專(zhuān)利名稱(chēng)：二維精密微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種精密微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，屬于微驅(qū)動(dòng)控制技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的精密微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)多為精密螺桿傳動(dòng)型，且只有一維驅(qū)動(dòng)，要實(shí)現(xiàn)二維微驅(qū)動(dòng)，就必須通過(guò)兩個(gè)一維驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)串聯(lián)疊加來(lái)實(shí)現(xiàn)，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，而其位移精度由螺桿傳動(dòng)副螺距設(shè)計(jì)確定，一旦完成不可變更。其實(shí)際精度與產(chǎn)品的制造精度密切相關(guān)，制造工藝難度大、且產(chǎn)品成本高。
發(fā)明內(nèi)容為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足之處，本實(shí)用新型提供一種二維精密微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)， 結(jié)構(gòu)緊湊靈活，隨球頭擺桿動(dòng)作，驅(qū)動(dòng)精度可在一定范圍內(nèi)精密調(diào)節(jié)，利用球心不重合、杠桿支點(diǎn)改變?cè)碓谠O(shè)定的范圍內(nèi)可實(shí)現(xiàn)無(wú)級(jí)位移精度調(diào)節(jié)。本實(shí)用新型是通過(guò)如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的一種二維精密微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于它包括由機(jī)殼和罩殼對(duì)接而成的殼體，殼體的一端裝有球頭座，球頭座上裝有可轉(zhuǎn)動(dòng)的球頭擺桿，殼體的另一端內(nèi)裝有二維輸出限位盤(pán)，二維輸出限位盤(pán)由壓蓋I和壓蓋II對(duì)接而成，二維輸出限位盤(pán)內(nèi)形成限位腔，所述的壓蓋I上有擺軸活動(dòng)孔，擺軸活動(dòng)孔上裝有擺軸，擺軸的一端伸入所述的限位腔內(nèi)，擺軸與限位腔之間裝有平面軸承，平面軸承的上下平面上有滾子與限位腔相接觸；所述的擺軸的另一端裝有撥球，撥球裝入所述的球頭擺桿內(nèi)，球頭擺桿內(nèi)有撥孔，球頭擺桿的球頭球心不與撥球的球心重合；所述殼體的側(cè)部開(kāi)有動(dòng)力輸出口 I，所述的擺軸的中部裝有動(dòng)力輸出頂塊，動(dòng)力輸出頂塊與動(dòng)力輸出口 I的位置相適配。所述的球頭座與所述的機(jī)殼之間螺紋連接。所述的二維輸出限位盤(pán)與所述的罩殼之間螺紋連接，所述的壓蓋II上有調(diào)節(jié)插槽。所述的殼體的側(cè)部有與所述的動(dòng)力輸出口 I開(kāi)口方向垂直的動(dòng)力輸出口 II。本實(shí)用新型的有益效果是通過(guò)球頭擺桿機(jī)構(gòu)、擺軸、二維輸出限位盤(pán)的聯(lián)合作用使擺軸即動(dòng)力軸發(fā)生微位移，通過(guò)驅(qū)動(dòng)力源輸出口向外輸出微位移，從而達(dá)到微米級(jí)液壓或機(jī)械式精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的力源驅(qū)動(dòng)的效果，實(shí)現(xiàn)對(duì)精密微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)系統(tǒng)二維平面的精密驅(qū)動(dòng)。結(jié)構(gòu)緊湊靈活合理。隨球頭擺桿動(dòng)作，驅(qū)動(dòng)精度可在一定范圍內(nèi)精密調(diào)節(jié)，利用球心不重合、杠桿支點(diǎn)改變?cè)碓谠O(shè)定的范圍內(nèi)可實(shí)現(xiàn)無(wú)級(jí)位移精度調(diào)節(jié)。

下面根據(jù)附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。圖I是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。圖中，I、機(jī)殼，2、動(dòng)力輸出口 I，3、二維輸出限位盤(pán)，3-1、壓蓋I，3-2、壓蓋II，3-3、限位腔，3-4、調(diào)節(jié)插槽，3-5、擺軸活動(dòng)孔，4、平面軸承，5、擺軸，6、罩殼，7、動(dòng)力輸出頂塊，8、動(dòng)力輸出口 II，9、撥球，10、球頭座，11、球頭擺桿。
具體實(shí)施方式
如圖I所不的一種二維精密微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),它包括由機(jī)殼I和罩殼6對(duì)接而成的殼體，殼體的一端裝有球頭座10，球頭座10上裝有可轉(zhuǎn)動(dòng)的球頭擺桿11，殼體的另一端內(nèi)裝有二維輸出限位盤(pán)3，二維輸出限位盤(pán)3由壓蓋I 3-1和壓蓋II 3-2對(duì)接而成，二維輸出限位盤(pán)3內(nèi)形成限位腔3-3，所述的壓蓋I 3-1上有擺軸活動(dòng)孔3-5，擺軸活動(dòng)孔3-5上裝有擺軸5，擺軸5的一端伸入所述的限位腔3-3內(nèi)，擺軸5與限位腔3-3之間裝有平面軸承4，平面軸承4的上下平面上有滾子與限位腔3-3相接觸，其作用是將球頭擺桿的擺動(dòng)轉(zhuǎn)化為擺軸5正相關(guān)的二維移動(dòng)；所述的擺軸5的另一端裝有撥球9，撥球9裝入所述的球頭擺桿11內(nèi)，球頭擺桿11內(nèi)有撥孔，球頭擺桿11的球頭球心不與撥球9的球心重合；所述殼體的側(cè)部開(kāi)有動(dòng)力輸出口 I 2，所述的擺軸5的中部裝有動(dòng)力輸出頂塊7，動(dòng)力輸出頂塊7與動(dòng)力輸出口 I 2的位置相適配。所述的球頭座10與所述的機(jī)殼I之間螺紋連接，便于調(diào)節(jié)球心距，以調(diào)整擺幅。所述的二維輸出限位盤(pán)3與所述的罩殼6之間螺紋連接，所述的壓蓋II 3-2上有調(diào)節(jié)插槽3-4，便于調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)球心距，以調(diào)整擺幅。所述的殼體的側(cè)部有與所述的動(dòng)力輸出口 I 2開(kāi)口方向垂直的動(dòng)力輸出口 II 8。通過(guò)球頭擺桿機(jī)構(gòu)、擺軸、二維輸出限位盤(pán)的聯(lián)合作用使擺軸即動(dòng)力軸發(fā)生微位移，通過(guò)驅(qū)動(dòng)力源輸出口向外輸出微位移，從而達(dá)到微米級(jí)液壓或機(jī)械式精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的力源驅(qū)動(dòng)的效果，實(shí)現(xiàn)對(duì)精密微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)系統(tǒng)二維平面的精密驅(qū)動(dòng)。球頭擺桿機(jī)構(gòu)機(jī)構(gòu)在最大偏轉(zhuǎn)量+/-30°時(shí)擺軸的輸出位移為+廠1mm。結(jié)構(gòu)緊湊靈活合理。隨球頭擺桿動(dòng)作，驅(qū)動(dòng)精度可在一定范圍內(nèi)精密調(diào)節(jié)，利用球心不重合、杠桿支點(diǎn)改變?cè)碓谠O(shè)定的范圍內(nèi)可實(shí)現(xiàn)無(wú)級(jí)位移精度調(diào)節(jié)。
權(quán)利要求1.一種二維精密微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),其特征在于它包括由機(jī)殼(I)和罩殼(6)對(duì)接而成的殼體，殼體的一端裝有球頭座(10)，球頭座(10)上裝有可轉(zhuǎn)動(dòng)的球頭擺桿(11)，殼體的另一端內(nèi)裝有二維輸出限位盤(pán)(3)，二維輸出限位盤(pán)(3)由壓蓋I (3-1)和壓蓋II (3-2)對(duì)接而成，二維輸出限位盤(pán)(3)內(nèi)形成限位腔(3-3)，所述的壓蓋I (3-1)上有擺軸活動(dòng)孔(3-5)，擺軸活動(dòng)孔(3-5)上裝有擺軸(5)，擺軸(5)的一端伸入所述的限位腔(3-3)內(nèi)，擺軸(5)與限位腔(3-3)之間裝有平面軸承(4)，平面軸承(4)的上下平面上有滾子與限位腔(3-3)相接觸；所述的擺軸(5)的另一端裝有撥球(9)，撥球(9)裝入所述的球頭擺桿(11)內(nèi)，球頭擺桿(11)內(nèi)有撥孔，球頭擺桿(11)的球頭球心不與撥球(9)的球心重合；所述殼體的側(cè)部開(kāi)有動(dòng)力輸出口 I (2)，所述的擺軸(5)的中部裝有動(dòng)力輸出頂塊(7)，動(dòng)力輸出頂塊(7)與動(dòng)力輸出口 I (2)的位置相適配。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的二維精密微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的球頭座(10)與所述的機(jī)殼(I)之間螺紋連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的二維精密微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的二維輸出限位盤(pán)(3)與所述的罩殼(6)之間螺紋連接，所述的壓蓋II (3-2)上有調(diào)節(jié)插槽(3-4)。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的二維精密微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的殼體的側(cè)部有與所述的動(dòng)力輸出口 I (2)開(kāi)口方向垂直的動(dòng)力輸出口 II (8)。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種二維精密微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，屬于微驅(qū)動(dòng)控制技術(shù)領(lǐng)域。它包括殼體，殼體的一端裝有球頭座和球頭擺桿，殼體的另一端內(nèi)裝有二維輸出限位盤(pán)，二維輸出限位盤(pán)內(nèi)有擺軸，擺軸的一端伸入限位腔內(nèi)，擺軸與限位腔之間裝有平面軸承，平面軸承的上下平面上有滾子與限位腔相接觸；所述的擺軸的另一端裝有撥球，撥球裝入所述的球頭擺桿內(nèi)，球頭擺桿的球頭球心不與撥球的球心重合；所述殼體的側(cè)部開(kāi)有動(dòng)力輸出口Ⅰ，所述的擺軸的中部裝有動(dòng)力輸出頂塊。本實(shí)用新型通過(guò)球頭擺桿機(jī)構(gòu)、擺軸、二維輸出限位盤(pán)的聯(lián)合作用使擺軸即動(dòng)力軸發(fā)生微位移，結(jié)構(gòu)緊湊靈活，驅(qū)動(dòng)精度可在一定范圍內(nèi)精密調(diào)節(jié)。
文檔編號(hào)F16H21/44GK202468886SQ20122003964
公開(kāi)日2012年10月3日 申請(qǐng)日期2012年2月8日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月8日
發(fā)明者張志宏, 李紹華 申請(qǐng)人:江蘇瑞祺生命科學(xué)儀器有限公司