專利名稱：可提高模態(tài)性能的支架的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種固定裝置，且特別涉及一種可提高模態(tài)性能的固定裝置。
背景技術(shù)：
在光學(xué)裝置，尤其是光刻機(jī)的結(jié)構(gòu)當(dāng)中，激光干涉儀支架結(jié)構(gòu)作為激光干涉儀的 支撐結(jié)構(gòu)，其振動(dòng)性能受到關(guān)注。該支架結(jié)構(gòu)的模態(tài)性能和結(jié)構(gòu)的動(dòng)態(tài)響應(yīng)性能將直接影 響激光干涉儀的動(dòng)態(tài)穩(wěn)定性繼而影響激光干涉儀的測(cè)量精度。為了達(dá)到較好的模態(tài)性能要求，激光干涉儀支架通常采用板材組成的箱體式結(jié) 構(gòu)，這種結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)是在提供激光干涉儀支架支撐功能的前提下，通過減輕自身的質(zhì)量來 提高模態(tài)性能。由于結(jié)構(gòu)振動(dòng)性能設(shè)計(jì)多依賴于有限元仿真分析，仿真分析過程是建立在理想的 數(shù)學(xué)模型基礎(chǔ)上，但是實(shí)際的結(jié)構(gòu)件制造過程中很多客觀因素都是無法模擬和分析的，包 括結(jié)構(gòu)的材料均勻特性，結(jié)構(gòu)的加工工藝特性，結(jié)構(gòu)的裝配工藝特性，都會(huì)使制造出的結(jié)構(gòu) 件的模態(tài)性能和設(shè)計(jì)仿真分析結(jié)果存在一定差距。若支架中不設(shè)置能夠調(diào)節(jié)其模態(tài)性能的結(jié)構(gòu)，在經(jīng)過仿真分析、制造等過程之后， 該支架的模態(tài)性能就已經(jīng)固定，無法根據(jù)其工作環(huán)境在另行調(diào)節(jié)其模態(tài)性能。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供了一種能夠調(diào)節(jié)模態(tài)性能的激光干涉儀箱體式支架結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)往往 用于零件加工制造以后，如若在測(cè)試當(dāng)中發(fā)現(xiàn)無法滿足原先設(shè)計(jì)的模態(tài)要求，可以采取改 變彈簧或螺栓預(yù)緊力的方式，提高支架的模態(tài)。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提出一種可提高模態(tài)性能的支架，包括左側(cè)板、后側(cè)板、右側(cè)板、前側(cè)板，依次相互連接且前側(cè)板與后側(cè)板平行且具有相 對(duì)應(yīng)的孔；左側(cè)板、后側(cè)板、右側(cè)板、前側(cè)板、頂板和底板圍合成為一個(gè)箱體形狀；雙頭螺栓，通過的相對(duì)應(yīng)的孔貫穿前側(cè)板與后側(cè)板；以及兩個(gè)螺母，分別在前側(cè)板與后側(cè)板的外側(cè)鎖附雙頭螺栓，通過調(diào)整螺母，能夠提高 支架的模態(tài)性能。本發(fā)明還提出一種可提高模態(tài)性能的支架，包括左側(cè)板、后側(cè)板、右側(cè)板、前側(cè)板，依次相互連接且前側(cè)板與后側(cè)板平行且具有相 對(duì)應(yīng)的孔；左側(cè)板、后側(cè)板、右側(cè)板、前側(cè)板、頂板和底板圍合成為一個(gè)箱體形狀；兩個(gè)彈簧座，分別通過的相對(duì)應(yīng)的孔；彈簧，連接兩個(gè)彈簧座，彈簧座與彈簧貫穿前側(cè)板與后側(cè)板；以及兩個(gè)螺母，分別在前側(cè)板與后側(cè)板的外側(cè)鎖附兩個(gè)彈簧座，通過調(diào)整彈簧的預(yù)緊 力或?qū)椈筛鼡Q不同剛度的其他彈簧，能夠提高支架的模態(tài)性能。
進(jìn)一步說，可提高模態(tài)性能的支架，還包括中隔板，抵接前側(cè)板、后側(cè)板。進(jìn)一步說，可提高模態(tài)性能的支架，還包括平墊片，位于兩個(gè)螺母與前側(cè)板、后側(cè) 板之間。本發(fā)明提供的可提高模態(tài)性能的支架，該結(jié)構(gòu)對(duì)固有支架進(jìn)行簡(jiǎn)單改造就可達(dá)到 提高支架模態(tài)性能的目的。該支架的結(jié)構(gòu)不同于以往的僅僅依靠制造前仿真分析優(yōu)化得到 的結(jié)構(gòu)，而是在支架結(jié)構(gòu)加工完成后，可以根據(jù)模態(tài)測(cè)試結(jié)果，在結(jié)構(gòu)剛度薄弱處打通孔， 增加相應(yīng)的螺栓和彈簧結(jié)構(gòu)，并且通過改變螺栓和彈簧提供的預(yù)緊力來提高相鄰薄板結(jié)構(gòu) 的剛度，從而達(dá)到提高整體結(jié)構(gòu)模態(tài)的目的。


圖1所示為本發(fā)明較佳實(shí)施例的可提高模態(tài)性能的支架的立體結(jié)構(gòu)示意圖。圖2所示為圖1中的A-A’截面圖。
具體實(shí)施例方式為了更了解本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容，特舉具體實(shí)施例并配合所附圖式說明如下。圖1所示為本發(fā)明較佳實(shí)施例的可提高模態(tài)性能的支架的立體結(jié)構(gòu)示意圖。圖2 所示為圖1中的A-A’截面圖。請(qǐng)結(jié)合參考圖1和圖2。支架為箱體式支架，包括左側(cè)板1、后側(cè)板2、右側(cè)板8、前側(cè)板10依次相互連接，其 中后側(cè)板2與前側(cè)板10相互平行。支架還包括頂板12和底板13相互平行，并且頂板12 和底板13垂直于左側(cè)板1、后側(cè)板2、右側(cè)板8、前側(cè)板10，左側(cè)板1、后側(cè)板2、右側(cè)板8、前 側(cè)板10、頂板12和底板13圍合成為一個(gè)箱體形狀，而激光干涉儀(圖未示)能夠放置于其上。其中左側(cè)板1、后側(cè)板2、右側(cè)板8、前側(cè)板10、頂板12和底板13均為薄板結(jié)構(gòu)。在圖1和圖2中左側(cè)板1和右側(cè)板8是相互平行的，在其他實(shí)施例中，左側(cè)板1和 右側(cè)板8則不一定需要平行，可以根據(jù)需求設(shè)置。為了增加支架的模態(tài)性能，支架還包括中隔板7，中隔板7抵接后側(cè)板2與前側(cè)板 10。支架還包括右支柱9、左支柱11和后支柱6。右支柱9位于左側(cè)板11與前側(cè)板10 的交接處，左支柱11位于前側(cè)板10與右側(cè)板8的交接處，后支柱6位于后側(cè)板2的中間位 置。通過右支柱9、左支柱11和后支柱6，支架能夠被放置在平面上。值得注意的是，支架的前側(cè)板10與后側(cè)板2上分別具有相對(duì)應(yīng)的孔，雙頭螺栓3 依次通過前側(cè)板10與后側(cè)板2的孔，貫穿前側(cè)板10與后側(cè)板2。兩個(gè)螺母4分別在前側(cè)板 10與后側(cè)板2的外側(cè)鎖附在雙頭螺栓3上。雙頭螺栓3固定貫穿于支架。通過調(diào)整螺母4 能夠調(diào)整雙頭螺栓3的預(yù)緊力，從而整個(gè)支架的模態(tài)性能能夠得到調(diào)整。兩個(gè)螺母4與前側(cè)板10、后側(cè)板2之間的位置還可以設(shè)置平墊片5，起到增大承力 面積、鎖緊的作用。支架的前側(cè)板10與后側(cè)板2上還可以設(shè)置另外的分別具有相對(duì)應(yīng)的孔，兩個(gè)彈簧 座16分別通過前側(cè)板10與后側(cè)板2的孔，兩個(gè)彈簧座16之間利用彈簧17相互連接。兩 個(gè)螺母4分別在前側(cè)板10與后側(cè)板2的外側(cè)鎖附在兩個(gè)彈簧座16上。兩個(gè)彈簧座16與
4彈簧17固定貫穿于支架。通過調(diào)整螺母4能夠調(diào)整彈簧17的預(yù)緊力，從而整個(gè)支架的模 態(tài)性能能夠得到調(diào)整。也可以通過將彈簧更換不同剛度的其他彈簧，來調(diào)整整個(gè)支架的模 態(tài)性能。兩個(gè)螺母4與前側(cè)板10、后側(cè)板2接觸的位置還可以設(shè)置平墊片5，起到增大承力 面積、鎖緊的作用。雖然在較佳實(shí)施例中雙頭螺栓3的數(shù)量為一個(gè)，彈簧17的數(shù)量為一個(gè)，然而在其 他實(shí)施例中，可以根據(jù)需要設(shè)置一個(gè)以上雙頭螺栓3或彈簧17。當(dāng)然，也并不限定支架必須 同時(shí)使用雙頭螺栓3和彈簧17，可以根據(jù)需要僅設(shè)置雙頭螺栓3或彈簧17。本發(fā)明提供了一種可提高模態(tài)性能的支架，該結(jié)構(gòu)對(duì)固有支架進(jìn)行簡(jiǎn)單改造就可 達(dá)到提高支架模態(tài)性能的目的。該支架的結(jié)構(gòu)不同于以往的僅僅依靠制造前仿真分析優(yōu)化 得到的結(jié)構(gòu)，而是在支架結(jié)構(gòu)加工完成后，可以根據(jù)模態(tài)測(cè)試結(jié)果，在結(jié)構(gòu)剛度薄弱處打通 孔，增加相應(yīng)的螺栓或彈簧結(jié)構(gòu)，并且通過改變螺栓或彈簧提供的預(yù)緊力來提高相鄰薄板 結(jié)構(gòu)的剛度，從而達(dá)到提高整體結(jié)構(gòu)模態(tài)的目的。雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明。本發(fā)明所屬技 術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種的更動(dòng)與潤(rùn)飾。因 此，本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
一種可提高模態(tài)性能的支架，其特征是，包括左側(cè)板、后側(cè)板、右側(cè)板、前側(cè)板，依次相互連接且所述前側(cè)板與后側(cè)板平行且具有相對(duì)應(yīng)的孔；所述左側(cè)板、后側(cè)板、右側(cè)板、前側(cè)板、頂板和底板圍合成為一個(gè)箱體形狀；雙頭螺栓，通過所述的相對(duì)應(yīng)的孔貫穿所述前側(cè)板與后側(cè)板；以及兩個(gè)螺母，分別在所述前側(cè)板與后側(cè)板的外側(cè)鎖附所述雙頭螺栓，通過調(diào)整所述螺母，調(diào)節(jié)所述支架的模態(tài)性能。
2.一種可提高模態(tài)性能的支架，其特征是，包括左側(cè)板、后側(cè)板、右側(cè)板、前側(cè)板，依次相互連接且所述前側(cè)板與后側(cè)板平行且具有相 對(duì)應(yīng)的孔；所述左側(cè)板、后側(cè)板、右側(cè)板、前側(cè)板、頂板和底板圍合成為一個(gè)箱體形狀；兩個(gè)彈簧座，分別通過所述的相對(duì)應(yīng)的孔；彈簧，連接所述兩個(gè)彈簧座，所述彈簧座與彈簧貫穿所述前側(cè)板與后側(cè)板；以及兩個(gè)螺母，分別在所述前側(cè)板與后側(cè)板的外側(cè)鎖附所述兩個(gè)彈簧座，通過調(diào)整所述彈 簧的預(yù)緊力或?qū)⑺鰪椈筛鼡Q不同剛度的其他彈簧，調(diào)節(jié)所述支架的模態(tài)性能。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的可提高模態(tài)性能的支架，其特征是，還包括中隔板，抵接 所述前側(cè)板、后側(cè)板。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的可提高模態(tài)性能的支架，其特征是，還包括平墊片，位于 所述兩個(gè)螺母與所述前側(cè)板、后側(cè)板之間。
全文摘要
本發(fā)明提出一種可提高模態(tài)性能的支架，支架包括左側(cè)板、后側(cè)板、右側(cè)板、前側(cè)板，依次相互連接且前側(cè)板與后側(cè)板平行且具有相對(duì)應(yīng)的孔。支架還包括頂板、底板，相互平行，左側(cè)板、后側(cè)板、右側(cè)板、前側(cè)板、頂板和底板圍合成為一個(gè)箱體形狀。支架還包括雙頭螺栓或者彈簧，通過的相對(duì)應(yīng)的孔貫穿前側(cè)板與后側(cè)板。兩個(gè)螺母，分別在前側(cè)板與后側(cè)板的外側(cè)鎖附雙頭螺栓，通過調(diào)整螺母或彈簧，能夠提高支架的模態(tài)性能。
文檔編號(hào)F16M11/20GK101963271SQ20101029715
公開日2011年2月2日 申請(qǐng)日期2010年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月29日
發(fā)明者魏巍 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司