專利名稱：微型機(jī)械裝置和控制方法
微型機(jī)械裝置和控制方法相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用本申請(qǐng)要求2009年8月17日提交的美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)No. 61/234，522的利益， 其內(nèi)容通過引用并入本文。
背景技術(shù)：
本公開涉及閥和半導(dǎo)體機(jī)電裝置，并且涉及例如被微閥裝置(即，微型機(jī)械先導(dǎo)閥)定位的壓力控制閥等控制閥。MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))是這樣一類系統(tǒng)，其物理上是小型的，具有尺寸處于微米級(jí)或者更小(即，小于約10微米)的一些特征或者間隙。這些系統(tǒng)具有電氣和機(jī)械部件。 術(shù)語(yǔ)“微型加工”通常應(yīng)理解為是指MEMS裝置的移動(dòng)部和三維結(jié)構(gòu)的制造。MEMS最初使用改良的集成電路(例如，計(jì)算機(jī)芯片)制造技術(shù)(例如化學(xué)蝕刻)和材料(例如硅半導(dǎo)體材料)來(lái)微型加工這些非常小的機(jī)械裝置。目前存在許多更微型的機(jī)械加工技術(shù)和材料。如本申請(qǐng)中可能使用的術(shù)語(yǔ)“MEMS裝置”是指包括具有尺寸為微米級(jí)或者更小(S卩，小于約10 微米)的一些特征或者間隙的微型機(jī)械部件的裝置。應(yīng)該注意的是，如果除微型機(jī)械部件外的部件被包括在MEMS裝置中，則這些其它部件可以是微型機(jī)械部件或者標(biāo)準(zhǔn)尺寸(即， 較大)的部件。相似地，如本申請(qǐng)中可能使用的術(shù)語(yǔ)“微閥”是指具有尺寸為微米級(jí)或者更小(即，小于約10微米)的特征或者間隙的閥，因此根據(jù)定義，所述閥至少部分地通過微型機(jī)械加工形成。如本文可能使用的術(shù)語(yǔ)“微閥裝置”是指包括微閥并且可以包括其它部件的裝置。應(yīng)該注意的是，如果除微閥外的部件被包括在微閥裝置中，則這些其它部件可以是微型機(jī)械部件或者標(biāo)準(zhǔn)尺寸(即，較大)的部件。本發(fā)明的各方面將從以下對(duì)優(yōu)選實(shí)施例的詳細(xì)描述中在參考附圖進(jìn)行閱讀時(shí)，對(duì)本領(lǐng)域的技術(shù)人員變得清楚明了。



圖1是實(shí)施為微閥裝置的壓力控制閥的部分分解透視圖。 圖2是壓力控制閥的截面圖。圖3是快速施加位置的壓力控制閥的截面圖。圖4是快速傾倒位置的壓力控制閥的截面圖。圖5是在平衡位置附近進(jìn)行調(diào)制的壓力控制閥的截面圖。 圖6是具有兩個(gè)串聯(lián)可變孔口的先導(dǎo)微閥的示意性代表圖。 圖7是實(shí)施為微閥裝置的壓力控制閥的一個(gè)替代實(shí)施例的截面圖。
圖8是圖6所示壓力控制閥的分解透視圖。 圖9是類似于圖8的視圖，只不過是從另一視角顯示。 圖10是實(shí)施為微閥裝置的壓力控制閥的一個(gè)替代實(shí)施例的部分剖切的透視圖。
圖11是壓力控制閥的操作方法。圖12是實(shí)施為微閥裝置的壓力控制閥的一個(gè)替代實(shí)施例。
圖13是實(shí)施為微閥裝置的壓力控制閥的一個(gè)替代實(shí)施例。
具體實(shí)施例方式現(xiàn)在參考附圖，在圖1中示出了呈壓力控制閥形式的微閥裝置，總體上以10示出。壓力控制閥10可以包括具有主閥體14的先導(dǎo)操作主閥(pilot-operated main valve) 12。壓力控制閥10可以進(jìn)一步包括用于控制先導(dǎo)操作主閥12的先導(dǎo)微閥(pilot microvalve) 16，和用于相對(duì)于主閥體14安裝先導(dǎo)微閥16的歧管18。如圖2所示，主閥體14可以具有多個(gè)端口，包括負(fù)載端口 20、供給端口 22和返回端口 24，所有端口均與主閥體14中的縱向孔沈流體連通。更具體地說，供給端口 22可以經(jīng)由供給通道2 與縱向孔沈流體連通。相似地，返回端口 M可以經(jīng)由返回通道2 與縱向孔沈流體連通。此外，負(fù)載端口 20可以經(jīng)由負(fù)載通道20a與縱向孔沈流體連通。注意，在一些實(shí)施例中，縱向孔沈可以直接與負(fù)載端口 20連通，這時(shí)縱向孔沈應(yīng)該被看作形成負(fù)載通道20a的一部分。如圖2中最佳看出的，縱向孔沈可以是臺(tái)階孔，具有從縱向孔沈的左端向右端直徑逐漸增大的圓筒部分(如圖2所示)。主閥12可以被支承在縱向孔沈內(nèi)。主閥12可以包括套筒觀、被支承成相對(duì)于套筒觀移動(dòng)的柱塞(spool) 30和在縱向孔沈中相對(duì)于主閥體14以固定關(guān)系支承套筒觀的塞子32。套筒觀可以具有可以與供給端口 20流體連通的環(huán)形溝槽34以及可以與返回端口 22流體連通的環(huán)形溝槽35。環(huán)形溝槽34、35可以被圍繞套筒觀形成的槽脊(land) 36、 38,40分開；S卩，槽脊36、38可以限定出環(huán)形溝槽34的壁，而槽脊38和40可以限定出環(huán)形溝槽35的壁。優(yōu)選地，槽脊38具有比槽脊36大的直徑，而槽脊40具有比槽脊38大的直徑，以使每個(gè)槽脊與縱向孔26的徑向相鄰圓筒部分的直徑緊密地匹配。該配置的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是，套筒觀只能沿一個(gè)取向組裝到縱向孔中，因?yàn)樘淄灿^的最大直徑部分將裝配到縱向孔 26的最大直徑部分中，在套筒觀與圖2所示取向相反的情況下，不能進(jìn)一步朝如圖2所示的左側(cè)前進(jìn)以將套筒觀完全設(shè)置在縱向孔26中。每個(gè)槽脊36、38、40可以優(yōu)選地設(shè)置有支承相應(yīng)密封件或者0形圈48、50、52的環(huán)形溝槽42、44、46。雖然示出的是圓形截面的0形圈，但是可以使用由任意適當(dāng)材料制成的具有任意適當(dāng)截面的任意適當(dāng)類型的密封件。0形圈48、50、52可以在套筒觀與限定出縱向孔沈的主閥體14的表面之間提供壓力密封。0形圈48、50、52因此可以在環(huán)形溝槽34 中的流體與環(huán)形溝槽35中的流體之間形成壓力邊界。套筒觀可以在一端具有環(huán)形肩部 54,該環(huán)形肩部M與位于縱向孔沈的相應(yīng)端部的環(huán)形肩部56接合，以相對(duì)于縱向孔沈以及相對(duì)于主閥體14定位套筒觀?？梢源┻^套筒觀沿其中心軸線縱向地形成孔70。可以穿過套筒觀形成一個(gè)或多個(gè)徑向孔34a(見圖幻，以在溝槽34與限定出孔70的套筒觀的內(nèi)表面之間提供流體連通。相似地，可以穿過套筒觀形成一個(gè)或多個(gè)徑向孔35a(見圖2)， 以在溝槽35與限定出孔70的套筒觀的內(nèi)表面之間提供流體連通。套筒28可以通過塞子32抵靠肩部56保持在固定位置，從而相對(duì)于主閥體14處于固定關(guān)系。塞子32可以具有與縱向孔沈的內(nèi)螺紋部60螺旋地接合的外螺紋部58。雖然可以提供任意適當(dāng)?shù)呐渲?，但是塞?2可以呈包括有六角插孔61 (圖1所示)的塞子的形式，所述六角插孔61接收六角鍵(扳手)，以相對(duì)于縱向孔沈的內(nèi)螺紋部60擰緊塞子32的外螺紋部58。塞子32可以大小做成并被構(gòu)造成接合套筒觀，并使套筒觀的環(huán)形肩部M與縱向孔沈的環(huán)形肩部56保持接合?？梢栽谔淄灿^的與套筒觀的肩部端相反的端部與縱向孔 26的與縱向孔沈的肩部端相反的端部之間設(shè)置間隙62。間隙62可以足夠大，以確保套筒 28的環(huán)形肩部M與縱向孔沈的環(huán)形肩部56保持接合。柱塞30的外表面可以限定出環(huán)形溝槽64。環(huán)形溝槽64可以與柱塞30中的多個(gè)徑向通道66、68流體連通，其進(jìn)而可以與柱塞30中的縱向孔69流體連通。柱塞30的縱向孔69可以向左(如圖2所示)延伸至柱塞30的左側(cè)(如圖2所示)軸向端面中的開口， 該開口可以在柱塞的縱向孔69與套筒觀的縱向孔70之間提供流體連通。套筒觀的縱向孔70的左向部分(如圖2所示)進(jìn)而可以提供與負(fù)載端口 20的流體連通。這樣，溝槽64 能夠一直與負(fù)載端口 20流體連通。柱塞30可以被支承成在套筒28中的縱向孔70中縱向移動(dòng)。柱塞30可以移動(dòng)至第一位置以使柱塞30中的環(huán)形溝槽64經(jīng)由套筒28中的一個(gè)或多個(gè)徑向孔3 和環(huán)形溝槽34與供給端口 22流體連通，或者柱塞30可以移動(dòng)至第二位置以使柱塞30中的環(huán)形溝槽64經(jīng)由形成于套筒28中的一個(gè)或多個(gè)徑向孔3 和環(huán)形溝槽35與返回端口 M流體連通。這樣，柱塞30可以是可移動(dòng)的，以控制供給端口 22與負(fù)載端口 20之間的流體流動(dòng)，如圖3所示，或者控制負(fù)載端口 20與返回端口對(duì)之間的流體流動(dòng)，如圖4所示。雖然未示出，可以設(shè)置一個(gè)或多個(gè)彈簧來(lái)朝正常位置推壓柱塞30，在所述正常位置柱塞30被設(shè)置成沒有任何其它顯著作用力作用于柱塞30上的狀態(tài)。應(yīng)該意識(shí)到的是， 在多數(shù)情況下，這種彈簧通常將被選擇成使得由這種彈簧施加的作用力比起由操作期間作用于柱塞30的流體壓力施加的作用力來(lái)說是比較次要的(并且在任何情況下，作用于柱塞閥的作用力的平衡中的彈簧預(yù)載的效果可以被設(shè)計(jì)這種柱塞閥的領(lǐng)域的技術(shù)人員輕松地理解)。因此，為了簡(jiǎn)明起見，將從對(duì)壓力控制閥10的操作的描述中省略彈簧對(duì)主閥12的操作的次要效果的描述。主閥12可以調(diào)制在第三位置附近，該第三位置是平衡位置，如圖5所示。在平衡位置，柱塞30中的環(huán)形溝槽36可以被防止與與供給端口 22連通的環(huán)形溝槽34連通，并且還可以被防止與和返回端口 M連通的環(huán)形溝槽35連通，從而在負(fù)載端口 20處保持壓力恒定。以這種配置，主閥12可以被稱為“中心關(guān)閉”閥。然而，也可以想到的是主閥12可以設(shè)計(jì)成“中心開放”閥，其中，在平衡位置(未示出)，柱塞30中的環(huán)形溝槽36將既與和供給端口 22連通的環(huán)形溝槽34連通又與和返回端口 M連通的環(huán)形溝槽35連通，使得從供給端口 22流入主閥12中的流體正好等于從返回端口對(duì)流出主閥12的流體。在流進(jìn)和流出的流體如此平衡的情況下，將不會(huì)有流進(jìn)或者流出負(fù)載端口 20的流體，壓力在負(fù)載端口 20處將保持恒定。然而，該描述的其余部分將描述的是如圖5所示的中心關(guān)閉閥情況下的閥的結(jié)構(gòu)和操作。在縱向孔70的與負(fù)載端口 20相反的右端(如圖2-5所示)可以設(shè)置指令室72。 被引入指令室72中的指令壓力能夠控制柱塞30的移動(dòng)。施加高于負(fù)載端口 20中的負(fù)載壓力的指令壓力能夠使柱塞30移動(dòng)遠(yuǎn)離指令室72( S卩，觀察圖3時(shí)向左側(cè)移動(dòng))。柱塞20 遠(yuǎn)離指令室72的這種移動(dòng)能夠使柱塞30中的環(huán)形溝槽64經(jīng)由徑向孔3 與套筒28中的環(huán)形溝槽34流體連通，并且經(jīng)由與供給端口 30流體連通的環(huán)形溝槽34，來(lái)允許流體經(jīng)由孔69,70和沈在供給端口 22與負(fù)載端口 20之間流動(dòng)，如圖3所示。如果指令室72中的壓力低于負(fù)載壓力，柱塞30能夠移動(dòng)成使得柱塞30中的環(huán)形溝槽64經(jīng)由徑向孔35a與套筒28中的環(huán)形溝槽35流體連通。環(huán)形溝槽35，如以上指出的，能夠與返回端口 22流體連通，因此允許流體在負(fù)載端口 20與返回端口 M之間流動(dòng)，如圖4所示。這能夠發(fā)揮作用，以使負(fù)載壓力降低至指令壓力。當(dāng)負(fù)載壓力等于指令室72中的壓力時(shí)，柱塞30將移動(dòng)成使得柱塞30中的環(huán)形溝槽64既不與環(huán)形溝槽34也不與環(huán)形溝槽35流體連通，從而使負(fù)載端口 20與供給端口 22和返回端口 M兩者均隔離開，如圖5 所示。指令室72中的指令壓力可以受控于先導(dǎo)微閥16，所述先導(dǎo)微閥16可以經(jīng)由歧管 18與指令室72流體連通，并且可以經(jīng)由歧管18與供給端口 22和返回端口 M選擇性地流體連通，以控制指令壓力。先導(dǎo)微閥16可以包括可移動(dòng)閥元件，其在移動(dòng)時(shí)，同時(shí)改變串聯(lián)配置在穿過先導(dǎo)微閥16的流路中的兩個(gè)孔口的有效截面積。具有這種特征的一個(gè)微閥的示例是德克薩斯州奧斯汀城Microstaq公司開發(fā)的PDA-3型比例直動(dòng)式3路微閥。兩個(gè)串聯(lián)孔口的操作可以參考圖6得到理解，其中，根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)符號(hào)表示法，穿過某部件的符號(hào)的箭頭用于指示可變部件，在該情況下，可變孔口。先導(dǎo)微閥16可以顯示為包括第一孔口 16a和與第一孔口 16a處于相同流體路徑中的第二孔口 16b。因此，第一孔口 16a和第二孔口 16b以串聯(lián)配置設(shè)置在流體管道16c中。虛線表示孔口 16a、16b以預(yù)定關(guān)系一起得到操作。給定密度的流體穿過先導(dǎo)微閥16的流體管道16c的流動(dòng)、孔口 16a、16b 的截面積、供給至先導(dǎo)微閥16的壓力以及在流體管道16c中位于孔口 16a、16b之間的流體的壓力之間的關(guān)系可從數(shù)學(xué)上得出，如下
權(quán)利要求
1.一種裝置，包括先導(dǎo)操作閥，響應(yīng)于指令壓力進(jìn)行操作，以向負(fù)載供給處于負(fù)載壓力的流體，該負(fù)載壓力在穩(wěn)定狀態(tài)流動(dòng)條件期間大致等于指令壓力；和先導(dǎo)微閥，在與所述先導(dǎo)操作閥連通的流體管道中生成指令壓力，使得指令壓力能夠在供給壓力的0%到100%之間變化，該供給壓力是供給至先導(dǎo)微閥的加壓流體的壓力。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置，所述先導(dǎo)微閥包括第一流體管道，接收處于供給壓力的加壓流體，并且與處于返回壓力的較低壓力的區(qū)域連通；設(shè)置在所述第一流體管道中的第一可變孔口；設(shè)置成在所述第一流體管道中與所述第一可變孔口串聯(lián)配置的第二可變孔口，所述指令壓力在所述第一流體管道中于第一可變孔口與第二可變孔口之間生成；和在第一可變孔口與第二可變孔口之間與第一流體管道流體連通的第二流體管道，所述第二流體管道是使指令壓力與所述先導(dǎo)操作閥連通的流體管道。
3.如權(quán)利要求2所述的裝置，還包括設(shè)置在第二流體管道中用于抑制指令壓力的變化的抑制孔口。
4.如權(quán)利要求2所述的裝置，還包括設(shè)置在第二流體管道中的過濾器。
5.如權(quán)利要求2所述的裝置，還包括設(shè)置在所述先導(dǎo)微閥與所述先導(dǎo)操作閥之間的歧管，所述歧管限定出所述第二流體管道的一部分；和設(shè)置在所述歧管與所述先導(dǎo)操作閥之間的0形圈，所述0形圈形成第二流體管道的壓力邊界的一部分。
6.如權(quán)利要求5所述的裝置，還包括設(shè)置在所述先導(dǎo)操作閥與所述歧管之間的過濾器，使得流經(jīng)第二流體管道的流體被引導(dǎo)穿過所述過濾器。
7.如權(quán)利要求1所述的裝置，所述先導(dǎo)操作閥包括在其中限定出縱向孔的本體，為來(lái)自加壓流體源的流體向所述縱向孔提供流體連通的供給通道，從所述縱向孔向較低壓力的區(qū)域提供流體連通的返回通道，以及從所述縱向孔向負(fù)載提供流體連通的負(fù)載通道；和設(shè)置成在所述孔中滑移的柱塞，所述柱塞具有第一端部，所述柱塞的第一端部與所述本體協(xié)作以在所述孔中限定出指令室，所述指令室與傳送指令壓力的第二流體管道流體連通，所述柱塞具有與所述第一端部相反的第二端部，所述柱塞的第二端部受到負(fù)載壓力， 所述柱塞限定出圍繞所述柱塞的外表面延伸的環(huán)形的閥溝槽， 所述柱塞限定出在所述柱塞的第二端部與所述閥溝槽之間提供流體連通的柱塞通道， 所述柱塞可定位至第一位置，在所述第一位置，所述閥溝槽與所述柱塞通道協(xié)作以在所述供給通道與所述負(fù)載通道之間限定出流路，所述柱塞可定位至第二位置，在所述第二位置，所述閥溝槽與所述柱塞通道協(xié)作以在所述負(fù)載通道與所述返回通道之間限定出流路。
8.如權(quán)利要求7所述的裝置，所述柱塞限定出環(huán)形的第二溝槽，所述第二溝槽在所述閥溝槽與所述柱塞的第一端部之間的一個(gè)軸向位置處圍繞所述柱塞的外表面延伸，所述柱塞通道與所述第二溝槽流體連通。
9.如權(quán)利要求7所述的裝置，其中，所述柱塞可定位至第三位置，在所述第三位置，所述閥溝槽不與所述供給通道流體連通，并且在所述第三位置，所述閥溝槽不與所述返回通道流體連通。
10.如權(quán)利要求1所述的裝置，還包括 用于主閥的本體，所述本體限定出 第一端口，第二端口，和縱向孔；和響應(yīng)于指令壓力在所述縱向孔中可移動(dòng)的柱塞，所述柱塞在允許第一端口和第二端口之間流體連通的第一位置與阻止第一端口和第二端口之間流體連通的第二位置之間是可移動(dòng)的。
11.如權(quán)利要求10所述的裝置，還包括歧管，所述先導(dǎo)微閥安裝在所述歧管上，所述歧管限定出形成從所述先導(dǎo)微閥向所述先導(dǎo)操作閥傳送指令壓力的第二流體管道的一部分的歧管流體管道；和將所述歧管緊固至所述本體的固位元件。
12.如權(quán)利要求11所述的裝置，還包括由所述本體限定出的面，所述面具有進(jìn)入所述縱向孔中的開口，其中所述歧管流體管道經(jīng)由所述本體的所述面中的開口與所述縱向孔連通。
13.如權(quán)利要求12所述的裝置，其中，所述固位元件是螺紋帽。
14.如權(quán)利要求11所述的裝置，其中，所述固位元件是螺紋緊固件。
15.一種操作微閥裝置的方法，所述微閥裝置呈壓力控制閥的形式，所述壓力控制閥具有先導(dǎo)操作主閥和先導(dǎo)微閥，所述主閥向主閥體中的負(fù)載端口供給壓力，所述先導(dǎo)微閥具有第一孔口和第二孔口，所述第一孔口具有第一可變截面面積A1,所述第二孔口具有第二可變截面面積A2，所述先導(dǎo)微閥在第一孔口與第二孔口之間生成控制壓力，所述控制壓力被所述先導(dǎo)微閥供給至所述主閥，以用于控制所述主閥的操作，所述方法包括a)向所述先導(dǎo)微閥的第一孔口A1和第二孔口 A2之一的上游供給處于壓力P1的流體；b)向所述先導(dǎo)微閥供給控制信號(hào)以設(shè)定第一孔口的截面面積A1和第二孔口的截面面積A2;c)依照以下方程式作為向所述先導(dǎo)微閥供給的壓力P1和所述孔口的截面面積A1和A2 的函數(shù)從所述微閥向所述主閥供給指令壓力P2
16.一種微閥裝置，包括 先導(dǎo)操作閥，包括在其中限定出縱向孔的本體，所述本體進(jìn)一步限定出在第一軸向位置與所述縱向孔流體連通的供給端口，在第二軸向位置與所述縱向孔流體連通的負(fù)載端口，和在第三軸向位置與所述縱向孔流體連通的返回端口； 設(shè)置成響應(yīng)于指令壓力在所述縱向孔中移動(dòng)的柱塞，所述柱塞具有第一端部和第二端部，所述第一端部具有軸向端面，所述第二端部具有軸向端面，所述第一端部的軸向端面與指令室流體連通， 所述第二端部的軸向端面與負(fù)載室流體連通，所述柱塞與所述本體協(xié)作以在沿軸向與第一端部隔開的位置處限定出壓力空間， 在所述負(fù)載室與所述壓力空間之間提供流體連通的負(fù)載通道， 所述柱塞可移動(dòng)至第一位置，在所述第一位置，所述負(fù)載端口和所述負(fù)載室與所述供給端口流體連通，所述柱塞可移動(dòng)至第二位置，在所述第二位置，所述負(fù)載端口和所述負(fù)載室與所述返回端口流體連通，所述柱塞可移動(dòng)至第三位置，所述第三位置是關(guān)閉中心狀態(tài)和開放中心狀態(tài)之一， 所述負(fù)載端口和所述負(fù)載室在關(guān)閉中心狀態(tài)下與所述供給端口和所述返回端口兩者均隔離，所述負(fù)載端口和所述負(fù)載室在開放中心狀態(tài)下與所述供給端口和所述返回端口兩者均流體連通，所述壓力空間沿軸向設(shè)置成在第一、第二和第三位置中的任一個(gè)處不比所述供給端口和所述返回端口中沿軸向最接近所述指令室的那個(gè)遠(yuǎn)離所述指令室；和先導(dǎo)微閥，所述先導(dǎo)微閥連接至所述先導(dǎo)操作閥，以向所述指令室供給指令壓力，來(lái)控制所述柱塞在所述先導(dǎo)操作閥的縱向孔中的移動(dòng)。
17.如權(quán)利要求16所述的裝置，其中，所述負(fù)載通道被限定成穿過所述柱塞的一部分， 以在所述負(fù)載室與所述壓力空間之間提供流體連通。
18.如權(quán)利要求17所述的裝置，其中，所述壓力空間是形成于所述柱塞的外表面中的溝槽。
19.如權(quán)利要求16所述的裝置，其中，所述壓力空間是形成于所述本體中的溝槽。
全文摘要
公開了一種微閥裝置，用于控制流體回路中的流體流動(dòng)。所述微閥裝置包括在其中形成有孔的本體。被本體支承的先導(dǎo)操作主閥柱塞可移動(dòng)地設(shè)置在孔中，以開閉形成于本體中的端口。先導(dǎo)微閥是可操作的，以控制先導(dǎo)操作主閥的移動(dòng)。先導(dǎo)微閥可以包括控制兩個(gè)串聯(lián)可變孔口的截面積的可移動(dòng)閥元件。當(dāng)先導(dǎo)微閥靜止時(shí)，一個(gè)孔口關(guān)閉，而另一個(gè)開放。在致動(dòng)先導(dǎo)微閥時(shí)，關(guān)閉的孔口可以開始開放，而開放的孔口可以開始關(guān)閉。孔口之間的壓力被用作指令壓力，其用于定位壓力控制閥以控制負(fù)載壓力。還公開了操作微閥裝置的方法。
文檔編號(hào)F16K11/07GK102575782SQ201080046757
公開日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2010年8月11日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月17日
發(fā)明者哈利·亨尼卡特 申請(qǐng)人:盾安美斯泰克股份有限公司