專利名稱：新型超高真空微調(diào)閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及超高真空調(diào)節(jié)設(shè)備，具體是一種新型超高真空微調(diào)閥。
背景技術(shù)：
在超真空的應(yīng)用領(lǐng)域，常需要精確的充入微量氣體的微調(diào)設(shè)施，目前此類設(shè)施有兩種閥，一是閥門內(nèi)采用平面密封小孔，密封面材料用人造寶石，采用螺紋杠桿微調(diào)密封面的間隙精確控制氣體流量。其缺點(diǎn)是，人工寶石成本高，加工難度大，且易碎；二是閥門內(nèi)采用錐孔密封，用螺紋的升降調(diào)節(jié)錐針與錐孔的間隙，以達(dá)到控制氣體流量的目的。其缺點(diǎn)是，螺紋傳動(dòng)有間隙影響調(diào)節(jié)的精度，更重要的是螺紋本身就決定了不易實(shí)現(xiàn)精確微調(diào)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是解決上述難題，提供一種既能耐必要的烘烤又能實(shí)現(xiàn)精確微調(diào)流量且滿足超聞?wù)婵彰芊獾男滦统務(wù)婵瘴⒄{(diào)閥。 發(fā)明的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的一種新型超高真空微調(diào)閥，其特征在于由螺桿微調(diào)機(jī)構(gòu)及閥座、閥塞構(gòu)成，螺桿微調(diào)機(jī)構(gòu)用超高真空的密封方式安裝在閥座上。閥針與無(wú)氧銅制成的錐孔密封，其螺桿微調(diào)機(jī)構(gòu)由壓緊螺母、小錐套、閥桿、差動(dòng)螺桿、閥錐套、閥蓋、波紋管、閥針、導(dǎo)向鍵組成，閥蓋安裝在閥座上，通過(guò)壓緊無(wú)氧銅墊及不銹鋼波紋管實(shí)現(xiàn)密封，旋轉(zhuǎn)手柄固定于差動(dòng)螺桿，閥桿與閥針連為一體，閥蓋上設(shè)有內(nèi)、外螺紋，螺紋處開(kāi)有破口，通過(guò)壓緊螺母6推動(dòng)大錐套擠壓閥蓋的錐面達(dá)到消除與差動(dòng)螺桿的螺紋間隙，旋轉(zhuǎn)壓緊螺母2即消除差動(dòng)螺桿與閥桿的螺紋間隙。本發(fā)明設(shè)計(jì)合理，實(shí)用性強(qiáng)，采用了螺桿微調(diào)實(shí)現(xiàn)了超高真空密封。具體講通過(guò)旋轉(zhuǎn)壓緊螺母6，推動(dòng)大錐套擠壓閥蓋的錐面達(dá)到消除與差動(dòng)螺桿的螺紋間隙，同理，旋轉(zhuǎn)壓緊螺母2亦消除差動(dòng)螺桿與閥桿的螺紋間隙。


圖I是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中I旋轉(zhuǎn)手柄；2壓緊螺母；3小錐套；4閥桿；5差動(dòng)螺桿；6壓緊螺母；7大錐套；8閥蓋；9波紋管；10閥針；11閥塞’ 12閥座；13導(dǎo)向鍵.
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說(shuō)明。如圖所示，新型超高真空微調(diào)閥，由螺桿微調(diào)機(jī)構(gòu)及閥座12、閥塞11構(gòu)成，螺桿微調(diào)機(jī)構(gòu)用超高真空的密封方式安裝在閥座12上。閥針10與無(wú)氧銅制成的錐孔密封，其螺桿微調(diào)機(jī)構(gòu)由壓緊螺母(2、6)、小錐套3、閥桿4、差動(dòng)螺桿5、大錐套7、閥蓋8、波紋管9、閥針10、導(dǎo)向鍵13組成，閥蓋8安裝在閥座12上，通過(guò)壓緊無(wú)氧銅墊及不銹鋼波紋管實(shí)現(xiàn)密封，旋轉(zhuǎn)手柄固定于差動(dòng)螺桿，閥桿4與閥針10連為一體，閥蓋8上設(shè)有內(nèi)、外螺紋，螺紋處開(kāi)有破口，通過(guò)壓緊螺母6推動(dòng)大錐套7擠壓閥蓋8的錐面達(dá)到消除與差動(dòng)螺桿5的螺紋間隙，旋轉(zhuǎn)壓緊螺母2即消除差動(dòng)螺桿5與閥桿4的螺紋間隙。實(shí)施例I根據(jù)實(shí)驗(yàn)證明旋動(dòng)手柄I轉(zhuǎn)動(dòng)一圈，差動(dòng)螺桿5也隨之轉(zhuǎn)動(dòng)一圈，差動(dòng)螺桿5與閥蓋8相關(guān)的外螺紋螺距為I. 5mm,差動(dòng)螺桿5與閥桿4相關(guān)的內(nèi)螺紋螺距為
I.25mm,如果差動(dòng)螺桿5朝開(kāi)啟方向旋轉(zhuǎn)一圈,相對(duì)于閥蓋8直線移動(dòng)I. 5mm,而閥桿4相對(duì)
于差動(dòng)螺桿5向相反方向移動(dòng)I. 25mm,那么I. 5mm-1. 25mm = 0. 25mm,即旋轉(zhuǎn)手柄I每轉(zhuǎn)動(dòng)一圈，閥針10移動(dòng)0. 25mm(旋轉(zhuǎn)手柄I圓周刻25等分的線條，每轉(zhuǎn)動(dòng)一格就移動(dòng)0. Olmm,從而實(shí)現(xiàn)了精確微調(diào))。
權(quán)利要求
1. 一種新型超高真空微調(diào)閥，其特征在于由螺桿微調(diào)機(jī)構(gòu)及閥座(12)、閥塞(11)構(gòu)成，螺桿微調(diào)機(jī)構(gòu)用超高真空的密封方式安裝在閥座(12)上。閥針(10)與無(wú)氧銅制成的錐孔密封，其螺桿微調(diào)機(jī)構(gòu)由壓緊螺母(2、6)、小錐套(3)、閥桿(4)、差動(dòng)螺桿(5)、大錐套(7)、閥蓋(8)、波紋管(9)、閥針(10)、導(dǎo)向鍵(13)組成，閥蓋(8)安裝在閥座(12)上，通過(guò)壓緊無(wú)氧銅墊及不銹鋼波紋管實(shí)現(xiàn)密封，旋轉(zhuǎn)手柄固定于差動(dòng)螺桿，閥桿(4)與閥針(10)連為一體，閥蓋(8)上設(shè)有內(nèi)、外螺紋，螺紋處開(kāi)有破口，通過(guò)壓緊螺母(6)推動(dòng)大錐套(7)擠壓閥蓋(8)的錐面達(dá)到消除與差動(dòng)螺桿(5)的螺紋間隙，旋轉(zhuǎn)壓緊螺母(2)即消除差動(dòng)螺桿(5)與閥桿⑷的螺紋間隙。
全文摘要
一種新型超高真空微調(diào)閥，由螺桿微調(diào)機(jī)構(gòu)及閥座、閥塞構(gòu)成，螺桿微調(diào)機(jī)構(gòu)用超高真空的密封方式安裝在閥座上。閥針與無(wú)氧銅制成的錐孔密封，其螺桿微調(diào)機(jī)構(gòu)由壓緊螺母、小錐套、閥桿、差動(dòng)螺桿、閥錐套、閥蓋、波紋管、閥針、導(dǎo)向鍵組成，閥蓋安裝在閥座上，通過(guò)壓緊無(wú)氧銅墊及不銹鋼波紋管實(shí)現(xiàn)密封，旋轉(zhuǎn)手柄固定于差動(dòng)螺桿，閥桿與閥針連為一體，閥蓋上設(shè)有內(nèi)、外螺紋，螺紋處開(kāi)有破口，通過(guò)壓緊螺母6推動(dòng)大錐套擠壓閥蓋的錐面達(dá)到消除與差動(dòng)螺桿的螺紋間隙，旋轉(zhuǎn)壓緊螺母2即消除差動(dòng)螺桿與閥桿的螺紋間隙。本發(fā)明設(shè)計(jì)合理，實(shí)用性強(qiáng)，采用了螺桿微調(diào)實(shí)現(xiàn)了超高真空密封。
文檔編號(hào)F16K51/02GK102777683SQ20121024377
公開(kāi)日2012年11月14日 申請(qǐng)日期2012年7月16日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月16日
發(fā)明者羅進(jìn)軍, 葛明 申請(qǐng)人:羅進(jìn)軍, 葛明