專利名稱：一種氣/固兩相復(fù)合回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)方法與裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于精密回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種氣/固兩相復(fù)合回轉(zhuǎn)基準(zhǔn) 方法與裝置。
背景技術(shù)：
回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)是精密/超精密測(cè)量?jī)x器、試驗(yàn)裝備與制造裝備中的核心技術(shù)之一。 氣浮軸系由于具有回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)精度高、位移靈敏度高以及摩擦損耗極小等優(yōu)勢(shì)， 作為高精度回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)已越來越多地應(yīng)用于上述設(shè)備。
目前常用的氣浮軸系基本結(jié)構(gòu)主要由氣浮主軸和氣浮軸套兩部分組成，當(dāng) 在軸向和徑向構(gòu)建氣膜間隙以形成氣體支承和潤(rùn)滑后，氣浮主軸可帶動(dòng)負(fù)載在
氣浮軸套內(nèi)回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。然而，該類軸系結(jié)構(gòu)在實(shí)際應(yīng)用中存在如下幾個(gè)問題 (l)軸向支承剛度較小、承載能力較差。因此在承載過大的負(fù)載或有沖擊時(shí)氣 膜厚度急劇減小，極易引起主軸與軸套的直接接觸，發(fā)生干摩擦現(xiàn)象，嚴(yán)重破 壞軸系精度，甚至導(dǎo)致軸系報(bào)廢；(2)系統(tǒng)中存在的中、高頻微振動(dòng)破壞了運(yùn) 動(dòng)系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)特性，主軸運(yùn)動(dòng)重復(fù)性較差；(3)軸系的定位精度不高。 一方面 由于負(fù)載慣量的存在及聯(lián)軸節(jié)等傳動(dòng)部件具有應(yīng)力釋放過程，使主軸在定位過 程中存在緩慢地漂移現(xiàn)象；另一方面由于處于定位狀態(tài)下的軸系外加阻尼極小， 始終處于一種臨界的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，由軸系內(nèi)部的氣流擾動(dòng)及外部微小振動(dòng)等均可 使運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)處于微抖動(dòng)狀態(tài)，難以可靠、快速地定位于預(yù)定位置。
上述問題極大地影響和限制了氣浮軸系的使用，尤其在要求儀器與裝備同 時(shí)兼有大載荷、高精度、高剛度、低振動(dòng)及高定位精度等特性時(shí)，這些問題顯 得更為突出。
為解決氣浮軸系剛度小、承載能力低、易產(chǎn)生中、高頻微振動(dòng)及定位精度 差的問題，眾多學(xué)者和工程技術(shù)人員做了很多有益嘗試。
專利95245209.X "高剛度靜壓氣體止推軸承"提出了一種在止推盤上開有 兩排或兩排以上的供氣小孔，且不同排上的供氣小孔成徑向排列或交錯(cuò)排列的 止推軸承形式，以增加軸向支承剛度和承載能力；專利200510009745.5 "復(fù)合 節(jié)流靜壓氣體止推軸承"提出在軸承工作面上沿靜壓氣浮供氣點(diǎn)分布圓法線方 向加工有表面節(jié)流溝槽，并以靜壓氣浮供氣點(diǎn)為中心，沿靜壓氣浮供氣點(diǎn)分布 圓的圓周方向加工有不相通的均壓槽，使均壓槽與鄰近表面節(jié)流溝槽相通，可 在 一 定程度上改善軸承的承載能力和支承剛度。
以上兩種方案都是通過改善軸系供氣性能的途徑達(dá)到提高承載能力和軸向 支承剛度的目的，可適用于中、小載荷情況，但不能解決大承載或超大承載問 題；此外，這兩個(gè)方案對(duì)系統(tǒng)中存在的中、高頻微振動(dòng)及定位精度差的問題也 沒有解決。
-專利200710098789.9 "—種空氣軸承"提出了 一種在空氣軸承的中部區(qū)域設(shè) 計(jì)一個(gè)由上腔室和下腔室及阻尼孔組成的類似空氣彈簧雙腔室的結(jié)構(gòu)，當(dāng)空氣
軸承發(fā)生上、下振動(dòng)時(shí)，中部的壓力空氣經(jīng)過阻尼孔在兩個(gè)腔室中往復(fù)運(yùn)動(dòng)， 產(chǎn)生與空氣彈簧一樣的能量耗散機(jī)制，從而提升空氣軸承的阻尼能力。該發(fā)明 可在一定程度上改善氣浮主軸上、下方向的振動(dòng)幅度，但對(duì)于徑向振動(dòng)改善效 果并不顯著。此外，該方法是一種間接阻尼，仍利用氣體的可壓縮性構(gòu)建阻尼 效應(yīng)，因此存在著較大的時(shí)間常數(shù)和過渡過程。同樣，該方法也沒有解決氣浮 軸系無法用于大承載或超大承載以及定位精度差的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的就是針對(duì)上述已有技術(shù)存在的問題，提出一種將氣體潤(rùn)滑兼 誤差均化技術(shù)與固體支承兼阻尼技術(shù)復(fù)合使用的氣/固兩相復(fù)合回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)方法， 即通過在軸向止推氣膜和徑向氣膜內(nèi)配裝固體彈性元件，并對(duì)其進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)， 達(dá)到在最大程度保留氣浮軸系回轉(zhuǎn)精度高的優(yōu)勢(shì)前提下，實(shí)現(xiàn)顯著提高氣浮軸 系岡'J度和承載能力，減小或消除中、高頻微振動(dòng)以及提高定位精度的目的。本 發(fā)明還提供了一種基于上述方法的氣/固兩相復(fù)合回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)裝置。
上述目的通過以下的技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)
一種氣/固兩相復(fù)合回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)方法，該方法將氣體潤(rùn)滑兼誤差均化技術(shù)與固 體支承兼阻尼技術(shù)復(fù)合使用，實(shí)現(xiàn)可同時(shí)兼顧二者優(yōu)勢(shì)的氣/固兩相復(fù)合回轉(zhuǎn)基 準(zhǔn)
在氣浮軸系軸向止推氣膜內(nèi)施加軸向固體支承，并對(duì)支承元件優(yōu)化設(shè)計(jì)使 其工作特性滿足未加負(fù)載時(shí)，支承元件不工作，氣體支承單獨(dú)作用；負(fù)載逐 漸增大時(shí)，支承元件發(fā)生微彈性變形，隨變形量的微量增加，固體支承作用顯 著增強(qiáng)，最終形成以固體支承為主、氣體支承為輔,或氣體支承為主、固體支承 為輔，或氣體支承與固體支承作用相當(dāng)?shù)膹?fù)合支承形式，以顯著提升氣浮軸系 的軸向剛度和承載能力。
在氣浮軸系徑向氣膜內(nèi)施加徑向固體支承，并對(duì)支承元件優(yōu)化設(shè)計(jì)使其工 作特性滿足支承元件與主軸預(yù)先保持一定的接觸預(yù)緊力，并最終形成以氣體 支承為主、固體支承為輔的徑向支承形式。在主軸回轉(zhuǎn)時(shí)徑向支承元件與主軸 表面滑動(dòng)摩擦并發(fā)生微小彈性變形以耗散主軸的中、高頻微振動(dòng)能量，形成阻 尼環(huán)，提高主軸運(yùn)動(dòng)的重復(fù)性；在主軸定位狀態(tài)下，支承元件與主軸保持靜摩 擦狀態(tài)，利用其變形儲(chǔ)能特性和靜摩擦特性增大定位阻尼，提高定位精度。
軸向支承剛度隨軸向固體支承元件的微量壓縮變形而顯著增強(qiáng);徑向支承剛 度隨徑向固體支承元件的微量壓縮變形而顯著增強(qiáng)。
一種基于上述方法的氣/固兩相復(fù)合回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)裝置，包括氣浮主軸上止推 板、氣浮主軸和氣浮軸套，位于氣浮主軸上止推板與氣浮軸套之間的軸向止推 氣膜內(nèi)配置軸向固體彈性元件，該軸向固體彈性元件的下端固連在氣浮軸套的
上止推面上，其上端與氣浮主軸上止推板接觸配合；在位于氣浮主軸與氣浮軸 套之間的徑向氣膜內(nèi)配裝徑向固體彈性元件，該徑向固體彈性元件的一端與氣 浮軸套固接，另一端與氣浮主軸接觸配合。
在軸向止推氣膜內(nèi)的軸向固體彈性元件采用三個(gè)或三個(gè)以上且整體呈環(huán)形 均布配置結(jié)構(gòu)；在徑向氣膜內(nèi)的徑向固體彈性元件采用單排三個(gè)或三個(gè)以上在 圓周方向上均布、且沿軸向呈雙排或多排配置結(jié)構(gòu)；軸向固體彈性元件和徑向 固體彈性元件均用具有微彈性變形特性的非金屬材料制作。
本發(fā)明方法具有以下特點(diǎn)及有益效果
本發(fā)明方法將氣體潤(rùn)滑兼誤差均化技術(shù)與固體支承兼阻尼技術(shù)這兩個(gè)原本 相互獨(dú)立的技術(shù)有機(jī)的復(fù)合為一體，并使其功能與結(jié)構(gòu)相融合，利用優(yōu)化設(shè)計(jì) 方法，使所建立的復(fù)合回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)充分利用固體摩擦的阻尼特性和應(yīng)變/剛度特性， 最大限度的發(fā)揮固體支承/摩擦的承載能力強(qiáng)、剛度高和靜摩擦系數(shù)大的優(yōu)勢(shì)； 充分利用氣體的自潤(rùn)滑特性和誤差均化作用，最大限度的保持其位移靈敏度高 和回轉(zhuǎn)精度高的優(yōu)勢(shì)，可克服現(xiàn)有氣浮軸系無法同時(shí)兼顧這些特性的缺陷。
本發(fā)明裝置具有如下顯著特點(diǎn)
1 、本發(fā)明裝置中通過將多個(gè)固體彈性元件呈環(huán)形均布配置在軸向止推氣膜 內(nèi)，并與氣體支承復(fù)合作用，使復(fù)合后的軸向支承剛度遠(yuǎn)高于現(xiàn)有的純氣體支 承剛度，同時(shí)極大地提升了回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的軸向承載能力；固體支承的加入亦可有 效避免在過大負(fù)載或沖擊下軸系發(fā)生干摩擦現(xiàn)象，有效保護(hù)氣浮軸系不被破壞， 保證了其使用精度及使用壽命。
2 、本發(fā)明裝置中通過將多個(gè)固體彈性元件在氣浮軸系的徑向氣膜內(nèi)沿圓周
均布、且沿軸向呈雙排或多排配置，利用彈性元件的^:變形消耗振動(dòng)能量，可 顯著增大系統(tǒng)阻尼，有效抑制軸系徑向與軸向的中、高頻微振動(dòng)；在主軸定位 狀態(tài)下，利用彈性元件與主軸間靜摩擦?xí)r具有靜摩擦系數(shù)大及變形儲(chǔ)能特性的 特點(diǎn)，可增大定位阻尼并產(chǎn)生輔助鎖緊功能，顯著抑制定位過程中的抖動(dòng)和漂移。
本發(fā)明方法與裝置用途廣泛，尤其適用于精密/超精密測(cè)量?jī)x器、試驗(yàn)裝備 與制造裝備中回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的建立。


圖1為氣/固兩相復(fù)合回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)裝置總體配置結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2為圖1的A-A向剖視圖。
圖3為軸向負(fù)載逐漸增大時(shí)軸向固體彈性元件變形示意圖。 圖4為軸向氣體支承、固體支承和氣/固兩相復(fù)合支承剛度特性曲線示意圖。 圖中1、氣浮主軸上止推板；2、軸向固體彈性元件；3、軸向止推氣膜； 4、氣浮主軸；5、徑向氣膜；6、氣浮軸套；7、徑向固體彈性元件；a、軸向氣 體支承剛度特性曲線；b、軸向固體支承剛度特性曲線；c、軸向氣/固兩相復(fù)合 支承剛度特性曲線；ho、未加負(fù)載時(shí)氣膜厚度；hp軸向氣體支承剛度達(dá)到最大 時(shí)的氣膜厚度；h2、軸向固體支承元件的彈性變形量；Ko、軸向氣體支承剛度最 大值；W、負(fù)載。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例作詳細(xì)說明。
如圖1所示，為克服氣浮軸系軸向剛度低和承載能力差的問題，采用在軸
向止推氣膜3內(nèi)施加固體支承的方法，利用固體支承的大剛度、高承載特性與
氣體支承相復(fù)合，以提高氣浮軸系總的支承能力。對(duì)軸向支承進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)， 具體的設(shè)計(jì)原則可根據(jù)實(shí)際使用情況確定。本實(shí)施例以在軸向氣膜剛度達(dá)到最 大時(shí)，氣/固兩相復(fù)合支承恰好平衡負(fù)載重量作為設(shè)計(jì)準(zhǔn)則。已知待設(shè)計(jì)的復(fù)合
回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)可承擔(dān)負(fù)載重量為W0,未加負(fù)載時(shí)氣浮主軸上止推板1與氣浮軸套6 之間的氣膜厚度為ho,通過理論計(jì)算可預(yù)先獲得軸向止推氣膜剛度曲線，曲線 示意圖如圖4中a所示，由曲線a可得到氣體支承剛度達(dá)到最大值Ko時(shí)的氣膜 厚度值為hp此時(shí)氣體支承自身可承擔(dān)的負(fù)載重為Wr，才艮據(jù)上述已知條件可將 固體支承的彈性壓縮變形量設(shè)計(jì)為ho-hp除去氣體支承所分擔(dān)的負(fù)載Wi,此時(shí) 固體支承應(yīng)承擔(dān)的負(fù)載重量為Wo-W,;對(duì)固體支承元件的使用數(shù)量和安裝方式 進(jìn)行設(shè)計(jì)，令優(yōu)化設(shè)計(jì)后的固體支承工作特性滿足主軸未加負(fù)載時(shí)，支承元 件上端恰好和氣浮主軸上止推板1接觸，但沒有接觸壓力，此時(shí)氣體支承單獨(dú) 作用；在負(fù)載W逐漸增大時(shí)，支承元件2發(fā)生微彈性變形，其變形示意圖如圖 3所示，圖3中標(biāo)號(hào)1為未加負(fù)載時(shí)氣浮主軸上止推板1的軸向初始位置，r 為負(fù)載增大時(shí)上止推板1的軸向變化位置；2為未加負(fù)載時(shí)支承元件的初始狀態(tài)， 2'為增大負(fù)載后支承元件變形后狀態(tài)。隨變形量的微量增大，固體支承作用顯 著增強(qiáng)，其剛度也顯著增加，并逐步形成以固體支承為主，氣體支承為輔的復(fù) 合支承形式，復(fù)合后的軸向支承剛度得到大幅度提升，不同支承形式的支承剛 度對(duì)比曲線如圖4所示，其中曲線a為純氣體支承剛度曲線，曲線b為固體支 承剛度曲線，曲線c為氣/固兩相復(fù)合的支承剛度曲線。從圖4中不難看出，氣/ 固兩相復(fù)合后的軸向剛度遠(yuǎn)大于純氣體支承剛度。同理，復(fù)合承載能力也隨之 大幅度地提升。
為克服氣浮軸系存在的中、高頻微振動(dòng)和定位精度差的問題，采用在軸系
的徑向氣膜5內(nèi)施加徑向固體支承，并對(duì)支承元件7優(yōu)化設(shè)計(jì)后令其工作特性 滿足支承元件7與主軸4預(yù)先保持一定的接觸預(yù)緊力，并形成以氣體支承為 主，固體支承為輔的徑向支承形式，以盡量確保主軸的回轉(zhuǎn)精度損失最小。在 主軸4回轉(zhuǎn)時(shí)徑向支承元件7與主軸表面滑動(dòng)摩擦并發(fā)生微小彈性變形以耗散 主軸的中、高頻微振動(dòng)能量，提高主軸運(yùn)動(dòng)的重復(fù)性；在主軸定位狀態(tài)下，支 承元件7與主軸4保持靜摩擦，并利用支承元件的變形儲(chǔ)能特性和靜摩擦特性 增大定位阻尼，提高定位精度。
基于上述方法建立的氣/固兩相復(fù)合回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)裝置結(jié)構(gòu)示意圖如圖1和圖2 所示，包括氣浮主軸上止推板l、氣浮主軸4和氣浮軸套6，在位于氣浮主軸上 止推板1與氣浮軸套6之間的軸向止推氣膜3內(nèi)配置軸向固體彈性元件2,該軸 向固體彈性元件2的下端固連在氣浮軸套6上止推面上，其上端與氣浮主軸上 止推板1接觸配合，并根據(jù)三點(diǎn)確定一個(gè)平面的原理，軸向固體支承設(shè)計(jì)為三 點(diǎn)環(huán)形支承結(jié)構(gòu)，即三個(gè)相同結(jié)構(gòu)的軸向固體彈性元件2沿圓周方向以120°等 間隔均勻布置，且為減小其與上止推板1的摩擦，將彈性元件2與上止推板設(shè) 計(jì)為小面積接觸，為近似的點(diǎn)接觸結(jié)構(gòu)。
在位于氣浮主軸4與氣浮軸套6之間的徑向氣膜5內(nèi)配置徑向固體彈性元 件7，該徑向固體彈性元件7的一端與氣浮軸套6固接，另一端與氣浮主軸4接 觸配合。同理，根據(jù)三點(diǎn)確定一個(gè)平面的原理，以一個(gè)平面為一排，將每排徑 向固體支承也設(shè)計(jì)為三點(diǎn)環(huán)形支承結(jié)構(gòu)，即三個(gè)相同結(jié)構(gòu)的徑向固體彈性元件7 在氣浮軸套6內(nèi)部同一平面上沿圓周方向以120°等間隔均勻布置，為使徑向支 承平衡，在沿軸向方向設(shè)置雙排或者多排支承。
軸向固體彈性元件2可著重選擇支承特性好、摩擦損耗小的材料制作，如 聚四氟乙烯、尼龍等工程塑料；徑向固體彈性元件7可著重選擇阻尼特性較好的材料制作，如采用美國(guó)3M公司的ISD110、 ISD112等牌號(hào)的阻尼材料。需要說明的是，對(duì)于軸向固體支承的使用形式，也可根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行設(shè)計(jì)，如當(dāng)承載要求不是很高時(shí)，可設(shè)計(jì)為氣體支承為主、固體支承為輔的支承形式，或氣體支承與固體支承作用相當(dāng)?shù)闹С行问?；?duì)于徑向固體支承，也可根據(jù)主軸實(shí)際長(zhǎng)度及微振動(dòng)特性等設(shè)置多排支承結(jié)構(gòu)。依據(jù)本發(fā)明建立的氣/固兩相復(fù)合回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)，可同時(shí)兼有高精度、大剛度、大承載、低振動(dòng)以及高的位移靈敏度等特性。
權(quán)利要求
1、一種氣/固兩相復(fù)合回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)方法，其特征在于該方法將氣體潤(rùn)滑兼誤差均化技術(shù)和固體支承兼阻尼技術(shù)復(fù)合使用在氣浮軸系軸向止推氣膜內(nèi)施加軸向固體支承，并對(duì)支承元件優(yōu)化設(shè)計(jì)使其工作特性滿足未加負(fù)載時(shí)，支承元件不工作，氣體支承單獨(dú)作用；負(fù)載逐漸增大時(shí)，支承元件發(fā)生微彈性變形，且隨變形量的微量增加，固體支承作用顯著增強(qiáng)，最終形成以固體支承為主、氣體支承為輔，或氣體支承為主、固體支承為輔，或氣體支承與固體支承作用相當(dāng)?shù)膹?fù)合支承形式；在氣浮軸系徑向氣膜內(nèi)施加徑向固體支承，并對(duì)支承元件優(yōu)化設(shè)計(jì)使其工作特性滿足支承元件與主軸保持一定的接觸預(yù)緊力，并形成以氣體支承為主、固體支承為輔的徑向支承形式。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣/固兩相復(fù)合回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)方法，其特征在于其軸向 支承剛度隨軸向固體支承元件的微量壓縮變形而顯著增強(qiáng)。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣/固兩相復(fù)合回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)方法，其特征在于其徑向 支承剛度隨徑向固體支承元件的微量壓縮變形而顯著增強(qiáng)。
4、 一種氣/固兩相復(fù)合回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)裝置，包括氣浮主軸上止推板(1 )、氣浮主 軸(4)和氣浮軸套(6),其特征在于在位于氣浮主軸上止推板(1)與氣浮軸 套(6)之間的軸向止推氣膜(3)內(nèi)配裝軸向固體彈性元件(2),該軸向固體 彈性元件(2)的下端固連在氣浮軸套(6)的上止推面上，其上端與氣浮主軸 上止推板(1)接觸配合；在位于氣浮主軸(4)與氣浮軸套(6)之間的徑向氣 膜(5)內(nèi)配裝徑向固體彈性元件(7),該徑向固體彈性元件(7)的一端與氣 浮軸套(6)固接，另一端與氣浮主軸(4)接觸配合。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的氣/固兩相復(fù)合回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)裝置，其特征在于在軸向 止推氣膜(3)內(nèi)的軸向固體彈性元件(2)采用三個(gè)或三個(gè)以上且整體呈環(huán)形 均布配置結(jié)構(gòu)。
6、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的氣/固兩相復(fù)合回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)裝置，其特征在于在徑向 氣膜(5)內(nèi)的徑向固體彈性元件(7)采用每排三個(gè)或三個(gè)以上在圓周方向上 均布、且沿軸向呈雙排或多排配置結(jié)構(gòu)。
7、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的氣/固兩相復(fù)合回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)裝置，其特征在于軸向固 體彈性元件(2)和徑向固體彈性元件(7)均用具有微彈性變形特性的非金屬 材料制作。
全文摘要
氣/固兩相復(fù)合回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)方法與裝置屬于精密回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)技術(shù)領(lǐng)域；該方法將氣體潤(rùn)滑兼誤差均化技術(shù)和固體支承兼阻尼技術(shù)復(fù)合使用，通過在氣浮軸系的軸向止推氣膜內(nèi)施加軸向固體支承，形成以固體支承為主、氣體支承為輔，或氣體支承為主、固體支承為輔，或氣體支承與固體支承作用相當(dāng)?shù)膹?fù)合支承形式，顯著提升軸向剛度和承載能力；在氣浮軸系的徑向氣膜內(nèi)施加徑向固體支承，利用彈性元件的微小彈性變形耗散主軸的中、高頻微振動(dòng)能量，并利用彈性元件的變形儲(chǔ)能與靜摩擦特性增大定位阻尼，提高定位精度；其裝置分別在軸向止推氣膜和徑向氣膜內(nèi)配裝固體彈性元件；本發(fā)明可建立一種同時(shí)兼顧高精度、高剛度、大承載、低振動(dòng)以及高位移靈敏度的回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)。
文檔編號(hào)F16C32/06GK101338790SQ20081013690
公開日2009年1月7日 申請(qǐng)日期2008年8月13日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月13日
發(fā)明者楊文國(guó), 譚久彬, 金國(guó)良, 黃景志 申請(qǐng)人:哈爾濱工業(yè)大學(xué)