專利名稱：半導(dǎo)體專用設(shè)備上吸片臺清洗裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用來清洗半導(dǎo)體專用設(shè)備吸片臺的清洗主體為毛刷棍的清洗裝置。
背景技術(shù)：
在國內(nèi)外的半導(dǎo)體設(shè)備中，對吸片臺的清洗工作主要采用的是直線滑塊式清洗裝 置和圓周旋轉(zhuǎn)式清洗裝置。直線滑塊式清洗裝置的缺點(diǎn)是對吸片臺的清洗效率低，結(jié)構(gòu)占 用空間較大；圓周旋轉(zhuǎn)式清洗裝置的缺點(diǎn)是吸片臺清洗不均勻，尤其對于吸片臺的中心部 位不能夠進(jìn)行很好的清洗，工作起來各有不同的缺點(diǎn)和問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種半導(dǎo)體專用設(shè)備上吸片臺毛刷清洗裝置，該裝置具有結(jié) 構(gòu)緊湊、運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)、清洗均勻、占用空間小等優(yōu)點(diǎn)，能夠很好的解決傳統(tǒng)清洗裝置的各種缺 點(diǎn)和存在的問題。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案本發(fā)明包括外罩、毛刷棍部分、傳動部分、迷宮密封部分和噴淋部分；其中毛刷棍 部分由毛刷棍和均勻分布設(shè)在毛刷棍上的濃密的尼龍刷毛構(gòu)成，毛刷棍設(shè)置在外罩內(nèi)；傳 動部分包括毛刷軸、軸承座、軸承，毛刷軸穿過外罩上的通孔與毛刷棍連接，軸承設(shè)置為兩 個(gè)固定在軸承座上軸承間設(shè)有內(nèi)、外隔圈，在軸承端部設(shè)置有軸承鎖母，軸承鎖母通過螺紋 連接在毛刷軸上壓緊軸承；迷宮密封部分由設(shè)置在軸承座與外罩之間套在毛刷軸上配套的 壓蓋和密封環(huán)構(gòu)成，壓蓋固定在軸承座上；所述噴淋部分由設(shè)置在外罩內(nèi)的噴水管構(gòu)成，噴 水管對應(yīng)毛刷棍的部位上均勻分布設(shè)有稠密的小口徑噴水口，在外罩底部設(shè)置有放水槽。本發(fā)明在毛刷軸外端設(shè)置有端蓋，端蓋可拆卸連接在軸承座上。在外罩上可設(shè)置 兩個(gè)噴水管，兩個(gè)噴水管分別位于毛刷棍兩側(cè)。所述毛刷棍上設(shè)置的尼龍毛刷單個(gè)刷毛的 直徑為0. 32-0. 38mm,在毛刷棍徑向上設(shè)置有8_12個(gè)刷毛，在毛刷棍軸向上設(shè)置有10-14排 刷毛，每排刷毛間距為4mm——6mm。所述設(shè)置在噴水管上的噴水口設(shè)置規(guī)格為，噴水口直 徑1-1. 2mm,每排設(shè)置26個(gè)噴水口，每排間距為4_6mm。本發(fā)明的有益效果為本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比是一種結(jié)構(gòu)簡單實(shí)用、使用方便和結(jié)構(gòu)可靠、運(yùn)行平穩(wěn)的 吸片臺清洗裝置。與傳統(tǒng)技術(shù)相比，本發(fā)明的明顯特點(diǎn)是以毛刷棍作為清洗主體，毛刷棍 上均勻分布著濃密的尼龍刷毛，能夠較好得對吸片臺進(jìn)行清洗，清洗范圍廣，清洗勻稱；毛 刷罩上安裝有兩個(gè)噴水管，每個(gè)噴水管相對毛刷棍的位置開設(shè)有稠密的小直徑噴水口，既 可以保證噴水的壓力，又可以對尼龍毛刷進(jìn)行高效噴淋，噴淋效果好，流速適中；密封環(huán)和 壓蓋構(gòu)成的迷宮密封，可以防水，同 時(shí)保證軸承的正常運(yùn)行；毛刷罩底部開有放水槽，方便 排水。本發(fā)明由于采用了毛刷罩和迷宮密封的雙重結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使該裝置整體結(jié)構(gòu)緊湊，安裝 簡易，操作也十分方便。


圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)剖視圖，圖2是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖標(biāo)記1-噴水管2-毛刷罩(也即外罩)3-毛刷棍4-毛刷軸5-密封 環(huán) 6-壓蓋 7-外隔圈 8-內(nèi)隔圈 9-軸承座 10-軸承11-軸承鎖母 12-端蓋 13 刷毛。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖對本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)的說明。如附圖1、2所示，本發(fā)明一實(shí)施例半導(dǎo)體專用設(shè)備用吸片臺毛刷式清洗裝置，主 要由噴淋系統(tǒng)、迷宮密封系統(tǒng)和毛刷棍系統(tǒng)等幾部分組成，毛刷棍3穿過毛刷罩2安裝在毛 刷軸4上，毛刷棍3上均勻分布著濃密的尼龍刷毛13，能夠較好得對吸片臺進(jìn)行清洗；在毛 刷軸4上套有密封環(huán)5、軸承10、內(nèi)隔圈8、外隔圈7、軸承10、端蓋12、軸承鎖母11等，軸承 鎖母11通過螺紋固定在毛刷軸4上，壓蓋6和端蓋12固定在軸承座9上，兩個(gè)噴水管1安 裝在毛刷罩2上。密封環(huán)5緊套在毛刷軸4上，壓蓋6固定在軸承座9上，密封環(huán)5和壓蓋 6形成的迷宮密封，可以防水，保證軸承(10)的正常運(yùn)行。毛刷罩2上安裝有兩個(gè)噴水管 1，每個(gè)噴水管1相對毛刷棍3的位置開有稠密的小直徑噴水口，既可以保證噴水的壓力，又 可以對尼龍毛刷進(jìn)行高效噴淋；毛刷罩2底部開有方便排水的放水槽。
權(quán)利要求
半導(dǎo)體專用設(shè)備上吸片臺清洗裝置，其特征在于其包括外罩(2)、毛刷棍部分、傳動部分、迷宮密封部分和噴淋部分；其中毛刷棍部分由毛刷棍(3)和均勻布設(shè)在毛刷棍上的濃密的尼龍刷毛(13)構(gòu)成，毛刷棍(3)設(shè)置在外罩(2)內(nèi)；傳動部分包括毛刷軸(4)、軸承座(9)、軸承(10)，毛刷軸(4)穿過外罩(2)上的通孔與毛刷棍(3)連接，軸承(10)設(shè)置為兩個(gè)，固定在軸承座(9)上軸承間設(shè)有內(nèi)、外隔圈(8、7)，在毛刷軸(4)端部設(shè)置有軸承鎖母(11)，軸承鎖母(11)通過螺紋連接在毛刷軸(4)上壓緊軸承(10)；迷宮密封部分由設(shè)置在軸承座(9)與外罩(1)之間套在毛刷軸(4)上配套的壓蓋(6)和密封環(huán)(5)構(gòu)成，壓蓋(6)固定在軸承座(9)上，密封環(huán)(5)緊套在毛刷軸(4)上；所述噴淋部分由設(shè)置在外罩(2)內(nèi)的噴水管(1)構(gòu)成，噴水管(1)對應(yīng)毛刷棍(3)的部位上均勻布設(shè)有稠密的小口徑噴水口，在外罩(2)底部設(shè)置有放水槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體專用設(shè)備上吸片臺清洗裝置，其特征在于在毛刷軸 (4)外端設(shè)置有端蓋(12)，端蓋(12)可拆卸連接在軸承座(9)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體專用設(shè)備上吸片臺清洗裝置，其特征在于在外罩(2) 上設(shè)置有兩個(gè)噴水管(1)，兩個(gè)噴水管分別位于毛刷棍(3)的兩側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體專用設(shè)備上吸片臺清洗裝置，其特征在于所述毛刷 棍(3)上設(shè)置的尼龍刷毛(13)，其單個(gè)刷毛(13)的直徑為0. 32-0. 38mm，在毛刷棍(3)徑向 上設(shè)置有8-12個(gè)刷毛，在毛刷棍(3)軸向上設(shè)置有10-14排刷毛，每排刷毛間距為4mm—— 6mm ；所述設(shè)置在噴水管(1)上的噴水口設(shè)置規(guī)格為，噴水口直徑在1-1. 2mm，每排設(shè)置26 個(gè)噴水口，每排間距為4-6mm。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種清洗裝置，特別是一種用來清洗半導(dǎo)體專用設(shè)備上吸片臺的清洗裝置。該裝置包括噴淋系統(tǒng)、迷宮密封系統(tǒng)和毛刷棍系統(tǒng)，毛刷棍穿過毛刷罩安裝在毛刷軸上，毛刷軸上依次套有密封環(huán)、軸承、內(nèi)隔圈、外隔圈、軸承、端蓋、軸承鎖母，軸承鎖母通過螺紋固定在毛刷軸上，壓蓋和端蓋固定在軸承座上，兩個(gè)噴水管安裝在毛刷罩上。毛刷棍上均勻分布著濃密的尼龍毛刷，密封環(huán)和壓蓋形成的迷宮密封，毛刷罩上安裝有兩個(gè)噴水管，每個(gè)噴水管相對毛刷棍的位置開有稠密的小直徑噴水口，毛刷罩底部開有放水槽。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)微妙緊湊，安裝簡單，應(yīng)用方便，成本低廉的特點(diǎn)。
文檔編號F16J15/447GK101869892SQ20101018359
公開日2010年10月27日 申請日期2010年5月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月27日
發(fā)明者張文斌, 楊生榮, 袁立偉 申請人:中國電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所