專利名稱：直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)，用于對搭載在工作臺板上的被搬運(yùn)物施加并進(jìn)運(yùn)動，進(jìn)行定位。
背景技術(shù)：
在XY工作臺或物品搬運(yùn)裝置等的FA機(jī)器中，多使用利用直線電機(jī)將物品、構(gòu)件等直線移動的所謂直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)。這種直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)通常包括固定在其他機(jī)械裝置的基板、搭載作為搬運(yùn)對象的物品等的可動體并在上述基板上移動的工作臺板、引導(dǎo)該工作臺板相對于上述基板自由直線往復(fù)運(yùn)動的多個的線性引導(dǎo)件、對上述工作臺板施加推力的直線電機(jī)、以及檢測上述工作臺板的位置的線性編碼器，通過按該線性編碼器的檢測值來控制上述直線電機(jī)，可高精度地對工作臺板施加任意的移動量(日本特開 2005-79496)。另外，上述線性引導(dǎo)件包括軌道導(dǎo)軌、對該軌道導(dǎo)軌通過多數(shù)滾珠而組裝的移動塊。當(dāng)使上述工作臺板對基板進(jìn)行支撐時，例如使用一對線性引導(dǎo)件，將各線性引導(dǎo)件的軌道導(dǎo)軌鋪設(shè)在基板上，另一方面，將上述移動塊固定在工作臺板上。由于上述移動塊通過多數(shù)滾動體而組裝在軌道導(dǎo)軌，涉及移動方向以外的方向相對于軌道導(dǎo)軌處在被限制的狀態(tài)，所以如果使用這種線性引導(dǎo)件來支撐工作臺板的往復(fù)運(yùn)動，則可高精度地引導(dǎo)搭載在工作臺板上的可動體。另外，上述直線電機(jī)包括沿工作臺板的移動路線交互排列有N極的磁極及S極的磁極的磁鐵單元、隔著微小間隙與該磁鐵單元相對配置并且因應(yīng)電流的通電而產(chǎn)生移動磁場的線圈單元，將上述直線電機(jī)的一方配設(shè)在上述基板，將另一方配設(shè)在工作臺板而使用。上述線圈單元可設(shè)置在基板或工作臺板的任一者。但在將上述線圈單元配置在工作臺板上，將上述磁鐵單元配置在基板上的情況下，由于在排列在上述基板的磁鐵單元的磁力對相對的工作臺板的前端及后端作用，所以當(dāng)工作臺板在基板上移動時，產(chǎn)生與磁鐵單元的磁極的排列間距對應(yīng)的推力的變動，即頓轉(zhuǎn)(cogging)現(xiàn)象。因此，存在難以使工作臺板順暢移動這樣的問題，上述頓轉(zhuǎn)現(xiàn)象尤其是在基板與工作臺板接近的薄型直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)上很明顯。因此，在薄型直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)，如果從盡量避免出現(xiàn)上述頓轉(zhuǎn)現(xiàn)象，給予工作臺板順暢的運(yùn)動的觀點(diǎn)來看，則將上述磁鐵單元配設(shè)在工作臺板，另一方面將線圈單元配設(shè)在基板的構(gòu)造有利。另一方面，在構(gòu)成這種直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)的情況下，由于構(gòu)成直線電機(jī)的線圈單元在通電中發(fā)熱，所以在線圈單元產(chǎn)生的熱量傳導(dǎo)到上述基板及工作臺板，在運(yùn)轉(zhuǎn)中，這些基板及工作臺板的溫度有上升的傾向。即使在如上述將線圈單元配置在基板的情況下，由于在直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)的連續(xù)額定運(yùn)轉(zhuǎn)中上述線圈單元的溫度上升至70 90°C左右，所以通過空氣的對流，從線圈單元向工作臺板產(chǎn)生熱傳導(dǎo)，沒有與線圈單元直接接觸的工作臺板的溫度也上升。尤其在基板與工作臺板接近的薄型直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)，由于工作臺板與基板的間隙非常小，所以工作臺板的溫度也顯著上升。即使由于線圈單元的發(fā)熱造成基板及工作臺板雙方的溫度都上升，它們達(dá)到熱平衡狀態(tài)的溫度仍有差異，直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)的連續(xù)額定運(yùn)轉(zhuǎn)時的基板與工作臺板的熱膨脹量變得不同。因此，在將多個的線性引導(dǎo)件平行配置來支撐工作臺板的情況下，出現(xiàn)移動塊相對于軌道導(dǎo)軌產(chǎn)生移位，將移動塊與軌道導(dǎo)軌之間存在的滾動體過度壓縮，工作臺板對基板的移動阻力會非刻意地增加，及較早消耗線性引導(dǎo)件的問題。另外，這種問題在使用鐵(例如SS400)等的剛性大的材質(zhì)作為基板及工作臺板的情況下發(fā)生，在使用如鋁等軟材質(zhì)的情況下，將這些基板及工作臺板做成中空擠出的形狀時不發(fā)生。這是因?yàn)椋捎诨寤蚬ぷ髋_板變形，作用在線性引導(dǎo)件的滾動體的負(fù)荷實(shí)質(zhì)上被減輕了。但是，這種直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)存在不能提高工作臺板對基板的移動精度的問題。為了處理在日本特開2005-79496中引起這種線圈單元的發(fā)熱的問題，采取了如下對策對配置有線圈單元的工作臺板安裝散熱板或散熱葉片，抑制工作臺板的溫度上升。專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 日本特開2005-79496號公報

發(fā)明內(nèi)容
但是，在設(shè)置了散熱板或散熱葉片這樣積極的氣冷裝置時，該部分造成直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)大型化，不適合將直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)小型化、薄型化。另外，在直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)，由于在使工作臺板持續(xù)靜止在基板上的特定位置的情況下、或產(chǎn)生推力進(jìn)行將工作臺板上的工件推到其他構(gòu)件的動作的情況下，也要對線圈單元通電，所以在工作臺板的靜止時間比運(yùn)行時間長的使用狀態(tài)下，上述那樣的氣冷裝置不太有效果。本發(fā)明是鑒于這樣的問題而完成的，其目的在于提供一種直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)，可排除線圈單元的發(fā)熱對線性引導(dǎo)件造成的影響，充分地確保由該線性引導(dǎo)件支撐的工作臺板的移動精度及定位精度，并可長期維持該精度。即，本發(fā)明的直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)具備固定在其他機(jī)械裝置的基板、互相平行地配置在該基板上的多個的線性引導(dǎo)件、由這些線性引導(dǎo)件支撐而在上述基板上自由往復(fù)運(yùn)動的工作臺板、設(shè)置在該工作臺板的磁鐵單元、以及設(shè)置在上述基板并且與上述磁鐵單元相對而構(gòu)成直線電機(jī)的線圈單元，各線性引導(dǎo)件包括沿長度方向形成滾動體的滾道面的軌道導(dǎo)軌、通過多數(shù)的滾動體組裝在上述軌道導(dǎo)軌并沿該軌道導(dǎo)軌運(yùn)動的移動塊所；并且，上述基板及工作臺板由線膨脹系數(shù)為11X10_6(1/°C )以下的材質(zhì)形成，且兩者的線膨脹系數(shù)設(shè)有差異。發(fā)明效果鐵(SS400)的線膨脹系數(shù)為11.5X10_6(1/°C )左右，如果選擇線膨脹系數(shù)為11X10_6(1/°C )以下的材質(zhì)作為上述基板及工作臺板，則能夠抑制這些基板及工作臺板的熱膨脹量，能夠縮小兩者的熱膨脹量的差異。另外，即使在將上述線圈單元配置在基板上時，也會出現(xiàn)根據(jù)基板對其他機(jī)械裝置的固定狀態(tài)、或搭載在工作臺板上的可動體的大小或材質(zhì)等，工作臺板比基板高溫的情況。因此，通過對基板與工作臺板的線膨脹系數(shù)設(shè)有差異，可縮小兩者的熱膨脹量的差異。S卩，通過本發(fā)明，即使由于直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)的連續(xù)額定運(yùn)轉(zhuǎn)使基板及工作臺板升溫達(dá)到熱平衡狀態(tài)，也能夠?qū)烧叩臒崤蛎浟康牟町惐M可能地抑制到很小，可充分確保由線性引導(dǎo)件支撐的工作臺板的移動精度及定位精度并且長期維持該精度。


圖1是示出應(yīng)用本發(fā)明的直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)的實(shí)施方式的立體圖。圖2是示出在圖1的實(shí)施方式可使用的線性引導(dǎo)件的一個例子的立體圖。圖3是示出基板上的軌道導(dǎo)軌的距離與工作臺板的移動塊的距離的關(guān)系的圖。
具體實(shí)施例方式以下，參考附圖來詳細(xì)說明本發(fā)明的直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)。圖1是示出應(yīng)用本發(fā)明的直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)的實(shí)施方式的一個例子的立體圖。該直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)1包括固定在機(jī)械裝置的框體或機(jī)座等的固定部位的基板2、在該基板2上平行地配置的兩座線性引導(dǎo)件3、由這些線性引導(dǎo)件3支撐并自由直線往復(fù)運(yùn)動地組裝在上述基板2上的工作臺板4、以及相對于上述基板2將工作臺板4推進(jìn)的直線電機(jī)5。上述基板2形成為長方形狀，沿其長邊配置兩座線性引導(dǎo)件3。上述工作臺板4設(shè)置成跨越著隔著間隔配置的兩座線性引導(dǎo)件3，基板2的表面與工作臺板4的背面之間成為上述直線電機(jī)5的配置空間。另外，在上述基板2的短邊設(shè)置有防止工作臺板4越界的止動板20。圖2是示出上述線性引導(dǎo)件3的詳細(xì)構(gòu)造的立體圖及正面剖面圖。該線性引導(dǎo)件3包括固定在基板2的軌道導(dǎo)軌30、以及沿該軌道導(dǎo)軌30移動并固定在上述工作臺板4的移動塊31。上述軌道導(dǎo)軌30的與長度方向垂直的剖面形成為大致矩形，在沿長度方向的一方的側(cè)面形成有作為滾動體的滾珠32的滾道面33。該滾道面33的與其長度方向垂直的剖面形狀形成為哥德式尖拱狀，滾珠32相對于滾道面33以兩點(diǎn)接觸。另一方面，在上述移動塊31的側(cè)面形成有與軌道導(dǎo)軌30的滾道面33相對的負(fù)載滾道面37，多數(shù)的滾珠32在軌道導(dǎo)軌30的滾道面33與移動塊31的負(fù)載滾道面37之間一邊負(fù)載負(fù)荷一邊滾動。該負(fù)載滾道面37的與其長度方向垂直的剖面形狀也做成哥德式尖拱狀，滾珠32相對于負(fù)載滾道面37以兩點(diǎn)接觸。另外，在移動塊31形成有用來使在上述負(fù)載滾道面37滾動完畢的滾珠32進(jìn)行循環(huán)的無限循環(huán)通路，以通過滾珠32無限循環(huán)使移動塊31沿軌道導(dǎo)軌30可連續(xù)移動的方式構(gòu)成。在該線性引導(dǎo)件3，上述移動塊31處在通過滾珠32而被限制在軌道導(dǎo)軌30的狀態(tài)，可一邊負(fù)載著從與軌道導(dǎo)軌30的長度方向垂直的方向作用的負(fù)荷，一邊沿該軌道導(dǎo)軌30自由移動。另外，在上述移動塊31設(shè)置有用來固定工作臺板4的安裝面34，在該安裝面34形成有螺栓安裝孔35，貫穿工作臺板4的固定螺栓螺合在這些螺栓安裝孔35上。另外，在上述軌道導(dǎo)軌30，在其長度方向隔著一定間隔形成有螺栓插入孔36，在固定到基板2時利用。在圖1所示的直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)1的實(shí)施方式，對一條軌道導(dǎo)軌30組裝三座移動塊31來構(gòu)成一座線性引導(dǎo)件3，工作臺板4構(gòu)成為由六座移動塊31支撐而在基板2上移動。但也可根據(jù)工作臺板4的大小或重量、搭載在該工作臺板4的可動體的負(fù)荷來適當(dāng)變更設(shè)計(jì)配置在基板2上的線性引導(dǎo)件3的數(shù)量、或組裝在一條軌道導(dǎo)軌30的移動塊31的數(shù)量。另外，也可使用滾子取代滾珠作為滾動體。另外，在上述基板2與工作臺板4之間設(shè)置有上述直線電機(jī)5。該直線電機(jī)5是同步型直線電機(jī)，包括固定在上述基板2的線圈單元50、固定在工作臺板4的磁鐵單元51。這些線圈單元50與磁鐵單元51隔著微小間隙相對，通過上述線性引導(dǎo)件3的動作來維持該間隙。上述線圈單元50包括沿工作臺板4的移動方向排列的多個線圈構(gòu)件52。各線圈構(gòu)件52與三相交流電流的u相位、ν相位、w相位對應(yīng)設(shè)置，三個線圈構(gòu)件52成為一組，當(dāng)三相交流電流通電時產(chǎn)生移動磁場。另一方面，上述磁鐵單元51沿工作臺板4的移動方向排列著多個永久磁鐵，各磁鐵使N極及S極交互反轉(zhuǎn)而排列。因此，當(dāng)對上述線圈單元50的各線圈構(gòu)件52通電時，該線圈單元50產(chǎn)生移動磁場，基于該移動磁場，在上述磁鐵單元51與線圈單元50之間磁性吸力或磁性排斥力發(fā)生作用，能夠沿線圈構(gòu)件52的排列方向推進(jìn)磁鐵單元51。在這樣構(gòu)成的直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)1，當(dāng)對上述線圈單元50通電使直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)1運(yùn)轉(zhuǎn)時，該線圈單元50的各線圈構(gòu)件52發(fā)熱，該熱量傳導(dǎo)到基板2及工作臺板4，它們的溫度有上升的傾向。由于線圈單元50是發(fā)熱源，所以當(dāng)如上述實(shí)施方式那樣將線圈單元50配置在基板2時，在該線圈單元50產(chǎn)生的熱量大多傳導(dǎo)到基板2。但由于線圈單元50與磁鐵單元51隔著數(shù)mm的間隙而接近著，且當(dāng)以額定推力使直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)1連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)時，上述線圈單元50的溫度高達(dá)70 90°C左右，所以通過來自線圈單元50的輻射、或空氣的對流使磁鐵單元51變得高溫，進(jìn)而將該磁鐵單元51固定的工作臺板4也變得高溫。當(dāng)以額定推力使直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)1連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)時，基板2及工作臺板4的溫度并不會沒有限制地上升，當(dāng)溫度上升到某程度時達(dá)到熱平衡狀態(tài)，變成即使持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，溫度也不會更上升的飽和溫度。但當(dāng)將基板2與工作臺板4進(jìn)行比較時，該飽和溫度產(chǎn)生差異?；?與工作臺板4的飽和溫度如果產(chǎn)生差異，則各板2、4產(chǎn)生因應(yīng)各自溫度的熱膨脹，所以基板2與工作臺板4的熱膨脹量產(chǎn)生差異。因此，結(jié)果變成如圖3所示，固定在基板2的一對軌道導(dǎo)軌30之間的距離LB、及組裝在這些軌道導(dǎo)軌30的移動塊31的距離LT產(chǎn)生差異，在軌道導(dǎo)軌30的一方的側(cè)面，滾珠32在軌道導(dǎo)軌30與移動塊31之間被壓縮，在軌道導(dǎo)軌30的另一方的側(cè)面，滾珠32與軌道導(dǎo)軌30或移動塊31之間產(chǎn)生間隙。例如，在基板2的材質(zhì)與工作臺板4的材質(zhì)相同、運(yùn)轉(zhuǎn)中的基板2的飽和溫度比工作臺板4的飽和溫度高的情況下，即使在運(yùn)轉(zhuǎn)開始前的狀態(tài)下一對軌道導(dǎo)軌30之間的距離LB與組裝在這些軌道導(dǎo)軌30的移動塊31的距離LT相同，當(dāng)運(yùn)轉(zhuǎn)開始，基板2及工作臺板4升溫至接近飽和溫度時，距離LB變得比距離LT大。因此，在圖3中位于軌道導(dǎo)軌30的外側(cè)面的滾珠3 在該軌道導(dǎo)軌30與移動塊31之間被壓縮，成為對滾珠3 施加所謂預(yù)壓的狀態(tài)。但是，如果距離LB與距離LT的差異變得太大，則造成滾珠3 超過適當(dāng)?shù)念A(yù)壓的區(qū)域被線性引導(dǎo)件3過度壓縮，在軌道導(dǎo)軌30的滾道面33或移動塊31的負(fù)載滾道面產(chǎn)生壓痕，或相當(dāng)于在滾珠3 產(chǎn)生偏磨耗，有可能線性引導(dǎo)件3的使用壽命較早結(jié)束。為了避免這種不好的情形，首先，需要分別選擇線膨脹系數(shù)小的材質(zhì)來作為基板2及工作臺板4。這是因?yàn)椋ㄟ^選擇線膨脹系數(shù)小的材質(zhì)，可將基板2及工作臺板4各自的熱膨脹量控制得較小。具體來說，選擇線膨脹系數(shù)為11X10_6(1/°C)以下的材質(zhì)很有效。以線膨脹系數(shù)為11X10_6(1/°C)以下的材質(zhì)作為適合基板2或工作臺板4等的構(gòu)造材料，有例如陶瓷制品或低熱膨脹鑄造物。但由于陶瓷制品在安裝軌道導(dǎo)軌30或移動塊31這樣的機(jī)器時，在需要進(jìn)行螺栓孔加工時費(fèi)工費(fèi)時，還會增加制作成本，所以如果考慮到機(jī)械加工的容易性，則選擇后者的低熱膨脹鑄造物較佳。作為在市面上容易購得的低熱膨脹鑄造物，已知有從線膨脹系數(shù)為7. 5X 10_6(1/°C )左右的材料(日本鑄造株式會社(日本鑄造、Nippon Chuzo Co. Ltd.)制造 / 商品名LEX_75)，到線膨脹系數(shù)為 0. 8X 10_6(1/°C )以下的材料(日本鑄造株式會社制造/商品名LEX-SF1)。另外，為了抑制基板2及工作臺板4的熱膨脹量的差異，設(shè)定基板2與工作臺板4的線膨脹系數(shù)具有差異的方式很有效。要將基板2或工作臺板4的任一者的線膨脹系數(shù)設(shè)定得較小，根據(jù)基板2及工作臺板4的飽和溫度的高低而有所不同。假設(shè)基板2的飽和溫度比工作臺板4的飽和溫度高，則將基板2的線膨脹系數(shù)設(shè)定得比工作臺板4的線膨脹系數(shù)小，如果相反的話，則將工作臺板4的線膨脹系數(shù)設(shè)定得比基板2的線膨脹系數(shù)小。由于作為發(fā)熱源的線圈單元50固定在基板2，所以當(dāng)將基板2與工作臺板4比較時，對基板2傳導(dǎo)的熱能量比對工作臺板4傳導(dǎo)的熱能量大。因此，在將直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)1作為獨(dú)立系統(tǒng)掌握時，基板2的飽和溫度變得比工作臺板4的飽和溫度高。在該情況下，作為基板2及工作臺板4的線膨脹系數(shù)的例子，將基板2的線膨脹系數(shù)設(shè)定為0.8X10_6(1/°C )，將工作臺板4的線膨脹系數(shù)設(shè)定為2.5X10_6(1/°C )。另一方面，由于上述基板2被固定在其他的機(jī)械裝置(以下稱為“被安裝體”)來使用，所以當(dāng)通過線圈單元50的發(fā)熱而將基板2加熱時，在基板2與被安裝體之間產(chǎn)生溫度梯度，在線圈單元50產(chǎn)生的熱量從基板2傳導(dǎo)到被安裝體。因此，即使在將線圈單元50固定在基板2的情況下，除了將上述基板2的熱傳導(dǎo)率極小的情況、或在基板2與被安裝體之間設(shè)置有隔熱層的情況以外，工作臺板4的飽和溫度有變得比基板的飽和溫度高的傾向。假設(shè)當(dāng)將基板2的熱傳導(dǎo)率設(shè)定得極小時、或當(dāng)在基板2與被安裝體之間設(shè)置有隔熱層時，該基板2的飽和溫度有上升至接近100°C的可能性，有可能產(chǎn)生火災(zāi)或燙傷等事故，需使用高耐熱性的材質(zhì)來構(gòu)成線圈單元50的構(gòu)件。因此，當(dāng)實(shí)際使用直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)1時，將基板2的熱傳導(dǎo)率設(shè)定得極小、或在基板2與被安裝體之間設(shè)置有隔熱層的例子被認(rèn)為是特殊的使用例子，認(rèn)為在大多數(shù)的使用例子中，即使在基板2設(shè)置有線圈單元50的情況下，基板2的飽和溫度也比工作臺板4的飽和溫度低。根據(jù)上述觀點(diǎn)，當(dāng)對基板2與工作臺板4的線膨脹系數(shù)設(shè)定差異時，將工作臺板的線膨脹系數(shù)設(shè)定得比設(shè)置有線圈單元的基板的線膨脹系數(shù)小很有效。在該情況下，作為基板2及工作臺板4的線膨脹系數(shù)的例子，將基板2的線膨脹系數(shù)設(shè)定為2. 5X 10_6(1/°C )，將工作臺板4的線膨脹系數(shù)設(shè)定成0. 8X 10_6(1/°C )。實(shí)際上在將直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)1組裝而以額定推力使直線電機(jī)5連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)并實(shí)際測定基板2、工作臺板4、以及線圈單元50的溫度時，線圈單元50的飽和溫度達(dá)到75°C，此時的基板2的飽和溫度約為45°C，工作臺板4的飽和溫度約為60°C。因此，如果使用線膨脹系數(shù)為11X10_6(1/°C )以下的材質(zhì)作為基板及工作臺板的材質(zhì)，并且將工作臺板的線膨脹系數(shù)設(shè)定成比基板的線膨脹系數(shù)小，則可將基板與工作臺板的熱膨脹量抑制得較小，并可將兩者的熱膨脹量的差異抑制在數(shù)十μ m左右，能夠防止過度的預(yù)壓作用在線性引導(dǎo)件的滾珠。因此，本實(shí)施方式的線性致動器能夠充分地確保由線性引導(dǎo)件支撐的工作臺板的移動精度及定位精度，并可長期維持該精度。
另外，本發(fā)明并不限定在上述實(shí)施方式，例如，并不限在實(shí)施方式所示的單軸的直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)，也可將該單軸直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)應(yīng)用在重疊兩層的XY工作臺。另外，在應(yīng)用在XY工作臺時，既可以在X軸及Y軸雙方應(yīng)用本發(fā)明，也可以僅在X軸或Y軸的一方應(yīng)用本發(fā)明。
權(quán)利要求
1. 一種直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)(1)，其特征在于固定在其他機(jī)械裝置的基板O)、互相平行地配置在該基板( 上的多個的線性引導(dǎo)件(3)、由這些線性引導(dǎo)件C3)支撐而在上述基板( 上自由往復(fù)運(yùn)動的工作臺板、設(shè)置在該工作臺板(4)的磁鐵單元(51)、以及設(shè)置在上述基板( 并且與上述磁鐵單元(51) 相對而構(gòu)成直線電機(jī)(5)的線圈單元(50)；各線性引導(dǎo)件C3)包括沿長度方向形成滾動體(3 的滾道面(3 的軌道導(dǎo)軌(30)、 以及通過多數(shù)的滾動體(3 組裝在上述軌道導(dǎo)軌(30)并沿該軌道導(dǎo)軌(30)運(yùn)動的移動塊(31)；上述基板⑵及工作臺板⑷由線膨脹系數(shù)為11X10_6(1/°C )以下的材質(zhì)形成，并且兩者的線膨脹系數(shù)設(shè)有差異。
2.如權(quán)利要求1所述的直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)(1)，其特征在于設(shè)置有上述磁鐵單元(51)的工作臺板的線膨脹系數(shù)比設(shè)置有上述線圈單元(50) 的基板O)的線膨脹系數(shù)小。
全文摘要
一種直線電機(jī)操動機(jī)構(gòu)(1)，其可排除線圈單元(50)的發(fā)熱對線性引導(dǎo)件(3)的影響，充分地確保由該線性引導(dǎo)件(3)支撐的工作臺板(4)的移動精度及定位精度，并可長期維持該精度，具備固定在其他機(jī)械裝置的基板(2)、互相平行地配置在該基板(2)上的多個的線性引導(dǎo)件(3)、由這些線性引導(dǎo)件(3)支撐而在上述基板(2)上自由往復(fù)運(yùn)動的工作臺板(4)、設(shè)置在該工作臺板(4)的磁鐵單元(51)、以及設(shè)置在上述基板(2)且與上述磁鐵單元(51)相對而構(gòu)成直線電機(jī)(5)的線圈單元(50)，上述基板(2)及工作臺板(4)由線膨脹系數(shù)為11×10-6(1/℃)以下的材質(zhì)形成，并且兩者的線膨脹系數(shù)設(shè)有差異。
文檔編號F16C29/06GK102549896SQ20108004518
公開日2012年7月4日 申請日期2010年9月8日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月7日
發(fā)明者木村吉宏 申請人:Thk株式會社