專利名稱：隔振裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種隔振裝置，該隔振裝置用彈簧部件進行支撐，以讓電子顯微鏡等精密設(shè)備與來自地板等的微小振動隔離。
背景技術(shù)：
迄今為止，這種隔振裝置中已為人所知的有所謂的被動(passive)型隔振臺，這種隔振臺用例如空氣彈簧或螺旋彈簧等柔軟的彈簧部件支撐平臺，設(shè)備放置在該平臺的上表面上。還有，主動(active)型隔振裝置也已為人所知，這種隔振裝置用傳感器對經(jīng)由例如空氣彈簧(例如，日本專利第337^75號公報)或螺旋彈簧(例如，日本公開特許公報特開2007-78122號公報)支撐的隔振對象的振動或位置進行檢測，對根據(jù)該檢測生成的信號進行反饋，驅(qū)動致動器，由此對該隔振對象施加產(chǎn)生減弱該振動的振動的控制力。

發(fā)明內(nèi)容
-發(fā)明要解決的技術(shù)問題-上述現(xiàn)有主動型隔振裝置(以下，也稱為主動隔振裝置)中存在下述問題。也就是說，現(xiàn)有主動隔振裝置一般在該主動隔振裝置的罩蓋內(nèi)除了包括彈簧部件以外還為鉛垂及水平這兩方向分別包括傳感器和致動器，因而雖然能夠在鉛垂及水平方向上實現(xiàn)極高的隔振性能，但是成本非常昂貴。然而，使用者中存在希望僅在鉛垂及水平方向中的一方向上得到很高的隔振性能的人。供這種使用者選擇的只有下述做法，即購買隔振性能比主動隔振裝置差而價格比較低廉的被動型隔振裝置，或者購買具有該使用者不需要的功能(對希望僅在鉛垂方向上得到很高的隔振性能的使用者來說，是水平方向上的隔振功能；對希望僅在水平方向上得到很高的隔振性能的使用者來說，是鉛垂方向上的隔振功能)、價格又昂貴的主動隔振裝置。 這是一個問題。還有，在很多主動隔振裝置中，除了彈簧部件、各種傳感器及致動器以外，在罩蓋內(nèi)還安裝有電動馬達或用來控制這些器件的控制器，該電動馬達用來進行保持平臺高度為一定的高度的自動高度調(diào)整。因此，在主動隔振裝置中，即使是小型的也一般具有長230mm 以上、寬230mm以上、高180mm以上的尺寸，因而不能滿足希望在狹窄的空間內(nèi)使用主動型隔振裝置的使用者的要求。這也是一個問題。為解決上述問題，能夠想到的有下述措施，即專門訂購制作僅具有使用者所希望的功能且尺寸較小的主動隔振裝置。然而，有下列問題，即特意訂購的產(chǎn)品的制造成本較高；若以后有施加其它功能的必要性，便不得不購買另一臺主動隔振裝置；在這種情況下， 在拆卸制造成小型的罩蓋，并施加所述其它功能后，需要將罩蓋更換為更大的罩蓋等，因而作業(yè)很煩雜。本發(fā)明正是鑒于上述各點而完成的。其目的在于提供一種具備使用者所要求的性能、尺寸較小且價格低廉的隔振裝置。-用以解決技術(shù)問題的技術(shù)方案-為達成所述目的，本發(fā)明以用螺旋彈簧經(jīng)由上板及下板相對于基部支撐平臺的被動型隔振裝置為基本裝置，將用來擴展該被動型隔振裝置的功能的功能擴展裝置即控制力施加裝置構(gòu)成為將振動傳感器及致動器一起模塊化而成的尺寸較小的結(jié)構(gòu)，并將該控制力施加裝置構(gòu)成為能夠?qū)ι习暹M行裝卸，以能夠滿足使用者的各種各樣的要求。具體而言，第一方面的發(fā)明以下述隔振裝置為對象，S卩該隔振裝置包括上板、下板及被動型隔振裝置，該上板支撐平臺，該下板放置在基部上，該被動型隔振裝置在該上板與該下板之間安裝在這兩板上，該被動型隔振裝置用螺旋彈簧相對于該基部對放置在該平臺上的設(shè)備進行隔振支撐。所述隔振裝置的特征在于該隔振裝置構(gòu)成為能夠以收納在所述上板與所述下板之間的空間內(nèi)的方式對該上板可裝卸地安裝第一控制力施加裝置及/或第二控制力施加裝置，該第一控制力施加裝置是第一振動傳感器和第一致動器一起模塊化而構(gòu)成的，該第一振動傳感器用來檢測所述設(shè)備在鉛垂方向上的振動，該第一致動器用來沿鉛垂方向?qū)λ鲈O(shè)備施加控制力，該第二控制力施加裝置是第二振動傳感器和第二致動器一起模塊化而構(gòu)成的，該第二振動傳感器用來檢測所述設(shè)備在水平方向上的振動，該第二致動器用來沿水平方向?qū)λ鲈O(shè)備施加控制力。根據(jù)第一方面的發(fā)明，首先，以采用成本比空氣彈簧低的螺旋彈簧的被動型隔振裝置為基本裝置。因此，能夠向不需要價格昂貴的主動隔振裝置的使用者提供主要由上板、 下板及被動型隔振裝置構(gòu)成的價格低廉的被動型隔振裝置。接著，在使用者希望在鉛垂或水平方向上對該被動型隔振裝置施加控制力的情況下，通過將功能擴展裝置即第一或第二控制力施加裝置安裝在安裝有被動型隔振裝置的上板上，則能夠進行鉛垂或水平方向上的反饋控制。由此，能夠以與所需要的性能相對應(yīng)的價格向僅需要進行鉛垂及水平方向中任一方向上的反饋控制的使用者或者有了進行這種反饋控制的必要性的使用者提供主動型隔振裝置。還有，在使用者希望在鉛垂及水平方向上都對該被動型隔振裝置施加控制力的情況下，通過將第一及第二控制力施加裝置都安裝在上板上，則能夠進行鉛垂及水平方向上的反饋控制。因為第一控制力施加裝置的振動傳感器和致動器一起已模塊化，第二控制力施加裝置的振動傳感器和致動器一起已模塊化，所以該第一及第二控制力施加裝置本身就具有收納在上板與下板之間的空間內(nèi)的尺寸較小的結(jié)構(gòu)。因此，即使安裝所述第一及第二控制力施加裝置，也能夠使整個隔振裝置構(gòu)成為尺寸非常小的結(jié)構(gòu)。如上所述，能夠提供具備使用者所要求的性能、尺寸較小且價格低廉的隔振裝置。第二方面的發(fā)明，是在所述第一方面的發(fā)明中，特征在于所述第一控制力施加裝置具有罩蓋，該罩蓋用來以該第一振動傳感器的軸朝向鉛垂方向的狀態(tài)收納所述第一振動傳感器，并且將所述第一致動器收納在該第一振動傳感器的下側(cè)；所述第一致動器具有固定件和可動件，該固定件經(jīng)由所述罩蓋固定在所述上板上，該可動件通過相對于該固定件沿鉛垂方向進行往復(fù)運動而接觸所述下板，來沿鉛垂方向?qū)λ鲈O(shè)備施加控制力；所述固定件和所述可動件由橡膠彈性體聯(lián)結(jié)在一起。
根據(jù)第二方面的發(fā)明，因為使用固定件和可動件由橡膠彈性體聯(lián)結(jié)而構(gòu)成的一體型致動器作為第一致動器，所以能夠借助該橡膠彈性體抑制來自基部的振動經(jīng)由可動件傳遞給固定件一側(cè)。并且，與固定件和可動件未形成為一體的類型(固定件安裝在上板上并且可動件安裝在下板上的類型)不同，僅通過將收納有固定件的罩蓋安裝在上板上，則能夠追加設(shè)置第一控制力施加裝置。因此，安裝作業(yè)比較簡單。第三方面的發(fā)明，是在所述第一或第二方面的發(fā)明中，特征在于所述第二控制力施加裝置具有罩蓋，該罩蓋用來以該第二振動傳感器的軸朝向水平方向的狀態(tài)收納所述第二振動傳感器，并且將所述第二致動器收納在該第二振動傳感器的下側(cè)；所述第二致動器具有固定件和可動件，該固定件經(jīng)由所述罩蓋固定在所述上板上，該可動件通過相對于該固定件與該第二振動傳感器的軸向平行地進行往復(fù)運動而接觸所述被動型隔振裝置，來沿水平方向?qū)λ鲈O(shè)備施加控制力；所述固定件和所述可動件由橡膠彈性體聯(lián)結(jié)在一起。根據(jù)第三方面的發(fā)明，與第二方面的發(fā)明一樣，能夠借助橡膠彈性體抑制來自基部(安裝在下板上的被動型隔振裝置)的振動傳遞給固定件一側(cè)，并且追加設(shè)置第二控制力施加裝置時的安裝作業(yè)比較簡單。在此，為進行正確的隔振控制，振動傳感器和致動器通常配置為振動傳感器的軸和致動器的進退軸位于同一直線上。但是，在第三方面的發(fā)明中，使第二振動傳感器及第二致動器上下重疊起來，換句話說，配置為第二振動傳感器的軸和第二致動器的進退軸平行， 以保證能夠?qū)⒌诙刂屏κ┘友b置收納在上板與下板之間的空間內(nèi)(以免第二控制力施加裝置在水平方向上擴展得太廣)。如上所述，在本發(fā)明中，將隔振裝置本身已緊湊化，因此即使配置第二振動傳感器和第二致動器，因為第二振動傳感器的軸與第二致動器的進退軸在上下方向上的間隔較窄，所以也能夠進行精度較高的隔振控制。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)將第二控制力施加裝置緊湊化，也能夠在水平方向上進行正確的隔振控制。第四方面的發(fā)明，是在所述第一 第三方面中的任一方面的發(fā)明中，所述隔振裝置構(gòu)成為能夠?qū)⒂脕砜刂扑隹刂屏κ┘友b置的控制裝置以收納在所述上板與所述下板之間的空間內(nèi)的方式安裝在該下板上或從該下板上取下。根據(jù)第四方面的發(fā)明，對以被動型隔振裝置為基本裝置的隔振裝置除了能夠施加第一及第二控制力施加裝置以外，還能夠施加用來控制這些控制力施加裝置的控制裝置， 并且該控制裝置構(gòu)成為收納在上板與下板之間的空間內(nèi)。因此，能夠?qū)⒕哂信c現(xiàn)有隔振裝置大致等同的功能的隔振裝置構(gòu)成為尺寸非常小的結(jié)構(gòu)。第五方面的發(fā)明，是在所述第四方面的發(fā)明中，所述被動型隔振裝置、所述第一控制力施加裝置、所述第二控制力施加裝置及所述控制裝置在所述上板與所述下板之間的空間內(nèi)配置成在俯視圖上看為兩行兩列。根據(jù)第五方面的發(fā)明，通過將四個裝置配置成在俯視圖上看為兩行兩列，則能夠無浪費地利用上板與下板之間的空間，將隔振裝置緊湊化。-發(fā)明的效果-根據(jù)本發(fā)明所涉及的隔振裝置，因為以采用成本比空氣彈簧低的螺旋彈簧的被動型隔振裝置為基本裝置，所以能夠向不需要主動隔振裝置的使用者提供包括上板、下板及被動型隔振裝置的價格低廉的被動型隔振裝置；在使用者希望在鉛垂及/或水平方向上對被動型隔振裝置施加控制力的情況下，通過以后將功能擴展裝置即第一及/或第二控制力施加裝置安裝在上板上，則能夠提供能夠進行鉛垂及/或水平方向上的反饋控制的主動型隔振裝置。因為第一控制力施加裝置的振動傳感器和致動器一起已模塊化，第二控制力施加裝置的振動傳感器和致動器一起已模塊化，所以所述第一及第二控制力施加裝置本身就具有收納在上板與下板之間的空間內(nèi)的尺寸較小的結(jié)構(gòu)。因此，能夠?qū)ㄋ龅谝患暗诙刂屏κ┘友b置的整個隔振裝置構(gòu)成為非常小的結(jié)構(gòu)。


圖1是示出本實施方式所涉及的隔振裝置的立體圖。圖2是側(cè)視圖，為說明而示意地示出用隔振裝置相對于地板對設(shè)備進行隔振支撐的狀態(tài)。圖3是示出單獨使用彈簧單元的情況的立體圖。圖4是示出組合使用彈簧單元、鉛垂單元及控制單元的情況的立體圖。圖5是示出組合使用彈簧單元、水平單元及控制單元的情況的立體圖。圖6是透視隔振裝置的俯視圖。圖7是在圖6中沿箭頭A看到的側(cè)視圖。圖8是在圖6中沿箭頭B看到的側(cè)視圖。圖9是示出彈簧單元的立體圖。圖10是彈簧單元的縱向剖視圖。圖11(a)是示出鉛垂單元的側(cè)視圖。圖11(b)是示出鉛垂單元的側(cè)視圖。圖12是示意地示出鉛垂音圈電機的結(jié)構(gòu)的縱向剖視圖。圖13(a)是示出水平單元的側(cè)視圖。圖13(b)是示出水平單元的側(cè)視圖。圖14是用來說明隔振裝置與用來檢測地板振動的加速度傳感器及電源之間的連接關(guān)系的布線方框圖。圖15是示意地示出支撐平臺時的隔振裝置配置例的俯視圖。圖16是示意地示出支撐平臺時的隔振裝置配置例的俯視圖。附圖標記說明1隔振裝置3彈簧單元(被動型隔振裝置)5鉛垂單元(第一控制カ施加裝置)7水平単元(第二控制カ施加裝置)9控制單元(控制裝置)11頂板(上板)13螺旋彈簧15鉛垂加速度傳感器(第一振動傳感器)
17水平加速度傳感器(第二振動傳感器)
21基板(下板)
25鉛垂音圈電機(第一致動器)
27水平音圈電機(第二致動器)
31精密設(shè)備(設(shè)備)
35樂早皿、早皿)
37笛一習至f習至、 樂~■早皿、早皿)
41平臺
51地板(基部)
60導(dǎo)磁體(yoke)(固定件)
62極片(pole piece)(固定件)
64磁石(固定件)
68線圈(可動件)
78線圈架(可動件)
80膜片(橡膠彈性體)
具體實施例方式下面，參照附圖對本發(fā)明的實施方式加以詳細的說明。應(yīng)予說明，以下對優(yōu)選的實施方式所作的說明是本質(zhì)上示例而已，沒有意圖對本發(fā)明、本發(fā)明的應(yīng)用對象或其用途加以限制。應(yīng)予說明，在以下各圖中省略使控制單元9與鉛垂及水平單元5、7電連接的布線的圖示，以讓附圖容易看懂。圖1是示出本實施方式所涉及的隔振裝置的立體圖。如圖2所示，該隔振裝置1 用來安裝例如半導(dǎo)體領(lǐng)域的制造裝置、原子力顯微鏡(AFM atomic force microscope)、激光顯微鏡等精密儀器那樣的容易受振動影響的精密設(shè)備31，并將該精密設(shè)備31設(shè)置為盡量與來自地板(基部)51的振動隔離的狀態(tài)。換句話說，圖示的隔振裝置1相對于地板51 對被放置精密設(shè)備31的平臺41進行隔振支撐。在該隔振裝置1中，以平臺41及安裝在該平臺41上的精密設(shè)備31 (嚴格來講，還包括以下所述的頂板11等)為隔振對象。該隔振裝置1包括頂板(上板)11、基板(下板)21及彈簧單元(被動型隔振裝置)3，該頂板11支撐平臺41，該基板21放置在地板51上，該彈簧單元3在該頂板11與該基板21之間安裝在這兩張板11、21上，用螺旋彈簧13相對于地板51對用于放置精密設(shè)備 31的平臺41進行隔振支撐，該隔振裝置1以該彈簧單元3為基本裝置。也就是說，如圖3所示，在該隔振裝置1中，即使取下后述的鉛垂及水平單元5、7 等也能夠作為主要由頂板11、基板21及彈簧單元3構(gòu)成的被動型隔振裝置相對于地板51 對隔振對象進行隔振支撐。該隔振裝置1構(gòu)成為能夠以收納在頂板11與基板21之間的空間內(nèi)的方式對該頂板11可裝卸地安裝鉛垂單元(第一控制力施加裝置)5，該鉛垂單元5是鉛垂加速度傳感器(第一振動傳感器)15和鉛垂音圈電機(第一致動器)25—起模塊化(功能上成為一體)而構(gòu)成的，該鉛垂加速度傳感器15用來檢測精密設(shè)備31在鉛垂方向上的振動，該鉛垂音圈電機25用來沿鉛垂方向?qū)茉O(shè)備31施加控制力。如上所述，因為鉛垂單元5是將鉛垂加速度傳感器15及鉛垂音圈電機(以下，稱為鉛垂VCM) 25—起模塊化而構(gòu)成的，所以鉛垂單元5本身就具有尺寸較小的結(jié)構(gòu)。還有，該隔振裝置1構(gòu)成為能夠以收納在頂板11 與基板21之間的空間內(nèi)的方式對該基板21可裝卸地安裝用來控制鉛垂單元5的控制單元 (控制裝置)9。如圖4所示，當希望在鉛垂方向上獲得更大的隔振效果時，只要將鉛垂單元5及控制單元9作為用來使該隔振裝置1的功能擴展的功能擴展裝置安裝在隔振裝置1上即可。 在安裝好該鉛垂單元5的狀態(tài)下，能夠用鉛垂加速度傳感器15對由螺旋彈簧13支撐的精密設(shè)備31在鉛垂方向上的振動狀態(tài)進行檢測，再對檢測結(jié)果進行反饋而驅(qū)動鉛垂VCM25， 減少精密設(shè)備31在鉛垂方向上的振動。還有，該隔振裝置1構(gòu)成為能夠以收納在頂板11與基板21之間的空間內(nèi)的方式對該頂板11可裝卸地安裝水平單元(第二控制力施加裝置)7，該水平單元7是水平加速度傳感器(第二振動傳感器)17和水平音圈電機(第二致動器)27 —起模塊化而構(gòu)成的，該水平加速度傳感器17用來檢測精密設(shè)備31在水平方向上的振動，該水平音圈電機27用來沿水平方向?qū)茉O(shè)備31施加控制力。如上所述，因為水平單元7是將水平加速度傳感器 17及水平音圈電機(以下，稱為水平VCM) 27 —起模塊化而構(gòu)成的，所以水平單元7本身就具有尺寸較小的結(jié)構(gòu)。如圖5所示，當希望在水平方向上獲得更大的隔振效果時，只要將水平單元7及控制單元9作為功能擴展裝置安裝在該隔振裝置1上即可。在安裝好該水平單元7的狀態(tài)下， 能夠用水平加速度傳感器17對精密設(shè)備31在水平方向上的振動狀態(tài)進行檢測，再用檢測內(nèi)容進行反饋而驅(qū)動水平VCM27，減少精密設(shè)備31在水平方向上的振動。再說，如圖1所示，當希望在鉛垂及水平方向上都獲得更大的隔振效果時，只要將鉛垂及水平單元5、7以及用來控制這些單元5、7的控制單元9作為功能擴展裝置安裝在該隔振裝置1上即可。-各個單元的配置-接著，對彈簧單元3、鉛垂單元5、水平單元7及控制單元9的配置及安裝結(jié)構(gòu)加以說明。應(yīng)予說明，在以下說明中說明的是與基本裝置即彈簧單元3組合使用功能擴展裝置即鉛垂及水平單元5、7及用來控制這些單元5、7的控制單元9的情況，但是單獨使用彈簧單元3的情況和與彈簧單元3組合使用鉛垂單元5或水平單元7的情況下的配置及安裝結(jié)構(gòu)也大致相同。如圖6所示，在該隔振裝置1中，彈簧單元3、鉛垂單元5、水平單元7及控制單元9 在頂板11與基板21之間的空間內(nèi)配置成在俯視圖上看為兩行兩列。更為詳細地說，彈簧單元3配置在圖6中的右上方；鉛垂單元5與該彈簧單元3相鄰地配置在圖6中的右下方； 水平單元7與該彈簧單元3相鄰地配置在圖6中的左上方；控制單元9配置在圖6中的左下方，位于該彈簧單元3的對角的位置。如上所述，通過將四個單元3、5、7、9配置成在俯視圖上看為兩行兩列，則能夠無浪費地利用頂板11與基板21之間的空間，將隔振裝置1構(gòu)成為在俯視圖上看尺寸較小的結(jié)構(gòu)。這個結(jié)構(gòu)、和將鉛垂加速度傳感器15及鉛垂VCM25 —起模塊化并且將水平加速度傳感器17及水平VCM27 —起模塊化來將鉛垂及水平單元5、7構(gòu)成為尺寸較小的結(jié)構(gòu)的措施等配合好，其結(jié)果是雖然現(xiàn)有主動型隔振裝置中即使較小的也一般具有長230mm以上、寬230mm以上、高180mm以上的尺寸，但是本實施方式所涉及的隔振裝置1能夠構(gòu)成為長、寬、 高都抑制在IOOmm以下的尺寸較小的結(jié)構(gòu)。彈簧單元3由從上方(頂板11 一側(cè))插入并擰在形成于該彈簧單元3的罩蓋53 的頂板上的四個螺栓孔53a、53a、…中的四個螺栓(未圖示)安裝在頂板11上；彈簧單元3 由從下方(基板21 —側(cè))插入并擰在形成于該彈簧單元3的基塊23上的四個螺栓孔(未圖示)中的四個螺栓(未圖示)安裝在基板21上。因為彈簧單元3如上所述安裝在頂板 11及基板21上，所以即使是在作為被動型隔振裝置單獨使用該彈簧單元3時，頂板11和基板21也不會互相分離。還有，如圖6及圖7所示，鉛垂單元5由從下方插入并擰在形成于該鉛垂單元5的第一罩蓋35的凸緣部35c、35c上的兩個螺栓孔35d、35d中的兩個螺栓36a、36a從下側(cè)安裝在頂板11上；鉛垂單元5由沿水平方向貫通該第一罩蓋35 (插入形成于第一罩蓋35上的貫通孔35e、35e中)的兩個長螺栓36b、36b、…(在圖6中未圖示)還安裝在彈簧單元 3的罩蓋53上。因為鉛垂單元5如上所述能夠用螺栓從下側(cè)緊固在頂板11上，所以當希望對被動型隔振裝置追加設(shè)置該鉛垂單元5時，能夠以后在放置有平臺41等的狀態(tài)不變的情況下將該鉛垂單元5安裝在頂板11上。應(yīng)予說明，鉛垂單元5未固定在基板21上。另一方面，如圖6及圖8所示，水平單元7由從下方插入并擰在形成于該水平單元 7的第二罩蓋37的凸緣部的螺栓孔37c中的螺栓38a從下側(cè)安裝在頂板11上；水平單元 7由沿水平方向貫通該第二罩蓋37的四個長螺栓38b、38b、…還安裝在彈簧單元3的罩蓋 53上。因為水平單元7如上所述能夠用螺栓從下側(cè)緊固在頂板11上，所以與鉛垂單元5 — 樣，能夠以后在放置有平臺41等的狀態(tài)不變的情況下將該水平單元7安裝在頂板11上。應(yīng)予說明，與鉛垂單元5 —樣，水平單元7未固定在基板21上。如圖6所示，控制單元9由從上方插入并擰在形成于底板上的四個螺栓孔9a、 9a、…中的四個螺栓從上側(cè)安裝在基板21上；控制單元9未固定在頂板11上。應(yīng)予說明，雖然在圖6所示的例子中，將鉛垂及水平單元5、7配置為該鉛垂及水平單元5、7與彈簧單元3相鄰，但是如下所述接觸部件70接觸彈簧單元3的接觸壁部23c的水平單元7以外的單元(鉛垂單元5、控制單元9等)并不一定需要配置為與彈簧單元3相鄰。接著，分別對彈簧單元3、鉛垂單元5、水平單元7及控制單元9的結(jié)構(gòu)加以說明。-彈簧單元-如圖9及圖10所示，彈簧單元3包括基塊23、高度調(diào)整塊33、螺旋彈簧13、中心銷 43及罩蓋53，該基塊23安裝在基板21上，該高度調(diào)整塊33隨著以上下方向軸為軸進行的轉(zhuǎn)動相對于基塊23上下移動，該螺旋彈簧13經(jīng)由球軸承單元63放置在該高度調(diào)整塊33 上，該螺旋彈簧13的上端總是接觸頂板11，該中心銷43的下端部固定在基塊23上，減沖橡膠(surgeless rubber) 73安裝在該中心銷43的上端，該罩蓋53用來保護螺旋彈簧13?；鶋K23形成為上下組合棱柱部23a和板部2 而成的形狀，該棱柱部23a在俯視圖上具有像以近似圓弧狀切掉正方形的一對對角部一樣的形狀，該板部2 呈正方形板狀。在該板部2 中與棱柱部23a的切口部相對應(yīng)的部位形成有沿上下方向貫通該板部2 的通孔23d，從收納在切口部內(nèi)的上浮阻止部83向上延伸的軸部83a插入該通孔23d中。在該基塊23的中央部位形成有螺紋凹部23e，該螺紋凹部2 夾在兩個通孔23d、23d之間，該螺紋凹部2 具有直徑比這些通孔23d、23d的直徑都大的圓形剖面，在該螺紋凹部23e的周壁上形成有蝸桿的內(nèi)螺紋。在該螺紋凹部23e的中央形成有沿上下方向貫通基塊23的插入孔23f。高度調(diào)整塊33的螺釘部33a插入并擰在該螺紋凹部23e內(nèi)，中心銷 43插入該插入孔23f內(nèi)。還有，在該基塊23中與形成有切口部的一對對角部不同的另一對對角部中的一角部設(shè)置有水平單元7的水平VCM27的接觸部件70所接觸的接觸壁部23c，而如圖6所示， 所述另一對角部中的另一角部(位于基板21的一個角部)已在俯視圖上以近似圓弧狀被切掉，以便能夠易于安裝用來將基板21固定在地板51等上的螺栓等。所述高度調(diào)整塊33形成為上下組合罩蓋部3 和螺釘部33a的形狀，該罩蓋部 33b呈有底筒狀，所述螺旋彈簧13的下端部收納在該罩蓋部3 的內(nèi)側(cè)，該螺釘部33a呈圓柱狀，在該螺釘部33a上形成有蝸桿的外螺紋。所述螺釘部33a插入并擰在基塊23的螺紋凹部23e內(nèi)，使得所述高度調(diào)整塊33轉(zhuǎn)動自如地安裝在該基塊23上。在該罩蓋部33b的底部，在圓周方向上隔著等間隔形成有四個插入孔33c、33c、 33c、33c。將作業(yè)工具插入該插入孔33c中，使高度調(diào)整塊33以沿上下方向延伸的軸為軸進行轉(zhuǎn)動，使該高度調(diào)整塊33相對于基塊23上下移動。根據(jù)收納在該高度調(diào)整塊33內(nèi)并且上端接觸頂板11的螺旋彈簧13的彈性變形使高度調(diào)整塊33轉(zhuǎn)動，來使該高度調(diào)整塊33 沿上下方向相對于基塊23移動，螺旋彈簧13的下端位置由此得以調(diào)整，保持頂板11的高度為大致一定的高度。如上所述，不是采用使用電動馬達等的自動高度調(diào)整，而是采用手動式高度調(diào)整機構(gòu)，這也為本實施方式所涉及的隔振裝置1的緊湊化作出貢獻。應(yīng)予說明，因為高度調(diào)整是在精密設(shè)備31放置于平臺41上的狀態(tài)，即螺旋彈簧13 受到負載的狀態(tài)下進行的，所以螺旋彈簧13的下端與罩蓋部33b的底部之間的摩擦較強， 若靠手動便難以讓高度調(diào)整塊33轉(zhuǎn)動。因此，在螺旋彈簧13的下端與罩蓋部33b的底部之間配置有球軸承單元63，以減少所述摩擦來確保高度調(diào)整塊33順利地轉(zhuǎn)動，該球軸承單元63是用上下成一對的圓環(huán)狀樹脂罩63b、6;3b夾住多個鋼球63a、63a、…而構(gòu)成的。還有，在高度調(diào)整塊33 (更為正確地說，罩蓋部33b的底部和螺釘部33a)的中央部位形成有沿上下方向貫通該高度調(diào)整塊33的插入孔33d，中心銷43插入該插入孔33d內(nèi)。所述中心銷43從上方依次插入圓環(huán)狀球軸承單元63、高度調(diào)整塊33的插入孔 33d及基塊23的插入孔23f中，由擰在該下端部的螺母固定在基塊23上，如圖9所示。還有，在中心銷43的上端部形成有螺栓頭部43a，所述減沖橡膠73安裝在該螺栓頭部43a上。該減沖橡膠73由呈近似圓筒狀的橡膠制成，嵌入螺旋彈簧13的圓環(huán)內(nèi)，通過沿上下方向被壓而接觸彈簧的圓環(huán)內(nèi)周面，由此使螺旋彈簧13的振動衰減，或者抑制發(fā)生沖擊(surging)(在傳遞給螺旋彈簧13的外力頻率接近彈簧本身的固有頻率時振幅增大的現(xiàn)象)。如上所述，該減沖橡膠73安裝在固定于基塊23上的中心銷43的螺栓頭43a上，因而該減沖橡膠73的高度總是不變。換句話說，即使讓高度調(diào)整塊33以沿上下方向延伸的軸為軸轉(zhuǎn)動，該高度調(diào)整塊33由此沿上下方向移動，螺旋彈簧13的伸縮量發(fā)生變化，減沖橡膠73的位置和形狀(與彈簧圓環(huán)內(nèi)周面的接觸狀態(tài))也不會發(fā)生變化，因而能夠維持由減沖橡膠73產(chǎn)生一定的衰減量。應(yīng)予說明，若讓高度調(diào)整塊33持續(xù)上升，終究會有可能造成高度調(diào)整塊33從基塊 23上脫離，高度調(diào)整塊33和基塊23分離。但是，本實施方式所涉及的隔振裝置1構(gòu)成為當高度調(diào)整塊33上升而將要超過規(guī)定量時，球軸承單元63會接觸中心銷43的螺栓頭部 43a。因此，在該隔振裝置1中，高度調(diào)整塊33不會從基塊23上脫離。也就是說，中心銷43 不但起到支撐減沖橡膠73的作用，而且起到抑制高度調(diào)整塊33從基塊23上脫離的作用。所述罩蓋53用來保護螺旋彈簧13，該罩蓋53形成為在俯視圖上看呈正方形，并且在該罩蓋53的內(nèi)部具有剖面呈圓形的空間的有頂棱柱筒狀，該罩蓋53如上所述安裝在頂板11上。應(yīng)予說明，如圖9所示，罩蓋53中位于頂板11的一個角的角部已在俯視圖上看呈近似圓弧狀地被切掉，以能夠容易安裝用來將頂板11固定在平臺41上的螺栓等。在該罩蓋53的頂板的中央形成有沿上下方向貫通該罩蓋53的通孔53b，螺旋彈簧 13的上端部在它插入該通孔53b內(nèi)的狀態(tài)下接觸頂板11的下表面。還有，罩蓋53的內(nèi)徑比高度調(diào)整塊33的外徑大，構(gòu)成為不阻礙一部分收納在該罩蓋53內(nèi)的高度調(diào)整塊33在上下方向上移動。換句話說，該罩蓋53在它與螺旋彈簧13及高度調(diào)整塊33不接觸的狀態(tài)下安裝在由螺旋彈簧13支撐的頂板11的的下表面上。罩蓋53與所述上浮阻止部83的軸部83a的上端部相聯(lián)結(jié)，該軸部83a設(shè)定為下述長度，即在精密設(shè)備31放置于平臺41上的狀態(tài)下，基塊23的板部的下表面與收納在基塊23的切口部內(nèi)的上浮阻止部83之間有數(shù)毫米左右的縫隙。這么一來，在精密設(shè)備31放置于平臺41上的狀態(tài)(螺旋彈簧13收縮的狀態(tài))下，與罩蓋53聯(lián)結(jié)在一起的上浮阻止部 83與基塊23處于非接觸狀態(tài)，由此不會對螺旋彈簧13的隔振性能造成任何影響；另一方面，在已將精密設(shè)備31從平臺41上取下的狀態(tài)(螺旋彈簧13未收縮的狀態(tài))下，即使頂板11由螺旋彈簧13往上頂，因為上浮阻止部83接觸基塊23，所以頂板11、基板21、罩蓋 53及基塊23也不會相互分離。-鉛垂單元-鉛垂單元5包括鉛垂加速度傳感器15、鉛垂VCM25、第一罩蓋35及支架 (bracket) 45，該鉛垂加速度傳感器15用來檢測精密設(shè)備31在鉛垂方向上的振動，該鉛垂 VCM25用來沿鉛垂方向?qū)茉O(shè)備31施加控制力，該第一罩蓋35收納所述鉛垂加速度傳感器15和鉛垂VCM25，該支架45呈圓環(huán)狀，用來將鉛垂加速度傳感器15及鉛垂VCM25固定在
弟""罩蓋35上。如圖11(a)所示，在第一罩蓋35上形成有開口朝向上方的上側(cè)凹部3 和位于該上側(cè)凹部3 的下側(cè)且開口朝向下方的下側(cè)凹部35b。如圖11(b)所示，鉛垂加速度傳感器 15在軸朝向鉛垂方向的狀態(tài)下收納在上側(cè)凹部35a內(nèi)，鉛垂VCM25收納在下側(cè)凹部35b內(nèi)， 使得鉛垂加速度傳感器15的軸和該鉛垂VCM25的進退軸(可動件的往復(fù)運動軸)位于同一直線上。由此，鉛垂加速度傳感器15和鉛垂VCM25經(jīng)由第一罩蓋35成為一體。如上所述，因為鉛垂加速度傳感器15和鉛垂VCM25配置為鉛垂加速度傳感器15的軸和鉛垂VCM25 的進退軸位于同一直線上，所以該鉛垂單元5能夠進行正確的隔振控制。由該鉛垂加速度傳感器15輸出表示頂板11的相對加速度(頂板11的振動狀態(tài)) 的信號，接收了該信號的控制單元9向鉛垂VCM25輸出控制信號，其結(jié)果是接觸部件70如圖7所示接觸基板21，從而對隔振對象施加減弱該隔振對象在鉛垂方向上的振動的控制力。接著，參照圖12對鉛垂VCM25的結(jié)構(gòu)加以詳細的說明。鉛垂VCM25分為固定件和可動件，該固定件經(jīng)由第一罩蓋35固定在頂板11上，該可動件與此相對組裝為非接觸狀態(tài)，由電磁力驅(qū)動而沿鉛垂方向移動。固定件由鐵制導(dǎo)磁體60、圓盤狀磁石64及極片62構(gòu)成，該鐵制導(dǎo)磁體60兼作罩蓋，形成為有頂圓筒狀，開口朝向下方，該圓盤狀磁石64和該極片62以同心狀收納在該導(dǎo)磁體60的筒壁部60a內(nèi)，并由螺栓84固定在頂部60b上。在該導(dǎo)磁體60的頂部60b，在圓周方向上隔著間隔形成有四個螺孔，該導(dǎo)磁體60 由軸端分別擰在該四個螺孔中的一個螺孔內(nèi)的螺栓74、74、…聯(lián)結(jié)在所述支架45上。該支架45與突起地設(shè)置在鉛垂加速度傳感器15的圓筒狀殼體外周面上的突起部1 接合起來，將鉛垂加速度傳感器15固定在導(dǎo)磁體60上。磁石64和極片62設(shè)計為直徑及厚度大致相等的板材厚度比較厚的圓盤狀。在極片62的上端部以臺階狀形成有縮徑部，使得在極片62的上端部與磁石64之間形成有周向槽。由高衰減橡膠制成的橡膠制0形圈76嵌在該周向槽內(nèi)。在極片62上形成有位于該極片62的下表面的大致中央的凹部62a，該凹部62a的剖面呈圓形。將構(gòu)成可動件的線圈架 78向下推的螺旋彈簧66嵌入該凹部62a內(nèi)。另一方面，可動件由線圈架78、線圈68及接觸部件70構(gòu)成，該線圈架78由樹脂材制成，呈有底圓筒狀，該線圈68是將電線纏繞在該線圈架78的筒狀壁部78a上而構(gòu)成的， 該接觸部件70設(shè)置在線圈架78的底壁部78b上。線圈架78向上方開口，配置為該線圈架 78的軸心與導(dǎo)磁體60的軸心一致。該線圈架78的筒狀壁部78a以非接觸狀態(tài)包圍磁石 64和極片62，該線圈架78被導(dǎo)磁體60的筒狀壁部60a以非接觸狀態(tài)包圍。嵌入極片62在周向槽內(nèi)的0形圈76的外周部分接觸如上所述配置成軸心一致的線圈架78的筒狀壁部78a的內(nèi)周面，由此保持該極片62及磁石64的外周面與線圈架78 的筒狀壁部78a的內(nèi)周面之間的間隔為規(guī)定的值，該線圈架78的筒狀壁部78a的外周面與導(dǎo)磁體60的筒狀壁部60a的內(nèi)周面之間的間隔也保持為規(guī)定的值。還有，線圈架78的底壁部78b形成為板材厚度比較厚的圓盤狀，該底壁部78b的下表面中靠近外周的部位與導(dǎo)磁體60的筒狀壁部60a的下端面之間由硅橡膠制膜片(橡膠彈性體)80聯(lián)結(jié)在一起。該膜片80的整個周在線圈架78的底壁部78b與導(dǎo)磁體60的筒狀壁部60a之間大幅度彎曲，由此容許線圈架78沿鉛垂方向進行相對移動，并且，夾住該線圈架78的兩側(cè)部位互相逆相位地彎曲，由此容許該線圈架78進行搖動。而且，螺旋彈簧66的下端接觸線圈架78的底壁部78b的上表面，該螺旋彈簧66 的上部嵌入極片62的凹部62a內(nèi)。該螺旋彈簧66事先被進行預(yù)壓縮，以便即使在未施加外力的狀態(tài)下也將線圈架78往下推。由此，該螺旋彈簧66不但能夠向?qū)㈨敯?1頂起來的方向產(chǎn)生控制力，也能夠向?qū)⒃擁敯?1拉下的方向產(chǎn)生控制力。預(yù)壓縮量根據(jù)極片62的下表面與線圈架78的底壁部78b的上表面之間的間隔決定。在本實施方式中，因為由高度調(diào)整塊33保持頂板11的高度為大致一定的值，所以預(yù)壓縮量也保持為大致一定的值。也就是說，鉛垂VCM25中為可動件的線圈架78經(jīng)由0形圈76及膜片80被為固定件的導(dǎo)磁體60等以非接觸狀態(tài)支撐，該線圈架78由于電磁力而沿鉛垂方向進行往復(fù)運動， 在基板21與頂板11之間沿上下方向施加控制力，并支撐為能夠沿水平方向搖動。還有，在沿鉛垂方向進行往復(fù)運動的線圈架78的底壁部78b中靠近內(nèi)周一側(cè)的部位形成有向下鼓起的圓形基座部78c。剖面呈圓形的凹部78d位于該基座部78c的下表面的大致中央部位，用來接觸基板21并傳遞控制力的接觸部件70可拔出且可嵌入地插入該凹部78d中。該接觸部件70是將例如MC Nylon(MC尼龍)(注冊商標)等樹脂材形成為圓柱狀并將該圓柱狀的頂端(附圖中的下端)部分形成為球面狀凸部，并且在基端(附圖中的上端)部分形成突起部而形成的。該突起部的外徑與凹部78d的內(nèi)徑大致相等。壓板82 重疊在基座部78c的下表面上，在該壓板82中開有外徑與接觸部件70中除突起部以外的部分的外徑大致相等的圓孔，突起部被該圓孔的周緣部壓住，由此防止接觸部件70脫出。應(yīng)予說明，配置在凹部78d內(nèi)的螺旋彈簧72的彈簧常數(shù)比將線圈架78往下推的螺旋彈簧66的彈簧常數(shù)高多了，因而該螺旋彈簧72通常幾乎不收縮。該螺旋彈簧72用來當過大的外力使極片62與線圈架78接觸時才收縮，來阻止該極片62和該線圈架78受損。如上所述，因為使用固定件和可動件由硅橡膠制膜片80聯(lián)結(jié)在一起的一體型鉛垂VCM25作致動器，所以能夠借助膜片80抑制來自地板51的振動經(jīng)由可動件傳遞給固定件。并且，與固定件及可動件未成為一體的類型(固定件安裝在頂板11上并且可動件安裝在基板21上的類型)不同，只要將收納有固定件的第一罩蓋35安裝在頂板11上就能夠追加設(shè)置鉛垂單元5，因此，安裝作業(yè)很簡單。-水平單元-水平單元7包括水平加速度傳感器17、水平VCM27、第二罩蓋37及支架 (bracket) 47，該水平加速度傳感器17用來檢測精密設(shè)備31在水平方向上的振動，該水平 VCM27用來沿水平方向?qū)茉O(shè)備31施加控制力，該第二罩蓋37收納所述水平加速度傳感器17和水平VCM27，該支架47呈圓環(huán)狀，用來將水平加速度傳感器17固定在第二罩蓋37上。如圖13 (a)所示，在第二罩蓋37中形成有開口朝向水平方向的上側(cè)凹部37a和位于該上側(cè)凹部37a的下側(cè)且開口朝向與該上側(cè)凹部37a相同的方向的下側(cè)凹部37b。如圖 13 (b)所示，水平加速度傳感器17在軸朝向水平方向的狀態(tài)下收納在上側(cè)凹部37a內(nèi)，與突起地設(shè)置在該水平加速度傳感器17的圓筒狀殼體外周面上的突起部17a接合的支架47 由螺栓緊固在第二罩蓋37上。另一方面，水平VCM27收納在下側(cè)凹部37b內(nèi)，使得水平加速度傳感器17的軸和水平VCM27的進退軸相互平行，該水平VCM27由螺栓緊固在第二罩蓋 37上。由此，水平加速度傳感器17和水平VCM27經(jīng)由第二罩蓋37成為一體。由該水平加速度傳感器17輸出表示頂板11的相對加速度(頂板11的振動狀態(tài)) 的信號，接收了該信號的控制單元9向水平VCM27輸出控制信號，其結(jié)果是接觸部件70接觸彈簧單元3的基塊23的接觸壁部23c，由此對隔振對象施加減弱該隔振對象在水平方向上的振動的控制力。應(yīng)予說明，除了下述兩點以外，水平VCM27的結(jié)構(gòu)與鉛垂VCM25的結(jié)構(gòu)大致相同， 該不同的兩點是用來將水平VCM27的導(dǎo)磁體60固定在第二罩蓋37上的螺栓未與在水平加速度傳感器17的圓筒狀殼體的殼體外周面上突起而設(shè)的突起部17a所接合的支架47聯(lián)結(jié)在一起；接觸部件70所接觸的不是基板21，而是彈簧單元3的基塊23的接觸壁部23c。 因此，省略水平VCM27的結(jié)構(gòu)的說明。并且，用與構(gòu)成鉛垂VCM25的各個部件相同的符號表示構(gòu)成水平VCM27的各個部件。在此，為進行正確的隔振控制，振動傳感器和致動器通常配置為振動傳感器的軸和致動器的進退軸位于同一直線上。但是，在本實施方式中，配置為水平加速度傳感器17 及水平VCM27上下重疊起來(水平加速度傳感器17的軸和水平VCM27的進退軸平行)，以保證能夠?qū)⑺絾卧?收納在頂板11與基板21之間的空間內(nèi)(以免水平單元7在水平方向上擴展得太廣)。如上所述，在本發(fā)明中，將隔振裝置1本身已緊湊化，即使如上所述配置水平加速度傳感器17和水平VCM27，因為水平加速度傳感器17的軸與水平VCM27的進退軸在上下方向上的間隔較窄，所以也能夠進行精度較高的隔振控制。-控制單元-控制單元9包括第一基盤19、第二基盤四及罩蓋39，該第一基盤19用來控制鉛垂單元5，該第二基盤四用來控制水平單元7，該罩蓋39用來保護所述第一基盤19和所述
第二基盤四。如圖14所示，各個基盤19、29經(jīng)由布線81與從隔振裝置1獨立出來的電源61電連接，該電源61向各個基盤19J9供電。還有，第一基盤19經(jīng)由未圖示的布線與鉛垂加速度傳感器15及鉛垂VCM25電連接；第二基盤四經(jīng)由其它未圖示的布線與水平加速度傳感器17及水平VCM27電連接。第一基盤19將來自電源61的電力供向鉛垂加速度傳感器15 和鉛垂VCM25。另一方面，由鉛垂加速度傳感器15向該第一基盤19輸入與隔振對象在鉛垂方向上的加速度有關(guān)的電信號(具體而言，電流值)。同樣，第二基盤四將來自電源61的電力供向水平加速度傳感器17和水平VCM27。另一方面，由水平加速度傳感器17向該第二基盤四輸入與隔振對象在水平方向上的加速度有關(guān)的電信號(具體而言，電流值)。例如在對加速度進行反饋的主動隔振控制時，這些基盤19、29向各個音圈電機 25、27輸出下列反饋控制量，S卩將從各個加速度傳感器15、17得到的隔振對象的加速度X” 及反饋控制增益Gm相乘而得到的反饋控制量Gm · X”，將對加速度X”進行一次積分而得到的速度X’及反饋控制增益Gc相乘而得到的反饋控制量Gc ·Χ’，以及將對加速度X”進行兩次積分而得到的位移X及反饋控制增益( 相乘而得到的反饋控制量Gk · X。還有，如圖14所示，在希望進一步提高隔振性能時，也能夠進行下述前饋控制， 即追加設(shè)置從隔振裝置1獨立出來、檢測地板51的振動狀態(tài)的第三加速度傳感器(前饋單元)71，經(jīng)由布線91使該第三加速度傳感器71與各個基盤19、29電連接起來，根據(jù)該第三加速度傳感器71所發(fā)出的信號推測傳達給隔振對象的振動，用鉛垂及水平VCM25、27施加抵消該傳達振動的控制振動。-使用方式_在用如上所述構(gòu)成的隔振裝置1支撐精密設(shè)備31時，例如圖15所示，準備四個安裝上彈簧單元3、鉛垂單元5、水平單元7及控制單元9的隔振裝置1，以這四個隔振裝置1 為四個點支撐平臺41。這么一來，能夠用四個鉛垂VCM25施加減小鉛垂方向上的振動的控制力；能夠用兩個(附圖中的左上方和右下方)水平VCM27、27施加減小精密設(shè)備31在X 方向上的振動的控制力；能夠用兩個(附圖中的左下方和右上方)水平VCM27、27施加減小精密設(shè)備31在Y方向上的振動的控制力。還有，在減小水平方向上的振動的必要性較低時，例如圖16所示能夠準備四個僅安裝好彈簧單元3的隔振裝置1，用這些隔振裝置1作腳部，以四點支撐平臺41，并將安裝好彈簧單元3、鉛垂單元5及控制單元9的隔振裝置1配置在中央部位，用一個鉛垂VCM25 施加減小鉛垂方向上的振動的控制力。-效果-在本實施方式中，以采用成本比空氣彈簧低廉的螺旋彈簧13的彈簧單元3為基本裝置。因此，能夠向不需要價格昂貴的主動隔振裝置的使用者提供包括頂板11、基板21及彈簧單元3的價格低廉的被動型隔振裝置。還有，在使用者希望在鉛垂或水平方向上對該彈簧單元3施加控制力的情況下， 通過將功能擴展裝置即鉛垂單元5或水平單元7安裝在安裝有彈簧單元3的頂板11上，則能夠進行鉛垂或水平方向上的反饋控制。由此，能夠向僅需要進行鉛垂及水平方向中任一方向上的反饋控制的使用者或者有了進行這種反饋控制的必要性的使用者以與所需要的性能相對應(yīng)的價格提供主動型隔振裝置。再說，在使用者希望在鉛垂及水平方向上都對該彈簧單元3施加控制力的情況下，通過將鉛垂及水平單元5、7都安裝在頂板11上，則能夠進行鉛垂及水平方向上的反饋控制。因為鉛垂單元5的鉛垂加速度傳感器15和鉛垂VCM25 —起已模塊化，水平單元7 的水平加速度傳感器17和水平VCM27 —起已模塊化，所以這些單元5、7具有尺寸較小的結(jié)構(gòu)，能夠收納在頂板11與基板21之間的空間內(nèi)。因此，即使安裝所述鉛垂及水平單元5、7， 也能夠?qū)⒄麄€隔振裝置1構(gòu)成為尺寸非常小的結(jié)構(gòu)。綜上所述，能夠提供具備使用者所要求的性能、尺寸較小且價格低廉的隔振裝置 1。(其它實施方式)本發(fā)明并不限于實施方式，只要不脫離其精神或主要特征，就能夠以其它各種各樣的方式實施本發(fā)明。在所述實施方式中，用螺栓對頂板11、基板21、彈簧單元3、鉛垂單元5、水平單元 7及控制單元9進行緊固。但是，可以采用所謂的一按式嵌入型聯(lián)結(jié)結(jié)構(gòu)。還有，在所述實施方式中示出的是用四個以上的隔振裝置1對精密設(shè)備31進行隔振支撐的例子，但并不限于此。只要支撐結(jié)構(gòu)不會成為不穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)，即只要隔振裝置1的數(shù)量在三個以上，就能夠?qū)茉O(shè)備31進行隔振支撐。再說，在所述實施方式中，用布線將鉛垂單元5及水平單元7與控制單元9連接起來，但并不限于此。能夠構(gòu)成為無線結(jié)構(gòu)。還有，在所述實施方式中，將彈簧單元3、鉛垂單元5、水平單元7及控制單元9這四個單元配置成在俯視圖上看為兩行兩列，但并不限于此。也可以組合使用其它單元；還可以根據(jù)所組合的單元數(shù)量配置為在俯視圖上看為例如兩行三列。再說，在所述實施方式中采用的是手動式高度調(diào)整機構(gòu)，但是只要不阻礙緊湊化和低成本化，就不限于此。例如，也可以采用使用小型電動馬達等的自動高度調(diào)整機構(gòu)。如上所述，所述實施方式在任何意義上都只不過是示例而已，不得根據(jù)上述實施方式對本發(fā)明作出限定的解釋。而且，屬于權(quán)利要求書所述的范圍的等同范圍的變形和變更都在于本發(fā)明的范圍內(nèi)。-產(chǎn)業(yè)實用性-綜上所述，本發(fā)明對用來相對于基部對被放置設(shè)備的平臺進行隔振支撐的隔振裝置等很有用。
權(quán)利要求
1.一種隔振裝置，該隔振裝置包括上板、下板及被動型隔振裝置，該上板支撐平臺，該下板放置在基部上，該被動型隔振裝置在該上板與該下板之間安裝在這兩板上，該被動型隔振裝置用螺旋彈簧相對于該基部對放置在該平臺上的設(shè)備進行隔振支撐，其特征在于所述隔振裝置構(gòu)成為能夠以收納在所述上板與所述下板之間的空間內(nèi)的方式對該上板可裝卸地安裝第一控制力施加裝置及/或第二控制力施加裝置，該第一控制力施加裝置是第一振動傳感器和第一致動器一起模塊化而構(gòu)成的，該第一振動傳感器用來檢測所述設(shè)備在鉛垂方向上的振動，該第一致動器用來沿鉛垂方向?qū)λ鲈O(shè)備施加控制力，該第二控制力施加裝置是第二振動傳感器和第二致動器一起模塊化而構(gòu)成的，該第二振動傳感器用來檢測所述設(shè)備在水平方向上的振動，該第二致動器用來沿水平方向?qū)λ鲈O(shè)備施加控制力。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔振裝置，其特征在于所述第一控制力施加裝置具有罩蓋，該罩蓋用來以該第一振動傳感器的軸朝向鉛垂方向的狀態(tài)收納所述第一振動傳感器，并且將所述第一致動器收納在該第一振動傳感器的下側(cè)；所述第一致動器具有固定件和可動件，該固定件經(jīng)由所述罩蓋固定在所述上板上，該可動件通過相對于該固定件沿鉛垂方向進行往復(fù)運動而接觸所述下板，來沿鉛垂方向?qū)λ鲈O(shè)備施加控制力；所述固定件和所述可動件由橡膠彈性體聯(lián)結(jié)在一起。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔振裝置，其特征在于所述第二控制力施加裝置具有罩蓋，該罩蓋用來以該第二振動傳感器的軸朝向水平方向的狀態(tài)收納所述第二振動傳感器，并且將所述第二致動器收納在該第二振動傳感器的下側(cè)；所述第二致動器具有固定件和可動件，該固定件經(jīng)由所述罩蓋固定在所述上板上，該可動件通過相對于該固定件與該第二振動傳感器的軸向平行地進行往復(fù)運動而接觸所述被動型隔振裝置，來沿水平方向?qū)λ鲈O(shè)備施加控制力；所述固定件和所述可動件由橡膠彈性體聯(lián)結(jié)在一起。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的隔振裝置，其特征在于所述第二控制力施加裝置具有罩蓋，該罩蓋用來以該第二振動傳感器的軸朝向水平方向的狀態(tài)收納所述第二振動傳感器，并且將所述第二致動器收納在該第二振動傳感器的下側(cè)；所述第二致動器具有固定件和可動件，該固定件經(jīng)由所述罩蓋固定在所述上板上，該可動件通過相對于該固定件與該第二振動傳感器的軸向平行地進行往復(fù)運動而接觸所述被動型隔振裝置，來沿水平方向?qū)λ鲈O(shè)備施加控制力；所述固定件和所述可動件由橡膠彈性體聯(lián)結(jié)在一起。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔振裝置，其特征在于所述隔振裝置構(gòu)成為能夠?qū)⒂脕砜刂扑隹刂屏κ┘友b置的控制裝置以收納在所述上板與所述下板之間的空間內(nèi)的方式安裝在該下板上或從該下板上取下。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的隔振裝置，其特征在于所述隔振裝置構(gòu)成為能夠?qū)⒂脕砜刂扑隹刂屏κ┘友b置的控制裝置以收納在所述上板與所述下板之間的空間內(nèi)的方式安裝在該下板上或從該下板上取下。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的隔振裝置，其特征在于所述隔振裝置構(gòu)成為能夠?qū)⒂脕砜刂扑隹刂屏κ┘友b置的控制裝置以收納在所述上板與所述下板之間的空間內(nèi)的方式安裝在該下板上或從該下板上取下。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的隔振裝置，其特征在于所述隔振裝置構(gòu)成為能夠?qū)⒂脕砜刂扑隹刂屏κ┘友b置的控制裝置以收納在所述上板與所述下板之間的空間內(nèi)的方式安裝在該下板上或從該下板上取下。
9.根據(jù)權(quán)利要求5到8中任一項所述的隔振裝置，其特征在于所述被動型隔振裝置、所述第一控制力施加裝置、所述第二控制力施加裝置及所述控制裝置在所述上板與所述下板之間的空間內(nèi)配置成在俯視圖上看為兩行兩列。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種隔振裝置。該隔振裝置(1)包括支撐平臺的頂板(11)，放置在地板上的基板(21)，以及在頂板(11)與基板(21)之間安裝在這兩板上，并且用螺旋彈簧(13)在地板上對被放置精密設(shè)備的平臺進行隔振支撐的彈簧單元(3)。該隔振裝置(1)構(gòu)成為能夠以收納在頂板(11)與基板(21)之間的空間內(nèi)的方式對頂板(11)可裝卸地安裝鉛垂單元(5)及/或水平單元(7)，該鉛垂單元(5)是鉛垂加速度傳感器(15)及鉛垂VCM一起模塊化而構(gòu)成的，該水平單元(7)是水平加速度傳感器及水平VCM一起模塊化而構(gòu)成的。因此，能夠提供一種具備使用者所要求的性能、尺寸較小且價格低廉的隔振裝置。
文檔編號F16F15/08GK102374258SQ201110186660
公開日2012年3月14日 申請日期2011年7月5日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月4日
發(fā)明者大村泰弘, 山本修司, 岸本伊知郎, 渡邊清文 申請人:倉敷化工株式會社