專利名稱：電阻化學氣相沉積爐引電極密封裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種密封裝置，特別是涉及一種電阻化學氣相沉積爐引電極密封
直O(jiān)
背景技術：
電阻式化學氣相沉積爐是制備炭/炭復合材料的主要裝備之一。中國實用新型專利ZL200620079416.8公開了一種電阻化學氣相沉積爐引電極密封裝置，在引電體與爐底盤之間裝置上、下絕緣套和絕緣環(huán)，在上絕緣套與絕緣環(huán)之間及絕緣環(huán)與下絕緣套之間裝置兩道密封圈，通常情況下，該裝置密封效果良好。但由于其使用在高溫設備上，設備在反復升溫過程中，上絕緣套易開裂，導致密封圈失效，嚴重影響密封效果。

實用新型內容本實用新型的目的在于克服上述現(xiàn)有技術中的不足，提供一種電阻化學氣相沉積爐引電極密封裝置。該密封裝置的結構簡單，高溫時的密封效果顯著提高，延長了使用壽命，便于推廣應用。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用的技術方案是電阻化學氣相沉積爐引電極密封裝置，包括安裝在引電極上的上絕緣套和位于上絕緣套下方的下絕緣套，所述上絕緣套和下絕緣套均位于爐底盤和引電極之間，所述上絕緣套和下絕緣套之間設置有絕緣環(huán)，所述上絕緣套和絕緣環(huán)之間設置有密封圈一，所述下絕緣套和絕緣環(huán)之間設置有密封圈二， 其特征在于所述上絕緣套和密封圈一之間設置有防護套。上述的電阻化學氣相沉積爐引電極密封裝置，其特征在于所述引電極上位于下絕緣套的下方設置有緊固下絕緣套的鎖緊螺母。上述的電阻化學氣相沉積爐引電極密封裝置，其特征在于所述上絕緣套和下絕緣套均為由夾布膠木制成的絕緣套。上述的電阻化學氣相沉積爐引電極密封裝置，其特征在于所述密封圈一和密封圈二均為硅橡膠密封圈。上述的電阻化學氣相沉積爐引電極密封裝置，其特征在于所述鎖緊螺母為紫銅鎖緊螺母。本實用新型與現(xiàn)有技術相比具有以下優(yōu)點1、本實用新型的結構簡單，設計新穎合理，易于安裝。2、本實用新型通過在上絕緣套和密封圈一之間設置防護套，使密封圈一處于溫度相對較低的區(qū)域，有效提高密封圈一使用壽命，上絕緣套一旦出現(xiàn)裂紋后無法延伸至密封圈一處，防止密封圈一在高溫下未壓緊而出現(xiàn)影響密封效果的情況，明顯的提高了該密封裝置的使用壽命。3、本實用新型的實現(xiàn)成本低，使用效果好，便于推廣使用。綜上所述，本實用新型結構簡單，易于安裝，設計新穎合理，工作可靠性高，使用壽命長，高溫時的密封效果顯著提高，便于推廣應用。下面通過附圖和實施例，對本實用新型的技術方案做進一步的詳細描述。
圖1為本實用新型的整體結構示意圖。附圖標記說明1-引電極；2-鎖緊螺母；3-下絕緣套；4-爐底盤；5-上絕緣套；6-防護套；7-密封圈一；8-絕緣環(huán)；9-密封圈二。
具體實施方式
如圖1所示的一種電阻化學氣相沉積爐引電極密封裝置，包括安裝在引電極1上的上絕緣套5和位于上絕緣套5下方的下絕緣套3，所述引電極1穿過爐底盤4，所述上絕緣套5和下絕緣套3均位于爐底盤4和引電極1之間，所述上絕緣套5和下絕緣套3之間設置有絕緣環(huán)8，所述上絕緣套5和絕緣環(huán)8之間設置有密封圈一 7，密封圈一 7起第一重密封作用，所述下絕緣套3和絕緣環(huán)8之間設置有密封圈二 9，密封圈二 9第二重密封作用， 所述上絕緣套5和密封圈一 7之間設置有防護套6。該電阻化學氣相沉積爐引電極密封裝置通過在上絕緣套5和密封圈一 7之間設置防護套6，使密封圈一 7處于溫度相對較低的區(qū)域，有效提高密封圈一 7使用壽命，上絕緣套5 —旦出現(xiàn)裂紋后無法延伸至密封圈一 7處， 防止密封圈一 7在高溫下未壓緊而出現(xiàn)影響密封效果的情況，明顯的提高了該密封裝置的使用壽命。如圖1所示，所述引電極1上位于下絕緣套3的下方設置有緊固下絕緣套3的鎖緊螺母2。所述上絕緣套5和下絕緣套3均為由夾布膠木制成的絕緣套。所述密封圈一 7 和密封圈二 9均為硅橡膠密封圈。所述鎖緊螺母2為紫銅鎖緊螺母。以上所述，僅是本實用新型的較佳實施例，并非對本實用新型作任何限制，凡是根據(jù)本實用新型技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、變更以及等效結構變換，均仍屬于本實用新型技術方案的保護范圍內。
權利要求1.電阻化學氣相沉積爐引電極密封裝置，包括安裝在引電極(1)上的上絕緣套(5)和位于上絕緣套( 下方的下絕緣套(3)，所述上絕緣套( 和下絕緣套C3)均位于爐底盤 (4)和引電極(1)之間，所述上絕緣套( 和下絕緣套C3)之間設置有絕緣環(huán)(8)，所述上絕緣套( 和絕緣環(huán)(8)之間設置有密封圈一(7)，所述下絕緣套( 和絕緣環(huán)(8)之間設置有密封圈二(9)，其特征在于所述上絕緣套( 和密封圈一(7)之間設置有防護套(6)。
2.根據(jù)權利要求1所述的電阻化學氣相沉積爐引電極密封裝置，其特征在于所述引電極(1)上位于下絕緣套(3)的下方設置有緊固下絕緣套(3)的鎖緊螺母O)。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的電阻化學氣相沉積爐引電極密封裝置，其特征在于所述上絕緣套( 和下絕緣套C3)均為由夾布膠木制成的絕緣套。
4.根據(jù)權利要求1或2所述的電阻化學氣相沉積爐引電極密封裝置，其特征在于所述密封圈一(7)和密封圈二(9)均為硅橡膠密封圈。
5.利要求2所述的電阻化學氣相沉積爐引電極密封裝置，其特征在于所述鎖緊螺母( 為紫銅鎖緊螺母。
專利摘要本實用新型公開了一種電阻化學氣相沉積爐引電極密封裝置，包括安裝在引電極上的上絕緣套和位于上絕緣套下方的下絕緣套，所述上絕緣套和下絕緣套均位于爐底盤和引電極之間，所述上絕緣套和下絕緣套之間設置有絕緣環(huán)，所述上絕緣套和絕緣環(huán)之間設置有密封圈一，所述下絕緣套和絕緣環(huán)之間設置有密封圈二，所述上絕緣套和密封圈一之間設置有防護套。該電阻化學氣相沉積爐引電極密封裝置的結構簡單，高溫時的密封效果顯著提高，延長了使用壽命，便于推廣應用。
文檔編號F16J15/06GK202265607SQ20112040766
公開日2012年6月6日 申請日期2011年10月24日 優(yōu)先權日2011年10月24日
發(fā)明者劉偉, 姚西明, 楊漫, 樊振寧, 趙俊 申請人:西安超碼科技有限公司