專利名稱：擴散爐波紋管、爐門密封裝置及擴散爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及太陽電池制造領(lǐng)域，尤其是一種用于擴散爐石英爐門固定的波紋 管、爐門密封裝置及擴散爐。
背景技術(shù)：
在制造太陽電池的過程中，由于PN結(jié)是太陽電池光電轉(zhuǎn)換的關(guān)鍵，擴散工藝的目 的就是要在硅片上形成良好的P-N結(jié)。其原理是在高溫下，使磷原子擴散進(jìn)入硅片，使硅片 表層一定厚度的硅片變成N型，P型和N型交界的那個面就是所謂的P-N結(jié)，使用的設(shè)備是 擴散爐。擴散爐的爐門密封裝置是用以使擴散爐內(nèi)部與外部隔絕并保持一定的密封度，來 滿足太陽能電池生產(chǎn)線上的閉管擴散工藝。擴散爐包括用于密封固定爐門的波紋管，波紋 管的波紋結(jié)構(gòu)可用以補償管道因溫度變化等原因引起的伸張、收縮變化量，同時也可有限 度的補償管道徑向位移量，以及減弱振動在管道系統(tǒng)的傳播。當(dāng)擴散爐運行時，由于擴散爐溫度太高，現(xiàn)有的整個波紋管都是波紋狀的，該結(jié)構(gòu) 導(dǎo)致它強度不夠，受高溫后容易變形，導(dǎo)致以下兩個后果1、石英爐門傾斜，導(dǎo)致爐門與石 英管密封不嚴(yán)，導(dǎo)致硅片返工；2、石英爐門脫落，導(dǎo)致石英爐門損壞，影響了設(shè)備的正常運 行。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種有效減少波紋管受高 溫變形的擴散爐波紋管。本實用新型的另一目的是提供一種能夠有效減少波紋管受高溫變形的擴散路及 擴散爐爐門密封裝置。按照本實用新型提供的技術(shù)方案，一種閉管擴散爐波紋管，包括波紋段和光滑段， 所述波紋段的管體呈波紋狀，所述光滑段的管體具有光滑的管面。優(yōu)選地，所述波紋管為一體結(jié)構(gòu)。優(yōu)選地，所述波紋管由耐腐蝕材料制成。優(yōu)選地，所述波紋管由PVC材料制成。一種擴散爐的爐門密封裝置，包括碳化硅槳、設(shè)置在所述碳化硅槳上的石英爐門、套設(shè)在所述碳化硅槳上的波紋管，所述波紋管包括波紋段和光滑段，所述波紋段的管體呈 波紋狀，所述光滑段的管體具有光滑的管面。優(yōu)選地，所述波紋管為一體結(jié)構(gòu)。一種擴散爐，包括上述所述的擴散爐的爐門密封裝置。優(yōu)選地，所述波紋管為一體結(jié)構(gòu)。優(yōu)選地，所述波紋管由耐腐蝕材料制成。優(yōu)選地，所述波紋管由PVC材料制成。[0017]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的優(yōu)點是由于本實用新型的波紋管包括波紋段和 光滑段，而非全部是波紋段，使波紋管的強度大大增強，能有效的減少波紋管受高溫后變形 的現(xiàn)象，從而減少因爐門與石英管密封不嚴(yán)而導(dǎo)致硅片返工情況的發(fā)生，減少爐門損壞數(shù) 量，提高設(shè)備的利用率，降低設(shè)備的維護成本。

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
下面結(jié)合具體附圖和實施例對本實用新型作進(jìn)一步說明。如圖所示一種擴散爐波紋管，包括波紋段1和光滑段2 ，所述波紋段1的管體呈 波紋狀，所述光滑段2的管體具有光滑的管面。所述波紋管的波紋段1和光滑段2為一體 結(jié)構(gòu)制成。所述波紋管由耐腐蝕材料制成，本實施例由PVC材料制成。一種擴散爐的爐門密封裝置，包括碳化硅槳、設(shè)置在所述碳化硅槳上的石英爐門、 套設(shè)在所述碳化硅槳上用于爐門密封固定的波紋管。所述波紋管包括波紋段和光滑段，所 述波紋段的管體呈波紋狀，所述光滑段的管體具有光滑的管面，且為一體式結(jié)構(gòu)。一種擴散爐，包括上述的擴散爐的爐門密封裝置。由于本實用新型所述的波紋管包括波紋段1和光滑段2，與現(xiàn)有技術(shù)相比，有效的 提高了它的強度，且不影響它的正常使用，受高溫后不容易變形，從而減少因爐門與石英管 密封不嚴(yán)而導(dǎo)致硅片返工情況的發(fā)生，減少爐門損壞數(shù)量，提高設(shè)備的利用率，降低設(shè)備的 維護成本。以上實施例僅為本實用新型的示例性實施例，不用于限制本實用新型，本實用新 型的保護范圍由權(quán)利要求書限定。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在本實用新型的實質(zhì)和保護范圍 內(nèi)，對本實用新型做出各種修改或等同替換，這種修改或等同替換也應(yīng)視為落在本實用新 型的保護范圍內(nèi)。
權(quán)利要求一種擴散爐波紋管，其特征是包括波紋段和光滑段，所述波紋段的管體呈波紋狀，所述光滑段的管體具有光滑的管面。
2.如權(quán)利要求1所述的擴散爐波紋管，其特征是所述波紋管為一體結(jié)構(gòu)。
3.如權(quán)利要求1所述的擴散爐波紋管，其特征是所述波紋管由耐腐蝕材料制成。
4.如權(quán)利要求3所述的擴散爐波紋管，其特征是所述波紋管由PVC材料制成。
5.一種擴散爐的爐門密封裝置，包括碳化硅槳、設(shè)置在所述碳化硅槳上的石英爐門、套 設(shè)在所述碳化硅槳上的波紋管，其特征在于所述波紋管包括波紋段和光滑段，所述波紋段 的管體呈波紋狀，所述光滑段的管體具有光滑的管面。
6.如權(quán)利要求5所述的擴散爐的爐門密封裝置，其特征在于所述波紋管為一體結(jié)構(gòu)。
7.一種擴散爐，其特征在于包括如權(quán)利要求5所述的擴散爐的爐門密封裝置。
8.如權(quán)利要求7所述的擴散爐，其特征在于所述波紋管為一體結(jié)構(gòu)。
9.如權(quán)利要求7所述的擴散爐，其特征在于所述波紋管由耐腐蝕材料制成。
10.如權(quán)利要求9所述的擴散爐，其特征在于所述波紋管由PVC材料制成。
專利摘要本實用新型公開了一種閉管擴散爐波紋管，包括波紋段和光滑段，所述波紋段的管體呈波紋狀，所述光滑段的管體具有光滑的管面。所述波紋段和實體段為一體結(jié)構(gòu)。本實用新型還公開了一種具有該波紋管結(jié)構(gòu)的爐門密封裝置和擴散爐。與現(xiàn)有技術(shù)相比本實用新型的波紋管的強度大大增強，能有效的減少波紋管受高溫后變形的現(xiàn)象，從而減少因爐門與石英管密封不嚴(yán)而導(dǎo)致硅片返工情況的發(fā)生，減少爐門損壞數(shù)量，提高設(shè)備的利用率，降低設(shè)備的維護成本。
文檔編號F16L11/11GK201576694SQ200920255860
公開日2010年9月8日 申請日期2009年11月24日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月24日
發(fā)明者張建國, 王輝 申請人:無錫尚德太陽能電力有限公司