專利名稱：旋轉(zhuǎn)閥和吸附分離裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及通過旋轉(zhuǎn)部件與固定部件相互的滑動旋轉(zhuǎn)運動來切換 流體流路的旋轉(zhuǎn)閥，進一步涉及對將空氣中的氧分離并將氣供給呼吸 器官疾病患者等的壓力變動吸附型氧濃縮裝置的流路進行切換的旋轉(zhuǎn) 閥。本發(fā)明進而涉及使用這樣的旋轉(zhuǎn)閥的吸附分離裝置。
背景技術(shù)：
近年來出現(xiàn)了被肺氣腫病、慢性支氣管炎等呼吸器官系統(tǒng)疾病折 磨的患者增加的趨勢。作為對這樣的疾病最有效的治療方法的一個， 有氧吸入療法。另一方面開發(fā)了從空氣中直接分離氣濃縮氣體的氧濃 縮器，由于使用時方便并且維修管理容易，所以該氧濃縮器作為氧吸 入療法用的治療裝置逐漸普及。
作為該氧濃縮器，已知有填充了能夠選擇性地吸附氮的吸附劑的 吸附型氧濃縮器，其中使用空氣壓縮機作為空氣供給機構(gòu)的壓力變動 吸附型的氧濃縮器作為家庭氧吸入療法的裝置使用。該裝置通常以一 定的循環(huán)反復(fù)進行吸附工序和解吸工序，所述吸附工序從壓縮機對填 充了能夠選擇性地吸附氮的吸附劑的一個或多個吸附床供給壓縮空
氣，以加壓狀態(tài)吸附氮，從而獲得氧濃縮氣體；所述解吸工序降低吸 附床的內(nèi)壓并將氮解吸從而進行吸附劑的再生，進而根據(jù)需要，出于 提高吸附劑的再生效率和升壓的目的，而在解吸工序即將結(jié)束之前增 加使已經(jīng)生成的干燥氧濃縮氣體一部分逆流的均壓工序，通過以一定 循環(huán)依次進行來獲得氧濃縮氣體。通常一般是，通過由配管連接壓縮 機與吸附床并在它們之間設(shè)置閥機構(gòu)，來進行切換對吸附床的加壓空 氣的供給路徑的流路控制，但是在這樣的流路切換裝置中，存在部件 個數(shù)增加和維修出現(xiàn)不良情況的問題。
作為改善這些不良情況的裝置，已知的有日本特表平7-508205號 公報(專利文獻1)和日本特開2004-209263號公報(專利文獻2 )中 記栽的模塊化的氧濃縮裝置，其中將加壓空氣經(jīng)由內(nèi)置有旋轉(zhuǎn)閥的流 體分開裝置供給吸附床。該氧濃縮裝置為了用于家庭和醫(yī)療用途而必須小型化，這樣的流體分開裝置中使用的機械密封的旋轉(zhuǎn)閥和固定閥 部的結(jié)構(gòu)為了實現(xiàn)該模塊的小型化，而難以在閥內(nèi)取得足夠的機構(gòu)空
間，在機械密封的機構(gòu)上為這樣的結(jié)構(gòu)即，設(shè)置在旋轉(zhuǎn)軸側(cè)與旋轉(zhuǎn) 軸一起旋轉(zhuǎn)的作為滑動部件的轉(zhuǎn)子、和設(shè)置在非旋轉(zhuǎn)的殼體側(cè)的定子 的與軸心正交的面緊貼并滑動，由此防止流體從軸周泄漏，使用彈黃 等按壓機構(gòu)對軸心沿軸向作用栽荷。
在通常使用的機械密封中使用潤滑油等潤滑材料，來抑制滑動面 的滑動阻力，但是氧濃縮裝置等的切換呼吸用氣體的流路的閥不能使 用這樣的潤滑油。因此，為了優(yōu)化閥的滑動性，設(shè)計為通過使滑動面 的平面性極其平滑來抑制滑動阻力。
本申請的發(fā)明者發(fā)現(xiàn)在含有水分的加壓空氣等具有凝縮性的氣體 與這樣的閥連接的情況下，由于水分等液體在流路內(nèi)凝集的現(xiàn)象、或 在閥的滑動面上由于毛細管凝縮而產(chǎn)生凝縮水，在微量液體進入滑動 面的情況下，表面張力暫時處于支配地位，滑動阻力非常大，會引起 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)矩的上升。如果使用具有超過該轉(zhuǎn)矩上升量的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)矩的馬達， 則不會出現(xiàn)這樣的問題，但是在以裝置的小型化和輕質(zhì)化等為目的而 搭載以最小轉(zhuǎn)矩旋轉(zhuǎn)的馬達的裝置中，高濕度環(huán)境下的運轉(zhuǎn)會引起旋 轉(zhuǎn)速度的降低或停止。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明作為解決上述課題的手段，提供以下的旋轉(zhuǎn)閥和搭栽有旋 轉(zhuǎn)閥的吸附分離裝置，
本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)閥具備機械密封機構(gòu)，該機械密封機構(gòu)具有兩個滑 動部件，這兩個滑動部件具有相互滑動的滑動面并且流路在該滑動面 開口 ，該機械密封機構(gòu)通過對該滑動面施壓來密封流體并切換上述流 路，其特征在于，上述兩個滑動部件都具有以下結(jié)構(gòu)滑動面?zhèn)扔墒?水性部件構(gòu)成，該滑動面的相反側(cè)由剛性高于上述疏水性部件的部件 構(gòu)成，這些疏水性部件和高剛性部件接合從而一體化。
此外，本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)閥具備機械密封機構(gòu)，該機械密封機構(gòu)具有兩 個滑動部件，這兩個滑動部件具有相互滑動的滑動面并且流路在該滑
動面開口 ，該機械密封機構(gòu)通過對該滑動面施壓來密封流體并進行滑 動，從而切換上述流路，其特征在于，上迷兩個滑動部件的各自的至少滑動面?zhèn)染哂惺杷圆⑶覄傂员舜瞬煌?br> 此外，本發(fā)明的壓力變動吸附型的吸附分離裝置具備多個吸附 床，其中填充有吸附刑；供給機構(gòu)，對該吸附床供給處理氣體；和流 路切換部件，在一定的時機對吸附床依次加壓供給來自該供給機構(gòu)的 處理氣體從而進行吸附和解吸，其特征在于，上述流路切換部件是上 述旋轉(zhuǎn)閥，具備具有相互滑動的滑動面的兩個滑動部件，用來供給處 理氣體的氣體供給口和將處理后的氣體排出的氣體出口在一方的滑動 部件的滑動面上開口，在另一方的滑動部件的滑動面上形成有分配槽， 并且滑動面在被機械密封的同時滑動，由此來切換流路，即，兩個滑
動部件的各自的至少滑動面?zhèn)染哂惺杷圆⑶覄傂员舜瞬煌?


圖1是作為本發(fā)明的實施方式的優(yōu)選實施例的、含有滑動面的表 層部的一部分由具有水的疏水性的材料構(gòu)成的、滑動閥的第1實施例 的構(gòu)成圖。
圖2是本發(fā)明的含有滑動面的表層部全部由具有水的疏水性的材 料構(gòu)成的、滑動閥的第2實施例的構(gòu)成圖。 圖3是現(xiàn)有的滑動閥的構(gòu)成圖。 圖4是滑動轉(zhuǎn)矩濕度依存性試驗裝置的方框圖。 圖5是滑動轉(zhuǎn)矩濕度依存性試驗結(jié)果。 標號說明
1固定部件(剛性高的材料)
2固定部件(具有疏水性的材料)
3固定部件的粘結(jié)面
4旋轉(zhuǎn)部件(具有疏水性的材料)
5旋轉(zhuǎn)部件的粘結(jié)面
6旋轉(zhuǎn)部件(剛性高的材料)
7旋轉(zhuǎn)軸
8氣體供給口 (流路)
9處理氣體分配槽
10處理氣體出口 (流路)
具體實施例方式
以下參照附圖詳細說明本發(fā)明的實施方式，
本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)閥由在表面具有與流體流路連接的多個端口孔的定 子(固定部件)、和用來通過其旋轉(zhuǎn)運動切換該端口孔彼此的連接且 在表面具有連接流路的轉(zhuǎn)子(旋轉(zhuǎn)部件)構(gòu)成，該定子和該轉(zhuǎn)子分別 以具有該端口孔(流路)的面和具有該連接流路的面作為滑動面滑動 同時旋轉(zhuǎn)，從而切換該流體流路彼此的連接。轉(zhuǎn)子的連接流路的形狀 可以根據(jù)定子的端口孔的數(shù)量或配置而采用各種形狀，本發(fā)明的旋轉(zhuǎn) 閥的特征在于，該定子和轉(zhuǎn)子即滑動部件的至少包含該滑動部件的滑 動面的表層部由具有疏水性的材料構(gòu)成.在含有水分的加壓空氣等具 有凝縮性的氣體與這樣的閥連接的情況下，由于水在流路內(nèi)的液化凝 集現(xiàn)象，或在閥的滑動面上由于毛細管凝縮而產(chǎn)生凝縮水，在微量液 體進入滑動面的情況下，表面張力暫時處于支配地位。在本發(fā)明中， 通過為具備疏水性材料的滑動面的旋轉(zhuǎn)閥，能夠防止該現(xiàn)象的發(fā)生， 從而抑制滑動阻力的異常上升和旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)矩的上升。
該旋轉(zhuǎn)閥在切換含有水分的空氣等具有凝縮性的氣體的流路時特 別有效，端口孔的位置在該凝縮性氣體的流路周圍，特別是在切換含
有水蒸氣的空氣的閥的情況下，通過在該空氣的加壓流路周圍具備出 口端口孔，將空氣從中心的入口端口孔借助連接流路引導(dǎo)到周圍的出
口端口孔，能夠防止產(chǎn)生結(jié)露水的情況下的轉(zhuǎn)矩上升。
在該旋轉(zhuǎn)閥中，在端口數(shù)量少的情況下，單一的連接流路設(shè)置在 轉(zhuǎn)子表面上，但是在端口數(shù)量多的情況下，在轉(zhuǎn)子的滑動面的同一半 徑上具備多個開口部，能夠使該開口部間成為由滑動面的后背部連接 的流路。
作為定子和轉(zhuǎn)子即該滑動部件所使用的疏水性材料，有氟類材料
和硅類材料等，可以使用聚四氟乙烯樹脂(PTFE)、聚鍵醚酮樹脂 (PEEK)、聚縮醛樹脂(POM)等。特別優(yōu)選的可以舉出PTFE等 氟類疏水性樹脂材料。進而也可以舉出通過填充材料提高強度或滑動 性的材料，可以使用添加了聚酰亞胺纖維作為填料的PTFE樹脂、添 加了碳或聚乙烯纖維的PTFE樹脂.此外，作為表示這些材料的疏水 性的指標， 一般使用水滴接觸角，優(yōu)選的是水滴接觸角為90°以上.作為滿足該條件的材料有上述PTFE樹脂。
在兩個滑動部件的滑動面由相同部件構(gòu)成的情況下，由于材料硬 度相同，所以會出現(xiàn)滑動面一起磨損的現(xiàn)象。此外，通過共用材料有 時會發(fā)生凝固磨損等異常磨損，通過使一方的硬度比另一方柔軟，使 單方磨損并進行更換，通過使定子側(cè)為材料硬度略高的添加了聚酰亞 胺的PTFE樹脂，使轉(zhuǎn)子側(cè)為添加了碳的PTFE樹脂，能夠使轉(zhuǎn)子側(cè)為
更換部件。
滑動面由如上所述的疏水性樹脂部件構(gòu)成，即使添加了如上所述 的填充材料僅以樹脂部件在強度上也弱，在機械密封那樣的由彈簧等 按壓以進行密封的情況下，在施加栽荷的情況下，會引起變形.受到 栽荷的結(jié)構(gòu)體部分使用SUS、鋁、黃銅等金屬或陶瓷、復(fù)合材料等剛性 高的材料.
疏水性材料與剛性高于該疏水性材料的材料的接合通過表面改 性、涂敷、浸漬、粘結(jié)等方法進行。作為表面改性，有將自組織單分 子膜、DLC膜附著在基材上的方法，特別優(yōu)選的是將氟添加DLC膜附著 在基材上的方法等。作為涂敷一般是PTFE涂敷。浸漬一般是在基材表 面的空隙.空孔部浸漬疏水性材料的方法。
粘結(jié)有在金屬上特別優(yōu)選的是在不生銹的材料上粘結(jié)PTFE樹脂或 PTFE類樹脂從而構(gòu)成滑動部件的方法。 一般來說，PTFE樹脂或PTFE 類樹脂的粘結(jié)性不好，所以對粘結(jié)表面進行堿腐蝕處理，以除去表面 的氟基，從而能夠確保與環(huán)氧類等粘結(jié)劑的潤濕性。進而，為了增加 粘結(jié)面積，采取空氣鼓風加工來粘結(jié)的方法.
本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)閥可以應(yīng)用于壓力變動吸附型氧濃縮裝置。即，一 種壓力變動吸附型氧濃縮裝置具備填充有可選擇性地吸附氮而非氧 的吸附劑的吸附床；對該吸附床供給加壓空氣的空氣供給機構(gòu)；和將 從吸附床生成的氧濃縮空氣供給使用者的氧供給機構(gòu)，在流路切換閥 中具有旋轉(zhuǎn)閥，特別在將來自壓縮機等空氣供給機構(gòu)的加壓空氣供給 該吸附床的流路上具備上述的本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)閥， (實施例)
以下參照

作為本發(fā)明的實施方式的優(yōu)選實施例的旋轉(zhuǎn) 閥。圖1是本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)閥的實施例1的構(gòu)成圖，圖2是實施例2的構(gòu) 成圖，圖3是作為比較例表示現(xiàn)有技術(shù)的旋轉(zhuǎn)閥的構(gòu)成圖。實施例1
按照圖1的構(gòu)成圖說明本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)閥的實施例1。本實施例1的 旋轉(zhuǎn)閥是滑動閥，用于對多個處理工序供給從大氣取入的含有水蒸氣 的空氣，并且含有滑動面的表層部的一部分由具有疏水性的材料構(gòu)成.
旋轉(zhuǎn)部件4、 6、 7被未圖示的彈簧的反作用力垂直地按壓在固定 部件l、 2上.旋轉(zhuǎn)部件4、 6是由粘結(jié)面5粘結(jié)的一體部件，同樣， 固定部件l、 2也是由粘結(jié)面3粘結(jié)的一體部件。
在旋轉(zhuǎn)部件4、 6中，作為滑動面?zhèn)鹊牟考?使用PTFE類樹脂. 作為本PTFE類樹脂，使用添加了碳作為填料的PTFE樹脂(日本匕' ，一工業(yè)林式會社制H4C級).此外，在旋轉(zhuǎn)部件4、 6中，作為滑 動面相反側(cè)的部件6使用SUS304。旋轉(zhuǎn)部件4和6的粘結(jié)通過對部件 4的PTFE類樹脂的粘結(jié)表面進行堿腐蝕處理并將其粘結(jié)在SUS304的 部件6上來進行。
在固定部件1、 2中，作為滑動面?zhèn)鹊木哂惺杷缘牟考?使用 PTFE類樹脂。作為本PTFE類樹脂，使用添加了聚酰亞胺纖維作為填 料的PTFE樹脂(日本匕。， 一 工業(yè)林式會社制Y2A級).
在固定部件l、 2中，滑動面相反側(cè)的部件l作為剛性高于具有疏 水性的部件2的材料，使用SUS304。固定部件1、 2的粘結(jié)通過對構(gòu) 成具有疏水性的部件2的PTFE類樹脂的粘結(jié)表面進行堿腐蝕處理并 將其粘結(jié)在SUS304的部件1上來進行。
進而，未圖示的上述彈簧施加使空氣不從滑動面泄漏到系統(tǒng)外的 密封壓力。從同樣未圖示的馬達驅(qū)動裝置(動力源)產(chǎn)生的驅(qū)動轉(zhuǎn)矩 經(jīng)由旋轉(zhuǎn)軸7傳遞，使得旋轉(zhuǎn)部件4、 6以一定轉(zhuǎn)速(例如2 5rpm左 右)旋轉(zhuǎn)。使用未圖示的壓縮機壓縮含有水蒸氣的空氣，并從設(shè)置在 固定部件l、 2上的密封面(圖1 (b))的氣體供給口 (端口孔)8供 給空氣.在設(shè)置于固定部件l、 2上的氣體出口 (端口孑L) IO的位置與 分配槽9的位置一致的時刻，將處理氣體從氣體出口 IO經(jīng)由設(shè)置在旋 轉(zhuǎn)部件4、 6上的密封面(圖1 (c))的分配槽(連接流路)9供給到 四個處理工序。
本實施例1的旋轉(zhuǎn)閥在從大氣取入的含有水蒸氣的空氣的溫度、 濕度以及固定部件1、 2和旋轉(zhuǎn)部件4、 6的溫度變化的環(huán)境中運轉(zhuǎn)的 情況下，即使發(fā)生水的凝縮、結(jié)露現(xiàn)象，因凝縮力引起的轉(zhuǎn)矩上升也微小，空氣也不會從滑動面泄漏，能夠長期進行穩(wěn)定的連續(xù)運轉(zhuǎn).
實施例2
接下來按照圖2的構(gòu)成圖說明本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)閥的第2實施例，本 實施例2的旋轉(zhuǎn)閥是滑動閥，用于對多個處理工序供給從大氣取入的 含有水蒸氣的空氣，并且含有滑動面的表層部全部由具有水的疏水性 的材料構(gòu)成。
固定部件1由PTFE類樹脂的單一材料制成，在本實施例中使用 日本匕° ，—工業(yè)林式會社制Y2A級.此外，旋轉(zhuǎn)部件2也同樣由PTFE 類樹脂的單一材料制成，在本實施例中使用日本t'，一工業(yè)株式會社 制H4C級。其他結(jié)構(gòu)與實施例1的情況相同，
本實施例2的旋轉(zhuǎn)閥與實施例1相同，也在從大氣取入的含有水 蒸氣的空氣的溫度、濕度以及固定部件1和旋轉(zhuǎn)部件2的溫度變化的 環(huán)境中運轉(zhuǎn)的情況下，即使發(fā)生水的凝縮、結(jié)露現(xiàn)象，幾乎不會因凝 縮力而引起轉(zhuǎn)矩上升，空氣也不會從滑動面泄漏，能夠長期進行穩(wěn)定 的連續(xù)運轉(zhuǎn)。
比較例1
接下來按照圖3的構(gòu)成圖，說明作為本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)閥的比較例1、 在現(xiàn)有技術(shù)中使用的滑動部件使用親水性材料的旋轉(zhuǎn)閥。固定部件2， 使用陶瓷材料。旋轉(zhuǎn)部件4，使用通用為固體潤滑刑的碳素材料(碳或 石墨)。
本比較例1的旋轉(zhuǎn)閥在從大氣取入的含有水蒸氣的空氣的溫度、 濕度以及固定部件2，和作為旋轉(zhuǎn)部件的固體潤滑材料4，的溫度變化的 環(huán)境中運轉(zhuǎn)時，當發(fā)生水的凝縮、結(jié)露現(xiàn)象時，會發(fā)生因凝縮力而引 起的轉(zhuǎn)矩上升，從而超過馬達驅(qū)動裝置(動力源)的最大轉(zhuǎn)矩，引起 旋轉(zhuǎn)不良。
[變形例
以上參照

了本發(fā)明的實施例，但是本發(fā)明不限于上述的 實施例1和實施例2，可以在本發(fā)明的精神或范圍內(nèi)實施各種方式、變 形和修正等。例如，在上述的本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)閥的各實施例中，各實施 例的構(gòu)成也可以用作對具有多個吸附筒、反應(yīng)器或集塵器的系統(tǒng)分配 處理氣體的滑動閥。
此外，也可以將上述實施例1和實施例2中使用的滑動部件組合，例如固定部件像實施例1那樣是滑動面?zhèn)鹊氖杷圆考?與滑動面相 反側(cè)的高剛性部件1接合的一體結(jié)構(gòu)，旋轉(zhuǎn)部件像實施例2那樣由單 一的疏水性部件4構(gòu)成.此外，也可以反過來，固定部件像實施例2 那樣由單一的疏水性部件2構(gòu)成，旋轉(zhuǎn)部件像實施例1那樣是滑動面 側(cè)的疏水性部件4與滑動面相反側(cè)的高剛性部件6接合的一體結(jié)構(gòu)。 [效果的證明
使用實施例l、實施例2和比較例1的旋轉(zhuǎn)閥，定量地評價凝縮水 在滑動面上的表面張力的影響.具體來說，使滑動部件的環(huán)境濕度變 化，通過測量滑動轉(zhuǎn)矩，對在高濕度環(huán)境下在滑動面之間產(chǎn)生的凝縮 水的表面張力的影響進行實驗。圖4表示轉(zhuǎn)矩測量裝置的方框圖。在 恒溫恒濕的室內(nèi)，使溫度一定，僅階梯狀地改變相對濕度，來比較觀 察高濕度環(huán)境下的滑動轉(zhuǎn)矩的變化。
圖5表示實驗結(jié)果。與比較例1相比，在本發(fā)明的實施例1和實 施例2中，大幅改善了在滑動面之間產(chǎn)生的凝縮水的表面張力導(dǎo)致的 滑動轉(zhuǎn)矩上升。
在本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)閥和搭栽有該旋轉(zhuǎn)閥的吸附分離裝置中，對于低 濕度環(huán)境和高濕度環(huán)境之間的運轉(zhuǎn)環(huán)境的變化，能夠抑制旋轉(zhuǎn)閥的滑 動阻力的變動，能夠?qū)崿F(xiàn)壓力變動吸附型氧濃縮器等使用本發(fā)明的旋 轉(zhuǎn)閥的吸附分離裝置的穩(wěn)定運轉(zhuǎn)。
權(quán)利要求
1. 一種旋轉(zhuǎn)閥，具備機械密封機構(gòu)，該機械密封機構(gòu)具有兩個滑動部件，這兩個滑動部件具有相互滑動的滑動面并且流路在該滑動面開口，該機械密封機構(gòu)通過對該滑動面施壓來密封流體并切換上述流路，其特征在于，上述兩個滑動部件都具有以下結(jié)構(gòu)滑動面?zhèn)扔墒杷圆考?gòu)成，該滑動面的相反側(cè)由剛性高于上述疏水性部件的部件構(gòu)成，這些疏水性部件和高剛性部件接合從而一體化。
2. 如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)閥，其特征在于，上述疏水性部件是聚 四氟乙烯樹脂部件。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的旋轉(zhuǎn)閥，其特征在于，上述兩個滑動 部件的上述疏水性部件的硬度彼此不同。
4. 如權(quán)利要求3所述的旋轉(zhuǎn)閥，其特征在于，上述兩個滑動部件 的一方是固定部件，另一方是旋轉(zhuǎn)部件，旋轉(zhuǎn)部件的上述疏水性部件 由添加了碳作為填料的聚四氟乙烯樹脂構(gòu)成，固定部件的上述疏水性 部件由添加了聚酰亞胺作為填料的聚四氟乙烯樹脂構(gòu)成。
5. 如權(quán)利要求1至4中的任一項所述的旋轉(zhuǎn)閥，其特征在于，上 述高剛性部件由金屬材料制成。
6. —種旋轉(zhuǎn)閥，具備機械密封機構(gòu)，該機械密封機構(gòu)具有兩個滑動 部件，這兩個滑動部件具有相互滑動的滑動面并且流路在該滑動面開 口，該機械密封機構(gòu)通過對該滑動面施壓來密封流體并進行滑動，從 而切換上述流路，其特征在于，上述兩個滑動部件的各自的至少滑動 面?zhèn)染哂惺杷圆⑶覄傂员舜瞬煌?br> 7，如權(quán)利要求6所述的旋轉(zhuǎn)岡，其特征在于，上述兩個滑動部件 的一方是固定部件，另一方是旋轉(zhuǎn)部件，旋轉(zhuǎn)部件由添加了碳作為填 料的聚四氟乙烯樹脂構(gòu)成，固定部件由添加了聚酰亞胺作為填料的聚 四氟乙烯樹脂構(gòu)成。
8.如權(quán)利要求6所述的旋轉(zhuǎn)閥，其特征在于，上述兩個滑動部件 的一方具有以下結(jié)構(gòu)滑動面?zhèn)扔墒杷圆考?gòu)成，該滑動面的相反 側(cè)由剛性高于上述疏水性部件的部件構(gòu)成，這些疏水性部件和高剛性 部件接合從而一體化。
9. 一種吸附分離裝置，是壓力變動吸附型的吸附分離裝置，具備 多個吸附床，其中填充有吸附劑；供給機構(gòu)，對該吸附床供給處理氣 體；和流路切換部件，在一定的時機對吸附床依次加壓供給來自該供 給機構(gòu)的處理氣體從而進行吸附和解吸，其特征在于，上述流路切換部件是旋轉(zhuǎn)閥，具備具有相互滑動的滑動面的兩個 滑動部件，供給處理氣體的氣體供給口和將處理后的氣體排出的氣體 出口在一方的滑動部件的滑動面上開口，在另一方的滑動部件的滑動 面上形成有分配槽，并且滑動面被機械密封機構(gòu)密封并滑動，從而切 換流路，兩個滑動部件的各自的至少滑動面?zhèn)染哂惺杷圆⑶覄傂员?此不同。
全文摘要
本發(fā)明提供一種具備用來將含有水蒸氣的處理氣體供給多個處理工序的滑動部件的旋轉(zhuǎn)閥、以及使用這樣的旋轉(zhuǎn)閥的吸附分離裝置。該旋轉(zhuǎn)閥包括具備滑動部件(1、2；4、6)的機械密封機構(gòu)，該滑動部件具有相互滑動的滑動面并且流路(8、9、10)在該滑動面開口，該機械密封機構(gòu)通過對滑動面施壓來密封流體同時滑動，從而切換上述流路(8、9、10)，其特征在于，該滑動部件(1、2；4、6)的滑動面?zhèn)扔捎捕炔煌氖杷圆考?2、4)構(gòu)成。
文檔編號F16K3/08GK101432557SQ20078001571
公開日2009年5月13日 申請日期2007年4月26日 優(yōu)先權(quán)日2006年5月2日
發(fā)明者下里滿, 二宮正信, 布施敏彥, 武政賢治 申請人:帝人制藥株式會社;日本皮拉工業(yè)株式會社