為固體潤(rùn)滑劑，通過(guò)含有具有各自不同的平均粒徑的材料的組合，能夠降低上述以往技術(shù)所表現(xiàn)的不良情況，/冬而完成本發(fā)明。即，本發(fā)明的陶瓷燒結(jié)體的特征是，含有碳化硅作為母材，并且含有平均粒徑為5(im以下的固體潤(rùn)滑劑A以及平均粒徑為10~70|im的固體潤(rùn)滑劑B。這樣，本發(fā)明的陶瓷燒結(jié)體含有組合了的細(xì)微的固體潤(rùn)滑劑A和粗大的固體潤(rùn)滑劑B。因此，這樣的陶瓷燒結(jié)體由于粗大的固體潤(rùn)滑劑B而使摩擦系數(shù)減小，并具有優(yōu)良的滑動(dòng)特性，另一方面，通過(guò)含有細(xì)微的固體潤(rùn)滑劑A能夠援和其制造工序的彈性行為等的不同等，減少龜裂。另外，由于含有粗大的固體潤(rùn)滑劑B,因此不需要為了降低摩擦系數(shù)而過(guò)度地增大固體潤(rùn)滑劑A的添加量，從而在燒結(jié)時(shí)碳化硅的燒結(jié)能充分地進(jìn)行，因此容易得到具有致密結(jié)構(gòu)的燒結(jié)體。在本發(fā)明的陶瓷燒結(jié)體中，固體潤(rùn)滑劑A和固體潤(rùn)滑劑B適合都是石墨。由石墨構(gòu)成的固體潤(rùn)滑劑能特別良好地提高以碳化硅為母材的燒結(jié)體的滑動(dòng)特性。另夕卜，本發(fā)明的陶瓷燒結(jié)體相對(duì)于100重量份的碳化硅，更優(yōu)選含有3~10重量份的固體潤(rùn)滑劑A、28重量份的固體潤(rùn)滑劑B。這樣的陶瓷燒結(jié)體以良好的平衡性含有固體潤(rùn)滑劑A和B，因此除了具有優(yōu)良的滑動(dòng)性之外，還具有極為致密且龜裂少的結(jié)構(gòu)。更具體地，固體潤(rùn)滑劑A優(yōu)選為燒結(jié)炭黑而得的石墨以及燒結(jié)熱固性樹(shù)脂而得的石墨。利用這種方式得到的石墨作為固體潤(rùn)滑劑A是合適的，其能夠提高燒結(jié)體的滑動(dòng)特性，同時(shí)容易形成致密的結(jié)構(gòu)。另一方面，固體潤(rùn)滑劑B優(yōu)選為人造石墨。人造石墨在如圖1所示的通常的陶瓷制造工序中粒徑變化少。因而，含有人造石墨作為固體潤(rùn)滑劑B的陶瓷燒結(jié)體能夠穩(wěn)定地含有固體潤(rùn)滑劑B,具有優(yōu)良的滑動(dòng)特性。另外，固體潤(rùn)滑劑A和固體潤(rùn)滑劑B的合計(jì)含量相對(duì)于100重量份的碳化硅優(yōu)選為515重量份。這樣，燒結(jié)體具有良好的滑動(dòng)特性的同時(shí)，還能夠良好地維持碳化硅燒結(jié)體本來(lái)所具有的硬度、耐磨耗性、耐藥品性的特性。此外，本發(fā)明的陶瓷燒結(jié)體的相對(duì)密度優(yōu)選為92%以上。這樣，陶瓷燒結(jié)體具有優(yōu)良的致密性，作為機(jī)械密封等使用時(shí)，能發(fā)揮優(yōu)良的密封特性。另外，如上所述，以往，在為了使滑動(dòng)特性良好而添加大量的細(xì)微的固體潤(rùn)滑劑的情形中，當(dāng)在無(wú)加壓條件下燒結(jié)時(shí)，具有得不到致密的燒結(jié)體的傾向。與此相對(duì)，在本發(fā)明中，由于組合含有細(xì)微的固體潤(rùn)滑劑A和粗大的固體潤(rùn)滑劑B，因此在制造陶乾燒結(jié)體時(shí)，即使減少用于形成固體潤(rùn)滑劑A的細(xì)微的原料的添加量，也能夠得到充分的滑動(dòng)特性。因而，本發(fā)明的陶瓷燒結(jié)體在其制造時(shí)，能充分地產(chǎn)生碳化硅的燒結(jié)，即使是在無(wú)加壓條件下燒結(jié)的燒結(jié)體，也具有致密的結(jié)構(gòu)。此外，本發(fā)明的陶瓷燒結(jié)體中含有的碳化硅進(jìn)一步優(yōu)選為aSiC。aSiC的結(jié)晶結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，因此除了能得到穩(wěn)定的燒結(jié)體之外，由于價(jià)格便宜也能夠降低陶瓷燒結(jié)體的制造成本。本發(fā)明還提供使用上述本發(fā)明的陶瓷燒結(jié)體的滑動(dòng)部件。所述的滑動(dòng)部件是由上述本發(fā)明的陶資燒結(jié)體構(gòu)成，因此具有致密的結(jié)構(gòu)，龜裂的產(chǎn)生少，并且即使是無(wú)潤(rùn)滑狀態(tài)也能發(fā)揮優(yōu)良的滑動(dòng)特性。上述本發(fā)明的陶瓷燒結(jié)體，利用包括將含有碳化硅、熱固性樹(shù)脂和平均粒徑為150nm以下的炭黑以及平均粒徑為10701im的人造石墨的混合物進(jìn)行燒結(jié)的工序的制造方法而能夠合適地得到。根據(jù)所述的制造方法，熱固性樹(shù)脂或炭黑通過(guò)燒結(jié)生成細(xì)微的石墨的同時(shí)，平均粒徑為10~70|im的人造石墨以原狀態(tài)成為粗大的石墨。其結(jié)果為，良好地形成上述本發(fā)明的陶瓷燒結(jié)體。更具體地，本發(fā)明的陶覺(jué)燒結(jié)體的制造方法優(yōu)選含有的燒結(jié)工序?yàn)閷⒃?00重量份的碳化硅粉末中含有28重量份的平均粒徑為150nm以下的炭黑、2~8重量份的平均粒徑為10~70pm的人造石墨以及換算成碳元素為13重量份的熱固性樹(shù)脂的混合物進(jìn)行燒結(jié)。利用這樣的制造方法，除了能夠得到滑動(dòng)特性優(yōu)良、并且具有致密的結(jié)構(gòu)的陶瓷燒結(jié)體之外，能夠進(jìn)一步有效地降低制造工序中的龜裂的產(chǎn)生。在該發(fā)明的制造方法中，熱固性樹(shù)脂優(yōu)選為含有酚樹(shù)脂和/或呋喃樹(shù)脂的樹(shù)脂。這樣的熱固性樹(shù)脂在燒結(jié)時(shí)，能夠與碳化硅(SiC)粒子表面的氧化膜反應(yīng)而除去該氧化膜，可以作為燒結(jié)助劑發(fā)揮功能。因而，通過(guò)含有該熱固性樹(shù)脂，而能夠更加良好地進(jìn)行燒結(jié)。本發(fā)明的陶瓷燒結(jié)體與以往的碳化硅燒結(jié)體相比，即使是無(wú)潤(rùn)滑狀態(tài)也能發(fā)揮優(yōu)良的滑動(dòng)特性，還具有致密的結(jié)構(gòu)，并且龜裂的產(chǎn)生少，因此適合用作滑動(dòng)部件。圖1是表示實(shí)施例和比較例的燒結(jié)體的制造工序的流程圖。圖2是表示在實(shí)施例和比較例中使用的石墨的粒度分布的曲線。圖3是表示在實(shí)施例和比較例中得到的成型粉的粒度分布的曲線。圖4是表示在比較例10中得到的燒結(jié)體側(cè)面的顯微鏡照片。圖5是表示在實(shí)施例6中得到的燒結(jié)體的側(cè)面的顯4效鏡照片。圖6是表示機(jī)械密封的斷面結(jié)構(gòu)的一個(gè)例子的圖。符號(hào)說(shuō)明1對(duì)接環(huán)，2密封環(huán)，3彈簧，4固定側(cè)2次密封，5旋轉(zhuǎn)側(cè)2次密封，6旋轉(zhuǎn)軸具體實(shí)施例方式以下，對(duì)本發(fā)明的合適的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。首先，對(duì)陶瓷燒結(jié)體的合適的結(jié)構(gòu)進(jìn)行以下說(shuō)明。合適的實(shí)施方式的陶瓷燒結(jié)體是以碳化硅陶瓷為母材，含有2種以上平均粒徑不同的固體潤(rùn)滑劑的燒結(jié)體。在該陶瓷燒結(jié)體中，固體潤(rùn)滑劑被包含于陶瓷燒結(jié)體的粒界、粒內(nèi)或者這兩者之中。這里，所謂的粒界是指構(gòu)成陶瓷燒結(jié)體的結(jié)晶粒之間的區(qū)域，所謂的粒內(nèi)是指該結(jié)晶粒的內(nèi)部的區(qū)域。作為母材的碳化硅可以是a型和卩型中的任一種，但因結(jié)晶結(jié)構(gòu)穩(wěn)定并且價(jià)格便宜，而更優(yōu)選a型(aSiC)。作為固體潤(rùn)滑劑，包含平均粒徑為5,以下的細(xì)樣i的固體潤(rùn)滑劑(以下，稱作"固體潤(rùn)滑劑A")以及平均粒徑為10~70pm的粗大的固體潤(rùn)滑劑(以下，稱作"固體潤(rùn)滑劑B，，)這至少2種。作為這些固體潤(rùn)滑劑，可以例舉出石墨、六方氮化硼、二硫化鉬等。其中，作為固體潤(rùn)滑劑A和固體潤(rùn)滑劑B,優(yōu)選能得到優(yōu)良的滑動(dòng)特性且廉價(jià)的石墨。這里，作為平均粒徑，可以采用利用以下方法測(cè)定的值。即，首先，利用掃描電子顯微鏡(SEM，例如，(抹)日立制作所制造，制品名S-4500等)在300~8000倍的范圍內(nèi)觀察固體潤(rùn)滑劑，隨機(jī)選擇多個(gè)粒子。此時(shí)，為了確保正確性以選擇200個(gè)以上的粒子為宜。接著，對(duì)于選擇的粒子，分別測(cè)定最大的徑和最小的徑，以兩者乘積的平方根所算出的值作為各粒子的粒徑。并且，將選擇的全部的粒子的粒徑的和除以選擇的粒子的個(gè)數(shù)。這樣，將算出的值作為平均粒徑。該平均粒徑，例如除了觀察粒子本身的方法以外，也可以例如在燒結(jié)體中有粒子存在的情形等，觀察燒結(jié)體的斷面，對(duì)其斷面上露出的粒子利用同樣的測(cè)定方法來(lái)求得。所述的平均粒徑的測(cè)定方法并不限于粒子，也能夠適用于在陶瓷燒結(jié)體中所形成的空孔等。以下所述的"平均粒徑，，都是應(yīng)用同樣的方法測(cè)定的值。另外，陶瓷燒結(jié)體中，固體潤(rùn)滑劑A和B由相同材料(例如，石墨)構(gòu)成的時(shí)候，它們能夠用SEM等來(lái)區(qū)別，可以由粒度分布的峰來(lái)分類。并且，通過(guò)對(duì)這樣區(qū)別的固體潤(rùn)滑劑A和B分別進(jìn)行上述觀察，能夠算出它們的平均粒徑。固體潤(rùn)滑劑A的平均粒徑為5|im以下，優(yōu)選為20nm5pm,更優(yōu)選30nm3(im。如果固體潤(rùn)滑劑A的平均粒徑超過(guò)5pm，碳化硅母材中所含有的固體潤(rùn)滑劑的粒子之間的距離就會(huì)過(guò)大，其結(jié)果為，在燒結(jié)體成型時(shí)等，容易產(chǎn)生龜裂。作為該固體潤(rùn)滑劑A，優(yōu)選含有燒結(jié)炭黑得到的石墨以及燒結(jié)熱固性樹(shù)脂得到的石墨這兩者。另外，固體潤(rùn)滑劑B的平均粒徑為1070um,優(yōu)選為20~60|im,更優(yōu)選為3050um。如果該平均粒徑不足l0um,陶瓷燒結(jié)體的滑動(dòng)特性就不充分。另一方面，如果超過(guò)70pm，在成型時(shí)與碳化硅的彈性行為的差異就顯著，陶瓷燒結(jié)體容易具有龜裂。該固體潤(rùn)滑劑B優(yōu)選為人造石墨。陶瓷燒結(jié)體中的固體潤(rùn)滑劑A和B合適的含量如下。即，首先，固體潤(rùn)滑劑A的合適的含量相對(duì)于100重量份的碳化硅為310重量份，更優(yōu)選為3~8重量份，進(jìn)一步優(yōu)選為3~6重量份。如果固體潤(rùn)滑劑A的含量不足3重量份，在陶瓷燒結(jié)體上就有容易產(chǎn)生龜裂的傾向。另一方面，如果超過(guò)10重量份，為了使陶乾燒結(jié)體為致密的結(jié)構(gòu)，就有必須減少固體潤(rùn)滑劑B的添加量的傾向。另外，固體潤(rùn)滑劑B的合適的含量相對(duì)于100重量份的碳化硅為2~8重量份，更優(yōu)選為2~6重量份，進(jìn)一步優(yōu)選為36重量份。如果固體潤(rùn)滑劑B的含量不足2重量份，就有難以得到優(yōu)良的滑動(dòng)特性的傾向。另一方面，如果超過(guò)8重量份，就有陶瓷燒結(jié)體容易產(chǎn)生龜裂、必須減少固體潤(rùn)滑劑A的添加量的傾向。此外，陶瓷燒結(jié)體的固體潤(rùn)滑劑A和固體潤(rùn)滑劑B的合計(jì)的含量相對(duì)于IOO重量份碳化硅為5~15重量份，更優(yōu)選為512重量份。如果該合計(jì)的含量不足5重量份，在無(wú)潤(rùn)滑狀態(tài)下就有難以得到良好的滑動(dòng)特性的傾向。另一方面，如果超過(guò)15重量份，就有陶瓷燒結(jié)體的機(jī)械特性(強(qiáng)度或硬度等)或機(jī)械密封時(shí)的密封特性不充分的傾向。陶瓷燒結(jié)體的相對(duì)密度優(yōu)選為理論密度的92%以上，更優(yōu)選為94%以上，進(jìn)一步優(yōu)選為95~100%。陶瓷燒結(jié)體的相對(duì)密度不足92%時(shí)，燒結(jié)體就不會(huì)具有充分致密的結(jié)構(gòu)，作為機(jī)械密封等應(yīng)用時(shí)可能容易產(chǎn)生泄漏等。另外，陶瓷燒結(jié)體可以具有球狀空孔。通過(guò)具有這樣的球狀空孔，而有提高潤(rùn)滑狀態(tài)的滑動(dòng)特性的傾向。作為球狀空孔，其合適的平均粒徑為40100)Lim。在陶資燒結(jié)體中，該球狀空孔特別優(yōu)選分散形成在母材中。接著，對(duì)具有上述結(jié)構(gòu)的陶瓷燒結(jié)體的合適的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。陶瓷燒結(jié)體能夠通過(guò)將含有碳化硅、燒結(jié)后能夠形成上述固體潤(rùn)滑劑A和B的原料的混合物(以下，稱作"原料混合物")進(jìn)行燒結(jié)來(lái)制造。作為固體潤(rùn)滑劑的原料，至少使用燒結(jié)后成為平均粒徑為5pm以下的固體潤(rùn)滑劑A的原料(以下，稱作"原料A")以及燒結(jié)后成為平均粒徑為1070(im的固體潤(rùn)滑劑B的原料(以下，稱作"原料B，，)。作為上述原料混合物中所含有的碳化硅，如上所述，優(yōu)選為a型的碳化硅(aSiC)，具體地，優(yōu)選碳化硅粉末。該碳化硅粉末的平均粒徑優(yōu)選為O.l)im以上，更優(yōu)選為0.31.0(im，進(jìn)一步優(yōu)選為0.5~0.8|im。如果石友化硅4分末的平均粒徑不足O.lpm,除了處理困難使陶瓷燒結(jié)體的制造工序煩雜之外，由于這樣的碳化硅粉末有效，可能會(huì)導(dǎo)致制造成本的增大。另一方面，如果超過(guò)1.0|im,在燒結(jié)時(shí)就有難以產(chǎn)生燒結(jié)的傾向。固體潤(rùn)滑劑A為石墨時(shí)，作為原料A可以例舉出通過(guò)燒結(jié)產(chǎn)生平均粒徑為5pm以下的石墨的材料。作為所述的材料，可以例示炭黑或熱固性樹(shù)脂。原料A含有炭黑時(shí)，該炭黑的平均粒徑優(yōu)選為150nm以下，更優(yōu)選為50nm以下。這樣的炭黑，通過(guò)燒結(jié)能良好地生成平均粒徑為5pm以下的石墨。另外，能夠作為原料A應(yīng)用的熱固性樹(shù)脂，可以例舉出酚樹(shù)脂或呋喃樹(shù)脂，優(yōu)選為酚樹(shù)脂。作為原料A,優(yōu)選含有炭黑和熱固性樹(shù)脂這兩者。此時(shí)，除了這些，還可以含有平均粒徑為5fim以下的石墨。這樣的石墨在燒結(jié)后，平均粒徑的變化小，在陶瓷燒結(jié)體中能以原狀成為平均粒徑為5pm以下的石墨。原料混合物中的原料A的含量調(diào)整成使陶瓷燒結(jié)體的固體潤(rùn)滑劑A的含量在上述的合適的范圍內(nèi)。例如，原料A含有炭黑和熱固性樹(shù)脂這兩者時(shí)，在原料混合物中相對(duì)于100重量份的碳化硅，優(yōu)選含有2~8重量份炭黑，相對(duì)于IOO重量份的碳化硅，優(yōu)選含有換算成碳元素為1~3重量份的熱固性樹(shù)脂。這里，所謂的"換算成碳元素"的含量意味著，相對(duì)于IOO質(zhì)量份的碳化硅的熱固性樹(shù)脂所含有的碳元素的含量。另外，固體潤(rùn)滑劑B為石墨時(shí)，作為原料B,優(yōu)選平均粒徑為1070(im的石墨。作為所述的石墨，更優(yōu)選為人造石墨。該石墨(特別是人造石墨)不會(huì)因燒結(jié)使平均粒徑大幅變化，因此燒結(jié)后的陶瓷燒結(jié)體中，能夠以原狀態(tài)構(gòu)成平均粒徑為1070lam的石墨。原料混合物中的平均粒徑為1Q70)im的石墨(人造石墨)的含量在燒結(jié)前后沒(méi)有大幅變動(dòng)，因此能夠與上述陶瓷燒結(jié)體中的固體潤(rùn)滑劑B的含量相同。即，平均粒徑為10~70(im的石墨的合適的含量相對(duì)于100質(zhì)量份的碳化硅優(yōu)選為28重量份，更優(yōu)選為2~6重量份，進(jìn)一步優(yōu)選為36重量份。原料混合物含有碳化硅、原料A和原料B之外，根據(jù)需要，還可以進(jìn)一步含有粘結(jié)劑或分散劑等。陶瓷燒結(jié)體可以通過(guò)燒結(jié)上述原料混合物得到。例如，首先，在燒結(jié)前干燥(例如，噴霧干燥)原料混合物，進(jìn)一步成型，使燒結(jié)前的原料混合物成為規(guī)定的形狀。并且，通過(guò)燒結(jié)得到的成型體可以得到陶瓷燒結(jié)體。所述燒結(jié)可以在加壓下進(jìn)行，也可以在無(wú)加壓下進(jìn)行。本實(shí)施方式的原料混合物組合含有粒徑小(細(xì)樣t的)原料A和粒徑大(粗大的)原料B，因此即使在無(wú)加壓條件下也能得到充分致密的結(jié)構(gòu)的燒結(jié)體。但是，在要求陶瓷燒結(jié)體更有致密性時(shí)等，優(yōu)選在加壓下進(jìn)行燒結(jié)。燒結(jié)時(shí)的燒結(jié)溫度優(yōu)選為21002300。C的范圍，更優(yōu)選為2130227(TC的范圍，進(jìn)一步優(yōu)選為21502250。C的范圍。如果該燒結(jié)溫度不足2100。C，就有難以得到致密的陶瓷燒結(jié)體的傾向。另一方面，如果超過(guò)2300°C,就具有碳化硅的結(jié)晶粒子過(guò)成長(zhǎng)，強(qiáng)度降低的傾向。對(duì)于該燒結(jié)溫度，難以直接測(cè)定燒結(jié)對(duì)象物的溫度，因此，例如可以通過(guò)采用在燒結(jié)時(shí)與碳性的燒結(jié)夾具并存的熱放射溫度計(jì)來(lái)測(cè)量其溫度而得到的溫度。由于具有以上的結(jié)構(gòu)的陶瓷燒結(jié)體具有優(yōu)良的滑動(dòng)特性，因此，例如適于用作在無(wú)潤(rùn)滑狀態(tài)下使用的滑動(dòng)部件。作為這樣的滑動(dòng)部件，能夠例示機(jī)械密封或軸承等。這里，作為滑動(dòng)部件的一個(gè)例子，對(duì)機(jī)械密封的合適的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖6是模式地表示機(jī)械密封的斷面結(jié)構(gòu)的一個(gè)例子的圖。如圖所示，機(jī)械密封IO具有的結(jié)構(gòu)為按順序配置對(duì)接環(huán)l、密封環(huán)2以及線圈型彈簧3，并且，配置旋轉(zhuǎn)軸6使其貫通它們的中心。另外，在對(duì)接環(huán)l的外側(cè)上，配置固定側(cè)2次密封4，在密封環(huán)2和旋轉(zhuǎn)軸6的間隙中，配置填埋該間隙的旋轉(zhuǎn)側(cè)2次密封5。在該機(jī)械密封10中，密封環(huán)2由彈簧3擠壓在對(duì)接環(huán)1上。這樣，在對(duì)接環(huán)1和密封環(huán)2上施加一定的壓力，能夠限制流體的流動(dòng)。具有這樣的結(jié)構(gòu)的機(jī)械密封10中，對(duì)接環(huán)l被固定，另一方面，密封環(huán)2隨著旋轉(zhuǎn)軸6的旋轉(zhuǎn)而能夠動(dòng)作。這樣，如上所述，在對(duì)接環(huán)1和密封環(huán)2之間，限制了泄露。因而，如果將該機(jī)械密封IO應(yīng)用于規(guī)定的密封端面，能夠在使旋轉(zhuǎn)軸6旋轉(zhuǎn)的同時(shí)防止在該旋轉(zhuǎn)部分的流體的泄漏。在這樣的機(jī)械密封10中，對(duì)接環(huán)1和/或密封環(huán)2是由上述本實(shí)施方式的陶瓷燒結(jié)體來(lái)構(gòu)成的。該陶瓷燒結(jié)體如上所述，具有優(yōu)良的滑動(dòng)特性，因此即使由于對(duì)接環(huán)1和密封環(huán)2相對(duì)旋轉(zhuǎn)所引起的摩擦也難以產(chǎn)生磨耗。因而，具有上述結(jié)構(gòu)的機(jī)械密封10即使長(zhǎng)期使用，也能夠維持優(yōu)良的密封特性。如上，本實(shí)施方式的陶乾燒結(jié)體，是含有碳化硅作為母材，在粒內(nèi)、粒界或這兩者中含有平均粒徑為5jim以下的固體潤(rùn)滑劑A和平均粒徑為1070|im的固體潤(rùn)滑劑B的燒結(jié)體。這里，固體潤(rùn)滑劑的添加量越多，而且其粒徑越大，則摩擦系數(shù)的降低效果越優(yōu)良。因而，細(xì)微的固體潤(rùn)滑劑，例如燒結(jié)炭黑形成的石墨等，在含有適當(dāng)?shù)牧繒r(shí)，與粗大的固體潤(rùn)滑劑相比，摩擦系數(shù)的降低效果不充分。因此，利用細(xì)微的固體潤(rùn)滑劑提高滑動(dòng)特性時(shí)，需要增多添加量，但例如大量地添加炭黑的情形等，燒結(jié)后得不到致密的燒結(jié)體，會(huì)產(chǎn)生密封特性等不充分的不良情況。另一方面，含有粗大的固體潤(rùn)滑劑時(shí)，雖然能得到優(yōu)良的滑動(dòng)特性，但陶瓷燒結(jié)體容易具有龜裂。其主要的原因被認(rèn)為是，由于向作為母材的碳化硅添加固體潤(rùn)滑劑的復(fù)合材料不是均質(zhì)的材料，因此，例如在制造燒結(jié)體時(shí)，如果加壓工序后放松壓力，由于母材和固體潤(rùn)滑劑的不同的彈性行為，而在母材上產(chǎn)生局部的拉伸應(yīng)力。特別認(rèn)為，粗大的固體潤(rùn)滑劑會(huì)強(qiáng)烈地產(chǎn)生上述拉伸應(yīng)力，而容易產(chǎn)生龜裂。與此相對(duì)，本實(shí)施方式的陶瓷燒結(jié)體含有細(xì)微的固體潤(rùn)滑劑和粗大的固體潤(rùn)滑劑這兩者，因此能夠降低只含有這兩者中的一種時(shí)所產(chǎn)生的不良情況，同時(shí)又能得到優(yōu)良的效果。即，首先，通過(guò)含有粗大的固體潤(rùn)滑劑，即使細(xì)微的固體潤(rùn)滑劑的添加量少，也能得到優(yōu)良的滑動(dòng)特性。另外，由于細(xì)微的固體潤(rùn)滑劑的添加量少，因此不會(huì)過(guò)度妨礙燒結(jié)，能得到致密的燒結(jié)體。此外，細(xì)微的固體潤(rùn)滑劑被認(rèn)為由于均一地分散在作為母材的碳化硅中，因此在加壓成型時(shí)能構(gòu)成與碳化硅的復(fù)合母材(SiC/C)。這樣，認(rèn)為能減小該復(fù)合母材和粗大的固體潤(rùn)滑劑之間的彈性行為的差異，因此，與只含有粗大的固體潤(rùn)滑劑的情形相比，能夠抑制制造陶瓷燒結(jié)體時(shí)等的龜裂的產(chǎn)生。實(shí)施例以下，通過(guò)實(shí)施例來(lái)更詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明，但本發(fā)明不限于這些實(shí)施例。陶乾燒結(jié)體的制造制造實(shí)施例1~8和比較例112的陶瓷燒結(jié)體。首先，對(duì)在各實(shí)施例和比較例的陶瓷燒結(jié)體的制造中所實(shí)施的共有的工序進(jìn)行說(shuō)明。在陶瓷燒結(jié)體的制造中，實(shí)施以下所示的工序AE。涉及的制造工序的概略示于圖1的流程圖中。工序A:配合規(guī)定的原料成分，調(diào)制原料混合物，向其中加入離子交換水，制作具有20體積％的濃度的漿料，將得到的漿料的pH調(diào)至8~10。工序B:將漿料用樹(shù)脂制的球磨機(jī)混合5小時(shí)后，采用噴霧干燥機(jī)在入口溫度160°C、旋轉(zhuǎn)數(shù)7000min"的條件下進(jìn)行噴霧干燥，制作大約70pm的顆粒。工序C:將得到的顆粒通過(guò)210(im的篩(65目)，得到成型粉。工序D:將成型粉填充進(jìn)模具中，在120MPa的壓力下，成型為外形33mm、厚度6mm的圓板形狀。工序E:采用氣氛燒結(jié)爐，使燒結(jié)爐內(nèi)部為氬氣氛，在規(guī)定的最高溫度下保持2個(gè)小時(shí)，從而使成型體燒結(jié)。在以下的實(shí)施例或比較例中，作為固體潤(rùn)滑劑的原料，分別采用燒結(jié)后成為粗粒石墨的石墨(人造石墨或天然石墨)，以及燒結(jié)后產(chǎn)生微粒石墨的炭黑或人造石墨。這里，作為參考，將測(cè)定作為原料成分的人造石墨(石墨；目錄(catalog)平均粒徑30(im)的粒徑分布的結(jié)果示于圖2中。如圖2所示，作為原料成分的石墨被確認(rèn)出具有廣泛的粒度分布。另外，作為一個(gè)例子，將測(cè)定實(shí)施例1中用工序C得到的成型粉的粒徑分布的結(jié)果示于圖3中。如圖3所示，成型粉的粒徑集中在40100nm。此外，作為炭黑，處理顆粒狀的炭黑，作為其平均粒徑，采用目錄值。此外，制造陶資燒結(jié)體后，為了達(dá)到能確認(rèn)石墨和氣孔的平均粒徑的程度而將燒結(jié)體進(jìn)行研磨(lap)加工后，通過(guò)對(duì)其應(yīng)用上述實(shí)施方式中敘述的平均粒徑的測(cè)定方法來(lái)求得該燒結(jié)體中的石墨和氣孔的平均粒徑。以下，分別具體地說(shuō)明實(shí)施例18和比較例112的陶瓷燒結(jié)體的制造方法。在以下的說(shuō)明中，對(duì)與上述共有的工序同樣的部分省略說(shuō)明。各實(shí)施例或比較例的固體潤(rùn)滑劑的原料(人造石墨，天然石墨，炭黑)的種類、平均粒徑表示于表l中。實(shí)施例1在工序A中，向100重量份的平均粒徑為0.7(im的石友化石圭粉末中，添加4重量份的平均粒徑為30pm的人造石墨、3重量份的平均粒徑為43nm的炭黑。另外，作為燒結(jié)助劑添加0.6重量份的碳化硼、換算成碳元素2重量份的酚樹(shù)脂，作為粘結(jié)劑以固體成分添加3重量份的聚乙烯醇，此外，添加0.6重量份的聚乙二醇(重合度糾OO)。這樣，得到原料混合物。此外，在工序E中，在2190。C進(jìn)行成型體的燒結(jié)。觀察得到的燒結(jié)體的結(jié)果為，并未產(chǎn)生龜裂。另外，對(duì)燒結(jié)體的破斷面和研磨面進(jìn)行組織觀察的結(jié)果為，在碳化硅的母材中，觀察到具有2(im和30jim這兩種的平均粒徑的石墨。實(shí)施例2在工序A中，向100重量份的平均粒徑為0.7pm的碳化硅粉末中，添加6重量份的平均粒徑為30pm的人造石墨、3重量份的平均粒徑為43nm的炭黑。另外，作為燒結(jié)助劑添加0.6重量份的碳化硼、換算成碳元素2重量份的酚樹(shù)脂，作為粘結(jié)劑以固體成分添加3重量份的聚乙烯醇，此外，添加0.6重量份的聚乙二醇(重合度#400)。這樣，得到原料混合物。此外，在工序E中，在220(TC進(jìn)行成型體的燒結(jié)。觀察得到的燒結(jié)體的結(jié)果為，并未產(chǎn)生龜裂。另外，對(duì)燒結(jié)體的破斷面和研磨面進(jìn)行組織觀察的結(jié)果為，在碳化硅的母材中，觀察到具有2pm和30|im這兩種的平均粒徑的石墨。實(shí)施例3在工序A中，向100重量份的平均粒徑為0.7pm的碳化硅粉末中，添加3重量份的平均粒徑為50|im的人造石墨、4重量份的平均粒徑為43nm的炭黑。另外，作為燒結(jié)助劑添加0.6重量份的碳化硼、換算成碳元素2重量份的酚樹(shù)脂，作為粘結(jié)劑以固體成分添加3重量份的聚乙烯醇，此外，添加0.6重量份的聚乙二醇(重合度#400)。這樣，得到原料混合物。此外，在工序E中，在2200。C進(jìn)行成型體的燒結(jié)。觀察得到的燒結(jié)體的結(jié)果為，并未產(chǎn)生龜裂。另外，對(duì)燒結(jié)體的破斷面和研磨面進(jìn)行組織觀察的結(jié)果為，在碳化硅的母材中，觀察到具有2(^m和50(im這兩種的平均粒徑的石墨。實(shí)施例4在工序A中，向100重量份的平均粒徑為0.7pm的碳化硅粉末中，添加3重量份的平均粒徑為70pm的人造石墨、5重量份的平均粒徑為43nm的炭黑。另外，作為燒結(jié)助劑添加0.6重量份的碳化硼、換算成碳元素2重量份的酚樹(shù)脂，作為粘結(jié)劑以固體成分添加3重量份的聚乙烯醇，此外，添加0.6重量份的聚乙二醇(重合度#400)。這樣，得到原料混合物。此外，在工序E中，在221(TC進(jìn)行成型體的燒結(jié)。觀察得到的燒結(jié)體的結(jié)果為，并未產(chǎn)生龜裂。另外，對(duì)燒結(jié)體的破斷面和研磨面進(jìn)行組織觀察的結(jié)果為，在碳化硅的母材中，觀察到具有2pm和70iim這兩種的平均粒徑的石墨。實(shí)施例5在工序A中，向100重量份的平均粒徑為0.7pm的碳化硅粉末中，添加2重量份的平均粒徑為30pm的人造石墨、3重量份的平均粒徑為43nm的炭黑、1.5重量份的平均粒徑為60(im的聚曱基丙烯酸甲酯(PMMA)的球狀造孔材料。另外，作為燒結(jié)助劑添加0.6重量份的碳化硼、換算成碳元素2重量份的酚樹(shù)脂，作為粘結(jié)劑以固體成分添加3重量份的聚乙烯醇，此外，添加0.6重量份的聚乙二醇(重合度糾OO)。這樣，得到原料混合物。此外，在工序E中，在2190。C進(jìn)行成型體的燒結(jié)。觀察得到的燒結(jié)體的結(jié)果為，并未產(chǎn)生龜裂。另外，對(duì)燒結(jié)體的破斷面和研磨面進(jìn)行組織觀察的結(jié)果為，在碳化硅的母材中，觀察到具有2pm和30(am這兩種的平均粒徑的石墨和平均粒徑為50jim的球狀氣孔。實(shí)施例6在工序A中，向100重量份的平均粒徑為0.7^im的碳化硅粉末中，添加4重量份的平均粒徑為30pm的人造石墨、3重量份的平均粒徑為43nm的炭黑、1.5重量份的平均粒徑為60^tm的聚曱基丙烯酸甲酯(PMMA)的球狀造孔材料。另外，作為燒結(jié)助劑添加0.6重量份的碳化硼、換算成碳元素2重量份的酚樹(shù)脂，作為粘結(jié)劑以固體成分添加3重量份的聚乙烯醇，此外，添加0.6重量份的聚乙二醇(重合度糾OO)。這樣，得到原料混合物。此外，在工序E中，在222(TC進(jìn)行成型體的燒結(jié)。觀察得到的燒結(jié)體的結(jié)果為，并未產(chǎn)生龜裂。另外，對(duì)燒結(jié)體的破斷面和研磨面進(jìn)行組織觀察的結(jié)果為，在碳化硅的母材中，觀察到具有2pm和30(im這兩種的平均粒徑的石墨和平均粒徑為50|am的球狀氣孔。實(shí)施例7在工序A中，向100重量份的平均粒徑為0.7pm的,友化硅粉末中，添加6重量份的平均粒徑為30pm的人造石墨、3重量份的平均粒徑為43nm的炭黑、1.5重量份的平均粒徑為60(im的聚甲基丙烯酸曱酯(PMMA)的球狀造孔材料。另外，作為燒結(jié)助劑添加0.6重量份的碳化硼、換算成碳元素2重量份的酚樹(shù)脂，作為粘結(jié)劑以固體成分添加3重量份的聚乙歸醇，此外，添加0.6重量份的聚乙二醇(重合度糾OO)。這樣，得到原料混合物。此外，在工序E中，在2220。C進(jìn)行成型體的燒結(jié)。觀察得到的燒結(jié)體的結(jié)果為，并未產(chǎn)生龜裂。另外，對(duì)燒結(jié)體的破斷面和研磨面進(jìn)行組織觀察的結(jié)果為，在碳化硅的母材中，觀察到具有2^im和30(im這兩種的平均粒徑的石墨和平均粒徑為50|im的球狀氣孔。實(shí)施例8在工序A中，向100重量份的平均粒徑為0.7(im的碳化硅粉末中，添加4重量份的平均粒徑為30fim的人造石墨、4重量份的平均粒徑為120nm的炭黑。另外，作為燒結(jié)助劑添加0.6重量份的碳化硼、換算成碳元素2重量份的酚樹(shù)脂，作為粘結(jié)劑以固體成分添加3重量份的聚乙烯醇，此外，添加0.6重量份的聚乙二醇(重合度糾OO)。這樣，得到原料混合物。此外，在工序E中，在2210。C進(jìn)行成型體的燒結(jié)。觀察得到的燒結(jié)體的結(jié)果為，并未產(chǎn)生龜裂。另外，對(duì)燒結(jié)體的破斷面和研磨面進(jìn)行組織觀察的結(jié)果為，在碳化硅的母材中，觀察到具有3iim和30iim這兩種的平均粒徑的石墨。比庫(kù)交例1在工序A中，向100重量份的平均粒徑為0.7)am的碳化硅粉末中，添加1.5重量份的平均粒徑為60|im的聚曱基丙烯酸曱酯(PMMA)的球狀造孔材料。另外，作為燒結(jié)助劑添加0.6重量份的碳化硼、換算成碳元素2重量份的酚樹(shù)脂，作為粘結(jié)劑以固體成分添加3重量份的聚乙烯醇，此外，添加0.6重量份的聚乙二醇(重合度糾OO)。這樣，得到原料混合物。此外，在工序E中，在216(TC進(jìn)行成型體的燒結(jié)。觀察得到的燒結(jié)體的結(jié)果為，并未產(chǎn)生龜裂。另夕卜，對(duì)燒結(jié)體的破斷面和研磨面進(jìn)行組織觀察的結(jié)果為，在碳化硅的母材中，觀察到平均粒徑為50pm的球狀氣孔。比專交例2在工序A中，向100重量份的平均粒徑為0.7jim的碳化硅粉末中，添加8重量份的平均粒徑為43nm的炭黑。另外，作為燒結(jié)助劑添加0.6重量份的碳化硼、換算成碳元素2重量份的酚樹(shù)脂，作為粘結(jié)劑以固體成分添加3重量份的聚乙烯醇，此外，添加0.6重量份的聚乙二醇(重合度#400)。這樣，得到原料混合物。此外，在工序E中，在2210。C進(jìn)行成型體的燒結(jié)。觀察得到的燒結(jié)體的結(jié)果為，并未產(chǎn)生龜裂。另外，對(duì)燒結(jié)體的破斷面和研磨面進(jìn)行組織觀察的結(jié)果為，在碳化硅的母材中，觀察到平均粒徑為2|im的石墨。比庫(kù)支例3在工序A中，向100重量份的平均粒徑為0.7pm的碳化硅粉末中，添加16重量份的平均粒徑為43nm的炭黑。另外，作為燒結(jié)助劑添加0.6重量份的碳化硼、換算成碳元素2重量份的酚樹(shù)脂，作為粘結(jié)劑以固體成分添加3重量份的聚乙烯醇，此外，添加0.6重量份的聚乙二醇(重合度糾OO)。這樣，得到原料混合物。此外，在工序E中，在2230。C進(jìn)行成型體的燒結(jié)。觀察得到的燒結(jié)體的結(jié)果為，并未產(chǎn)生龜裂。另外，對(duì)燒結(jié)體的破斷面和研磨面進(jìn)行組織觀察的結(jié)果為，在碳化硅的母材中，觀察到平均粒徑為2pm的石墨。比凈交例4在工序A中，向100重量份的平均粒徑為0.7|im的碳化硅粉末中，添加24重量份的平均粒徑為43nm的炭黑。另外，作為燒結(jié)助劑添加0.6重量份的碳化硼、換算成碳元素2重量份的酚樹(shù)脂，作為粘結(jié)劑以固體成分添加3重量份的聚乙烯醇，此外，添加0.6重量份的聚乙二醇(重合度#400)。這樣，得到原料混合物。此外，在工序E中，在2230。C進(jìn)行成型體的燒結(jié)。觀察得到的燒結(jié)體的結(jié)果為，并未產(chǎn)生龜裂。另外，對(duì)燒結(jié)體的破斷面和研磨面進(jìn)行組織觀察的結(jié)果為，在碳化硅的母材中，觀察到平均粒徑為2pm的石墨。比專交例5在工序A中，向100重量份的平均粒徑為0.7(im的碳化硅粉末中，添加6重量份的平均粒徑為130pm的人造石墨、3重量份的平均粒徑為43nm的炭黑。另外，作為燒結(jié)助劑添加0.6重量份的碳化硼、換算成碳元素2重量份的酚樹(shù)脂，作為粘結(jié)劑以固體成分添加3重量份的聚乙烯醇，此外，添加0.6重量份的聚乙二醇(重合度糾OO)。這樣，得到原料混合物。此外，在工序E中，在2210。C進(jìn)行成型體的燒結(jié)。觀察得到的燒結(jié)體的結(jié)果為，在側(cè)面產(chǎn)生龜裂。另外，對(duì)燒結(jié)體的破斷面和研磨面進(jìn)行組織觀察的結(jié)果為，在碳化硅的母材中，觀察到具有2(im和130pm這2種平均粒徑的石墨。比4交例6在工序A中，向100重量份的平均粒徑為0.7pm的碳化硅粉末中，添加12重量份的平均粒徑為30pm的人造石墨。另外，作為燒結(jié)助劑添加0.6重量份的碳化硼、換算成碳元素2重量份的酚樹(shù)脂，作為粘結(jié)劑以固體成分添加3重量份的聚乙烯醇，此外，添加0.6重量份的聚乙二醇(重合度#400)。這樣，得到原料混合物。此外，在工序E中，在223(TC進(jìn)行成型體的燒結(jié)。觀察得到的燒結(jié)體的結(jié)果為，在側(cè)面產(chǎn)生龜裂。另外，對(duì)燒結(jié)體的破斷面和研磨面進(jìn)行組織觀察的結(jié)果為，在碳化硅的母材中，觀察到平均粒徑為30pm的石墨。比4交例7在工序A中，向100重量份的平均粒徑為0.7[im的碳化硅粉末中，添加6重量份的平均粒徑為7pm的人造石墨。另夕卜，作為燒結(jié)助劑添加0.6重量份的碳化硼、換算成碳元素2重量份的酚樹(shù)脂，作為粘結(jié)劑以固體成分添加3重量份的聚乙烯醇，此外，添加0.6重量份的聚乙二醇(重合度糾OO)。這樣，得到原料混合物。此外，在工序E中，在2200。C進(jìn)行成型體的燒結(jié)。觀察得到的燒結(jié)體的結(jié)果為，并未產(chǎn)生龜裂。另外，對(duì)燒結(jié)體的破斷面和研磨面進(jìn)行組織觀察的結(jié)果為，在碳化硅的母材中，觀察到平均粒徑為7pm的石墨。比專支例8在工序A中，向100重量份的平均粒徑為0.7|im的碳化硅粉末中，添加6重量份的平均粒徑為8(im的天然石墨。另外，作為燒結(jié)助劑添加0.6重量份的碳化硼、換算成碳元素2重量份的酚樹(shù)脂，作為粘結(jié)劑以固體成分添加3重量份的聚乙烯醇，此外，添加0.6重量份的聚乙二醇(重合度斜O(jiān)O)。這樣，得到原料混合物。此外，在工序E中，在2200。C進(jìn)行成型體的燒結(jié)。觀察得到的燒結(jié)體的結(jié)果為，并未產(chǎn)生龜裂。另外，對(duì)燒結(jié)體的破斷面和研磨面進(jìn)行組織觀察的結(jié)果為，在碳化硅的母材中，觀察到平均粒徑為8(im的石墨。比專交例9在工序A中，向100重量份的平均粒徑為0.7pm的碳化硅粉末中，添加6重量份的平均粒徑為30!im的人造石墨。另外，作為燒結(jié)助劑添加0.6重量份的碳化硼、換算成碳元素2重量份的酚樹(shù)脂，作為粘結(jié)劑以固體成分添加3重量份的聚乙烯醇，此外，添加0.6重量份的聚乙二醇(重合度#400)。這樣，得到原料混合物。此外，在工序E中，在220(TC進(jìn)行成型體的燒結(jié)。觀察得到的燒結(jié)體的結(jié)果為，在側(cè)面產(chǎn)生龜裂。另外，對(duì)燒結(jié)體的破斷面和研磨面進(jìn)行組織觀察的結(jié)果為，在碳化硅的母材中，觀察到平均粒徑為30|im的石墨。比4支例10在工序A中，向100重量份的平均粒徑為0.7jim的碳化硅粉末中，添加4重量份的平均粒徑為30|Lim的人造石墨、1.5重量份的平均粒徑為60(im的聚曱基丙烯酸曱酯(PMMA)的球狀造孔材料。另外，作為燒結(jié)助劑添加0.6重量份的碳化硼、換算成碳元素2重量份的酚樹(shù)脂，作為粘結(jié)劑以固體成分添加3重量份的聚乙烯醇，此外，添加0.6重量份的聚乙二醇(重合度#400)。這樣，得到原料混合物。此外，在工序E中，在220(TC進(jìn)行成型體的燒結(jié)。觀察得到的燒結(jié)體的結(jié)果為，在側(cè)面產(chǎn)生龜裂。另外，對(duì)燒結(jié)體的破斷面和研磨面進(jìn)行組織觀察的結(jié)果為，在碳化硅的母材中，觀察到平均粒徑為30pm的石墨和平均粒徑為50jim的球狀氣孔。比專交例11在工序A中，向100重量份的平均粒徑為0.7pn的碳化硅粉末中，添加3重量份的平均粒徑為90|im的人造石墨、2重量份的平均粒徑為43nm的炭黑。另外，作為燒結(jié)助劑添加0.6重量份的碳化硼、換算成碳元素2重量份的酚樹(shù)脂，作為粘結(jié)劑以固體成分添加3重量份的聚乙烯醇，此外，添加0.6重量份的聚乙二醇(重合度糾OO)。這樣，得到原料混合物。此外，在工序E中，在2200。C進(jìn)行成型體的燒結(jié)。觀察得到的燒結(jié)體的結(jié)果為，在側(cè)面產(chǎn)生龜裂。另外，對(duì)燒結(jié)體的破斷面和研磨面進(jìn)行組織觀察的結(jié)果為，在碳化硅的母材中，觀察到具有2pm和90|im這兩種平均粒徑的石墨。比凈交例12在工序A中，向100重量份的平均粒徑為0.7[im的碳化硅粉末中，添加4重量份的平均粒徑為30|im的人造石墨、3重量份的平均粒徑為7|iim的人造石墨。另外，作為燒結(jié)助劑添加0.6重量份的碳化硼、換算成碳元素2重量份的酚樹(shù)脂，作為粘結(jié)劑以固體成分添加3重量份的聚乙烯醇，此外，添加0.6重量份的聚乙二醇(重合度糾OO)。這樣，得到原料混合物。此外，在工序E中，在2200。C進(jìn)行成型體的燒結(jié)。觀察得到的燒結(jié)體的結(jié)果為，在側(cè)面產(chǎn)生龜裂。另外，對(duì)燒結(jié)體的破斷面和研磨面進(jìn)行組織觀察的結(jié)果為，在碳化硅的母材中，觀察到具有7pm和30(im這兩種平均粒徑的石墨。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage22</column></row><table>特性評(píng)價(jià)首先，釆用在各實(shí)施例和比較例中得到的燒結(jié)體，按照以下所示的方法進(jìn)行在無(wú)潤(rùn)滑狀態(tài)下的滑動(dòng)評(píng)價(jià)試驗(yàn)。即，首先，研磨圓板形狀的燒結(jié)體，將其制成固定側(cè)的試驗(yàn)片。另外，準(zhǔn)備研磨滑動(dòng)面的碳化硅(Saint-Gobain公司制造，商品名、《廿口4SA)制的環(huán)(外形24.6mm(小)xl5.5mm((J))x厚度3mm),將其制成旋轉(zhuǎn)側(cè)的試驗(yàn)片。并且，采用將銷對(duì)盤(pán)式摩擦磨耗試驗(yàn)機(jī)(東洋水一》卜'々47社制造的AFT-6S)改良為環(huán)對(duì)盤(pán)型的摩擦磨耗試驗(yàn)機(jī)，使固體測(cè)的試驗(yàn)片的一個(gè)面與旋轉(zhuǎn)側(cè)的試驗(yàn)片的滑動(dòng)面接觸，使其旋轉(zhuǎn)進(jìn)行干式滑動(dòng)評(píng)價(jià)試驗(yàn)。此時(shí)的試驗(yàn)條件為，以滑動(dòng)面壓力是0.15MPa、圓周速度為1.0m/s實(shí)施5分鐘。然后，觀察滑動(dòng)評(píng)價(jià)試驗(yàn)后的燒結(jié)體(固定側(cè)的試驗(yàn)片)，觀察滑動(dòng)面的狀態(tài)和燒結(jié)體有無(wú)龜裂的產(chǎn)生，同時(shí)測(cè)定燒結(jié)體的開(kāi)氣孔率。將在各實(shí)施例和比較例的燒結(jié)體中得到的結(jié)果概括地示于表2中。按照J(rèn)ISR1634"精細(xì)陶資的燒結(jié)體密度開(kāi)氣孔率的測(cè)定方法"的煮沸法測(cè)定出開(kāi)氣孔率。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage23</column></row><table>從表2中可以看出，實(shí)施例14、68的燒結(jié)體并未產(chǎn)生龜裂，而且，在無(wú)潤(rùn)滑狀態(tài)下的滑動(dòng)評(píng)價(jià)試驗(yàn)后也未確認(rèn)出表面粗糙。另外，實(shí)施例5的燒結(jié)體觀察到了些許的表面粗糙，但是程度很輕，而且，并未產(chǎn)生龜裂。與此相對(duì)，雖然比較例1的燒結(jié)體并未產(chǎn)生龜裂，但由于不含固體潤(rùn)滑劑，因此在滑動(dòng)特性試驗(yàn)后產(chǎn)生表面粗糙。另外，雖然比較例2、3、7和8的燒結(jié)體并未產(chǎn)生龜裂，但由于燒結(jié)體中的石墨細(xì)小而得不到充分的滑動(dòng)特性，滑動(dòng)面粗糙。此外，雖然比較例4和6的燒結(jié)體的滑動(dòng)面沒(méi)有粗糙，但由于只大量地含有細(xì)微的石墨，因此作為母材的碳化硅的燒結(jié)不充分，開(kāi)氣孔率不高。如此的開(kāi)氣孔率高的材料，作為機(jī)械密封使用時(shí)，通常成為產(chǎn)生貫通泄露等麻煩的原因。另外，比較例5和11的燒結(jié)體含有粒徑過(guò)大(平均粒徑130(im或90pm)的石墨，因此，雖然滑動(dòng)特性良好，但還是會(huì)產(chǎn)生龜裂。此外，比較例9和10的燒結(jié)體只含有粗大的石墨，因此，雖然能得到良好的滑動(dòng)特性，但在側(cè)面產(chǎn)生龜裂。另外，比較例12的燒結(jié)體中，即使是其所含有的小的石墨也具有大到7pm以上的粒徑，因此燒結(jié)體中產(chǎn)生龜裂。作為一個(gè)例子，分別將比較例10的燒結(jié)體的側(cè)面的顯微鏡照片示于圖4中，將實(shí)施例6的燒結(jié)體的側(cè)面的顯微鏡照片示于圖5中。圖4中所示的燒結(jié)體的側(cè)面與圖5中所示的燒結(jié)體的側(cè)面相比，能夠確認(rèn)出多數(shù)產(chǎn)生龜裂。以上，燒結(jié)體只含有粗粒石墨時(shí)，具有良好的滑動(dòng)特性，但多數(shù)具有龜裂。作為解決該龜裂產(chǎn)生的問(wèn)題的方法，確認(rèn)出通過(guò)進(jìn)一步含有細(xì)微的石墨來(lái)抑制龜裂的產(chǎn)生的方法是有效的。權(quán)利要求1.一種陶瓷燒結(jié)體，其特征在于，含有碳化硅作為母材，并且，含有平均粒徑為5μm以下的固體潤(rùn)滑劑A和平均粒徑為10～70μm的固體潤(rùn)滑劑B。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陶瓷燒結(jié)體，其特征在于，所述固體潤(rùn)滑劑A和所述固體潤(rùn)滑劑B是石墨。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的陶瓷燒結(jié)體，其特征在于，相對(duì)于]00重量份的碳化硅，含有3~10重量份的所述固體潤(rùn)滑劑A、28重量份的所述固體潤(rùn)滑劑B。4.根據(jù)權(quán)利要求13中任一項(xiàng)所述的陶瓷燒結(jié)體，其特征在于，所述固體潤(rùn)滑劑A是由炭黑燒結(jié)而成的石墨和由熱固性樹(shù)脂燒結(jié)而成的石墨。5.根據(jù)權(quán)利要求1~3中任一項(xiàng)所述的陶瓷燒結(jié)體，其特征在于，所述固體潤(rùn)滑劑B是人造石墨。6.根據(jù)權(quán)利要求1~5中任一項(xiàng)所述的陶瓷燒結(jié)體，其特征在于，所述固體潤(rùn)滑劑A和所述固體潤(rùn)滑劑B的合計(jì)含量相對(duì)于100重量份的碳化硅為5~15重量份。7.根據(jù)權(quán)利要求15中任一項(xiàng)所述的陶瓷燒結(jié)體，其特征在于，相對(duì)密度是92%以上。8.根據(jù)權(quán)利要求1~7中任一項(xiàng)所述的陶瓷燒結(jié)體，其特征在于，在無(wú)加壓的條件下進(jìn)行燒結(jié)。9.根據(jù)權(quán)利要求18中任一項(xiàng)所述的陶瓷燒結(jié)體，其特征在于，碳化硅是aSiC。10.—種采用權(quán)利要求19中任一項(xiàng)所述的陶瓷燒結(jié)體的滑動(dòng)部件。11.一種陶瓷燒結(jié)體的制造方法，其特征在于，包括將含有碳化硅、熱固性樹(shù)脂、平均粒徑為150nm以下的炭黑以及平均粒徑為1070jim的人造石墨的混合物進(jìn)行燒結(jié)的工序。12.—種陶瓷燒結(jié)體的制造方法，其特征在于，包括將含有碳化硅粉末、平均粒徑為150nm以下的炭黑、平均粒徑為1070fim的人造石墨以及熱固性樹(shù)脂的混合物進(jìn)行燒結(jié)的工序，其中，當(dāng)碳化硅粉末為IOO重量份時(shí)，平均粒徑為150nm以下的炭黑為2~8重量份，平均粒徑為10~70pm的人造石墨為28重量份，熱固性樹(shù)脂換算成碳元素為13重量份。13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的陶瓷燒結(jié)體的制造方法，其特征在于，所述熱固性樹(shù)脂含有酚樹(shù)脂和/或呋喃樹(shù)脂。全文摘要本發(fā)明的目的是提供具有致密的結(jié)構(gòu)、龜裂的產(chǎn)生少、并且即使是無(wú)潤(rùn)滑狀態(tài)也具有優(yōu)良的滑動(dòng)特性的陶瓷燒結(jié)體和其制造方法，以及使用其的滑動(dòng)部件。本發(fā)明的合適的實(shí)施方式所涉及的燒結(jié)體含有碳化硅作為母材，并且含有平均粒徑為5μm以下的固體潤(rùn)滑劑A以及平均粒徑為10～70μm的固體潤(rùn)滑劑B。文檔編號(hào)F16C33/04GK101365660SQ20078000208公開(kāi)日2009年2月11日申請(qǐng)日期2007年2月22日優(yōu)先權(quán)日2006年2月24日發(fā)明者川合潔,赤坂和之申請(qǐng)人:日立化成工業(yè)株式會(huì)社