專利名稱：密封缺口的工具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及器械設(shè)備，尤其涉及一種密封缺口的工具。
背景技術(shù)：
一個硅片表面具有多個微芯片，每個芯片有數(shù)以百萬計的器件和互連線路，它們 對玷污都非常敏感。隨著芯片的特征尺寸為適應(yīng)更高性能和更高集成度的要求而縮小，控 制表面玷污的需要變得越來越關(guān)鍵。為實現(xiàn)玷污控制，所有的硅片制備都要在玷污嚴格控 制的潔凈室內(nèi)完成。在潔凈室的天花板內(nèi)安裝了很多超高效過濾器，超高效過濾器都有一定的使用壽 命，當超高效過濾器的使用時間超過使用壽命時，就需要更換超高效過濾器，這時會帶來一 個問題拆卸下超高效過濾器后，潔凈室的天花板內(nèi)會出現(xiàn)一個缺口，潔凈室外的微小塵粒 可通過該缺口流進潔凈室，從而玷污潔凈室，影響硅片制備。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種密封缺口的工具，可密封拆卸過濾器后留下的缺 口，防止?jié)崈羰彝獾奈⑿m粒進入潔凈室。為了達到上述的目的，本實用新型提供一種密封缺口的工具，包括密封部件、托舉 桿、定位部件和設(shè)有支撐軸的底座；所述托舉桿的頂端與所述密封部件連接；所述定位部 件套在所述底座的支撐軸上；所述底座的支撐軸插入所述托舉桿的底端，該托舉桿的底端 支撐在所述定位部件上。上述密封缺口的工具，其中，所述密封部件包括一密封板、多根支撐筋和一連接 桿；所述連接桿設(shè)置在所述密封板的底面上，該連接桿垂直于所述密封板所在的平面；所 述支撐筋的一端與所述密封板連接，所述支撐筋的另一端與所述連接桿連接；所述連接桿 與所述托舉桿連接。上述密封缺口的工具，其中，所述連接桿為中空圓柱體。上述密封缺口的工具，其中，所述托舉桿設(shè)有定位銷，所述連接桿設(shè)有通孔，所述 托舉桿的側(cè)壁上設(shè)有孔，所述定位銷穿過所述托舉桿的孔以及所述連接桿的通孔固定連接 所述托舉桿與所述連接桿。上述密封缺口的工具，其中，所述連接桿與所述托舉桿焊接。上述密封缺口的工具，其中，所述托舉桿的底端設(shè)有邊沿。 上述密封缺口的工具，其中，所述定位部件包括軸承和旋轉(zhuǎn)件；所述軸承設(shè)置在所 述旋轉(zhuǎn)件上；所述旋轉(zhuǎn)件設(shè)有安裝孔，所述旋轉(zhuǎn)件通過該安裝孔套在所述底座的支撐軸上， 所述安裝孔的內(nèi)壁上設(shè)有內(nèi)螺紋。上述密封缺口的工具，其中，所述軸承為滾珠軸承。上述密封缺口的工具，其中，所述底座包括一底板、多根支撐筋和支撐軸；所述支 撐軸設(shè)置在所述底板的頂面上，所述支撐軸垂直于所述底板所在的平面；所述支撐筋的一端與所述底板連接，所述支撐筋的另一端與所述支撐軸連接；所述支撐軸的外壁上設(shè)有外 螺紋，所述支撐軸的外螺紋與所述安裝孔的內(nèi)螺紋相匹配。本實用新型密封缺口的工具的密封部件可在更換過濾器的過程中密封住過濾器 拆卸后留下的缺口，能防止?jié)崈羰彝獾奈⑿m粒進入潔凈室，保護潔凈室不被污染；本實用新型密封缺口的工具由幾個部件組裝而成，便于裝卸和攜帶；本實用新型密封缺口的工具占用空間小，成本低。

本實用新型的密封缺口的工具由以下的實施例及附圖給出。圖1是本實用新型密封缺口的工具的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本實用新型中密封部件的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是本實用新型中托舉桿的剖視圖。圖4是本實用新型中定位部件的結(jié)構(gòu)示意圖。圖5是本實用新型中底座的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下將結(jié)合圖1 圖5對本實用新型的密封缺口的工具作進一步的詳細描述。參見圖1，本實用新型密封缺口的工具包括密封部件100、托舉桿200、定位部件 300和設(shè)有支撐軸的底座400 ；所述托舉桿200的頂端與所述密封部件100連接；所述定位部件300套在所述底座400的支撐軸上；所述底座400的支撐軸插入所述托舉桿200的底端，該托舉桿200的底端支撐在 所述定位部件300上；改變所述定位部件300相對所述底座400的支撐軸的位置，可支撐所述托舉桿200 上升或下降，從而帶動所述密封部件100上升或下降。參見圖2，所述密封部件100包括一密封板110、多根支撐筋120和一連接桿130 ；所述連接桿130固定設(shè)置在所述密封板110的底面上，該連接桿130垂直于所述 密封板110所在的平面；所述支撐筋120的一端與所述密封板110連接，所述支撐筋120的另一端與所述 連接桿130連接，該支撐筋120起加固作用；所述連接桿130可以是圓柱體，該連接桿130設(shè)有一通孔140 ；為減輕所述密封部件100的重量，所述連接桿130也可以是中空的圓柱體，此時， 所述連接桿130的側(cè)壁上設(shè)有兩個通孔140，所述兩個通孔140位于同一直徑上。參見圖3，所述托舉桿200為中空的圓柱體，所述托舉桿200的側(cè)壁上設(shè)有兩個孔 210，所述兩個孔210位于同一直徑上；所述托舉桿200的內(nèi)徑略大于所述連接桿130的外徑；所述托舉桿200的孔210的直徑等于所述連接桿130的通孔140的直徑；所述托舉桿200設(shè)有一定位銷230，該定位銷230用于連接所述托舉桿200和所述 連接桿130，使用時，所述連接桿130插入所述托舉桿200內(nèi)，所述定位銷230穿過所述托舉桿200的孔210及所述連接桿130的通孔140，使所述連接桿130與所述托舉桿200固定連 接；也可以采用焊接的方法使所述連接桿130與所述托舉桿200固定連接，即所述連 接桿130插入所述托舉桿200內(nèi)，然后將所述連接桿130與所述托舉桿200焊接在一起，此 時，所述連接桿130不必設(shè)通孔140，所述托舉桿200也不必設(shè)孔210，也不需要所述定位銷 230 ；所述托舉桿200的底端設(shè)有邊沿220。參見圖4，所述定位部件300包括軸承310和旋轉(zhuǎn)件320 ；所述軸承310固定設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)件320上；所述軸承310例如采用滾珠軸承；所述旋轉(zhuǎn)件320設(shè)有安裝孔330，所述旋轉(zhuǎn)件320通過該安裝孔330套在所述底座 400的支撐軸上，所述安裝孔330的內(nèi)壁上設(shè)有內(nèi)螺紋(圖4中未示)。參見圖5，所述底座400包括一底板410、多根支撐筋420和支撐軸430 ；所述支撐軸430固定設(shè)置在所述底板410的頂面上，所述支撐軸430垂直于所述 底板410所在的平面；所述支撐筋420的一端與所述底板410連接，所述支撐筋420的另一端與所述支 撐軸430連接，該支撐筋420起加固作用；所述支撐軸430的外徑等于所述旋轉(zhuǎn)件320的安裝孔330的內(nèi)徑；所述支撐軸430的外徑略小于所述托舉桿200的內(nèi)徑；所述支撐軸430的外壁上設(shè)有外螺紋440，所述支撐軸430的外螺紋440與所述安 裝孔330的內(nèi)螺紋相匹配。安裝本實用新型密封缺口的工具時，所述密封部件100的連接桿130插入所述托 舉桿200的頂端，所述定位銷230穿過所述托舉桿200的孔210及所述連接桿130的通孔 140，使所述連接桿130與所述托舉桿200固定連接，所述定位部件300套在所述底座400 的支撐軸430上，所述底座400的支撐軸430插入所述托舉桿200的底端，所述托舉桿200 底端的邊沿220支撐在所述定位部件300上，完成本實用新型密封缺口的工具的安裝；本實用新型密封缺口的工具由幾個部件組裝而成，便于裝卸和攜帶；本實用新型密封缺口的工具占用空間小，成本低。在拆卸過濾器之前先使用本實用新型密封缺口的工具密封住將會出現(xiàn)缺口的區(qū) 域，再拆卸下需要更換的過濾器，換好新的過濾器后撤掉本實用新型密封缺口的工具，具體 過程為將密封部件的密封板對準將會出現(xiàn)缺口的區(qū)域，旋轉(zhuǎn)定位部件的旋轉(zhuǎn)件使定位部 件沿底座的支撐軸上升(軸承與旋轉(zhuǎn)件固定連接，因此，在旋轉(zhuǎn)過程中軸承相對旋轉(zhuǎn)件靜 止)，定位部件沿底座的支撐軸上升的過程中頂著托舉桿一起上升，從而帶動密封部件上 升，當密封板緊貼潔凈室的天花板后停止旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)件，此時，密封板密封住將會出現(xiàn)缺口的 區(qū)域，在上升的過程中，托舉桿不會繞底座的支撐軸旋轉(zhuǎn)；換好過濾器后，旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)件使定 位部件沿底座的支撐軸下降，托舉桿跟著定位部件一起下降，從而帶動密封部件下降，當密 封板下降一定位移后停止旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)件；本實用新型密封缺口的工具利用旋轉(zhuǎn)件對密封板的高度進行調(diào)節(jié)。本實用新型密封缺口的工具在更換過濾器的過程中密封住過濾器拆卸后留下的缺口，能防止?jié)崈羰彝獾奈⑿m粒進入潔凈室。
權(quán)利要求1.一種密封缺口的工具，其特征在于，包括密封部件、托舉桿、定位部件和設(shè)有支撐軸 的底座；所述托舉桿的頂端與所述密封部件連接； 所述定位部件套在所述底座的支撐軸上；所述底座的支撐軸插入所述托舉桿的底端，該托舉桿的底端支撐在所述定位部件上。
2.如權(quán)利要求1所述的密封缺口的工具，其特征在于，所述密封部件包括一密封板、多 根支撐筋和一連接桿；所述連接桿設(shè)置在所述密封板的底面上，該連接桿垂直于所述密封板所在的平面； 所述支撐筋的一端與所述密封板連接，所述支撐筋的另一端與所述連接桿連接； 所述連接桿與所述托舉桿連接。
3.如權(quán)利要求2所述的密封缺口的工具，其特征在于，所述連接桿為中空圓柱體。
4.如權(quán)利要求2或3所述的密封缺口的工具，其特征在于，所述托舉桿設(shè)有定位銷，所 述連接桿設(shè)有通孔，所述托舉桿的側(cè)壁上設(shè)有孔，所述定位銷穿過所述托舉桿的孔以及所 述連接桿的通孔固定連接所述托舉桿與所述連接桿。
5.如權(quán)利要求2或3所述的密封缺口的工具，其特征在于，所述連接桿與所述托舉桿焊接。
6.如權(quán)利要求1所述的密封缺口的工具，其特征在于，所述托舉桿的底端設(shè)有邊沿。
7.如權(quán)利要求1或2所述的密封缺口的工具，其特征在于，所述定位部件包括軸承和旋 轉(zhuǎn)件；所述軸承設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)件上；所述旋轉(zhuǎn)件設(shè)有安裝孔，所述旋轉(zhuǎn)件通過該安裝孔套在所述底座的支撐軸上，所述安 裝孔的內(nèi)壁上設(shè)有內(nèi)螺紋。
8.如權(quán)利要求7所述的密封缺口的工具，其特征在于，所述軸承為滾珠軸承。
9.如權(quán)利要求7所述的密封缺口的工具，其特征在于，所述底座包括一底板、多根支撐 筋和支撐軸；所述支撐軸設(shè)置在所述底板的頂面上，所述支撐軸垂直于所述底板所在的平面； 所述支撐筋的一端與所述底板連接，所述支撐筋的另一端與所述支撐軸連接； 所述支撐軸的外壁上設(shè)有外螺紋，所述支撐軸的外螺紋與所述安裝孔的內(nèi)螺紋相匹
專利摘要本實用新型的密封缺口的工具包括密封部件、托舉桿、定位部件和設(shè)有支撐軸的底座；所述托舉桿的頂端與所述密封部件連接；所述定位部件套在所述底座的支撐軸上；所述底座的支撐軸插入所述托舉桿的底端，該托舉桿的底端支撐在所述定位部件上；改變所述定位部件相對所述底座的支撐軸的位置，支撐所述托舉桿上升或下降，從而帶動所述密封部件上升或下降。本實用新型的密封缺口的工具可密封拆卸過濾器后留下的缺口，防止?jié)崈羰彝獾奈⑿m粒進入潔凈室。
文檔編號F16J15/00GK201896942SQ20102056484
公開日2011年7月13日 申請日期2010年10月16日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月16日
發(fā)明者王世明 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司