專利名稱：分離式硅烷管的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種氣體輸送管體結(jié)構(gòu)，尤其是一種分離式硅烷管，屬于硅烷管的技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
隨著光伏行業(yè)的迅猛發(fā)展，各電池片廠商面臨著越來越大的競爭壓力，而設(shè)備的維護(hù)時間和維護(hù)成本占了很了很大一部分，特氣管是PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor D印osition)鍍膜上面的重要零部件，由于其在反應(yīng)腔式里工作，反應(yīng)生成的氮化硅會沉積在特氣管的出氣口處而堵塞氣管。為了保正反應(yīng)的正常進(jìn)行，必須定期對特氣管進(jìn)行拆洗維護(hù)，而反應(yīng)生成的氮化硅也會沉積在安裝螺釘處，使得特氣管的拆洗、更換異常繁瑣，甚至有可能在拆洗更換中損壞設(shè)備，傳統(tǒng)的硅烷管采用整體式，管體與安裝板焊接在一起，再用螺釘將安裝板固定在設(shè)備上，為保證硅烷管牢固可靠，固定板采用8個螺釘固定， 當(dāng)硅烷管需要拆洗時，需要將硅烷管上的特氣管8個螺釘都同時拆下，而沉積在安裝螺釘上的氮化硅也會增加拆卸的難度，工作量非常大；而隨著使用，硅烷管管體損壞時候，則硅烷管的管體部分連同安裝板都需要做報廢處理，非常浪費。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種分離式硅烷管，其結(jié)構(gòu)簡單緊湊，安裝使用方便，降低使用成本，安全可靠。按照本發(fā)明提供的技術(shù)方案，所述分離式硅烷管，包括硅烷管；所述硅烷管通過緊固螺栓及緊固螺母緊固安裝于固定支架上。所述硅烷管上設(shè)置四個均勻分布的緊固螺栓，所述緊固螺栓穿入固定支架上的硅烷管安裝定位孔內(nèi)，并通過與緊固螺母對應(yīng)配合緊固安裝于固定支架上。所述固定支架包括連接板，所述連接板的兩側(cè)分別設(shè)置硅烷管安裝板及連接定位板，所述硅烷管安裝定位孔均勻分布于硅烷管安裝板上。所述連接定位板上設(shè)置若干連接定位孔。所述硅烷管安裝板及連接板的結(jié)合部設(shè)置對稱分布的定位槽，所述定位槽貫通硅烷管安裝板。所述硅烷管包括管體，所述管體上設(shè)置若干均勻分布的出氣孔，所述出氣孔與管體相連通。所述管體上設(shè)有進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣管與管體相連通。所述進(jìn)氣管包括第一連接管， 所述第一連接管通過連接管接頭分別與第二連接管及第三連接管相連通，第二連接管及第三連接管對應(yīng)于與連接管接頭相連的另一端對稱安裝于管體上。所述管體上設(shè)置22個均勻分布的出氣孔。所述硅烷管包括左硅烷管及右硅烷管。本發(fā)明的優(yōu)點硅烷管上設(shè)置四個均勻分布的緊固螺栓，硅烷管通過緊固螺栓及緊固螺母緊固安裝于固定支架上，固定支架固定安裝于設(shè)備殼體上，便于將硅烷管與固定支架的分離；固定支架先同設(shè)備連接，更換時，只需拆裝硅烷管和固定支架的四只緊固螺栓，相對于之前需拆裝固定支架與設(shè)備上的八個固定螺釘，縮短了一半的工作量；當(dāng)硅烷管損壞時，只需更換硅烷管即可，節(jié)約了之前硅烷管連同安裝板一同報廢帶來的采購成本；結(jié)構(gòu)簡單緊湊，安裝使用方便，降低使用成本，安全可靠。


圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本發(fā)明的另一種狀態(tài)圖。圖3為本發(fā)明固定支架的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本發(fā)明硅烷管的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式下面結(jié)合具體附圖和實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步說明。如圖廣圖4所示本發(fā)明包括固定支架1、硅烷管2、連接定位孔3、緊固螺栓4、進(jìn)氣管5、連接定位板6、硅烷管安裝板7、定位槽8、硅烷管安裝定位孔9、管體10、第二連接管 11、出氣孔12、第三連接管13、連接管接頭14、第一連接管15及連接板16。如圖1、圖2、圖3和圖4所示為了能夠方便安裝及對硅烷管2進(jìn)行維修，所述硅烷管2上設(shè)置四個均勻分布的緊固螺栓4，所述緊固螺栓4穿入固定支架1上的硅烷管安裝定位孔9內(nèi)，并通過緊固螺母與固定支架1緊固連接。所述固定支架1包括連接板16，所述連接板16的兩側(cè)設(shè)置對稱分布的連接定位板6及硅烷管安裝板7，所述連接定位板6及硅烷管安裝板7連接板16間的夾角成銳角。連接板16上設(shè)置若干均勻分布的連接定位孔 3，固定支架1通過連接定位孔3能夠安裝于相應(yīng)的設(shè)備殼體上。硅烷管安裝板7上設(shè)置四個均勻分布的硅烷管安裝定位孔9，所述硅烷管安裝定位孔9與硅烷管2上的緊固螺栓4相匹配。連接板16與硅烷管安裝板7的結(jié)合部設(shè)置對稱分布的定位槽8，所述定位槽8的槽口從硅烷管安裝板7對應(yīng)于與連接板16相連的另一端延伸到連接板16與硅烷管安裝板 7的結(jié)合部。硅烷管2包括管體10，所述管體10為中空結(jié)構(gòu)；管體10的一側(cè)設(shè)置緊固螺栓4。 管體10上設(shè)置若干均勻分布的出氣孔12，所述出氣孔12與管體10相連通，具體地，本發(fā)明中管體10上設(shè)置了 22個出氣孔12，通過出氣孔12能夠?qū)怏w均勻通入設(shè)備的腔體內(nèi)。 管體10上設(shè)置進(jìn)氣管5，所述進(jìn)氣管5包括第一連接管15，所述第一連接管15的一端通過連接管接頭14分別與第二連接管11及第三連接管13相連通，第二連接管11及第三連接管13對應(yīng)于與連接管接頭14相連的另一端對稱分布于管體10上，且第一連接管15通過第二連接管11、第三連接管13與管體10相連通。進(jìn)氣管5通過對稱分布于管體10上的第二連接管11及第三連接管13使得氣體均勻進(jìn)入管體10內(nèi)，并通過出氣孔12均勻噴出。如圖廣圖4所示所述硅烷管2包括左硅烷管及右硅烷管，所述左硅烷管及右硅烷管的結(jié)構(gòu)相一致，左硅烷管及右硅烷管均通過固定支架1安裝于設(shè)備上，左硅烷管及右硅烷管只是在設(shè)備上的位置不同。使用時，先將固定支架1的連接定位板6固定安裝于設(shè)備的殼體上，然后將左硅烷管、右硅烷管上的緊固螺栓4穿入硅烷管安裝定位孔9內(nèi)，并通過緊固螺母緊固安裝于固定支架1上。硅烷管2上的出氣孔12與設(shè)備的腔體相應(yīng)放置，然后將第一連接管15的端部與進(jìn)氣設(shè)備相連。工作時，氣體通過第一連接管15進(jìn)入，并通過第二連接管11及第三連接管13分流后進(jìn)入管體10內(nèi)，在管體10內(nèi)均勻混合后，經(jīng)過出氣孔12噴入設(shè)備的腔體內(nèi)。當(dāng)設(shè)備需要維護(hù)而拆裝硅烷管2時，只需要通過拆卸硅烷管2上的四個緊固螺栓4即可，不需要將固定支架1及硅烷管2全部拆除。本發(fā)明相比現(xiàn)有安裝結(jié)構(gòu)，當(dāng)拆除時能夠節(jié)省一半的工作量。另外，隨著時間的推移，當(dāng)需要更換時，只需要將硅烷管2拆除，更換固定支架1即可，降低了硅烷管2安裝后的更換成本，從而增強了競爭力。
本發(fā)明硅烷管2上設(shè)置四個均勻分布的緊固螺栓4，硅烷管2通過緊固螺栓4及緊固螺母緊固安裝于固定支架1上，固定支架1固定安裝于設(shè)備殼體上，便于將硅烷管2與固定支架1的分離；固定支架1先同設(shè)備連接，更換時，只需拆裝硅烷管2和固定支架1的 4只緊固螺栓4，相對于之前需拆裝固定支架1與設(shè)備上的8個固定螺釘，縮短了一半的工作量；當(dāng)硅烷管2損壞時，只需更換硅烷管2即可，節(jié)約了之前硅烷管連同安裝板一同報廢帶來的采購成本；結(jié)構(gòu)簡單緊湊，安裝使用方便，降低使用成本，安全可靠。
權(quán)利要求
1.一種分離式硅烷管，包括硅烷管(2);其特征是所述硅烷管(2)通過緊固螺栓(4)及緊固螺母緊固安裝于固定支架(1)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分離式硅烷管，其特征是所述硅烷管(2)上設(shè)置四個均勻分布的緊固螺栓(4)，所述緊固螺栓(4)穿入固定支架(1)上的硅烷管安裝定位孔(9)內(nèi)，并通過與緊固螺母對應(yīng)配合緊固安裝于固定支架(1)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的分離式硅烷管，其特征是所述固定支架(1)包括連接板 (16),所述連接板(16)的兩側(cè)分別設(shè)置硅烷管安裝板(7)及連接定位板(6)，所述硅烷管安裝定位孔(9 )均勻分布于硅烷管安裝板(7 )上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的分離式硅烷管，其特征是所述連接定位板(6)上設(shè)置若干連接定位孔(3)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的分離式硅烷管，其特征是所述硅烷管安裝板(7)及連接板 (16)的結(jié)合部設(shè)置對稱分布的定位槽(8)，所述定位槽(8)貫通硅烷管安裝板(J)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分離式硅烷管，其特征是所述硅烷管(2)包括管體(10)，所述管體(10)上設(shè)置若干均勻分布的出氣孔(12)，所述出氣孔(12)與管體(10)相連通。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的分離式硅烷管，其特征是所述管體(10)上設(shè)有進(jìn)氣管(5)， 所述進(jìn)氣管(5)與管體(10)相連通。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的分離式硅烷管，其特征是所述進(jìn)氣管(5)包括第一連接管 (15)，所述第一連接管(15)通過連接管接頭(14)分別與第二連接管(11)及第三連接管 (13)相連通，第二連接管(11)及第三連接管(13)對應(yīng)于與連接管接頭(14)相連的另一端對稱安裝于管體(10)上。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的分離式硅烷管，其特征是所述管體(10)上設(shè)置22個均勻分布的出氣孔(12)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分離式硅烷管，其特征是所述硅烷管(2)包括左硅烷管及右硅烷管。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種分離式硅烷管，屬于硅烷管的技術(shù)領(lǐng)域。按照本發(fā)明提供的技術(shù)方案，所述分離式硅烷管，包括硅烷管；所述硅烷管通過緊固螺栓及緊固螺母緊固安裝于固定支架上。本發(fā)明硅烷管上設(shè)置四個均勻分布的緊固螺栓，硅烷管通過緊固螺栓及緊固螺母緊固安裝于固定支架上，固定支架固定安裝于設(shè)備殼體上，便于將硅烷管與固定支架的分離；固定支架先同設(shè)備連接，更換時，只需拆裝硅烷管和固定支架的四只緊固螺栓，相對于之前需拆裝固定支架與設(shè)備上的八個固定螺釘，縮短了一半的工作量；當(dāng)硅烷管損壞時，只需更換硅烷管即可，節(jié)約了之前硅烷管連同安裝板一同報廢帶來的采購成本；結(jié)構(gòu)簡單緊湊，安裝使用方便，降低使用成本，安全可靠。
文檔編號F16L3/00GK102313079SQ20111032444
公開日2012年1月11日 申請日期2011年10月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月21日
發(fā)明者代寧, 尤耀明, 李文虎 申請人:無錫綠波新能源設(shè)備有限公司