專利名稱：一種流體靜壓軸承的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及ー種流體靜壓軸承。
背景技術(shù)：
流體靜壓軸承是ー種非接觸型軸承，它利用流體介質(zhì)例如空氣，潤滑油，或其它流體通過節(jié)流作用獲得承載能力。流體靜壓軸承具有精度高、振動小、穩(wěn)定性好等優(yōu)點，因此廣泛地應(yīng)用于精密和超精密加工、檢測等領(lǐng)域。例如流體靜壓軸頸軸承可以用于作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的主軸的徑向支承，流體靜壓止推軸承可以用于作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的主軸的軸向支承；流體靜壓軸承還可以用于作直線或曲線運(yùn)動的導(dǎo)軌的支承。有的實際應(yīng)用為了工作可靠，裝配流體靜壓軸承的主軸在精確分度后需先鎖止再進(jìn)行后續(xù)的操作，裝配流體靜壓軸承的導(dǎo)軌在 精確定位后需先鎖止再進(jìn)行后續(xù)的操作，在鎖止時需要流體靜壓軸承不能改變原有的定位精度，這就給本來是起懸浮作用的流體靜壓軸承提出了很高的要求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種在鎖止時能夠壓緊以防止定位精度改變的閉式流體靜壓軸承。本發(fā)明解決技術(shù)問題采取的一種技術(shù)方案是一種閉式流體靜壓鎖止裝置，包括待鎖止部件、基座本體、第一流體輸入ロ、第二流體輸入ロ、第一流道、第二流道；基座本體包括鎖止面、承載或?qū)蛎嬉?、承載或?qū)蛎妤?；待鎖止部件包括待鎖止部件表面一、待鎖止部件表面ニ ；所述第一流道或第二流道可以分別位于待鎖止部件或基座本體；所述第一流體輸入口或第二流體輸入口可以分別位于待鎖止部件或基座本體；所述第一流體輸入ロ與所述第一流道相連，所述第二流體輸入ロ與所述第二流道相連；所述待鎖止部件表面一與所述承載或?qū)蛎嬉幌嘞蛐纬蓾櫥g隙，所述待鎖止部件表面ニ與所述承載或?qū)蛎娑嘞蛐纬蓾櫥g隙；所述待鎖止部件表面ニ與鎖止面可以分離或接觸，或壓緊鎖止；承載或?qū)蛎妤伺c鎖止面可以是同一個部件的同一個面，或鎖止面與所述承載或?qū)蛎妤耸遣煌考谋砻?，并且鎖止面高于承載或?qū)蛎妤?；鎖止面可以采用摩擦系數(shù)高的材料，鎖止面高于承載或?qū)蛎妤?，可以保護(hù)承載或?qū)蛎妤耍绘i止面與待鎖止部件表面ニ鎖止后，可以增加其他的機(jī)械裝置給待鎖止部件施加壓カ滿足鎖止要求的壓カ；本發(fā)明采用流體潤滑膜壓カ驅(qū)動待鎖止部件的待鎖止部件表面ニ與鎖止面壓緊，鎖止力量的增加過程平穩(wěn)均衡，待鎖止部件在鎖止過程中的發(fā)生位置誤差的可能性大大減小。
上述待鎖止部件可以是作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的轉(zhuǎn)軸，其基座本體可以包括軸頸軸承、止推軸承、外套、承壓墊環(huán)；承壓墊環(huán)包括鎖止面,止推軸承包括承載或?qū)蛎嬉?、軸頸軸承包括承載或?qū)?br> 面ニ所述第一流體輸入口、第二流體輸入口可以分別位于外套或止推軸承上；基座本體包括第一流道、第二流道；轉(zhuǎn)軸包括待鎖止部件表面一與待鎖止部件表面ニ ； 所述第一流體輸入ロ與所述第一流道相連，所述第二流體輸入ロ與所述第二流道 相連；所述待鎖止部件表面一與所述承載或?qū)蛎嬉幌嘞蛐纬蓾櫥g隙，所述待鎖止部件表面ニ與所述承載或?qū)蛎娑嘞蛐纬蓾櫥g隙；所述待鎖止部件表面ニ與鎖止面可以分離或接觸，或壓緊鎖止；軸頸軸承與承壓墊環(huán)如是ー個部件，承載或?qū)蛎妤伺c承壓墊環(huán)鎖止面是同一個部件的同一個面；軸頸軸承與承壓墊環(huán)如是兩個部件，鎖止面與所述承載或?qū)蛎妤耸遣煌谋砻?，并且鎖止面高于承載或?qū)蛎妤?。上述待鎖止部件可以是作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的H型轉(zhuǎn)軸，基座本體包括軸承套、外套、承壓墊環(huán)；所述轉(zhuǎn)軸包括上止推板、下止推板、軸頸，所述上止推板與軸頸可以是一體化設(shè)計，或者下止推板與軸頸可以是一體化設(shè)計；承壓墊環(huán)包括鎖止面，軸承套包括承載或?qū)蛎嬉缓统休d或?qū)蛎妤?；所述第一流體輸入口、第二流體輸入口可以位于外套或軸承套上；基座本體包括第一流道、第二流道，所述第一流道、第二流道可以分別位于外套或軸承套上；轉(zhuǎn)軸包括待鎖止部件表面一與待鎖止部件表面ニ ；所述第一流體輸入ロ與所述第一流道相連，所述第二流體輸入ロ與所述第二流道相連；所述待鎖止部件表面一與所述承載或?qū)蛎嬉幌嘞蛐纬蓾櫥g隙，所述待鎖止部件表面ニ與所述承載或?qū)蛎娑嘞蛐纬蓾櫥g隙；所述待鎖止部件表面ニ與鎖止面可以分離或接觸，或壓緊鎖止；軸承套與承壓墊環(huán)如是ー個部件，承載或?qū)蛎妤伺c承壓墊環(huán)鎖止面是同一個部件的同一個面；軸承套與承壓墊環(huán)如是兩個部件，鎖止面與所述承載或?qū)蛎妤耸遣煌谋砻妫⑶益i止面高于承載或?qū)蛎妤?。上述待鎖止部件可以是做直線或曲線運(yùn)動的T型溜板，基座本體可以包括導(dǎo)軌本體、基座、承壓墊塊；所述溜板包括上溜板、側(cè)溜板和下溜板，所述側(cè)溜板和所述下溜板可以是兩個不同部件,也可以是一體加工的同一部件；承壓墊塊包括鎖止面，導(dǎo)軌本體下表面為承載或?qū)蛎嬉弧?dǎo)軌本體上表面為承載或?qū)蛎妤怂龅谝涣黧w輸入ロ、第二流體輸入口可以位于上溜板或側(cè)溜板或下溜板上；所述第一流道、第二流道位于溜板上；所述待鎖止部件表面一為下溜板上表面，待鎖止部件表面ニ為上溜板下表面；所述第一流體輸入ロ與所述第一流道相連，所述第二流體輸入ロ與所述第二流道相連；所述待鎖止部件表面一與所述承載或?qū)蛎嬉幌嘞蛐纬蓾櫥g隙，所述待鎖止部件表面ニ與所述承載或?qū)蛎娑嘞蛐纬蓾櫥g隙；所述上溜板下表面與鎖止面可以分離或接觸，或壓緊鎖止； 導(dǎo)軌本體與承壓墊塊如是ー個部件，承載或?qū)蛎妤伺c承壓墊環(huán)鎖止面是同一個部件的同一個面；導(dǎo)軌本體與承壓墊塊如是兩個部件，鎖止面與所述承載或?qū)蛎妤耸遣煌谋砻妫⑶益i止面高于承載或?qū)蛎妤?。上述待鎖止部件可以是做直線或曲線運(yùn)動的V型溜板，基座本體可以包括導(dǎo)軌本體、基座；所述溜板包括上溜板、側(cè)溜板，所述側(cè)溜板固連在上溜板的兩端形成V型槽；上述待鎖止部件可以是作直線或曲線運(yùn)動的溜板，其基座本體可以包括導(dǎo)軌本體、基座、承壓墊塊；承壓墊塊包括鎖止面，導(dǎo)軌本體傾斜側(cè)面為承載或?qū)蛎嬉?、?dǎo)軌本體上表面為承載或?qū)蛎妤?；所述第一流體輸入口、第二流體輸入口可以位于上溜板或側(cè)溜板；所述第一流道、第二流道位于溜板上；所述待鎖止部件表面一為側(cè)溜板內(nèi)側(cè)面，待鎖止部件表面ニ為上溜板下表面；所述第一流體輸入ロ與所述第一流道相連，所述第二流體輸入ロ與所述第二流道相連；所述待鎖止部件表面一與所述承載或?qū)蛎嬉幌嘞蛐纬蓾櫥g隙，所述待鎖止部件表面ニ與所述承載或?qū)蛎娑嘞蛐纬蓾櫥g隙；所述上溜板下表面與鎖止面可以分離或接觸，或壓緊鎖止；導(dǎo)軌本體與承壓墊塊如是ー個部件，承載或?qū)蛎妤伺c承壓墊塊鎖止面是同一個部件的同一個面；導(dǎo)軌本體與承壓墊塊如是兩個部件，鎖止面與所述承載或?qū)蛎妤耸遣煌谋砻?，并且鎖止面高于承載或?qū)蛎妤?。上述待鎖止部件可以是做直線或曲線運(yùn)動的T型溜板，基座本體可以包括導(dǎo)軌本體、基座；所述溜板包括上溜板、側(cè)溜板和下溜板，所述側(cè)溜板和所述下溜板可以是兩個不同部件,也可以是一體加工的同一部件；導(dǎo)軌本體下表面為承載或?qū)蛎嬉?、基座上表面為承載或?qū)蛎妤送瑫r也為鎖止面；所述第一流體輸入ロ、第二流體輸入口可以位于上溜板或側(cè)溜板或下溜板上；
所述第一流道、第二流道位于溜板上；所述待鎖止部件表面一為下溜板上表面，待鎖止部件表面ニ為下溜板下表面；所述第一流體輸入ロ與所述第一流道相連，所述第二流體輸入ロ與所述第二流道相連；所述待鎖止部件表面一與所述承載或?qū)蛎嬉幌嘞蛐纬蓾櫥g隙，所述待鎖止部件表面ニ與所述承載或?qū)蛎娑嘞蛐纬蓾櫥g隙；所述下溜板下表面與基座上表面可以分離或接觸，或壓緊鎖止。上述待鎖止部件可以是做直線或曲線運(yùn)動的V型溜板，基座本體可以包括導(dǎo)軌本體、基座； 所述溜板包括上溜板、側(cè)溜板，所述側(cè)溜板固連在上溜板的兩端形成V型槽；導(dǎo)軌本體傾斜側(cè)面為承載或?qū)蛎嬉弧⒒媳砻鏋槌休d或?qū)蛎妤送瑫r也是鎖止面；所述待鎖止部件表面一為側(cè)溜板內(nèi)側(cè)面，待鎖止部件表面ニ為側(cè)溜板下表面；所述第一流體輸入口、第二流體輸入口可以位于上溜板或側(cè)溜板；所述第一流道、第二流道位于溜板上；所述第一流體輸入ロ與所述第一流道相連，所述第二流體輸入ロ與所述第二流道相連；所述待鎖止部件表面一與所述承載或?qū)蛎嬉幌嘞蛐纬蓾櫥g隙，所述待鎖止部件表面ニ與所述承載或?qū)蛎娑嘞蛐纬蓾櫥g隙；所述側(cè)溜板下表面與基座上表面可以分離或接觸，或壓緊鎖止。本發(fā)明解決技術(shù)問題采取的ー種方法打開第一流體輸入ロ，高壓流體介質(zhì)通過所述流體輸入ロ、流道和節(jié)流器進(jìn)入待鎖止部件表面一與承載或?qū)蛎嬉幌嘞蛐纬傻臐櫥g隙，形成流體潤滑膜；打開第二流體輸入ロ、高壓流體介質(zhì)通過所述流體輸入ロ、流道和節(jié)流器進(jìn)入待鎖止部件表面ニ與承載或?qū)蛎娑嘞蛐纬蓾櫥g隙，形成流體潤滑膜；待鎖止部件由所述流體潤滑膜壓カ的作用下浮起；關(guān)閉第二流體輸入ロ，待鎖止部件表面ニ與承載或?qū)蛎妤酥g流體潤滑膜壓カ減小，待鎖止部件表面ニ與鎖止面接觸并且壓緊，待鎖止部件表面ニ與鎖止面之間的摩擦力將待鎖止部件鎖止。上述待鎖止部件表面ニ與承載或?qū)蛎妤酥g包括鎖止面，待鎖止部件表面ニ與鎖止面之間的摩擦力將待鎖止部件鎖止。上述待鎖止部件可以是轉(zhuǎn)軸，基座本體包括軸頸軸承、止推軸承、外套。上述待鎖止部件可以是溜板，所述溜板包括上溜板、側(cè)溜板和下溜板；所述溜板包括第一流體輸入ロ、第一流道、待鎖止部件表面一、第二流體輸入ロ、第二流道、待鎖止部件表面ニ、節(jié)流器；基座本體包括導(dǎo)軌本體和基座。本發(fā)明所述的節(jié)流器可以為小孔節(jié)流器、狹縫節(jié)流器、多孔質(zhì)節(jié)流器、毛細(xì)節(jié)流器和薄膜反饋節(jié)流器等。本發(fā)明所述的潤滑間隙一般為2微米以上、100微米以下，根據(jù)節(jié)流方式和潤滑介質(zhì)的不同選擇不同的潤滑間隙以達(dá)到高承載能力和剛度。本發(fā)明所述的流體介質(zhì)可以為氣體或液體，例如空氣、潤滑油等，如果潤滑介質(zhì)為氣體，可以在節(jié)流器出口處設(shè)置均壓槽；如果潤滑介質(zhì)為液體，則在節(jié)流器出ロ處往往還需設(shè)置油腔，必要時還需設(shè)置回油槽。本發(fā)明提出的裝置與方法中，需要精確定位鎖止時，將鎖止方向設(shè)置為與主軸或?qū)к夁\(yùn)動方向相垂直的方向，利用不同流體潤滑膜之間的流體潤滑膜壓カ差的改變，來驅(qū)動待鎖止部件處于浮起或鎖止的不同狀態(tài)，待鎖止部件從浮起狀態(tài)到鎖止?fàn)顟B(tài)的位移很小，流體潤滑膜壓カ差的變化是均勻與平滑的，待鎖止部件在浮起或鎖止的不同狀態(tài)轉(zhuǎn)化過程中發(fā)生位置誤差的可能性就大大減小，在狀態(tài)轉(zhuǎn)化過程中不改變原有的定位精度。本發(fā)明可以用于精密超精密加工機(jī)床和檢測設(shè)備領(lǐng)域，也可用于電子制造和封裝領(lǐng)域，但不限于上述領(lǐng)域。


圖IA示出了本發(fā)明具體實施例之一的鎖止式閉式流體靜壓主軸的浮起結(jié)構(gòu)圖； 圖IB示出了本發(fā)明具體實施例之一的鎖止式閉式流體靜壓主軸的鎖止結(jié)構(gòu)圖；圖2A示出了本發(fā)明具體實施例之一的鎖止式T型閉式流體靜壓導(dǎo)軌的浮起結(jié)構(gòu)圖；圖2B示出了本發(fā)明具體實施例之一的鎖止式T型閉式流體靜壓導(dǎo)軌的鎖止結(jié)構(gòu)圖；圖3A示出了本發(fā)明具體實施例之一的鎖止式V型閉式流體靜壓導(dǎo)軌的浮起結(jié)構(gòu)圖；圖3B示出了本發(fā)明具體實施例之一的鎖止式V型閉式流體靜壓導(dǎo)軌的鎖止結(jié)構(gòu)圖；圖4A示出了本發(fā)明具體實施例之一的鎖止式T型閉式流體靜壓導(dǎo)軌的浮起結(jié)構(gòu)圖；圖4B示出了本發(fā)明具體實施例之一的鎖止式T型閉式流體靜壓導(dǎo)軌的鎖止結(jié)構(gòu)圖；圖5A示出了本發(fā)明具體實施例之一的鎖止式V型閉式流體靜壓導(dǎo)軌的浮起結(jié)構(gòu)圖；圖5B示出了本發(fā)明具體實施例之一的鎖止式V型閉式流體靜壓導(dǎo)軌的鎖止結(jié)構(gòu)圖；圖6A示出了本發(fā)明具體實施例之一的鎖止式H型閉式流體靜壓主軸的浮起結(jié)構(gòu)圖；圖6B示出了本發(fā)明具體實施例之一的鎖止式H型閉式流體靜壓主軸的鎖止結(jié)構(gòu)圖。
具體實施例方式具體實施方式
一、圖1A、圖IB示出了基于本發(fā)明的具有鎖定功能的閉式流體靜壓主軸的ー種實施方式，所述主軸包括待鎖定部件轉(zhuǎn)軸10、基座本體包括軸頸軸承11、夕卜套12、承壓墊環(huán)13、止推墊環(huán)14、止推軸承15、連接螺釘16、連接螺釘17，所述的軸頸軸承11具有內(nèi)部為圓柱形的軸承面11a，該軸承面Ila與待鎖定部件轉(zhuǎn)軸10的相應(yīng)外部圓柱形軸承面IOa相向，所述主軸設(shè)有向軸承面Ila和IOa之間的潤滑間隙提供流體介質(zhì)的節(jié)流器111、流體輸入口 121和相應(yīng)的流道L3 ;所述軸頸軸承11具有承載或?qū)蛎妤?11b，該承載或?qū)蛎妤?Ilb與待鎖定部件一轉(zhuǎn)軸10的相應(yīng)待鎖定部件表面ニ IOb相向形成潤滑間隙，所述主軸設(shè)有向承載或?qū)蛎妤?Ilb和待鎖定部件表面ニ IOb之間的潤滑間隙提供流體介質(zhì)的節(jié)流器112、第二流體輸入口 122和相應(yīng)的流道L2 ;所述主軸設(shè)有止推軸承15，所述止推軸承15設(shè)有承載或?qū)蛎嬉?15c，該承載或?qū)蛎嬉?15c與待鎖定部件---轉(zhuǎn)軸10的相應(yīng)待鎖定部件表面一 IOc相向形成潤滑間隙，所述主軸設(shè)有向承載或?qū)蛎嬉?5c和待鎖定部件表面一 IOc之間的潤滑間隙提供流體介質(zhì)的節(jié)流器151、第一流體輸入口152和相應(yīng)的流道LI ;止推軸承15和軸頸軸承11被止推墊環(huán)14分開；所述主軸設(shè)置有承壓墊環(huán)13，該承壓墊環(huán)13通過螺釘17固連于軸頸軸承11上，承壓墊環(huán)13的鎖定面13b高出軸頸軸承11的承載或?qū)蛎妤?Ilb —定距離，但當(dāng)待鎖定部件一轉(zhuǎn)軸10處于流體靜壓懸浮狀態(tài)時鎖定面13b不能與待鎖定部件一轉(zhuǎn)軸10的待鎖定部件表面ニ IOb接觸；止推軸承15、止推墊環(huán)14、軸頸軸承11和外套12通過螺釘16固連在一起。
待鎖定部件一轉(zhuǎn)軸10可以與電機(jī)等驅(qū)動元件相連。當(dāng)待鎖定部件一轉(zhuǎn)軸10需要旋轉(zhuǎn)時，流體輸入口 121、第二流體輸入口 122和第一流體輸入口 152都打開，外部高壓流體介質(zhì)通過流體輸入口、相應(yīng)的流道和節(jié)流器111、112和151進(jìn)入所有潤滑間隙形成具有一定壓カ的流體潤滑膜，在流體潤滑膜壓カ的作用下將待鎖定部件---轉(zhuǎn)軸10浮起，待鎖定部件轉(zhuǎn)軸10可以在驅(qū)動元件作用下旋轉(zhuǎn)；當(dāng)待鎖定部件轉(zhuǎn)軸10需要鎖定時，可以將第二流體輸入口 122關(guān)閉，待鎖定部件轉(zhuǎn)軸10在承載或?qū)蛎嬉?15c和待鎖定部件表面一 IOc之間的流體潤滑膜壓力作用下向下運(yùn)動，使待鎖定部件一轉(zhuǎn)軸10的待鎖定部件表面ニ IOb與承壓墊環(huán)13的鎖定面13b接觸并且壓紫，依靠待鎖定部件表面ニIOb與鎖定面13b之間的摩擦力將待鎖定部件轉(zhuǎn)軸10鎖定。當(dāng)承載或?qū)蛎嬉?15c和待鎖定部件表面一 IOc之間的流體潤滑膜壓カ不滿足鎖定要求的壓カ時，可以增加其他的機(jī)械裝置給待鎖定部件轉(zhuǎn)軸10施加壓カ滿足鎖定要求的壓力，此時由于待鎖定部件-一轉(zhuǎn)軸10與承壓墊環(huán)13已被流體潤滑膜壓カ所壓緊，因此利用其他的機(jī)械裝置給待鎖定部件---轉(zhuǎn)軸10施加壓カ時，待鎖定部件---轉(zhuǎn)軸10的發(fā)生轉(zhuǎn)角誤差的可能性就大大減小。在本實施例中，止推墊環(huán)14與止推軸承15可以是一體化設(shè)計；或者止推墊環(huán)14與外套12可以是一體化設(shè)計；又或者止推墊環(huán)14、軸頸軸承11和外套12可以為一體化設(shè)計。
具體實施方式
ニ、圖2A和2B給出采用本發(fā)明的ー種T型閉式流體靜壓導(dǎo)軌，在本實施方式中，待鎖定部件包括溜板2，基座本體包括導(dǎo)軌本體21、基座20和承壓墊塊25，所述的溜板2包括上溜板24、兩個側(cè)溜板23和兩個下溜板22，其中兩個側(cè)溜板23分別固連在上溜板24的兩端、兩個下溜板22分別與兩個側(cè)溜板23固連從而形成T型槽26，所述的導(dǎo)軌本體21設(shè)置在該T型槽26內(nèi)，導(dǎo)軌本體21通過安裝面21d與基座20固連，導(dǎo)軌本體21內(nèi)可以設(shè)置有用于安裝直線電機(jī)或絲杠螺母的空間211，承壓墊塊25與導(dǎo)軌本體21固連。在該實施例中，導(dǎo)軌本體下表面21a為承載或?qū)蛎嬉?下溜板上表面22a為待鎖定部件表面一；導(dǎo)軌本體上表面21c為承載或?qū)蛎妤?承壓墊塊上表面25c為鎖定面,上溜板下表面24c為待鎖定部件表面ニ。 導(dǎo)軌本體下表面21a與下溜板上表面22a相向形成潤滑間隙，下溜板22設(shè)有向該潤滑間隙提供流體介質(zhì)的節(jié)流器221 ;導(dǎo)軌本體上表面21c與上溜板下表面24c相向形成潤滑間隙，上溜板24設(shè)有向該間隙提供流體介質(zhì)的節(jié)流器241 ;導(dǎo)軌本體側(cè)面21b與側(cè)溜板內(nèi)側(cè)面23b相向形成潤滑間隙，側(cè)溜板23設(shè)有向該潤滑間隙提供流體介質(zhì)的節(jié)流器231。該實施方式中，設(shè)有向節(jié)流器231和節(jié)流器221提供流體介質(zhì)的流體輸入口 232為第一流體輸入口和相應(yīng)的第一流道P1，還設(shè)有向節(jié)流器241提供流體介質(zhì)的流體輸入口242第二流體輸入口和相應(yīng)的第二流道P2。當(dāng)溜板2需要運(yùn)動時，流體輸入口 232和流體輸入口 242都打開，流體介質(zhì)經(jīng)過節(jié)流器231、221和241進(jìn)入所有的潤滑間隙，使溜板2浮起，從而可以使溜板2在驅(qū)動元件的作用下運(yùn)動。當(dāng)溜板2需要鎖定時，流體輸入口 242關(guān)閉，停止向節(jié)流器241供應(yīng)流體介質(zhì)，使上溜板下表面24c和導(dǎo)軌本體上表面21c之間的潤滑間隙內(nèi)的流體介質(zhì)壓カ減??；流體輸入口 232打開，向節(jié)流器231和221供應(yīng)流體介質(zhì)，使側(cè)溜板內(nèi)側(cè)面23b與導(dǎo)軌本體側(cè)面21b之間的潤滑間隙、下溜板上表面22a和導(dǎo)軌本體下表面21a之間的潤滑間隙都充滿有壓カ的流體介質(zhì)，從而使溜板2向下運(yùn)動，使上溜板下表面24c與承壓墊塊上表面25c接觸并且壓緊，依靠二者之間的摩擦力將溜板2鎖定。當(dāng)承載或?qū)蛎嬉?21a與待鎖定部件表面一 22a之間的流體潤滑膜壓カ不滿足鎖定要求的壓カ時，可以增加其他的機(jī)械裝置給待鎖定部件一溜板2施加壓カ滿足鎖定要求的壓力，此時由于待鎖定部件一溜板2與承壓墊塊25已被流體潤滑膜壓カ所壓緊，因此利用其他的機(jī)械裝置給待鎖定部件一溜板2施加壓カ吋，待鎖定部件一溜板2的發(fā)生位置誤差的可能性就大大減小。如果需要，也可以使導(dǎo)軌本體上表面21c與承壓墊塊上表面25c為同一個面，通過設(shè)計使得溜板2處于懸浮狀態(tài)時下溜板下表面22d與基座上表面20d之間的間隙小于上溜板下表面24c與導(dǎo)軌本體上表面21c之間的距離，從而使得溜板2向下運(yùn)動時下溜板下表面22d與基座上表面20d接觸并且壓紫，從而使溜板2鎖定，但此時對溜板2、導(dǎo)軌本體21和基座上表面20d的加工和裝配精度提出了更高的要求。
具體實施方式
三、圖3A和3B給出采用本發(fā)明的ー種V型閉式流體靜壓導(dǎo)軌，在本實施方式中，待鎖定部件包括溜板3 ;基座本體包括基座30、導(dǎo)軌本體31、承壓墊塊35 ；所述的溜板3包括上溜板34和兩個側(cè)溜板33，其中兩個側(cè)溜板33分別固連在上溜板34的兩端從而形成V型槽36，所述的導(dǎo)軌本體31設(shè)置在該V型槽36內(nèi)，導(dǎo)軌本體31通過安裝面31d與基座30固連，導(dǎo)軌本體31內(nèi)可以設(shè)置有用于安裝直線電機(jī)或絲杠螺母的空間311，承壓墊塊35與導(dǎo)軌本體31固連。該實施方式中，導(dǎo)軌本體傾斜側(cè)面31b為承載或?qū)蛎嬉?，?cè)溜板內(nèi)側(cè)面33b為待鎖定部件表面一；導(dǎo)軌本體上表面31c作為承載或?qū)蛎妤?，上溜板下表?4c為待鎖定部件表面ニ ；承壓墊塊上表面35c為鎖定面。所述承壓墊塊上表面35c與導(dǎo)軌本體上表面31c可以是不同表面、也可以是相同表面，如果所述承壓墊塊上表面35c與所述導(dǎo)軌本體上表面31c不是同一個表面，所述承壓墊塊上表面35c高于導(dǎo)軌本體上表面31c，并且當(dāng)溜板3處于流體靜壓懸浮狀態(tài)時承壓墊塊上表面35c不能與上溜板下表面34c接觸。導(dǎo)軌本體上表面31c和上溜板下表面34c相向形成潤滑間隙，上溜板34設(shè)有向此潤滑間隙提供流體介質(zhì)的節(jié)流器341 ;導(dǎo)軌本體傾斜側(cè)面31b與側(cè)溜板內(nèi)側(cè)面33b相向形成潤滑間隙，側(cè)溜板33設(shè)有向此潤滑間隙提供流體介質(zhì)的節(jié)流器331。該實施方式中，設(shè)有向節(jié)流器341提供流體的流體輸入口 342為第二流體輸入口和相應(yīng)的第二流道Q2，還設(shè)有向節(jié)流器331提供流體的流體輸入口 332為第一流體輸入口和相應(yīng)的第一流道Ql。當(dāng)溜板3需要運(yùn)動時，流體輸入ロ 342和流體輸入ロ 332都打開，流體介質(zhì)經(jīng)過節(jié)流器341和節(jié)流器331進(jìn)入所有潤滑間隙，使溜板3浮起，從而可以使溜板3在驅(qū)動元件的作用下運(yùn)動。當(dāng)溜板3需要鎖定時，流體輸入口 342關(guān)閉，停止向節(jié)流器341供應(yīng)流體介質(zhì),使上溜板下表面34c和導(dǎo)軌本體上表面31c之間的潤滑間隙內(nèi)的流體介質(zhì)壓カ減?。涣黧w輸入口 332打開，向節(jié)流器331供應(yīng)流體介質(zhì)，使側(cè)溜板內(nèi)側(cè)面33b與導(dǎo)軌本體傾斜側(cè)面31b之間的潤滑間隙充滿有壓力的流體介質(zhì)，從而使溜板3向下運(yùn)動，使上溜板下表面34c與承壓墊塊上表面35c接觸并且壓紫，依靠二者之間的摩擦力將溜板3鎖定。
具體實施方式
四、圖4A和4B給出采用本發(fā)明的另ー種T型閉式流體靜壓導(dǎo)軌，在本實施方式中，待鎖定部件包括溜板4 ;基座本體包括基座40、導(dǎo)軌本體41。 所述溜板4包括上溜板44、兩個側(cè)溜板43和兩個下溜板42，其中兩個側(cè)溜板43分別固連在上溜板44的兩端、兩個下溜板42分別固連在兩個側(cè)溜板43上形成T型槽46，所述導(dǎo)軌本體41設(shè)置在該T型槽46內(nèi)，導(dǎo)軌本體41通過安裝面41d與基座40固連，導(dǎo)軌本體41內(nèi)可以設(shè)有用于安裝直線電機(jī)或絲杠螺母的空間411。在該實施例中，導(dǎo)軌本體下表面41a為承載或?qū)蛎嬉?下溜板上表面42a為待鎖定部件表面一；基座上表面40d為承載或?qū)蛎妤?，同時也為鎖定面，下溜板下表面42d為待鎖定部件表面ニ。導(dǎo)軌本體下表面41a與下溜板上表面42a相向形成潤滑間隙，下溜板42設(shè)有向該潤滑間隙提供流體介質(zhì)的節(jié)流器422 ;基座上表面40d與下溜板下表面42d相向形成潤滑間隙，下溜板42設(shè)有向該潤滑間隙提供流體的節(jié)流器421 ;導(dǎo)軌本體側(cè)面41b與側(cè)溜板內(nèi)側(cè)面43b相向形成潤滑間隙，側(cè)溜板43設(shè)有向該潤滑間隙提供流體的節(jié)流器431。該實施方式中，設(shè)有向節(jié)流器431和節(jié)流器422提供流體的流體輸入口 432為第一流體輸入口和相應(yīng)的第一流道R1，還設(shè)有向節(jié)流器421提供流體的流體輸入口 423為第二流體輸入口和相應(yīng)的第二流道R2。當(dāng)溜板4需要運(yùn)動時，流體輸入ロ 432和423都打開，流體介質(zhì)經(jīng)過節(jié)流器431、422和421進(jìn)入所有的潤滑間隙，使溜板4浮起，從而可以使溜板4在驅(qū)動元件的作用下運(yùn)動。當(dāng)溜板4需要鎖定時，流體輸入ロ 423關(guān)閉，停止向節(jié)流器421供應(yīng)流體介質(zhì)，使下溜板下表面42d和基座上表面40d之間的潤滑間隙內(nèi)的流體壓カ減?。涣黧w輸入ロ 432打開，向節(jié)流器431和422供應(yīng)流體介質(zhì)，使側(cè)溜板內(nèi)側(cè)面43b與導(dǎo)軌本體側(cè)面41b之間的潤滑間隙、下溜板上表面42a和導(dǎo)軌本體下表面41a之間的潤滑間隙都充滿有壓力的流體，從而使溜板4向下運(yùn)動，使下溜板下表面42d與基座上表面40d接觸并且壓緊，依靠二者之間的摩擦力將溜板4鎖定。溜板4處于懸浮狀態(tài)時，下溜板下表面42d和基座上表面40d之間的潤滑間隙ニ最好小于下溜板上表面42a和導(dǎo)軌本體下表面41a之間的潤滑間隙一，從而使得溜板4從懸浮狀態(tài)向鎖緊狀態(tài)變化吋，下溜板上表面42a和導(dǎo)軌本體下表面41a之間的流體介質(zhì)壓カ仍能保持較大值，從而保證溜板4的鎖止力，間隙ニ小于間隙一還減小了懸浮狀態(tài)到鎖定狀態(tài)變化過程中，溜板4的位移，提高了精度。為實現(xiàn)所述間隙ニ小于間隙一，如果節(jié)流器422和421是小孔節(jié)流器，節(jié)流器422的節(jié)流孔直徑大于節(jié)流器421的節(jié)流孔直徑、或者節(jié)流器422的數(shù)量大于節(jié)流器421的數(shù)量、或者節(jié)流器422的節(jié)流孔直徑和數(shù)量比節(jié)流器421的節(jié)流孔直徑和數(shù)量都大，通過這種設(shè)置，在相同載荷與相同供流壓カ的情況下，實現(xiàn)間隙ニ小于間隙一。如果作用于溜板4的載荷發(fā)生變化，可以通過増大流體輸入口 432的流體壓カ或者減小流體輸入口 423的流體壓カ來實現(xiàn)間隙ニ小于間隙一。其他具體實施例也需要考慮間隙ニ小于間隙一，所述方法也適用于其他具體實施例。
具體實施方式
五、圖5A和5B給出采用本發(fā)明的另ー種V型閉式流體靜壓導(dǎo)軌，在本實施方式中，待鎖定部件包括溜板5 ;基座本體包括基座50、導(dǎo)軌本體51。所述的溜板5包括上溜板54和兩個側(cè)溜板53，其中兩個側(cè)溜板53分別固連在上溜板54的兩端從而形成V型槽56,所述的導(dǎo)軌本體51設(shè)置在該V型槽56內(nèi)，導(dǎo)軌本體51通過安裝面51d與基座50固連，導(dǎo)軌本體51內(nèi)可以設(shè)置有用于安裝直線電機(jī)或絲杠螺母的空間511。該實施方式中，導(dǎo)軌本體傾斜側(cè)面51b為承載或?qū)蛎嬉唬瑐?cè)溜板內(nèi)側(cè)面53b為待鎖定部件表面一；基座上表面50d作為承載或?qū)蛎妤?側(cè)溜板下表面53d為待鎖定部件表面ニ，同時為鎖定面。導(dǎo)軌本體傾斜側(cè)面51b與側(cè)溜板內(nèi)側(cè)面53b相向形成潤滑間隙，側(cè)溜板53設(shè)有向此潤滑間隙提供流體介質(zhì)的節(jié)流器532 ;基座上表面50d與側(cè)溜板下表面53d相向形成潤滑間隙，側(cè)溜板53設(shè)有向此潤滑間隙提供流體介質(zhì)的節(jié)流器531。該實施方式中，設(shè)有向節(jié)流器532提供流體介質(zhì)的流體輸入口 533為第一流體輸入口和相應(yīng)的第一流道SI，還設(shè)有向節(jié)流器531提供流體的流體輸入口 534為第二流體輸入口和相應(yīng)的第二流道S2。當(dāng)溜板5需要運(yùn)動時，流體輸入口 533和534都打開，流體介質(zhì)經(jīng)過節(jié)流器531和532進(jìn)入所有的潤滑間隙，使溜板5浮起，從而可以使溜板5在驅(qū)動元件的作用下運(yùn)動。當(dāng)溜板5需要鎖定時，流體輸入口 534關(guān)閉，停止向節(jié)流器531供應(yīng)流體介質(zhì)，使側(cè)溜板下表面53d和基座上表面50d之間的潤滑間隙內(nèi)的流體壓カ減?。涣黧w輸入口533打開，向節(jié)流器532供應(yīng)流體，使側(cè)溜板內(nèi)側(cè)面53b與導(dǎo)軌本體傾斜側(cè)面51b之間的潤滑間隙充滿有壓力的流體，從而使溜板5向下運(yùn)動，使側(cè)溜板下表面53d與基座上表面50d接觸并且壓緊，依靠二者之間的摩擦力將溜板5鎖定。
具體實施方式
六、圖1A、圖IB示出了基于本發(fā)明的具有鎖定功能的閉式流體靜壓主軸的ー種實施方式，所述主軸包括待鎖定部件轉(zhuǎn)軸60、基座本體包括軸承套61、外套62、承壓墊環(huán)63 ；所述待鎖定部件轉(zhuǎn)軸60包括上止推板602、下止推板601、軸頸603，所述上止推板602或下止推板601可以分別與軸頸603是ー個部件，或者固連。所述的軸承套61具有內(nèi)部為圓柱形的軸承面61a，該軸承面61a與軸頸603的相應(yīng)外部圓柱形軸承面60a相向，所述軸承套61設(shè)有向軸承面61a和60a之間的潤滑間隙提供流體介質(zhì)的節(jié)流器611 ;所述軸承套61具有承載或?qū)蛎妤?61b，該承載或?qū)蛎妤?61b與上止推板602的相應(yīng)待鎖定部件表面ニ 602b相向形成潤滑間隙，所述主軸設(shè)有向承載或?qū)蛎妤?61b和待鎖定部件表面ニ 602b之間的潤滑間隙提供流體介質(zhì)的節(jié)流器612、第二流體輸入口 614和相連通的流道T2 ;所述軸承套61設(shè)有承載或?qū)蛎嬉?61c，該承載或?qū)蛎嬉?61c與下止推板601的相應(yīng)待鎖定部件表面一 601c相向形成潤滑間隙，所述主軸設(shè)有向承載或?qū)蛎嬉?61c和待鎖定部件表面一 601c之間的潤滑間隙提供流體介質(zhì)的節(jié)流器613、第一流體輸入口 621和相連通的流道Tl ;所述主軸設(shè)置有承壓墊環(huán)63，該承壓墊環(huán)63固連于軸承套61上，承壓墊環(huán)63的鎖定面63b高出軸承套61的承載或?qū)蛎妤?61b —定距離，但當(dāng)待鎖定部件轉(zhuǎn)軸60處于流體靜壓懸浮狀態(tài)時鎖定面63b不能與上止推板602的待鎖定部件表面ニ 602b接觸；待鎖定部件轉(zhuǎn)軸60可以與電機(jī)等驅(qū)動元件相連。當(dāng)待鎖定部件轉(zhuǎn)軸60需要旋轉(zhuǎn)時，第二流體輸入口 614和第一流體輸入口 621都打開，外部高壓流體介質(zhì)通過所述流體輸入口、相應(yīng)的流道和節(jié)流器611、612和613進(jìn)入所有潤滑間隙形成具有一定壓カ的流體潤滑膜，在流體潤滑膜壓カ的作用下將待鎖定部件轉(zhuǎn)軸60浮起，待鎖定部件轉(zhuǎn)軸60可以在驅(qū)動元件作用下旋轉(zhuǎn)；當(dāng)待鎖定部件轉(zhuǎn)軸60需要鎖定時，可以將第二流體輸入口 614關(guān)閉，待鎖定部件轉(zhuǎn)軸60在承載或?qū)蛎嬉?61c和待鎖定部件表面一 601c之間的流體潤滑膜壓力作用下向運(yùn)動，使待鎖定部件轉(zhuǎn)軸60的待鎖定部件表面ニ 602b與承壓墊環(huán)63的鎖定面63b接觸并且壓緊，依靠待鎖定部件表面ニ 602b與鎖定面63b之間的摩擦力將待鎖定部件轉(zhuǎn)軸60鎖定。當(dāng)承載或?qū)蛎嬉?61c和待鎖定部件表面一 601c之間的流體潤滑膜壓カ不 滿足鎖定要求的壓カ時，可以增加其他的機(jī)械裝置給待鎖定部件轉(zhuǎn)軸60施加壓カ滿足鎖定要求的壓力，此時由于待鎖定部件轉(zhuǎn)軸60與承壓墊環(huán)63已被流體潤滑膜壓カ所壓緊，因此利用其他的機(jī)械裝置給待鎖定部件轉(zhuǎn)軸60施加壓カ時，待鎖定部件轉(zhuǎn)軸60的發(fā)生轉(zhuǎn)角誤差的可能性就大大減小。上述實施例并非對本發(fā)明的限制，本領(lǐng)域技術(shù)人員通過本發(fā)明得出各種實施方式，例如尺寸變化，外部形狀結(jié)構(gòu)、排布變化、材質(zhì)替換等，均屬于本發(fā)明保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種閉式流體靜壓鎖止裝置，其特征在于，包括待鎖止部件、基座本體、第一流體輸入ロ、第二流體輸入ロ、第一流道、第二流道； 基座本體包括鎖止面、承載或?qū)蛎嬉?、承載或?qū)蛎妤?； 待鎖止部件包括待鎖止部件表面一、待鎖止部件表面ニ； 所述第一流道或第二流道位于待鎖止部件或基座本體； 所述第一流體輸入口或第二流體輸入口位于待鎖止部件或基座本體； 所述第一流體輸入ロ與所述第一流道相連通，所述第二流體輸入ロ與所述第二流道相連通； 所述待鎖止部件表面一與所述承載或?qū)蛎嬉幌嘞蛐纬蓾櫥g隙，所述待鎖止部件表面ニ與所述承載或?qū)蛎娑嘞蛐纬蓾櫥g隙； 所述待鎖止部件表面ニ與鎖止面可以分離或接觸，或壓緊鎖止； 承載或?qū)蛎妤伺c鎖止面可以是同一個部件的同一個面，或鎖止面與所述承載或?qū)蛎妤耸遣煌考谋砻?，并且鎖止面高于承載或?qū)蛎妤恕?br> 2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其特征在于所述待鎖止部件包括轉(zhuǎn)軸，基座本體包括軸頸軸承、止推軸承、外套、承壓墊環(huán)； 承壓墊環(huán)包括鎖止面，止推軸承包括承載或?qū)蛎嬉?，軸頸軸承包括承載或?qū)蛎?* ， 所述第一流體輸入ロ、第二流體輸入口位于外套或止推軸承上； 基座本體包括第一流道、第二流道； 轉(zhuǎn)軸包括待鎖止部件表面一與待鎖止部件表面ニ； 所述第一流體輸入ロ與所述第一流道相連，所述第二流體輸入ロ與所述第二流道相連； 所述待鎖止部件表面一與所述承載或?qū)蛎嬉幌嘞蛐纬蓾櫥g隙，所述待鎖止部件表面ニ與所述承載或?qū)蛎娑嘞蛐纬蓾櫥g隙； 所述待鎖止部件表面ニ與鎖止面可以分離或接觸，或壓緊鎖止； 軸頸軸承與承壓墊環(huán)如是ー個部件，承載或?qū)蛎妤伺c承壓墊環(huán)鎖止面是同一個部件的同一個面； 軸頸軸承與承壓墊環(huán)如是兩個部件，鎖止面與所述承載或?qū)蛎妤耸遣煌谋砻?，并且鎖止面高于承載或?qū)蛎妤恕?br> 3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其特征在于所述待鎖止部件包括轉(zhuǎn)軸，基座本體包括軸承套、外套、承壓墊環(huán)； 所述待鎖止部件轉(zhuǎn)軸包括上止推板、下止推板、軸頸，所述上止推板或下止推板可以分別與軸頸是ー個部件，或者固連； 承壓墊環(huán)包括鎖止面，軸承套包括承載或?qū)蛎嬉缓统休d或?qū)蛎妤耍? 所述第一流體輸入口、第二流體輸入口位于外套或軸承套上； 基座本體包括第一流道、第二流道； 轉(zhuǎn)軸包括待鎖止部件表面一與待鎖止部件表面ニ； 所述第一流體輸入ロ與所述第一流道相連，所述第二流體輸入ロ與所述第二流道相連；所述待鎖止部件表面一與所述承載或?qū)蛎嬉幌嘞蛐纬蓾櫥g隙，所述待鎖止部件表面ニ與所述承載或?qū)蛎娑嘞蛐纬蓾櫥g隙； 所述待鎖止部件表面ニ與鎖止面可以分離或接觸，或壓緊鎖止； 軸承套與承壓墊環(huán)如是ー個部件，承載或?qū)蛎妤伺c承壓墊環(huán)鎖止面是同一個部件的同一個面； 軸承套與承壓墊環(huán)如是兩個部件，鎖止面與所述承載或?qū)蛎妤耸遣煌谋砻?，并且鎖止面高于承載或?qū)蛎妤恕?br> 4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其特征在于所述待鎖止部件包括溜板，基座本體包括導(dǎo)軌本體、基座、承壓墊塊； 所述溜板包括上溜板、側(cè)溜板和下溜板； 承壓墊塊包括鎖止面，導(dǎo)軌本體下表面為承載或?qū)蛎嬉?、?dǎo)軌本體上表面為承載或?qū)蛎妤?； 所述第一流體輸入ロ、第二流體輸入口位于上溜板或側(cè)溜板或下溜板上； 所述第一流道、第二流道位于溜板上； 所述待鎖止部件表面一為下溜板上表面，待鎖止部件表面ニ為上溜板下表面； 所述第一流體輸入口與所述第一流道相連，所述第二流體輸入口與所述第二流道相連； 所述待鎖止部件表面一與所述承載或?qū)蛎嬉幌嘞蛐纬蓾櫥g隙，所述待鎖止部件表面ニ與所述承載或?qū)蛎娑嘞蛐纬蓾櫥g隙； 所述上溜板下表面與鎖止面可以分離或接觸，或壓緊鎖止； 導(dǎo)軌本體與承壓墊塊如是ー個部件，導(dǎo)軌本體上表面與承壓墊環(huán)鎖止面是同一個部件的同一個面； 導(dǎo)軌本體與承壓墊塊如是兩個部件，鎖止面與所述導(dǎo)軌本體上表面是不同的表面，并且鎖止面高于導(dǎo)軌本體上表面。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其特征在于所述待鎖止部件包括溜板，基座本體包括導(dǎo)軌本體、基座； 所述溜板包括上溜板、側(cè)溜板和下溜板； 所述待鎖止部件表面一為下溜板上表面，待鎖止部件表面ニ為下溜板下表面； 導(dǎo)軌本體下表面為承載或?qū)蛎嬉?、基座上表面為承載或?qū)蛎妤送瑫r也為鎖止面； 所述下溜板下表面與基座上表面可以分離或接觸，或壓緊鎖止。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其特征在于所述待鎖止部件包括溜板，基座本體包括導(dǎo)軌本體、基座、承壓墊塊； 所述溜板包括上溜板和側(cè)溜板，所述側(cè)溜板固連在上溜板的兩端形成V型槽； 導(dǎo)軌本體傾斜側(cè)面為承載或?qū)蛎嬉?，所述?cè)溜板內(nèi)側(cè)面為待鎖止部件表面一；導(dǎo)軌本體上表面為承載或?qū)蛎妤?，上溜板下表面為待鎖止部件表面ニ ；承壓墊塊上表面為鎖止面。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其特征在于所述待鎖止部件包括溜板，基座本體包括導(dǎo)軌本體、基座； 所述溜板包括上溜板、側(cè)溜板，側(cè)溜板固連在上溜板的兩端形成V型槽；導(dǎo)軌本體傾斜側(cè)面為承載或?qū)蛎嬉?、基座上表面為承載或?qū)蛎妤送瑫r也是鎖止面； 所述待鎖止部件表面一為側(cè)溜板內(nèi)側(cè)面，待鎖止部件表面ニ為側(cè)溜板下表面； 所述側(cè)溜板下表面與基座上表面和可以分離或接觸，或壓緊鎖止。
8.一種閉式流體靜壓鎖止方法，其特征在干 打開第一流體輸入ロ，高壓流體介質(zhì)通過所述流體輸入ロ、流道和節(jié)流器進(jìn)入待鎖止部件表面一與承載或?qū)蛎嬉幌嘞蛐纬傻臐櫥g隙，形成流體潤滑膜； 打開第二流體輸入ロ、高壓流體介質(zhì)通過所述流體輸入ロ、流道和節(jié)流器進(jìn)入待鎖止 部件表面ニ與承載或?qū)蛎娑嘞蛐纬傻臐櫥g隙，形成流體潤滑膜； 待鎖止部件由所述流體潤滑膜壓カ的作用下浮起； 關(guān)閉第二流體輸入口，待鎖止部件表面ニ與承載或?qū)蛎妤酥g流體潤滑膜壓カ減小，待鎖止部件表面ニ與承載或?qū)蛎妤私佑|并壓緊，待鎖止部件表面ニ與承載或?qū)蛎妤酥g的摩擦力將待鎖止部件鎖止。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，待鎖止部件包括轉(zhuǎn)軸，基座本體包括軸頸軸承，止推軸承，外套。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，待鎖止部件包括溜板，所述溜板包括上溜板、側(cè)溜板和下溜板；所述溜板包括第一流體輸入口、第一流道、待鎖止部件表面一、第二流體輸入ロ、第二流道、待鎖止部件表面ニ、節(jié)流器；基座本體包括導(dǎo)軌本體和基座。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種閉式流體靜壓導(dǎo)軌，包括第一流體輸入口、第二流體輸入口、鎖止面、待鎖止部件、第一流道、第二流道、節(jié)流器、待鎖止部件表面一、待鎖止部件表面二、承載或?qū)蛎嬉?、承載或?qū)蛎娑⒒倔w；第一流體輸入口與第一流道相連，第二流體輸入口與第二流道相連；待鎖止部件的待鎖止部件表面一與承載或?qū)蛎嬉幌嘞蛐纬蓾櫥g隙，待鎖止部件的待鎖止部件表面二與承載或?qū)蛎娑嘞蛐纬蓾櫥g隙，基座本體包括鎖止面、承載或?qū)蛎嬉弧⒊休d或?qū)蛎娑?；待鎖止部件的待鎖止部件表面二與鎖止面可以分離或接觸，或壓緊鎖止。
文檔編號F16C32/06GK102650319SQ20121006561
公開日2012年8月29日 申請日期2012年3月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月13日
發(fā)明者杜建軍 申請人:杜建軍