專(zhuān)利名稱(chēng)：高純度用穩(wěn)壓器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于減少管道壓力的穩(wěn)壓器，尤其涉及適合用于處理高純度流體 的領(lǐng)域的高純度用穩(wěn)壓器(Regulator for high purity)。
背景技術(shù)：
一般而言，穩(wěn)壓器為減少壓力的裝置，在因管道壓力過(guò)高而影響使用時(shí)，將壓力調(diào) 節(jié)至適合使用的大小。例如，穩(wěn)壓器在輸出壓力開(kāi)始高于規(guī)定的最大值時(shí)，減少或阻斷流體壓力，而當(dāng)輸 出壓力充分減少時(shí)，開(kāi)放或增加流體。上述穩(wěn)壓器一般包括具備于閥門(mén)部件入口的螺旋彈簧及對(duì)超過(guò)的入口壓力敏感 反應(yīng)并關(guān)閉閥門(mén)部件的壓力檢測(cè)部件。在上述裝置中，隨著閥門(mén)部件接近閥座，將限制通過(guò)穩(wěn)壓器的流體流動(dòng)，而當(dāng)達(dá)到 一定壓力水平時(shí)，閥門(mén)部件將與閥座接觸，以停止繼續(xù)限制流體流動(dòng)，或阻斷流體流動(dòng)。當(dāng)輸出壓力降低至一定壓力以下時(shí)，閥門(mén)將遠(yuǎn)離閥座以增加流體流動(dòng)。上述循環(huán)迅速重復(fù)，以根據(jù)所需設(shè)定值維持輸出壓力。圖1為現(xiàn)有穩(wěn)壓器一例剖面圖。如圖1所示，在主體10上具備入口 11和出口 12 ；在主體10的上部，設(shè)置用于設(shè) 定及調(diào)節(jié)壓力的隔膜13、彈簧14及閥桿15等，與此同時(shí)，在下部設(shè)置用于限制入口 11和出 口 12之間的流體流動(dòng)的閥門(mén)部件；而在上述閥門(mén)部件16周?chē)O(shè)置塞子17。此時(shí)，在上述塞子17的外周面和設(shè)置塞子17的主體10的塞子安裝孔25內(nèi)周面， 各形成螺絲部，以使上述塞子17以螺絲結(jié)合于塞子安裝孔25的結(jié)構(gòu)固定于主體10之上。但是，在上例中，塞子和塞子安裝孔的螺絲結(jié)合部分，存在殘留異物等的問(wèn)題，從 而在用于半導(dǎo)體晶片制造工藝等高純度用途時(shí)，將降低純度。即，上述穩(wěn)壓器在用于高純度氣體(gas)時(shí)存在一定的不足。圖2為現(xiàn)有穩(wěn)壓器另一例剖面圖。如圖2所示，在主體10上具備入口 11和出口 12 ；在主體10的上部，設(shè)置用于設(shè) 定及調(diào)節(jié)壓力的隔膜13、彈簧14及閥桿15等，與此同時(shí)，在下部設(shè)置用于限制入口 11和出 口 12之間的流體流動(dòng)的閥門(mén)部件；而在上述閥門(mén)部件16周?chē)O(shè)置塞子17。此時(shí)，上述塞子17以被壓縮部件18支撐的形式固定。即，壓縮部件下壓塞子以將其固定于主體一側(cè)。但是，在上例中，流體通過(guò)形成于壓縮部件的孔19流動(dòng)，從而產(chǎn)生渦流，而上述渦
流將產(chǎn)生噪音。即，因一定的流量以一定的壓力通過(guò)縫隙(孔)流動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的哨聲效應(yīng)，將產(chǎn)生如 口哨聲的嚴(yán)重的噪音。另外，在上例中，塞子的固定需要單獨(dú)的壓縮部件，從而增加部件數(shù)量，使結(jié)構(gòu)變 得復(fù)雜，降低組裝性并提高成本。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)之不足而提供一種高純度用穩(wěn)壓器，其在 將作為穩(wěn)壓器部件之一的塞子固定于主體一側(cè)時(shí)，實(shí)現(xiàn)將塞子直接掛接于主體固定的新的 塞子固定方式，因此，完全消除殘留異物或產(chǎn)生噪音等問(wèn)題，確保流體流動(dòng)的安全性，從而 適合用于高純度用途，另外，因無(wú)需單獨(dú)的部件，從而減少部件數(shù)量，實(shí)現(xiàn)裝置的小型化。本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的提供一種高純度用穩(wěn)壓器，其特征在于包括具備 入口及出口的主體；設(shè)置于上述主體上部的隔膜、彈簧及閥桿；設(shè)置于主體下部的閥門(mén)部 件；及用于固定閥門(mén)部件的塞子；此時(shí)，上述塞子掛接于一體形成于主體的鉤子。此時(shí)，上述鉤子在塞子安裝位置周邊兩側(cè)，在相對(duì)的位置形成“ -π，，形狀的一對(duì)，而 上述塞子利用從圓形部件體突出的四角形的突出部，可向旁邊旋轉(zhuǎn)并結(jié)合至鉤子。本發(fā)明所提供的高純度用穩(wěn)壓器，采用通過(guò)一體形成于主體的鉤子掛接塞子的形 式，因此，消除現(xiàn)有技術(shù)中殘留異物的問(wèn)題，確保流體流動(dòng)的安全性，從而可有效用于半導(dǎo) 體晶片制造工藝等處理高純度流體的領(lǐng)域。另外，因無(wú)需單獨(dú)的部件即可將塞子固定于主體一側(cè)，從而減少部件數(shù)量，節(jié)省成 本，簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)裝置的小型化。另外，通過(guò)根本上消除產(chǎn)生噪音的原因，從而可實(shí)現(xiàn)無(wú)噪音的肅靜的工作環(huán)境。


圖1為現(xiàn)有穩(wěn)壓器一例剖面圖；圖2為現(xiàn)有穩(wěn)壓器另一例剖面圖；圖3為本發(fā)明一實(shí)施例高純度用穩(wěn)壓器剖面圖；圖4為本發(fā)明一實(shí)施例高純度用穩(wěn)壓器塞子示意圖；圖5為在本發(fā)明一實(shí)施例高純度用穩(wěn)壓器中，安裝塞子前后狀態(tài)示意圖。*附圖標(biāo)記*10主體11入口
12出口13隔膜
14彈簧15閥桿
16閥門(mén)部件17塞子(Plug)
18壓縮部件19孔
20鉤子21突出部
22夾具插入槽23襯墊
24閥門(mén)貫通孔25塞子安裝孔
具體實(shí)施例方式下面，結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。圖3為本發(fā)明一實(shí)施例高純度用穩(wěn)壓器剖面圖。如圖3所示，在上述高純度用穩(wěn)壓器的主體10上，形成用于流體的流入和排出的 入口 11和出口 12，而在其上部組裝用于調(diào)節(jié)適當(dāng)壓力的隔膜13、彈簧14及閥桿15等。
另外，用于限制入口 11和出口 12之間流體流動(dòng)的閥門(mén)部件16，在其上端部接觸于 隔膜并被彈簧彈性支承的形式，被可上下移動(dòng)的設(shè)置。在此，上述閥門(mén)部件16、隔膜13等運(yùn)行機(jī)制，與通常的穩(wěn)壓器所具有的運(yùn)行機(jī)制 沒(méi)有多少不同，因此，在此不再贅述。尤其是，設(shè)置于上述閥門(mén)部件16周?chē)娜?7，以新的固定形式被固定。例如，上述塞子17固定襯墊23的部件，以?huà)旖庸潭ㄓ谂c主體10 —體形成的鉤子 20形式安裝。即，本發(fā)明塞子17不是與現(xiàn)有技術(shù)一樣結(jié)合于主題一側(cè)或利用單獨(dú)的部件固定 的形式，而以形成于主體10—側(cè)的鉤子20固定塞子17的形式被固定。為此，如圖4所示，上述塞子17具有圓盤(pán)形狀的部件體，而在部件體上面形成作為 實(shí)際上掛接于鉤子一側(cè)的部分的正四邊形突出部21。另外，在塞子17的部件體中心形成閥門(mén)貫通孔24，從而使閥門(mén)部件16貫通設(shè)置于其中。另外，為在組裝或分解塞子17操作的便利，在部件體上面，即在除突出部21之外 的上面，形成位于兩側(cè)對(duì)稱(chēng)位置的兩個(gè)夾具插入槽22，從而在將夾具(未圖示)掛接于夾具 插入槽22之后，在旋轉(zhuǎn)塞子17的同時(shí)，較容易組裝或分解塞子17。固定上述塞子17的鉤子20，在作為安裝鉤子20的位置的主體10的孔25周邊，在 相對(duì)的位置形成一對(duì)。此時(shí)，鉤子20呈“1”字形狀，從而以固定塞子17的上面邊緣的形式，即約束塞子 17以防止其向上脫離的形式固定塞子17。因此，在上述構(gòu)成的本發(fā)明高純度用穩(wěn)壓器中，安裝塞子17的方法如下圖5為在本發(fā)明一實(shí)施例高純度用穩(wěn)壓器中，安裝塞子前后狀態(tài)示意圖。如圖5所示，首先在安裝閥門(mén)部件16的狀態(tài)下，在主體10的塞子安裝孔25內(nèi)固 定襯墊23的位置之后，在其上安裝塞子17的順序進(jìn)行組裝。為安裝上述塞子17，沿避免塞子17的突出部21和主體10的鉤子20之間干擾的 方向，向兩側(cè)鉤子20的開(kāi)放端內(nèi)側(cè)插入塞子17部件體。當(dāng)然，在此時(shí)，閥門(mén)部件16在適當(dāng)被按下的狀態(tài)下，插入塞子17的閥門(mén)貫通孔24 內(nèi)。接著，利用夾具或其他工具按住塞子17，并在此狀態(tài)下，向旁邊旋轉(zhuǎn)90°左右，將 突出部21掛接于鉤子20，從而完成塞子17的安裝。在此，因塞子17的下側(cè)安裝有具有彈力的襯墊23，從而在向下加壓時(shí)，塞子17可 下到下面，而在接觸壓力時(shí)，即在將突出部21掛接于鉤子20的狀態(tài)下，通過(guò)襯墊23的復(fù)原 力塞子17向上，從而緊貼于鉤子20 —側(cè)。因此，塞子17的上部由鉤子20固定，而下部有襯墊23的復(fù)原力，因此，可維持塞 子17堅(jiān)固的安裝狀態(tài)。如上所述，鉤子20 —體形成于主體10并固定塞子17，而且同時(shí)由塞子17固定襯 墊23，從而不僅可完美地維持閥門(mén)部件16周邊氣密性的同時(shí)，無(wú)需單獨(dú)的部件或螺絲結(jié) 合，可以固定形式安裝塞子17，因此，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，并可減少整體大小。
權(quán)利要求
1.一種高純度用穩(wěn)壓器，其特征在于包括具備入口(11)及出口(12)的主體(10)；設(shè) 置于上述主體(10)上部的隔膜(13)、彈簧(14)及閥桿(15)；設(shè)置于主體(10)下部的閥門(mén) 部件(16)；及用于固定上述閥門(mén)部件(16)的塞子(17)；而且，上述塞子(17)以?huà)旖庸潭ㄓ?一體形成在上述主體(10)的鉤子(20)的形式安裝。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純度用穩(wěn)壓器，其特征在于上述鉤子(20)在作為安裝鉤 子(20)的位置的塞子安裝位置周邊兩側(cè)，在相對(duì)的位置形成一對(duì)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的高純度用穩(wěn)壓器，其特征在于上述鉤子(20)呈“Π”字 形狀，從而以固定塞子(17)的上面邊緣的形式固定塞子(17)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純度用穩(wěn)壓器，其特征在于上述塞子(17)通過(guò)利用從部 件體突出的突出部(21)向一側(cè)旋轉(zhuǎn)以結(jié)合于上述鉤子(20)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的高純度用穩(wěn)壓器，其特征在于上述塞子(17)包括用于 在結(jié)合時(shí)使用夾具的夾具插入孔(22)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種適合用于處理高純度流體的領(lǐng)域的高純度用穩(wěn)壓器。本發(fā)明的高純度用穩(wěn)壓器，在將作為穩(wěn)壓器部件之一的塞子固定于主體一側(cè)時(shí)，實(shí)現(xiàn)將塞子直接掛接于主體固定的新的塞子固定方式，因此，完全消除殘留異物或產(chǎn)生噪音等問(wèn)題，確保流體流動(dòng)的安全性，從而適合用于高純度用途，另外，因無(wú)需單獨(dú)的部件，從而減少部件數(shù)量，實(shí)現(xiàn)裝置的小型化。
文檔編號(hào)F16K31/126GK102007332SQ200980112970
公開(kāi)日2011年4月6日 申請(qǐng)日期2009年4月1日 優(yōu)先權(quán)日2008年4月15日
發(fā)明者金圣鎮(zhèn) 申請(qǐng)人:金圣鎮(zhèn)