專利名稱：壓力調(diào)節(jié)閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種壓力調(diào)節(jié)閥，特別涉及一種可減少由表面污染所帶來 的問題的壓力調(diào)節(jié)閥。
背景技術(shù)：
化學(xué)氣相淀積室常常裝配有壓力調(diào)節(jié)閥以滿足其內(nèi)反應(yīng)對于壓力的要求。 然而其內(nèi)的化學(xué)反應(yīng)往往伴隨有副產(chǎn)品的產(chǎn)生，此副產(chǎn)品在高溫下為氣態(tài)，而
其流過壓力調(diào)節(jié)閥時(shí)， 一旦溫度低于一定程度便轉(zhuǎn)換為固態(tài)粉粒而極易覆蓋于 壓力調(diào)節(jié)閥的閥門葉片之上而導(dǎo)致其表面污染，嚴(yán)重時(shí)將導(dǎo)致其功能失效。
請參考圖1,其為已知的壓力調(diào)節(jié)閥的截面示意圖。其安裝于化學(xué)氣相淀積
室與氣泵之間，氣泵通過該壓力調(diào)節(jié)閥的開口 10向化學(xué)氣相淀積室注入或從中 排除氣體，從而調(diào)節(jié)淀積室內(nèi)的氣壓。該壓力調(diào)節(jié)閥具有一閥門葉片20，其在 發(fā)動機(jī)40的帶動下可繞著中心軸30轉(zhuǎn)動，以打開或關(guān)閉閥門。當(dāng)其轉(zhuǎn)動到如 圖l所示的位置時(shí)，即閥門葉片20完全遮蓋開口 10，閥門為關(guān)閉狀態(tài)，以保持 淀積室內(nèi)的氣壓；其旋轉(zhuǎn)至其它位置時(shí)，閥門為打開狀態(tài)，以改變淀積室內(nèi)的 氣壓。然而由上述可知，淀積室內(nèi)的反應(yīng)往往伴隨著副產(chǎn)品的產(chǎn)生，其于經(jīng)過 該閥門葉片20時(shí)，會由于溫度降低而轉(zhuǎn)換為粉粒P附著于其上而造成污染。嚴(yán) 重時(shí)，如圖1所示，堆積于閥門葉片周邊的粉粒P會阻礙閥門葉片的轉(zhuǎn)動，從 而導(dǎo)致該壓力調(diào)節(jié)閥無法正常工作。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于提供一種壓力調(diào)節(jié)閥，以解決現(xiàn)有壓力調(diào)節(jié)閥由于 表面污染所帶來的問題。
為此，本實(shí)用新型提供一種壓力調(diào)節(jié)閥，其中形成有通孔，其包括閥門 葉片，沿著與通孔垂直的方向移動，其中當(dāng)該閥門葉片移動至第一位置時(shí)，完
全遮擋住通孔，當(dāng)該閥門葉片移動至第二位置時(shí)，完全暴露出通孔。
進(jìn)一步的，所述的壓力調(diào)節(jié)閥還包括與閥門葉片相連的溫控裝置，以控制
閥門葉片的溫度。
進(jìn)一步的，該閥門葉片具有相對于其移動方向傾斜的傾斜面。
進(jìn)一步的，上述傾斜面相對于運(yùn)動方向傾斜的角度大于或等于30度。 進(jìn)一步的，該閥門葉片具有與其移動方向平行且與上述傾斜面相對的移動面。
進(jìn)一步的，上述移動面上對稱安裝有多個(gè)滾^"。 進(jìn)一步的，上述滾^^的個(gè)數(shù)為四個(gè)，對稱安裝于上述移動面。 進(jìn)一步的，壓力調(diào)節(jié)閥內(nèi)形成有兩個(gè)滑槽，其對稱位于通孔兩側(cè)，其中上 述滾輪于該滑槽內(nèi)滾動以帶動閥門葉片的移動。
進(jìn)一步的，所述的壓力調(diào)節(jié)閥還包括發(fā)動機(jī)，以驅(qū)動閥門葉片的移動。 本實(shí)用新型提供的壓力調(diào)節(jié)閥，其閥門葉片以平移的方式來開啟或關(guān)閉閥 門，相對于現(xiàn)有技術(shù)的轉(zhuǎn)動方式，避免了附著于閥門葉片上的粉粒阻礙其轉(zhuǎn)動 而導(dǎo)致其失效的情況；同時(shí)，其采用了溫控裝置來控制閥門葉片的溫度與閥門 葉片的傾斜表面設(shè)計(jì)來減少其表面的粉粒附著量，從而實(shí)現(xiàn)了更為有效的閥門 控制方式。


圖1為已知的壓力調(diào)節(jié)閥的截面示意圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的壓力調(diào)節(jié)閥的正側(cè)圖3為本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的壓力調(diào)節(jié)閥的右側(cè)圖4為本實(shí)施例的壓力調(diào)節(jié)閥的內(nèi)部示意圖5為本實(shí)施例的壓力調(diào)節(jié)閥處于關(guān)閉與完全打開狀態(tài)時(shí)的示意圖6為本實(shí)用新型一實(shí)施例中閥門葉片的截面示意圖與立體圖。
具體實(shí)施方式
下面參照附圖并結(jié)合實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)的描述。
請參考圖2與圖3,其分別為本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的壓力調(diào)節(jié)閥的正側(cè)圖與右側(cè)圖。再合并參考圖4與圖5，其中圖4為本實(shí)施例的壓力調(diào)節(jié)閥的內(nèi)部 示意圖，圖5為本實(shí)施例的壓力調(diào)節(jié)閥處于關(guān)閉與完全打開狀態(tài)時(shí)的示意圖。
如圖所示，該壓力調(diào)節(jié)閥具有外殼10,其內(nèi)形成有通孔12,通孔12兩側(cè) 分別接通反應(yīng)室(例如，化學(xué)氣相淀積室)與氣泵，以使氣泵通過該通孔12向 反應(yīng)室內(nèi)注入或從中排除氣體。壓力調(diào)節(jié)閥內(nèi)包括閥門葉片14,其可沿著與通 孔12垂直的方向移動，如圖5中的箭頭方向。其中當(dāng)閥門葉片14處于圖5所 示的第一位置時(shí)，完全暴露出通孔12,該壓力調(diào)節(jié)閥處于完全打開狀態(tài)；閥門 葉片14向箭頭方向移動，逐漸遮擋通孔12,當(dāng)其移動至圖5所示的第二位置時(shí)， 完全遮擋住通孔12，該壓力調(diào)節(jié)閥處于關(guān)閉狀態(tài)。如此，利用閥門葉片14的平 移運(yùn)動來打開或關(guān)閉閥門，避免了先前技術(shù)中粉粒堆積于閥門葉片表面時(shí)阻礙 其轉(zhuǎn)動而引起其失效的問題。
如圖，該壓力調(diào)節(jié)閥還包括與閥門葉片14相連的溫控裝置16，以控制閥門 葉片14的溫度，從而使反應(yīng)室中產(chǎn)生的副產(chǎn)品于接觸閥門葉片14時(shí)，不會因 溫度降低而轉(zhuǎn)化為固態(tài)粉粒而堆積于其上，由此減少了閥門葉片14表面的污染。 該溫控裝置16由熱傳導(dǎo)件162與控溫件164組成，其中熱傳導(dǎo)件162與閥門葉 片14連接，以將熱傳給閥門葉片14,而控溫件164感測并控制熱傳導(dǎo)件162的 溫度。另外發(fā)動機(jī)18與閥門葉片14連接以為閥門葉片14的移動提供驅(qū)動力。
以上描述了利用溫控裝置16來減少閥門葉片14表面粉粒堆積的方法，而 具有特定結(jié)構(gòu)的閥門葉片14也可以達(dá)到此效果。請參考圖6，其為本實(shí)用新型 一實(shí)施例中壓力調(diào)節(jié)閥的閥門葉片14的截面示意圖與立體圖。閥門葉片14具 有相對于其移動方向(如圖中箭頭方向)傾斜的傾斜面142,粉粒P便附著于該 表面，由于其特定的傾斜設(shè)計(jì)，而使得粉粒P易于沿著傾斜面142滑落，減少 附著量。從力學(xué)角度，其傾斜角度為30度或大于30度，更加有益粉粒P的滑 落。而在本實(shí)施例中閥門葉片的形狀為四邊形，但是本實(shí)用新型并不限制其形 狀，其可為任意形狀，只要可以遮擋柱通孔12即可。
可見，溫控裝置16通過控制閥門葉片14表面的溫度而減少副產(chǎn)品轉(zhuǎn)化為 固態(tài)粉粒的幾率；閥門葉片14傾斜面142的設(shè)計(jì)又可減少其表面的固態(tài)粉粒附 著量，從而從兩方面有效的減少了閥門葉片14表面粉粒附著量。
此外，與傾斜面相對的另一面可設(shè)定為移動面144,其與閥門葉片14的移
動方向平行，為減少移動中的摩擦，于其上對稱安裝有多個(gè)滾輪146。在本實(shí)施 例中安裝有4個(gè)滾輪146,但本實(shí)用新型并不限制其個(gè)數(shù)。為了定位滾輪146的 滑動軌跡，可于壓力調(diào)節(jié)閥內(nèi)設(shè)計(jì)兩個(gè)滑槽20，其對稱位于通孔12的兩側(cè)。
以上僅為舉例，并非用以限定本實(shí)用新型，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以 權(quán)利要求書所涵蓋的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種壓力調(diào)節(jié)閥，其中形成有通孔，其特征是，包括閥門葉片，沿著與通孔垂直的方向移動，其中當(dāng)該閥門葉片移動至一第一位置時(shí)，完全暴露出通孔，當(dāng)該閥門葉片移動至一第二位置時(shí)，完全遮擋住通孔。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力調(diào)節(jié)閥，其特征是，還包括 與閥門葉片相連的溫控裝置，以控制閥門葉片的溫度。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓力調(diào)節(jié)閥，其特征是，上述溫控裝置包括熱傳 導(dǎo)件與控溫件，其中熱傳導(dǎo)件與閥門葉片連接，控溫件感測并控制熱傳導(dǎo)件的溫度。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力調(diào)節(jié)閥，其特征是，其中該閥門葉片具有相 對于其移動方向傾斜的傾斜面。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓力調(diào)節(jié)閥，其特征是，其中上述傾斜面相對于 運(yùn)動方向傾斜的角度大于或等于30度。
6. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓力調(diào)節(jié)閥，其特征是，其中該閥門葉片具有與 其移動方向平行且與上述傾斜面相對的移動面。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓力調(diào)節(jié)閥，其特征是，其中上述移動面上對稱 安裝有多個(gè)滾輪。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的壓力調(diào)節(jié)閥，其特征是，其中上述滾輪的個(gè)數(shù)為 四個(gè)，對稱安裝于上述移動面。
9. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的壓力調(diào)節(jié)閥，其特征是，其中壓力調(diào)節(jié)閥內(nèi)形成 有兩個(gè)滑槽，其對稱位于通孔兩側(cè)，其中上述滾輪于該滑槽內(nèi)滾動以帶動閥門 葉片的移動。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力調(diào)節(jié)閥，其特征是，還包括發(fā)動機(jī)，以驅(qū)動 閥門葉片的移動。
專利摘要本實(shí)用新型揭露了一種壓力調(diào)節(jié)閥，其閥門葉片以平移的方式來開啟或關(guān)閉閥門，相對于現(xiàn)有技術(shù)的轉(zhuǎn)動方式，避免了附著于閥門葉片上的粉粒阻礙其轉(zhuǎn)動而導(dǎo)致其失效的情況。該壓力調(diào)節(jié)閥中形成有通孔，其包括閥門葉片，沿著與通孔垂直的方向移動，其中當(dāng)該閥門葉片移動至一第一位置時(shí)，完全暴露出通孔；當(dāng)該閥門葉片移動至一第二位置時(shí)，完全遮擋住通孔。
文檔編號F16K17/36GK201187590SQ20082005656
公開日2009年1月28日 申請日期2008年3月25日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月25日
發(fā)明者亮 許 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司