專利名稱：一種壓電驅(qū)動(dòng)式微流量閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于一種流量閥，尤其是指一種微流量閥。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)微流量閥的驅(qū)動(dòng)方式多采用電磁驅(qū)動(dòng)、氣驅(qū)動(dòng)，可將電能或其它能轉(zhuǎn)化為機(jī)械能，缺點(diǎn)是頻響低、控制精度低和體積大。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型提供一種壓電驅(qū)動(dòng)式微流量閥，以解決傳統(tǒng)微流量閥頻響低、控制精度低和體積大的問題。本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案是圓形壓電振子固定在閥座與閥蓋之間，閥蓋與閥座的凹形口相對(duì)形成空腔，閥座內(nèi)設(shè)有環(huán)形密封圈和液體出口，液體進(jìn)口圓心與閥座圓心重合，液體進(jìn)口、液體出口位于閥座凹形腔內(nèi)。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于結(jié)構(gòu)新穎，由PZT壓電晶體驅(qū)動(dòng)器制成的微閥具有頻率響應(yīng)高；輸出精度高；由輸入電信號(hào)直接控制，不受電磁干擾；輸出位移隨與輸入電壓的變化而線性變化；功耗低精度高；價(jià)格低、體積小、結(jié)構(gòu)緊湊的優(yōu)點(diǎn)。

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
圓形壓電振子3固定在閥座4與閥蓋1之間，閥蓋1與閥座4的凹形口相對(duì)形成空腔，閥座4內(nèi)設(shè)有環(huán)形密封圈2和液體出口 6，液體進(jìn)口 5圓心與閥座4圓心重合，液體進(jìn)口 5、液體出口 6位于閥座4凹形腔內(nèi)。本實(shí)用新型的工作方式是當(dāng)給壓電振子施加使之向上彎曲的電信號(hào)時(shí)，壓電振子向上彎曲變形，和閥座形成過流間隙，如果形成的過流間隙內(nèi)外存在壓差，則流體由入口進(jìn)入流體閥，經(jīng)過流間隙、閥的出口流回系統(tǒng)；當(dāng)不給壓電振子施加電信號(hào)或施加反向電信號(hào)，則壓電晶片驅(qū)動(dòng)器和閥座之間壓緊、無過流間隙，閥處于截止?fàn)顟B(tài)。
權(quán)利要求1. 一種壓電驅(qū)動(dòng)式微流量閥，其特征在于圓形壓電振子固定在閥座與閥蓋之間，閥蓋與閥座的凹形口相對(duì)形成空腔，閥座內(nèi)設(shè)有環(huán)形密封圈和液體出口，液體進(jìn)口圓心與閥座圓心重合，液體進(jìn)口、液體出口位于閥座凹形腔內(nèi)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種壓電驅(qū)動(dòng)式微流量閥，屬于一種---流量閥。圓形壓電振子固定在閥座與閥蓋之間，閥蓋與閥座的凹形口相對(duì)形成空腔，閥座內(nèi)設(shè)有環(huán)形密封圈和液體出口，液體進(jìn)口圓心與閥座圓心重合，液體進(jìn)口、液體出口位于閥座凹形腔內(nèi)。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于結(jié)構(gòu)新穎，由PZT壓電晶體驅(qū)動(dòng)器制成的微閥具有頻率響應(yīng)高；輸出精度高；由輸入電信號(hào)直接控制，不受電磁干擾；輸出位移隨與輸入電壓的變化而線性變化；功耗低精度高；價(jià)格低、體積小、結(jié)構(gòu)緊湊的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)F16K99/00GK202100824SQ20112018267
公開日2012年1月4日 申請(qǐng)日期2011年6月1日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月1日
發(fā)明者孫明禮, 張忠華, 曾平, 李熹平, 梁建波, 程光明, 闞君武, 黃合成 申請(qǐng)人:浙江師范大學(xué)