專利名稱：用于單晶爐封閉閥板的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及的是一種單晶爐技術(shù)領(lǐng)域的機構(gòu)，具體是一種用于單晶爐封閉閥板的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)。
背景技術(shù)：
單晶爐是多晶硅轉(zhuǎn)化為單晶硅工藝過程中的必備設(shè)備，而單晶硅又是光伏發(fā)電和半導(dǎo)體行業(yè)中的基礎(chǔ)原料。單晶硅作為現(xiàn)代信息社會的關(guān)鍵支撐材料，是目前世界上最重要的單晶材料之一，它不僅是發(fā)展計算機與集成電路的主要功能材料，也是光伏發(fā)電利用太陽能的主要功能材料。直拉式單晶爐采用直拉法生產(chǎn)硅單晶棒。生產(chǎn)時，當(dāng)硅拉制成型后，需在上爐筒中冷卻后取出，以避免高溫硅棒暴露于大氣中，影響硅棒質(zhì)量，冷卻時上爐筒需保持真空狀態(tài)。為了使上爐筒保持真空狀態(tài)，單晶爐需要配置隔離閥，目前單晶爐的隔離閥閥板的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)能夠使閥板向上作90度翻轉(zhuǎn)，即閥板至90度位置時為打開狀態(tài)，閥板至水平位置時為關(guān)閉狀態(tài)，但是，閥板向上翻轉(zhuǎn)，容易與晶棒發(fā)生碰撞，如果要避免碰撞，隔離閥體的垂直方向尺寸就必須增大，這樣會使整機高度增加。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的就在于克服上述用于單晶爐隔離閥閥板的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的缺陷，從而提供一種用于單晶爐封閉閥板的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，以達到使閥板向下作90度翻轉(zhuǎn)為完全打開狀態(tài)且設(shè)置限位結(jié)構(gòu)，能夠使閥板至水平位置時為關(guān)閉狀態(tài)。為達到上述目的，本實用新型的用于單晶爐封閉閥板的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括開閥氣缸、 轉(zhuǎn)動塊、轉(zhuǎn)軸、限位塊和連接桿，其中開閥氣缸的缸筒與隔離閥閥體活動連接，開閥氣缸的活塞桿與連接桿固定連接，連接桿與轉(zhuǎn)動塊活動連接，轉(zhuǎn)動塊和隔離閥閥體通過轉(zhuǎn)軸串聯(lián)連接，轉(zhuǎn)動塊與轉(zhuǎn)軸固定連接，轉(zhuǎn)軸與隔離閥閥體活動連接，轉(zhuǎn)軸與封閉閥板固定連接，限位塊用于限制轉(zhuǎn)動塊的轉(zhuǎn)動位置且與隔離閥閥體固定連接，限位塊和轉(zhuǎn)動塊設(shè)置于隔離閥閥體的同一側(cè)面。所述的開閥氣缸為SMC的標準型雙作用氣缸。所述的轉(zhuǎn)動塊的橫截面為鏡像對稱的圖形，該橫截面包括氣缸圓弧段、兩個鏡像對稱的直線段和連接軸圓弧段，其中直線段的兩端分別與氣缸圓弧段和連接軸圓弧段連接。所述的轉(zhuǎn)動塊與連接桿連接，該連接的中心點與氣缸圓弧段的圓心共線。所述的轉(zhuǎn)動塊與隔離閥閥體固定連接，該固定連接的中心點與連接軸圓弧段的圓心共線。所述的限位塊的橫截面為長方形，該長方形結(jié)構(gòu)的長邊與水平面所成的角度小于 90度。[0012]本實用新型工作時，當(dāng)打開封閉閥板時，啟動開閥氣缸，使開閥氣缸的活塞桿伸入缸筒中，轉(zhuǎn)動塊帶動轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)軸帶動封閉閥板轉(zhuǎn)動，封閉閥板向下打開?；钊麠U在缸筒中的運動行程能夠限制轉(zhuǎn)動塊的旋轉(zhuǎn)角度，從而控制轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)角度，使閥板組件向下打開狀態(tài)的極限位置是向下旋轉(zhuǎn)90度。限位塊用于限制轉(zhuǎn)動塊的轉(zhuǎn)動位置，即限制了轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的極限角度，使封閉閥板向下打開狀態(tài)時的極限位置是向下旋轉(zhuǎn)90度。當(dāng)關(guān)閉封閉閥板時，啟動開閥氣缸，使開閥氣缸的活塞桿伸出缸筒中，轉(zhuǎn)動塊帶動轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)軸帶動封閉閥板轉(zhuǎn)動，封閉閥板向上關(guān)閉，處于水平位置。本實用新型的轉(zhuǎn)動塊的截面直線段所在的側(cè)面在轉(zhuǎn)動塊向開閥氣缸轉(zhuǎn)動的過程中會碰到限位塊的橫截面的長方形的長邊所在的側(cè)面，轉(zhuǎn)動塊與限位塊結(jié)合達到限位功能，使本旋轉(zhuǎn)機構(gòu)在開閥氣缸限位實效的情況下，仍能夠保證對封閉閥板運行位置的限位。

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實用新型的封閉閥板工作狀態(tài)剖視圖，其中圖(a)為封閉閥板打開狀態(tài)圖，圖(b)為封閉閥板關(guān)閉狀態(tài)圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖以具體實施例對本實用新型的技術(shù)特征作進一步說明。應(yīng)理解，以下實施例僅用于說明本實用新型而非用于限定本實用新型的范圍。實施例1如圖1所示，本實用新型的用于單晶爐封閉閥板的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括開閥氣缸1、轉(zhuǎn)動塊2、轉(zhuǎn)軸3、限位塊4和連接桿5，其中開閥氣缸1的缸筒6與隔離閥閥體7活動連接， 開閥氣缸1的活塞桿9與連接桿5固定連接，連接桿5與轉(zhuǎn)動塊2活動連接，轉(zhuǎn)動塊2和隔離閥閥體7通過轉(zhuǎn)軸3串聯(lián)連接，轉(zhuǎn)動塊2與轉(zhuǎn)軸3固定連接，轉(zhuǎn)軸3與隔離閥閥體7活動連接，轉(zhuǎn)軸3與封閉閥板8固定連接，限位塊4用于限制轉(zhuǎn)動塊2的轉(zhuǎn)動位置且與隔離閥閥體7固定連接。所述的開閥氣缸1為SMC的標準型雙作用氣缸。所述的轉(zhuǎn)動塊2的橫截面為鏡像對稱的圖形，該橫截面包括氣缸圓弧段11、兩個鏡像對稱的直線段12和連接軸圓弧段13，其中直線段12的兩端分別與氣缸圓弧段11和連接軸圓弧段13連接。所述的轉(zhuǎn)動塊2與連接桿5連接，該連接的中心點與氣缸圓弧段11的圓心共線。所述的轉(zhuǎn)動塊2與隔離閥閥體7固定連接，該固定連接的中心點與連接軸圓弧段 13的圓心共線。所述的限位塊4和轉(zhuǎn)動塊2設(shè)置于隔離閥閥體7的同一側(cè)面。所述的限位塊4的橫截面為長方形，該長方形結(jié)構(gòu)的長邊41與水平面所成的角度小于90度。如圖1和圖2所示，本實用新型工作時，當(dāng)打開封閉閥板8時，啟動開閥氣缸1，使開閥氣缸1的活塞桿9伸入缸筒6中，轉(zhuǎn)動塊2帶動轉(zhuǎn)軸3轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)軸3帶動封閉閥板8轉(zhuǎn)動，封閉閥板8向下打開?；钊麠U9在缸筒6中的運動行程能夠限制轉(zhuǎn)動塊2的旋轉(zhuǎn)角度，從而控制轉(zhuǎn)軸3的旋轉(zhuǎn)角度，使閥板組件向下打開狀態(tài)的極限位置是向下旋轉(zhuǎn)90度。限位塊4用于限制轉(zhuǎn)動塊2的轉(zhuǎn)動位置，即限制了轉(zhuǎn)軸3旋轉(zhuǎn)的極限角度，使封閉閥板8向下打開狀態(tài)時的極限位置是向下旋轉(zhuǎn)90度。當(dāng)關(guān)閉封閉閥板8時，啟動開閥氣缸1，使開閥氣缸1的活塞桿9伸出缸筒6中，轉(zhuǎn)動塊2帶動轉(zhuǎn)軸3轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)軸3帶動封閉閥板8轉(zhuǎn)動，封閉閥板8向上關(guān)閉，處于水平位置。本裝置的轉(zhuǎn)動塊2的截面直線段12所在的側(cè)面在轉(zhuǎn)動塊2向開閥氣缸1轉(zhuǎn)動的過程中會碰到限位塊4的橫截面的長方形的長邊41所在的側(cè)面，轉(zhuǎn)動塊2與限位塊4結(jié)合達到限位功能，使本旋轉(zhuǎn)機構(gòu)在開閥氣缸1限位失效的情況下，仍能夠保證對封閉閥板8運行位置的限位。
權(quán)利要求1.一種用于單晶爐封閉閥板的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，包括開閥氣缸、轉(zhuǎn)動塊、轉(zhuǎn)軸、限位塊和連接桿，其特征在于，開閥氣缸的缸筒與隔離閥閥體活動連接，開閥氣缸的活塞桿與連接桿固定連接，連接桿與轉(zhuǎn)動塊活動連接，轉(zhuǎn)動塊和隔離閥閥體通過轉(zhuǎn)軸串聯(lián)連接，轉(zhuǎn)動塊與轉(zhuǎn)軸固定連接，轉(zhuǎn)軸與隔離閥閥體活動連接，轉(zhuǎn)軸與封閉閥板固定連接，限位塊用于限制轉(zhuǎn)動塊的轉(zhuǎn)動位置且與隔離閥閥體固定連接，限位塊和轉(zhuǎn)動塊設(shè)置于隔離閥閥體的同一側(cè)面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于單晶爐封閉閥板的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征是，所述的開閥氣缸為SMC的標準型雙作用氣缸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于單晶爐封閉閥板的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征是，所述的轉(zhuǎn)動塊的橫截面為鏡像對稱的圖形，該橫截面包括氣缸圓弧段、兩個鏡像對稱的直線段和連接軸圓弧段，其中直線段的兩端分別與氣缸圓弧段和連接軸圓弧段連接；所述的轉(zhuǎn)動塊與連接桿連接，該連接的中心點與氣缸圓弧段的圓心共線； 所述的轉(zhuǎn)動塊與隔離閥閥體固定連接，該固定連接的中心點與連接軸圓弧段的圓心共線。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于單晶爐封閉閥板的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征是，所述的限位塊的橫截面為長方形，該長方形結(jié)構(gòu)的長邊與水平面所成的角度小于90度。
專利摘要本實用新型公開了一種單晶爐技術(shù)領(lǐng)域的用于單晶爐封閉閥板的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，包括開閥氣缸、轉(zhuǎn)動塊、轉(zhuǎn)軸、限位塊和連接桿，開閥氣缸的缸筒與隔離閥閥體活動連接，開閥氣缸的活塞桿與連接桿固定連接，連接桿與轉(zhuǎn)動塊活動連接，轉(zhuǎn)動塊和隔離閥閥體通過轉(zhuǎn)軸串聯(lián)連接，轉(zhuǎn)動塊與轉(zhuǎn)軸固定連接，轉(zhuǎn)軸與隔離閥閥體活動連接，轉(zhuǎn)軸與封閉閥板固定連接，限位塊用于限制轉(zhuǎn)動塊的轉(zhuǎn)動位置且與隔離閥閥體固定連接，限位塊和轉(zhuǎn)動塊設(shè)置于隔離閥閥體的同一側(cè)面。本實用新型使閥板向下作90度翻轉(zhuǎn)為完全打開狀態(tài)且設(shè)置限位結(jié)構(gòu)，能夠使閥板至水平位置時為關(guān)閉狀態(tài)。
文檔編號F16K1/20GK202297847SQ20112037733
公開日2012年7月4日 申請日期2011年10月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月9日
發(fā)明者楊永錄, 葛亮, 賀賢漢 申請人:上海漢虹精密機械有限公司