專利名稱：可調(diào)節(jié)式真空限流閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于流體閥門技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種可調(diào)節(jié)式真空限流閥。
背景技術(shù)：
真空閥門是真空設(shè)備上必不可少的部件，真空閥門可控性和穩(wěn)定性，直接影響真 空設(shè)備的使用性能。真空系統(tǒng)所使用的閥門一般有擋板閥，翻板閥，蝶閥和插板閥等。并 可細(xì)分為真空插板閥系列、金屬密封氣動(dòng)真空插板閥系列、手動(dòng)真空擺動(dòng)閥系列、氣動(dòng)真空 擺動(dòng)閥系列、快速關(guān)閉真空閥系列、手動(dòng)真空擋板閥系列、氣動(dòng)真空擋板閥系列、常閉氣動(dòng) 真空擋板閥系列、常閉電磁真空擋板閥系列、手動(dòng)真空隔膜閥系列、手動(dòng)超高真空檔板閥系 列。這些閥門一般在使用中均是處于全封閉或全開啟狀態(tài)。而限流閥為了穩(wěn)定控制真空腔 壓，開啟的程度可進(jìn)行調(diào)節(jié)。限流閥在真空系統(tǒng)中的功能是控制符合流量_壓差特性的可 調(diào)流量。對(duì)限流閥的特性要求主要是流量特性、最小穩(wěn)定流量、流量調(diào)節(jié)范圍及調(diào)節(jié)特性。在真空鍍膜中為了保證鍍膜質(zhì)量的穩(wěn)定性和可持續(xù)性，重要的是保持鍍膜工藝參 數(shù)的穩(wěn)定性，保持真空室腔壓的穩(wěn)定性尤為重要。真空室腔壓的穩(wěn)定性一般采用兩種方式， 一是采用自動(dòng)壓強(qiáng)儀通過緩沖供氣方式，提供穩(wěn)定的工作氣體流量通入真空室，二是對(duì)真 空系統(tǒng)的泵系統(tǒng)和真空腔的抽速進(jìn)行限制，也就是安裝在真空腔室和真空泵系統(tǒng)之間的限 流閥。目前我國(guó)真空中使用的限流閥主要是方形的百葉窗式。但是這種方式對(duì)于抽速流量 的控制是粗糙的，對(duì)小的穩(wěn)定流量不能進(jìn)行較為精細(xì)的調(diào)節(jié)。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述問題，本發(fā)明的目的是提供一種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單、合理，制備與使用容 易、方便，并對(duì)真空腔室的腔壓可進(jìn)行小穩(wěn)定抽氣流量的真空限流閥，使得真空腔室的壓力 處于穩(wěn)定狀態(tài)，有利于各種鍍膜的工藝參數(shù)的穩(wěn)定性，和鍍膜質(zhì)量的穩(wěn)定性與可靠性。同時(shí) 還可配合自動(dòng)壓強(qiáng)儀使用，更有利于獲得高質(zhì)量的鍍膜質(zhì)量的可調(diào)節(jié)的真空限流閥。本發(fā)明的技術(shù)方案，一種可調(diào)節(jié)式限流閥，該限流閥包括厚壁法蘭、步進(jìn)電機(jī)、電 機(jī)驅(qū)動(dòng)器、主軸、調(diào)節(jié)裝置和轉(zhuǎn)板組成；其中，所述厚壁法蘭截面的一端設(shè)有密封槽，安裝在真空泵系統(tǒng)和真空腔室的管 道上；所述電機(jī)驅(qū)動(dòng)器和所述步進(jìn)電機(jī)通過螺絲固接，安裝在所述厚壁法蘭的一側(cè)，所述步 進(jìn)電機(jī)與所述主軸固接，所述主軸通過凸塊與所述調(diào)節(jié)裝置連接，所述轉(zhuǎn)板通過兩端部的 軸固定在所述厚壁法蘭內(nèi)壁上，所述轉(zhuǎn)板通過拉板、轉(zhuǎn)軸和螺釘與所述調(diào)節(jié)裝置固接；所述 調(diào)節(jié)裝置驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)板轉(zhuǎn)動(dòng)，使實(shí)現(xiàn)0-90°的轉(zhuǎn)動(dòng)，0°時(shí)使通過限流閥的流量趨于最小流 量，在90°時(shí)為最大流量。所述調(diào)節(jié)裝置包括由橫向支桿和橫向支桿軸組成，所述橫向支桿軸通過螺釘和螺 母固接。所述主軸上設(shè)有動(dòng)密封，所述動(dòng)密封由油封壓蓋與骨架油封及軸套構(gòu)成。轉(zhuǎn)板與厚壁法蘭搭接部位的形狀為圓弧狀或梯形；所述轉(zhuǎn)板的橫截面為矩形式、刀刃式或臺(tái)階式。所述轉(zhuǎn)板的旋轉(zhuǎn)范圍是0-90°。所述轉(zhuǎn)板為至少兩塊。所述轉(zhuǎn)板的截面為矩形式、刀刃式或臺(tái)階式。本發(fā)明的有益效果是由于采用上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型在使用時(shí)可以對(duì)真空腔室的腔壓進(jìn)行穩(wěn)定抽氣流量的控制，進(jìn)而使真空腔室的壓力處于穩(wěn)定狀態(tài)，特別是有利 于對(duì)各種鍍膜的工藝參數(shù)的穩(wěn)定性控制，提高鍍膜質(zhì)量的穩(wěn)定性與可靠性。與自動(dòng)壓強(qiáng)儀 配合使用有利于獲得更高的鍍膜質(zhì)量。


圖1是本發(fā)明的可調(diào)節(jié)式限流閥的整體結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本發(fā)明限流閥在關(guān)閉的狀態(tài)俯視圖。圖3是本發(fā)明轉(zhuǎn)板截面為矩形式轉(zhuǎn)板搭接方式。圖4是本發(fā)明轉(zhuǎn)板截面為刀刃式轉(zhuǎn)板搭接方式。圖5是本發(fā)明轉(zhuǎn)板截面為臺(tái)階式轉(zhuǎn)板搭接方式。圖中1.厚壁法蘭12.凸塊2.步進(jìn)電機(jī)13.橫向支桿3.電機(jī)驅(qū)動(dòng)器14.橫向支桿軸4.主軸15.螺釘5.油封壓蓋16.螺釘6.骨架油封17.螺母7.軸套18-25.轉(zhuǎn)板8.螺釘26.拉板9.螺釘27.轉(zhuǎn)軸10.支桿28.螺釘11.螺母
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)一步說明。如圖1、圖2所示為本實(shí)用新型可調(diào)節(jié)式真空限流閥的結(jié)構(gòu)示意圖，該限流閥由厚 壁法蘭1、步進(jìn)電機(jī)2、電機(jī)驅(qū)動(dòng)器3、主軸4、調(diào)節(jié)裝置和轉(zhuǎn)板18組成。調(diào)節(jié)裝置由橫向支桿13和橫向支桿軸14組成，轉(zhuǎn)板18-25通過兩端部的軸分別 安裝在厚壁法蘭1的內(nèi)壁上，厚壁法蘭1的一側(cè)安裝步進(jìn)電機(jī)2和電機(jī)驅(qū)動(dòng)器3，步進(jìn)電機(jī) 2和電機(jī)驅(qū)動(dòng)器3通過支桿10和螺母11進(jìn)行固定，主軸4與步進(jìn)電機(jī)3通過螺釘8連接， 油封壓蓋5與骨架油封6及軸套7對(duì)主軸4實(shí)現(xiàn)動(dòng)密封，并通過螺釘9固定在厚壁法蘭1 上，凸塊12將主軸4與橫向支桿13和橫向支桿軸14連接，凸塊12由螺釘15固定，橫向支 桿13和橫向支桿軸14由螺釘16和螺母17鉸接，轉(zhuǎn)板18-25通過拉板26、轉(zhuǎn)軸27和螺釘 28與橫向支桿13連接。
如圖3所示為本實(shí)用新型橫截面為矩形的轉(zhuǎn)板的閉合示意圖。如圖5所示為發(fā)明橫截面為矩形的轉(zhuǎn)板的閉合示意圖。 工作原理當(dāng)需給定一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)角度時(shí)，電機(jī)驅(qū)動(dòng)器3對(duì)步進(jìn)電機(jī)2發(fā)出指令，步進(jìn) 電機(jī)2通過主軸4驅(qū)動(dòng)橫向支桿13傳遞到轉(zhuǎn)板18，實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)板18的轉(zhuǎn)動(dòng)，在轉(zhuǎn)板18及轉(zhuǎn)板 18和厚壁之間形成間隙，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)抽速流量的限制，最終實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的合理控制。以上實(shí)施例用于說明本發(fā)明，但不用來限制本發(fā)明的范圍，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的普通 技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有 等同的技術(shù)方案也屬于本發(fā)明的范疇，本發(fā)明的專利保護(hù)范圍應(yīng)由各項(xiàng)權(quán)利要求限定。
權(quán)利要求
一種可調(diào)節(jié)式真空限流閥，包括厚壁法蘭(1)，電機(jī)驅(qū)動(dòng)器(3)和步進(jìn)電機(jī)(2)、主軸(4)、調(diào)節(jié)裝置和轉(zhuǎn)板(18)組成，其特征在于，所述電機(jī)驅(qū)動(dòng)器(3)和所述步進(jìn)電機(jī)(2)通過螺絲固接，安裝在所述厚壁法蘭(1)的一側(cè)，所述步進(jìn)電機(jī)(2)與所述主軸(4)固接，所述主軸(4)通過凸塊與所述調(diào)節(jié)裝置連接，所述轉(zhuǎn)板(18)通過兩端部的軸固定在所述厚壁法蘭(1)內(nèi)壁上，所述轉(zhuǎn)板(18)通過拉板(26)、轉(zhuǎn)軸(27)和螺釘(28)與所述調(diào)節(jié)裝置固接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述可調(diào)節(jié)式真空限流閥，其特征在于，所述調(diào)節(jié)裝置包括由橫向 支桿(13)和橫向支桿軸(14)組成，所述橫向支桿軸(14)通過螺釘(16)和螺母(17)固接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述可調(diào)節(jié)式真空限流閥，其特征在于，所述主軸(4)上設(shè)有動(dòng)密 封，所述動(dòng)密封由油封壓蓋(5)與骨架油封(6)及軸套(7)構(gòu)成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述可調(diào)節(jié)式真空限流閥，其特征在于，所述轉(zhuǎn)板(18)的橫截面為 矩形式、刀刃式或臺(tái)階式。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述可調(diào)節(jié)式真空限流閥，其特征在于，所述轉(zhuǎn)板(18)的旋轉(zhuǎn)范圍 是0-90° 。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述可調(diào)節(jié)式真空限流閥，其特征在于，所述轉(zhuǎn)板(18)為至少兩塊。
全文摘要
本發(fā)明屬于流體閥門技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種可調(diào)節(jié)式真空限流閥。用于真空腔室和真空泵系統(tǒng)之間的限流閥，對(duì)真空系統(tǒng)的泵系統(tǒng)和真空腔的抽速進(jìn)行限制。該限流閥由厚壁法蘭、步進(jìn)電機(jī)、電機(jī)驅(qū)動(dòng)器、主軸、調(diào)節(jié)裝置轉(zhuǎn)板組成。其中，厚壁法蘭的一側(cè)安裝步進(jìn)電機(jī)和電機(jī)驅(qū)動(dòng)器，步進(jìn)電機(jī)和電機(jī)驅(qū)動(dòng)器通過支桿和螺母進(jìn)行固定；步進(jìn)電機(jī)通過螺釘與主軸固接，主軸通過凸塊與橫向支桿和橫向支桿軸連接，凸塊由螺釘固定，橫向支桿和橫向支桿軸分別由螺釘和螺母固定，轉(zhuǎn)板通過拉板、轉(zhuǎn)軸和螺釘與調(diào)節(jié)裝置固接。本發(fā)明的有益效果是該限流閥的結(jié)構(gòu)合理，既能達(dá)到穩(wěn)定抽速的作用，又具有體積精巧，成本低和長(zhǎng)壽命的特點(diǎn)。
文檔編號(hào)F16K1/18GK101846190SQ20101019107
公開日2010年9月29日 申請(qǐng)日期2010年5月26日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月26日
發(fā)明者施戈, 陳良賢 申請(qǐng)人:北京泰科諾科技有限公司