專利名稱：一種新型高速脈沖閥控制器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于氣壓控制技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種新型高速脈沖閥控制器。
背景技術(shù)：
在很多物理實(shí)驗(yàn)儀器中需要將樣品的載氣以很窄的高壓氣體脈沖(約50-100US)釋放到真空腔體里，因此，除了需要高速的電磁閥以外還需要與之匹配的高速脈沖控制器。目前，高速脈沖控制器多由國外公司生產(chǎn)，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，價(jià)格較高，且維護(hù)較難，使用壽命短。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，本發(fā)明的目的是一種新型高速脈沖閥控制器，本發(fā)明成本低廉、結(jié)構(gòu)簡單、維護(hù)成本低。本發(fā)明提供了一種新型高速脈沖閥控制器，該控制器由信號發(fā)生器、信號處理單元、氣壓傳感器信號放大調(diào)節(jié)單元、高速脈沖閥組成；信號處理單元接受來自于信號發(fā)生器的觸發(fā)信號，然后使用單片機(jī)對觸發(fā)信號做延遲和脈寬控制，精度可達(dá)10ns，最后經(jīng)過放大器放大輸出給高速脈沖閥，輸出有氣壓-電壓負(fù)反饋電路和限流保護(hù)電路。本發(fā)明提供的新型高速脈沖閥控制器，利用單片機(jī)對觸發(fā)信號進(jìn)行數(shù)字處理，有氣壓負(fù)反饋功能，輸出電壓可控。本發(fā)明的有益效果是本發(fā)明裝置能使高速脈沖閥內(nèi)的氣體脈沖無波動，增加實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性，結(jié)構(gòu)簡單，制造成本低。


圖I是本發(fā)明一種新型高速脈沖閥控制器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)說明。如圖I所示，本發(fā)明一種新型高速脈沖閥控制器，本儀器接受外部的觸發(fā)信號，在對觸發(fā)信號進(jìn)行延遲和脈寬控制后經(jīng)過放大器放大輸出給高速脈沖閥。系統(tǒng)設(shè)計(jì)有一套氣壓-電壓負(fù)反饋電路，能夠根據(jù)當(dāng)前的供給氣壓適當(dāng)微調(diào)脈沖閥輸出的電壓，已達(dá)到穩(wěn)定輸出氣量的目的。當(dāng)輸入氣壓降低時(shí)，輸出電壓調(diào)高，反之調(diào)低。脈沖閥的開啟速度和開啟時(shí)間即得到改變。本發(fā)明的有益效果是1，本發(fā)明裝置采用單片機(jī)對觸發(fā)信號進(jìn)行數(shù)字的時(shí)序控制，大大提高了時(shí)序精度和縮小了誤差的范圍；2，本發(fā)明裝置能使高速脈沖閥內(nèi)的氣體脈沖無波動，增加實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性，結(jié)構(gòu)簡單，制造成本低。
權(quán)利要求
1.一種新型高速脈沖閥控制器，其特征在于該控制器由信號發(fā)生器、信號處理單元、氣壓傳感器信號放大調(diào)節(jié)單元、高速脈沖閥組成； 信號處理單元接受來自于信號發(fā)生器的觸發(fā)信號，然后使用單片機(jī)對觸發(fā)信號做延遲和脈寬控制，最后經(jīng)過放大器放大輸出給高速脈沖閥，輸出有氣壓-電壓負(fù)反饋電路和限流保護(hù)電路。
全文摘要
一種新型高速脈沖閥控制器，該結(jié)構(gòu)是儀器接受外部的觸發(fā)信號，在對觸發(fā)信號進(jìn)行延遲和脈寬控制后經(jīng)過放大器放大輸出給高速脈沖閥。系統(tǒng)設(shè)計(jì)有一套氣壓-電壓負(fù)反饋電路，能夠根據(jù)當(dāng)前的供給氣壓適當(dāng)微調(diào)脈沖閥輸出的電壓，已達(dá)到穩(wěn)定輸出氣量的目的。當(dāng)輸入氣壓降低時(shí)，輸出電壓調(diào)高，反之調(diào)低。脈沖閥的開啟速度和開啟時(shí)間即得到改變。增加實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性，結(jié)構(gòu)簡單，制造成本低。
文檔編號F16K31/02GK102979940SQ20121051341
公開日2013年3月20日 申請日期2012年12月4日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月4日
發(fā)明者唐紫超, 任文峰 申請人:中國科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所